CN108950502B - 一种面板成膜设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种面板成膜设备，涉及触控面板成型设备技术领域。该面板成膜设备包括腔室、位于腔室内的加热器和保护板，加热器设置于腔室的内壁与保护板之间，保护板上设置有挂条，挂条上设置有开口向下的凹槽，凹槽远离板体的侧壁上设置有插接孔；腔室的内壁设置有固定部，固定部能够穿过插接孔伸入凹槽内。该面板成膜设备中通过在挂条上设置凹槽，凹槽不仅可以增加与固定部的接触面积，从而提高固定部对保护板自由膨胀变形的限制能力，而且还可以提供足够的空间吸收保护板的变形，从而减小挂条主体部分的变形，防止挂条脱落导致保护板自由变形量过大，降低面板成膜设备的保养频率，从而降低保养成本。

Description

一种面板成膜设备
技术领域
本发明涉及触控面板成型设备技术领域，尤其涉及一种面板成膜设备。
背景技术
玻璃触控面板中掺锡氧化铟(IndiumTinOxide，ITO)电极一般使用立式磁控溅射面板成膜设备加工而成。成膜时，玻璃基板温度在250～350℃，磁控溅射面板成膜设备内的电阻式加热器的温度在500～650℃。为了保护加热器，同时保证玻璃基板温度均匀，磁控溅射面板成膜设备的腔室内在加热器前方一般会安装不锈钢材质的保护板。
随着磁控溅射面板成膜设备越做越大，加热器和保护板的尺寸也在不断变大。对于长期工作在500～650℃高温下的保护板，保护板会受热膨胀，从而导致保护板发生变形。当变形量超过一定值，就会造成保护板卡住玻璃基板台车，导致玻璃基板的划伤，甚至破片。为了解决这个问题，业界通常做法是通过增加玻璃基板台车与保护板的距离。但这种做法需要增大磁控溅射面板成膜设备的腔体大小，增加抽气泵，导致设备制作成本大幅增加。此外，台车与加热器的距离增大，加热器的传热效率就会降低，为了保证加热器足够的传热效率，只能提高加热器功率，从而导致设备用电成本的提高。
发明内容
本发明的目的在于提出一种面板成膜设备，该面板成膜设备中保护板变形小，降低保养频率及成本。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种面板成膜设备，包括腔室、位于所述腔室内的加热器和保护板，所述加热器设置于所述腔室的内壁与所述保护板之间，所述保护板上设置有挂条，所述挂条上设置有开口向下的凹槽，所述凹槽靠近所述加热器的侧壁上设置有插接孔；所述腔室的内壁设置有固定部，所述固定部能够穿过所述插接孔伸入所述凹槽内。
其中，所述插接孔向所述挂条的底部延伸形成缺口。
其中，所述挂条为长条型，所述挂条上沿长度方向设置有多个所述插接孔。
其中，所述保护板由不锈钢制成。
其中，所述保护板上设置有至少两个所述挂条，且至少两个所述挂条沿所述保护板的高度方向排列。
其中，所述固定部包括连接端和插接端，所述连接端与腔体的内壁连接，所述插接孔的横截面最大宽度大于所述连接端的横截面最大宽度，并小于所述插接端的横截面最大宽度。
其中，所述插接端的厚度d小于所述凹槽的宽度b。
其中，所述插接端的厚度d为1.5-2.5mm，所述凹槽的宽度b为6-8mm。
其中，所述凹槽的壁厚a为3-5mm。
其中，所述挂条的高度h为19-21mm。
有益效果：本发明提供了一种面板成膜设备。该面板成膜设备中保护板上设置有挂条，挂条设置有开口向下的凹槽，凹槽的侧壁上设置有插接孔，插接孔用于与固定部配合以将保护板固定在腔室内。通过在挂条上设置凹槽，凹槽不仅可以增加与固定部的接触面积，从而提高固定部对保护板自由膨胀变形的限制能力，而且还可以提供足够的空间吸收保护板的变形，从而减小挂条主体部分的变形，防止挂条脱落导致保护板自由变形量过大，降低面板成膜设备的保养频率，从而降低保养成本。
附图说明
图1是本发明提供的面板成膜设备的部分结构的剖视图；
图2是图1中A处的局部放大图；
图3是本发明实施例2提供的挂条的结构示意图；
图4是本发明实施例2提供的保护板的侧视图。
其中：
100、面板成膜设备；
1、腔室；2、加热器；3、保护板；31、挂条；311、插接孔；4、台车；51、连接端；52、插接端。
a、凹槽的壁厚；b、凹槽的宽度；d、插接端的厚度；h、挂条的高度。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
实施例1
本实施例提供了一种面板成膜设备，该面板成膜设备可以为立式磁控溅射面板成膜设备，可以用于为玻璃基板表面加工ITO电极。如图1所示，面板成膜设备100包括腔室1，腔室1内设置有加热器2和用于承载玻璃基板的台车4。成型ITO电极时，玻璃基板放置在台车4上，台车4可以在腔室1内滑动，加热器2设置于台车4的旁侧，并可以沿台车4的运行方向延伸。加热器2工作加热，使得腔室1内的温度升高，玻璃基板通过热传导升温，从而完成ITO电极的加工。为加快玻璃基板的温升速度，台车4与加热器2之间的距离可以为49-50mm。
为了保护加热器2，同时使玻璃基板加热更加均匀，加热器2和台车4之间还设置有保护板3，保护板3可以由不锈钢材料制成，不锈钢材料具有耐空气、耐蒸汽、水等弱腐蚀介质腐蚀的特性，可以提高保护板3的使用寿命。保护板3可以固定在腔室1的内壁上，保护板3可以起到保护加热器2和均热的效果。
保护板3与腔室1的内壁可以通过插销的方式固定。具体地，保护板3上可以设置有固定片，固定片上可以设置有缺口，使得固定片为U型结构，腔室1的内壁上设置有插销，插销插在固定片的缺口内，从而将保护板3固定。
本实施例中，通过固定片与插销的配合，可以将保护板3固定在腔室1的内壁上，且插销对保护板3具有一定的限制作用，可以限制保护板受热后的自由膨胀变形，从而避免保护板变形过大影响台车4的工作。
由于加热器2的温度一般位于500-650℃，腔室1内处于高温状态，保护板3长期位于高温状态下，很容易受热膨胀。当加热器2加热后，保护板3和插销会受热膨胀。以保护板3在500℃时为例，不锈钢保护板3的热膨胀系数为0.0115mm/℃，保护板3的变形大于5mm。此时，插销除本身受热发生变形外，还会受到保护板3变形拉力的影响，造成插销的永久性变形，甚至会导致保护板3与插销脱落。当插销脱落后，保护板3不再受插销的限制，将导致保护板3自由膨胀，变形过量，变形量超过一定值后，保护板3很容易卡住台车4，最终导致玻璃基板划伤，甚至破片。
实施例2
本实施例提供了一种面板成膜设备，其结构与实施例1中大致相同，与实施例1中不同的是，保护板3上设置有挂条31，挂条31与腔室1内壁上的固定部配合。
如图2和图3所示，保护板3上设置有挂条31，挂条31可以沿水平方向设置。挂条31上设置有底部开口的凹槽，凹槽远离保护板3一侧的侧壁上设置有插接孔311。对应地，腔室1的内壁上设置有的固定部，固定部能够穿过插接孔311伸入至凹槽内，从而将保护板3固定在腔室1的内壁上。通过在挂条31上设置凹槽，凹槽不仅可以增加与固定部的接触面积，从而提高固定部对保护板3自由膨胀变形的限制能力，而且还可以提供足够的空间吸收保护板3的变形，从而减小挂条31主体部分的变形，防止挂条31脱落导致保护板3自由变形量过大，降低卡住台车4、划伤玻璃基板的风险，有利于降低面板成膜设备100的保养频率，从而降低保养成本。此外，保护板3的自由膨胀变形量小，不需要增大台车4与加热器2之间的距离，不需额外增加抽气泵，加热器2的传热效率高，有利于降低面板成膜设备100的成本。
为避免固定部和挂条31受热膨胀后脱离，固定部可以包括连接端51和插接端52，连接端51与腔室1的内壁连接，插接部能够伸入到凹槽内，且插接孔311的横截面最大宽度大于连接部的横截面最大宽度，并小于插接端52的横截面最大宽度，使得插接端52伸入到凹槽内后，插接端52可以抵接在凹槽的侧壁上，避免固定部与凹槽脱离。
为了方便固定部插入凹槽内，如图3所示，插接孔311可以向挂条31的底部延伸形成缺口。在固定保护板3时，将挂条31由固定部的上方向下滑动，即可将固定部伸入到凹槽内。
如图4所示，为了提高保护板3的固定效果，保护板3可以沿高度方向设置有多个挂条31，每个挂条31沿长度方向可以分布有多个插接孔311，从而增加保护板3的固定点。
如图2和图4所示，凹槽的宽度b可以大于插接端52的厚度d，从而保证凹槽为保护板3和固定部提供足够的膨胀空间，避免固定部与挂条31脱离，以使固定部能够限制保护板3的膨胀，限制保护板3的变形。可选地，凹槽的宽度b可以为6-8mm，插接端52的厚度d可以为1.5-2.5mm。本实施例中，凹槽的宽度b为7mm，插接端52的厚度d为2mm。
挂条31和固定部受热膨胀后，相互制约，为避免挂条31受力变形，凹槽的壁厚a可以选取为3-5mm，以便增强挂条31的强度，避免因挂条31变形导致挂条31与固定部脱离。挂条31的高度h可以为19-21mm，以使插接孔311形成的缺口具有一定的深度，以提供固定部与插接孔311配合的稳定性。
为验证保护板3的变形情况，可以设定面板成膜设备100中加热器2的加热温度为500-550℃，玻璃基板温度达到400℃，台车4装载0.3mm的玻璃基板进行模拟生产。台车4承载玻璃件由大气环境进入真空环境进行40m的加热形成，循环10次后，未发现玻璃基板划伤或破片的情况。打开面板成膜设备100的腔室1，肉眼判断保护板3无明显变形。
以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (8)

1.一种面板成膜设备(100)，包括腔室(1)、位于所述腔室(1)内的加热器(2)和保护板(3)，所述加热器(2)设置于所述腔室(1)的内壁与所述保护板(3)之间，其特征在于，所述保护板(3)上设置有挂条(31)，所述挂条(31)上设置有开口向下的凹槽，所述凹槽靠近所述加热器(2)的侧壁上设置有插接孔(311)；所述腔室(1)的内壁设置有固定部，所述固定部能够穿过所述插接孔(311)伸入所述凹槽内；
所述插接孔(311)向所述挂条(31)的底部延伸形成缺口；
所述固定部包括连接端(51)和插接端(52)，所述连接端(51)与腔体的内壁连接，所述插接孔(311)的横截面最大宽度大于所述连接端(51)的横截面最大宽度，并小于所述插接端(52)的横截面最大宽度。
2.如权利要求1所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述挂条(31)为长条型，所述挂条(31)上沿长度方向设置有多个所述插接孔(311)。
3.如权利要求1所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述保护板(3)由不锈钢制成。
4.如权利要求1所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述保护板(3)上设置有至少两个所述挂条(31)，且至少两个所述挂条(31)沿所述保护板(3)的高度方向排列。
5.如权利要求1所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述插接端(52)的厚度d小于所述凹槽的宽度b。
6.如权利要求5所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述插接端(52)的厚度d为1.5-2.5mm，所述凹槽的宽度b为6-8mm。
7.如权利要求1所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述凹槽的壁厚a为3-5mm。
8.如权利要求1所述的面板成膜设备(100)，其特征在于，所述挂条(31)的高度h为19-21mm。
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