CN108950494A - 长条形钼靶材的制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种长条形钼靶材的制作方法，包括如下步骤：混料、冷等静压、烧结、热轧、退火、裁切、机加工，得到多条长条形钼靶。本发明的长条形钼靶材的制作方法采用提高坯料单重，一次热轧出一块大板，然后分割成多块长条形钼靶材，大大提高了生产效率，使得靶材与靶材之间的一致性较好，成品率高，节省原材料，保证了产品的质量。

Description

长条形钼靶材的制作方法
技术领域：
本发明涉及钼靶材加工技术领域，尤其涉及一种长条形钼靶材的制作方法。
背景技术：
第六代及6代以上平面显示器溅射机台用的平面型钼靶材，一般是分割型的长条靶材。单条规格如：2300*200*16mm，2260*195*10mm，2650*180*16mm，2650*210*16mm等等。每套靶材一般由8片、10片、12片或14片长条靶组成。好的靶材应具有“三个一致”的特点，即：靶材表面每一处组织结构必须一致；靶材厚度上各处的组织结构必须一致；不同靶材之间的同一处位置组织结构必须一致。
目前的生产工艺一般是单块单块的生产。这样有2个主要缺点：靶材与靶材之间的一致性较难保证；生产效率低，生产成本较高。
发明内容：
本发明针对现有技术中的缺陷，提供一种长条形钼靶材的制作方法，能够一次热轧出多块长条形钼靶材，加工效率高，各钼靶材的一致性好，产品性能优异。
本发明是通过如下技术方案实现的：
一种长条形钼靶材的制作方法，包括如下步骤：
a.混料：将所投钼粉装入混料机，进行30min-2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛；
b.冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料；
c.烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结，烧结温度1850-2000℃，保温10-30h，烧结后坯料厚度在50-150mm；
d.热轧：加热温度1300-1450℃，进行一火多道次热轧，道次变形率为15-25％，火次总变形率为30-55％，多道次轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留长、宽、厚度余量；
e.退火：在真空或氢气环境下加热，加热温度800-1000℃，保温2-6h；
f.裁切：将上述退火后的钼靶分割成多条长条形毛坯；
g.机加工：将上述钼靶送入加工中心内进行机加工。
为了防止烧结过程中坯料发生氧化，步骤c中，烧结过程中通氢气气氛，进行烧结。
在本发明一较佳实施例中，步骤c中，烧结温度为1900℃，保温时间为26h；步骤d中，加热温度为1400℃，道次变形率为23％，火次总变形率为46％。
本发明的有益效果是：本发明的长条形钼靶材的制作方法采用提高坯料单重，一次热轧出一块大板，然后分割成多块长条形钼靶材，大大提高了生产效率，使得靶材与靶材之间的一致性较好，成品率高，节省原材料，保证了产品的质量。
附图说明：
图1为本发明长条形毛坯的结构示意图；
图2为本发明的长条形钼靶材的金相图。
具体实施方式：
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
本工艺采用成倍提高坯料单重，一次热轧出一块大板，然后分割成多块长条形钼靶材。例如要生产A规格长条形钼靶，单独生产1片需要钼粉投料120kg。客户需要8片A规格长条形钼靶作为一套，同时上机使用。按照本工艺，由于分割时可以节省宽度上的余量，只需要投约7片钼靶所需钼粉7*120＝840kg，就可以生产出一套8片A规格长条形钼靶。
工序分为：
混料→冷等静压→烧结→热轧→退火→裁切→机加工→钎焊→包装。
混料：将所投钼粉一次性装入混料机，进行30min-2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛，去除钼粉生产或投料过程中可能混入的异物。
冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料。
烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结，通氢气气氛，烧结温度1850-2000℃，保温10-30h，烧结后坯料厚度在50-150mm。
热轧：加热温度1300-1450℃，由于其体积较大，需要进行一火多道次往复热轧，道次变形率15-25％之间，火次总变形率在30-55％，多火轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留合理长、宽、厚度余量。
退火：在真空或氢气环境下加热，加热温度800-1000℃，保温2-6h。
裁切：将上述退火后的钼靶分割成多条长条形毛坯，如图1所示，得到的长条形钼靶的显微结构如图2所示。
机加工：将上述钼靶送入加工中心内进行机加工。
针对客户要求，还需要对长条形钼靶作如下处理：
钎焊：对每个靶坯进行钎焊，与客户背板贴合。
包装：清洗后，真空包装、装箱。
实施例1：
混料：生产A规格长条形钼靶8片一套，同时上机使用，按照本工艺，由于分割时可以节省宽度上的余量，只需要投约常规7片钼靶所需钼粉。
将所投钼粉一次性装入混料机，进行1h的混料，使钼粉均匀一致，过筛，去除钼粉生产或投料过程中可能混入的异物；
冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料，坯料厚度约90mm；
烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结，通氢气气氛，烧结温度1900℃，保温20h；
热轧：加热温度1400℃，一火多道次热轧，道次变形率18％之间，火次总变形率在40％，多火轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留合理长、宽、厚度余量；
退火：在真空炉中加热，加热温度900℃，保温4h；
裁切：将大钼靶分割成多条长条形钼靶；
机加工：按图纸，对上述钼靶进行机加工。
实施例2：
混料：生产A规格长条形钼靶10片一套，同时上机使用，按照本工艺，由于分割时可以节省宽度上的余量，只需要投约常规8.5片钼靶所需钼粉。
将所投钼粉一次性装入混料机，进行2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛，去除钼粉生产或投料过程中可能混入的异物；
冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料，坯料厚度约110mm；
烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结，通氢气气氛，烧结温度1950℃，保温20h；
热轧：加热温度1430℃，一火多道次热轧，道次变形率20％之间，火次总变形率在50％，多火轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留合理长、宽、厚度余量；
退火：在真空炉中加热，加热温度900℃，保温4h；
裁切：将大钼靶分割成多条长条形钼靶；
机加工：按图纸，对上述钼靶进行机加工。
实施例3：
混料：生产A规格长条形钼靶12片一套，同时上机使用，按照本工艺，由于分割时可以节省宽度上的余量，只需要投约常规10片钼靶所需钼粉。
将所投钼粉一次性装入混料机，进行2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛，去除钼粉生产或投料过程中可能混入的异物；
冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料，坯料厚度约120mm；
烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结，通氢气气氛，烧结温度1950℃，保温24h；
热轧：加热温度1450℃，一火多道次热轧，道次变形率23％之间，火次总变形率在46％，多火轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留合理长、宽、厚度余量；
退火：在真空炉中加热，加热温度950℃，保温4h；
裁切：将大钼靶分割成多条长条形钼靶；
机加工：按图纸，对上述钼靶进行机加工。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
a.混料：将所投钼粉装入混料机，进行30min-2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛，去除钼粉中的异物；
b.冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料；
c.烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结；
d.热轧：多道次轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留长、宽、厚度余量；
e.退火：在真空或氢气环境下加热，加热温度800-1000℃，保温2-6h；
f.裁切：将上述退火后的钼靶分割成多条长条形毛坯；
g.机加工：将上述钼靶送入加工中心内进行机加工。
2.根据权利要求1所述的长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，步骤c中，烧结过程中通氢气气氛，进行烧结。
3.根据权利要求2所述的长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，步骤c中，烧结温度为1850-2000℃，保温时间为10-30h，烧结后坯料厚度在50-150mm。
4.根据权利要求3所述的长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，步骤d中，加热温度1300-1450℃，进行一火多道次热轧，道次变形率为15-25％，火次总变形率为30-55％。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114411103A (zh) * 2022-01-18 2022-04-29 宁波江丰钨钼材料有限公司 一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1218843A (zh) * 1997-11-27 1999-06-09 中南工业大学 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法
CN102392222A (zh) * 2011-11-01 2012-03-28 洛阳高新四丰电子材料有限公司 平板显示器的大型高纯钼平面靶材的生产工艺方法
CN103567445A (zh) * 2012-07-25 2014-02-12 宁波江丰电子材料有限公司 钼靶材的制作方法
CN104342619A (zh) * 2013-07-31 2015-02-11 宁波江丰电子材料股份有限公司 钼靶材的制作方法
WO2015151498A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 株式会社 東芝 スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット
CN105478772A (zh) * 2014-09-15 2016-04-13 安泰科技股份有限公司 一种钼平面靶材的制造方法
CN105568236A (zh) * 2016-03-14 2016-05-11 洛阳高新四丰电子材料有限公司 一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法
CN108034911A (zh) * 2017-12-05 2018-05-15 西部超导材料科技股份有限公司 叶片用高均匀tc11合金棒材的制备方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1218843A (zh) * 1997-11-27 1999-06-09 中南工业大学 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法
CN102392222A (zh) * 2011-11-01 2012-03-28 洛阳高新四丰电子材料有限公司 平板显示器的大型高纯钼平面靶材的生产工艺方法
CN103567445A (zh) * 2012-07-25 2014-02-12 宁波江丰电子材料有限公司 钼靶材的制作方法
CN104342619A (zh) * 2013-07-31 2015-02-11 宁波江丰电子材料股份有限公司 钼靶材的制作方法
WO2015151498A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 株式会社 東芝 スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット
CN105478772A (zh) * 2014-09-15 2016-04-13 安泰科技股份有限公司 一种钼平面靶材的制造方法
CN105568236A (zh) * 2016-03-14 2016-05-11 洛阳高新四丰电子材料有限公司 一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法
CN108034911A (zh) * 2017-12-05 2018-05-15 西部超导材料科技股份有限公司 叶片用高均匀tc11合金棒材的制备方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114411103A (zh) * 2022-01-18 2022-04-29 宁波江丰钨钼材料有限公司 一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用

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