CN108981974B - 一种基于重力复摆的超高精度微力测量装置及测量方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于重力复摆的微力测量装置及测量方法,该装置中,转轴穿过重力复摆并搭在支架上,复摆受微推力作用摆动一角度,轴与摆之间为低摩擦,因而能敏感微推力;通过上下差分设置的微距传感器测量复摆的水平微位移,间接测得摆动角,进而通过力矩平衡关系,反推出微力大小。本发明的测量原理及方法简单易行,且能达到微牛级别的精度;设置在重力复摆顶端的配重块可上下移动,调节复摆重心和惯量,增加微推力敏感度,降低外界振动影响;差分测量复摆的水平位移,能够消除环境振动、工装、测量器件带来的误差;电磁阻尼可降低复摆震荡,降低干扰力矩影响;此外,本发明中的微推力的校准可以通过砝码校准的方式直接完成,操作简单方便。

Description

一种基于重力复摆的超高精度微力测量装置及测量方法
技术领域
本发明涉及微力测量领域,具体涉及一种基于重力复摆的超高精度微推力测量装置及测量方法。
背景技术
随着科技的发展,用于微牛级的微小力值测量的实验仪器的应用越来越广泛,在航空航天的微力控制、分子生物学、微纳制造等系统的力学性能分析中,微力测量成为关键技术环节,尤其是在航天领域,微小控制力的设计和检测对微力值的测量精度要求更高,往往需要达到微牛级精度级别。
但我国现有的力值量传系统(JJG2045-1990《力值(≤1MN)计量检定系统》)对于10N以下的力值尚未建立量传系统。国内可以测量及溯源的,也就是可计量的最小力值为mN级,大约在10-3~10-4N,无法满足航天等领域的测量精度要求,因此,研究一套满足需求的高精度的微力测量系统显得尤为重要。
重力复摆常被用于微力测量中,其通过物理方法实现力值的复现,结构原理简单,度量方法较容易实现,能够实现高精度的微力测量。但是,复摆摆动的敏感度、重力复摆的重心位置以及复摆的振动都会对测量精度产生影响;在对微力进行标定或测量时,为获得更高精度,必须解决以上几方面对微力测量所造成的影响,尤其是与复摆敏感度相关联的阻尼及外部振动的影响,可能远远大于微力标定或测量的最大量程,因而必需要加以克服。
发明内容
针对上述问题,本发明提出了一种基于重力复摆的超高精度微力测量装置及测量方法,该测量装置能实现微牛级的超高精度微力测量;
该测量装置通过测量复摆的水平微位移,间接测得摆动角,进而通过力矩平衡关系,反推出微力大小;相互之间为低摩擦的转轴与重力复摆、上下差分设置的微距传感器、重力复摆顶端用于调节复摆重心和惯量的配重块和降低复摆震荡的电磁阻尼组件,使得复摆能敏感微小推力,同时,降低外界振动和干扰力矩的影响。
本发明所采用的技术方案为:
一种基于重力复摆的超高精度微力测量装置,其包括:
水平放置的底座6、垂直于底座6并与其固定连接的支架7、重力复摆3、穿过重力复摆3且两端搭在支架7顶部的转轴支承71上的转轴2、设置在支架7上用于测量重力复摆3水平摆动位移的微距测量传感器4、设置在重力复摆3底部的标定杆5和与标定杆5匹配的砝码;
转轴2穿过重力复摆3的位置位于重力复摆3的质心上方;
重力复摆3可绕转轴2摆动,两者间的摩擦为低摩擦,从而,重力复摆3具有高转动灵敏度。
进一步地,微距测量传感器4的数量为两个,其上下差分设置在支架7上、重力复摆3摆面的一侧,实现对重力复摆3的差分测量。
进一步地,所述微力测量装置还包括:可沿重力复摆3顶端的杆部31作上下运动的配重块1,配重块1用于调节重力复摆3的重心,使其接近转轴2,从而增加重力复摆3对推力的敏感度,减小外界振动对重力复摆3运动的影响。
进一步地,所述微力测量装置还包括:两设置在支架7上、重力复摆3侧面且相对的电磁阻尼器8和设置在两电磁阻尼器8之间并与重力复摆3侧面固定连接的阻尼铜片9;
利用涡流效应,在磁场作用下进行阻尼,降低重力复摆3震荡,加快其稳定,同时降低外界干扰力矩的影响。
一种基于重力复摆的超高精度微力测量方法,包括以下步骤:
a、将微力测量装置调平;
b、在标定杆5上放置砝码,待重力复摆3达到新的平衡位置时,测量重力复摆3的上差分位移Δx1和下差分位移Δx2,获得重力复摆3的偏转角度
θ=(Δx2-Δx1)/Δh (1)
其中,Δh为上下差分设置的两微距测量传感器4的垂直距离;
c、计算砝码重力产生的力矩,由重力复摆3的重力力矩与砝码的重力力矩平衡关系,有
mcg(dcosθ-lc sinθ)≈mglsinθ=Kθ (2)
其中,mc为砝码的质量,g为当地重力加速度,d为砝码的质心到重力复摆3的垂直距离,lc为砝码的质心向重力复摆3所引垂线与重力复摆3中轴线的交点到转轴2中心的距离,m为重力复摆3的质量,l为重力复摆3的重心到转轴2中心的距离,K为恢复系数;
d、在标定杆5上的不同位置放置不同质量的砝码,并重复步骤b和c,得到多组恢复系数K,取平均值后,作为最终的恢复系数K;
e、将标定用的砝码移除,给重力复摆3施加垂直于复摆3的稳定的持续微小推力F,重力复摆3摆开一个角度,稳定后,处于力矩平衡状态,测量上差分位移Δx1和下差分位移Δx2的值,获得复摆3的偏转角度θ;
推力F和重力复摆3的推力F作用点处的水平位移之间的关系为:
Figure BDA0001725364520000031
其中,Δx为摆杆重力复摆3的推力F作用点处的移动距离,L为推力F在重力复摆3上的作用点到转轴2中心的距离,l′为配重块1的中心到转轴2中心的距离,M为配重块1的质量;
上下移动配重块1,调节距离l′,调节复摆3的重心,使l与L的比值为设定范围;
当重力复摆3的摆动角度θ小于设定角度时,有θ=Δx/L,从而
FL=(ml-Ml′)gθ=Kθ (4)
Figure BDA0001725364520000032
反算出微力F的值,K为步骤d中标定获得的最终的恢复系数。
进一步地,步骤e中,l与L的比值的设定范围为1/20~1/10。
进一步地,步骤e中,所述设定角度为1度。
本发明的有益效果在于:
(1)配重块安装在重力复摆上端,在一定范围内可上下移动,实现重力复摆重心和惯量的调节,增加测量装置对推力的敏感度,降低外界振动对装置测量的影响;而且,其可以由供电、工质等机构充当,不会增加复摆的质量,不会影响悬挂要求;
(2)两微距测量传感器差分安装在支架上,实现对重力复摆的差分测量,能够消除环境振动、工装、测量器件带来的误差;
(3)重力复摆侧面安装电磁阻尼器和阻尼铜片,通电后产生磁场,利用涡流效应,在磁场作用下进行阻尼,可降低重力复摆的震荡,并加快其稳定,同时降低外界干扰力矩的影响;
(4)重力复摆的质量分布也可增加其转动惯量,进一步减小外界干扰力矩的影响,提高测量精度;假设重力复摆的质心到转轴中心的距离l与力作用点到转轴中心的距离L之比为1:20,实验环境中,当复摆受到与推力同频率的地面振动影响时,摆对外界振动的敏感度仅为对推力敏感度的1/20;
(5)本发明的测量原理和方法简单易操作,可实现微牛级的超高精度的微力测量;通过竖直平面内转动的复摆,靠重力提供恢复力矩,通过测量摆杆水平微位移,间接得到摆动角度,进而反算出推力,相比其他类型的平衡扭力和重量平衡,本发明中的低摩擦转轴和力矩平衡,简单易实现,且测量装置结构也较为简单;
此外,本发明中的推力校准可通过砝码校准的方式直接完成,简单,可操作性强。
附图说明
图1是本发明的微力测量装置的结构示意图;
图2是支架上的转轴支承结构的示意图;
图3是标定杆的结构示意图;
图4是本发明的测量原理图;
图5是本发明的微力测量装置的标定原理图;
图中标识:1-配重块,2-转轴,3-重力复摆,31-重力复摆的杆部,4-微距测量传感器,5-标定杆,51-标定杆的凹槽,6-底座,7-支架,71-转轴支承,8-电磁阻尼器,9-阻尼铜片。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的详细说明。
如图1所示的基于重力复摆的微力测量装置,结合图2,该测量装置包括:
水平放置的底座6、垂直于底座6并与其固定连接的支架7、重力复摆3、自重力复摆3的质心上方穿过复摆3且两端搭在支架7顶部的转轴支承71上的转轴2、两上下差分设置在支架7上用于测量重力复摆3水平摆动位移的微距测量传感器4、可沿重力复摆3顶端的杆部31作上下移动的配重块1、两分别对应设置在重力复摆3两侧摆面的底端的标定杆5、两设置在支架7上并位于重力复摆3的侧面且相对的电磁阻尼器8以及设置在两电磁阻尼器8之间并与重力复摆3的侧面固定连接的阻尼铜片9;
此外,测量装置还包括与标定杆5匹配的用于标定的砝码,标定杆5上设置有相间的凹槽51,用于放置所述砝码,如图3所示。
底座6的底部设置可调节螺钉,上表面设置水平面液泡,用作调节或辅助调节底座6的水平度。
一种基于重力复摆的微力测量方法,参照图4和图5,包括以下步骤:
a、将微力测量装置调平;
b、在标定杆5上放置砝码,待重力复摆3达到新的平衡位置时,测量重力复摆3的上差分位移Δx1和下差分位移Δx2,获得重力复摆3的偏转角度
θ=(Δx2-Δx1)/Δh (1)
其中,Δh为上下差分设置的两个微距测量传感器4的垂直距离;
c、计算砝码重力产生的力矩,由重力复摆3的重力力矩与砝码的重力力矩平衡关系,有
mcg(dcosθ-lc sinθ)≈mglsinθ=Kθ; (2)
其中,mc为砝码的质量,g为当地重力加速度,d为砝码的质心到重力复摆3的垂直距离,lc为砝码的质心向重力复摆3所引垂线与重力复摆3中轴线的交点到转轴2中心的距离,m为重力复摆3的质量,l为重力复摆3的重心到转轴2中心的距离,K为恢复系数;
d、在标定杆5上的不同凹槽51上放置不同质量的砝码,并重复步骤b和c,得到多组恢复系数K,取平均值后,作为最终的恢复系数K;
e、将标定用的砝码移除,给重力复摆3施加垂直于复摆3的稳定的持续微小推力F,重力复摆3摆开一个角度,稳定后,处于力矩平衡状态,测量上差分位移Δx1和下差分位移Δx2的值,获得复摆3的偏转角度θ;
因摆动角很小,在摆开角度并平衡后,视推力F依然与复摆3垂直;
由力矩平衡,得到推力F和重力复摆3的推力F作用点处水平位移之间的关系为:
Figure BDA0001725364520000051
其中,Δx为重力复摆3的推力F作用点处的移动距离,L为推力F在重力复摆3上的作用点到转轴2中心的距离,l′为配重块1的中心到转轴2中心的距离,M为配重块1的质量;
上下移动配重块1,调节距离l′,调节复摆3的重心,使l与L的比值为1/20~1/10;
当重力复摆3的摆动角度小于1度,有θ=Δx/L,从而
FL=(ml-Ml′)gθ=Kθ (4)
Figure BDA0001725364520000052
K为步骤d中标定获得的最终的恢复系数,由关系式(4),通过L、K和θ的值,即可求出微力F的大小。
本发明的原理在于:
采用竖直平面内转动的复摆,靠重力提供恢复力矩,通过测量物理摆在微推力作用下的摆动小角度来测量微推力,鉴于微力作用下物理摆的摆动也是微小量,通过差分电容测量摆杆微位移变化,将角度测量转换成线位移测量,通过测量摆在推力作用下的摆动位移来反算推力;
本发明使用公式(4)推出微力F,需满足复摆的摆动角度小于1度,Δx的值作为一个中间量,不需要测量;若使用公式(3)反推微力F,则需要使用测距仪测出Δx的值。
本实施例中,通过安装在重力复摆3下端的微力发生装置向重力复摆3施加稳定的垂直于复摆3的持续微推力F,其主要由线圈和磁钢构成;线圈通电后产生洛伦兹力,使重力复摆3摆动,该洛伦兹力即是微力装置要测的微小力。
微距测量传感器4与高分辨率数据采集卡相连,高分辨率数据采集卡可以提高测量得到的微距数据的精度,进而提高计算分析微力值的精度;
数据采集卡与计算机相连,微力发生装置推动重力复摆摆动一定角度,微距测量传感器4测量复摆摆动的水平位移,并传输至计算机,通过计算机上的监控系统采集重力复摆3的位移信号,在计算机中按照本发明的方法完成微力值的计算与分析,从而得出微力F的大小。
本实施例中的重力复摆3、标定杆5以及配重块1的总质量不超过10kg;重力复摆3的重心与转轴2中心的距离l为20mm,推力作用点与转轴2中心的距离L为200mm。
通过对影响微力精度的参数进行误差分析,可以得出微力精度达到微牛级时,恢复系数K的精度在10-3量级;
要使K达到10-3量级,mc的误差应在mg量级,而现有高精度电子秤精度可达到0.1mg;d误差不能超过μm量级,而现有测量仪器可以很容易达到1μm的测量精度;重力加速度g误差不超过10-3m/s2量级,相当于10-4g的精度,而现有加速度精度一般可以达到10-5g;lc误差不超过厘米级,该精度很容易达到;
θ误差大概为10-7rad量级即0.01″的量级,要使θ精度达到10-7rad,Δx1和Δx2误差为纳米级,本实施例选取差分电容测距传感器,其分辨率可以达到要求;h误差大概为μm量级,而现有测量仪器可以很容易达到1μm的测量精度。
应当指出的是,本发明的微力测量装置并不限于测量洛伦兹力,凡范围为微牛级的微力均可被本发明的微力测量装置测量。
还应当指出的是,以上所述仅是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下还可以做出若干改进,这些改进也应视为本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种基于重力复摆的超高精度微力测量装置,其特征在于,
包括:水平放置的底座(6)、垂直于底座(6)并与其固定连接的支架(7)、重力复摆(3)、穿过重力复摆(3)且两端搭在支架(7)顶部的转轴支承(71)上的转轴(2)、设置在支架(7)上用于测量重力复摆(3)水平摆动位移的微距测量传感器(4)、设置在重力复摆(3)底部的标定杆(5)和与标定杆(5)匹配的砝码;
转轴(2)穿过重力复摆(3)的位置位于重力复摆(3)的质心上方;
重力复摆(3)可绕转轴(2)摆动;
微距测量传感器(4)的数量为两个,其上下差分设置在支架(7)上、重力复摆(3)摆面的一侧,实现对重力复摆(3)的差分测量;
所述微力测量装置还包括:可沿重力复摆(3)顶端的杆部(31)作上下运动的配重块(1)。
2.根据权利要求1所述的基于重力复摆的超高精度微力测量装置,其特征在于,
所述微力测量装置还包括:两设置在支架(7)上、重力复摆(3)侧面且相对的电磁阻尼器(8)和设置在两电磁阻尼器(8)之间并与重力复摆(3)侧面固定连接的阻尼铜片(9)。
3.一种使用权利要求1或2所述基于重力复摆的超高精度微力测量装置的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
a、将微力测量装置调平;
b、在标定杆(5)上放置砝码,待重力复摆(3)达到新的平衡位置时,测量重力复摆(3)的上差分位移Δx1和下差分位移Δx2,获得重力复摆(3)的偏转角度
θ=(Δx2-Δx1)/Δh (1)
其中,Δh为上下差分设置的两个微距测量传感器(4)的垂直距离;
c、计算砝码重力产生的力矩,由重力复摆(3)的重力力矩与砝码的重力力矩平衡关系,有
mcg(dcosθ-lcsinθ)≈mglsinθ=Kθ; (2)
其中,mc为砝码的质量,g为当地重力加速度,d为砝码的质心到重力复摆(3)的垂直距离,lc为砝码的质心向重力复摆(3)所引垂线与重力复摆(3)中轴线的交点到转轴(2)中心的距离,m为重力复摆(3)的质量,l为重力复摆(3)的重心到转轴(2)中心的距离,K为恢复系数;
d、在标定杆(5)上的不同位置放置不同质量的砝码,并重复步骤b和c,得到多组恢复系数K,取平均值后,作为最终的恢复系数K;
e、将标定用的砝码移除,给重力复摆(3)施加垂直于复摆(3)的稳定的持续微推力F,重力复摆(3)摆开一个角度,稳定后,处于力矩平衡状态,测量上差分位移Δx1和下差分位移Δx2的值,获得复摆(3)的偏转角度θ;
推力F和重力复摆(3)的推力F作用点处的水平位移之间的关系为:
Figure FDA0002424969480000021
其中,Δx为重力复摆(3)的推力F作用点处的水平移动距离,L为推力F在重力复摆(3)上的作用点到转轴(2)中心的距离,l′为配重块(1)的中心到转轴(2)中心的距离,M为配重块(1)的质量;
上下移动配重块(1),调节距离l′,调节复摆(3)的重心,使l与L的比值为设定范围;
当重力复摆(3)的摆动角度θ小于设定角度时,有θ=Δx/L,从而
FL=(ml-Ml′)gθ=Kθ (4)
Figure FDA0002424969480000022
反算出微力F的值,K为步骤d中标定获得的最终的恢复系数。
4.根据权利要求3所述的基于重力复摆的超高精度微力测量装置的测量方法,其特征在于,
步骤e中,l与L的比值的设定范围为1/20~1/10。
5.根据权利要求3或4所述的基于重力复摆的超高精度微力测量装置的测量方法,其特征在于,
步骤e中,所述设定角度为1度。
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