CN108931610A - 探针设备、排气分析装置和修正方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供探针设备、排气分析装置和修正方法，即使烟道内流动的排气产生压力变动，也能实现准确的测定。探针设备对流经烟道的排气取样，包括：气体传感器，具有接触排气的传感器部；传感器支架，在内部保持所述气体传感器，且设置成贯通所述烟道的内外；排气导入空间，形成在向所述烟道内突出的所述传感器支架的顶端部内，收容所述气体传感器的所述传感器部并从所述烟道导入排气；气体通道，形成于所述传感器支架，从配置在所述烟道的外侧的所述传感器支架的基端部到达所述排气导入空间；压力传感器，测定所述气体通道或在所述烟道的外侧与所述气体通道连通的流路的压力；以及修正处理部，基于所述压力传感器的输出修正所述气体传感器的输出。

Description

探针设备、排气分析装置和修正方法

技术领域

本发明涉及探针设备和排气分析装置，该探针设备例如安装于发动机、锅炉、废弃物燃烧炉和工业用炉等燃烧装置的排气管，该排气分析装置基于来自探针设备的输出，对流经该排气管内的烟道的排气中所包含的预定成分进行分析。

背景技术

以往，作为检测并分析烟道内的排气中所包含的成分的排气分析装置，如专利文献1所示的那样，将探针设备直接插入并安装在烟道内，利用该探针设备对排气进行取样，并且分析该排气中的例如氮氧化物等预定成分。

如图5所示，该探针设备包括：传感器支架2A，设置成贯通烟道的内外；以及气体传感器1A，保持在所述传感器支架2A内。在所述传感器支架2A的顶端部形成有排气导入空间L1，该排气导入空间L1从烟道导入排气，并且将排气导入所述气体传感器1A的传感器部11A。

所述传感器支架2A由设置成包围所述气体传感器1A的基端侧的内侧管21A和在内侧管21A的外侧设置成同心圆状的外侧管23A构成。冷却空气从该内侧管21A的内部朝向所述内侧管21A的外侧面与所述外侧管23A的内侧面之间的空间流通，防止因流经所述烟道的排气的热量导致所述气体传感器1A发生故障。

此外，如图5和作为图5的B-B线断面图的图6所示，在所述内侧管21A和所述外侧管23A之间且流通有冷却空气的空间内，设置有两个细管P1、P2，并且使细管P1、P2分别与所述排气导入空间L1连通。更具体地说，在一个细管P1内形成有将校准气体导入所述排气导入空间L1的校准气体流路L2，在另一个细管P2内形成有将清除气体导入所述排气导入空间L1的清除气体流路L4。

但是，由于烟道内的排气因内燃机等的输出变化而产生压力变动，所以来自所述气体传感器的输出有时受到该压力变动的影响而变化。

此外，由于所述校准气体流路和所述清除气体流路连通于所述排气导入空间，所以在通常测定时，有时从烟道导入的高温排气的一部分流经所述校准气体流路和所述清除气体流路。此外，由于所述校准气体流路和所述清除气体流路的周围充满冷却空气，所以排气中的水分被冷却而产生水滴。由此，因排气中的硫化物或氮化物溶解于水滴而产生硫酸或硝酸，并且对形成校准气体流路或清除气体流路的细管造成侵害，有可能缩短探针设备的寿命。

专利文献1：日本专利公开公报特开2010-276550号

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供即使烟道内流动的排气产生压力变动也能够实现准确的测定的探针设备、排气分析装置和修正方法。

此外，本发明的目的在于提供一种探针设备，防止流经校准气体流路那样的与气体传感器连通的气体通道的排气中的水分液化，使形成校准气体流路的配管不会被酸侵害而实现长寿命化。

即，本发明的探针设备对流经烟道的排气进行取样，所述探针设备的特征在于，包括：气体传感器，具有接触排气的传感器部；传感器支架，在内部保持所述气体传感器，并且设置成贯通所述烟道的内外；气体通道，形成于所述传感器支架，从配置在所述烟道的外侧的所述传感器支架的基端部到达所述传感器部；压力传感器，测定所述气体通道的压力，或者测定在所述烟道的外侧与所述气体通道连通的流路的压力；以及修正处理部，基于所述压力传感器的输出，对所述气体传感器的输出进行修正。

按照这种结构，由于即使流经所述烟道的排气的压力变动，也与变动的压力对应，利用所述修正处理部对所述气体传感器的输出进行修正，所以能够得到消除了压力变动的影响的测定值。

因此，可以与例如作为排气的发生源的内燃机的工作状态等无关，实现排气的稳定分析。此外，由于能够消除来自气体传感器的压力变动的影响，所以不需要在例如作为排气发生源的内燃机等中进行校准用运转以便在保持为预定的压力的状态下进行校准，从而能够容易地得到更准确的测定值。

此外，由于所述压力传感器测定正在通过所述气体通道或通过之后的排气的压力，所以能够使与所述烟道中相比温度下降的排气接触所述压力传感器。因此，可以使所述压力传感器不容易发生故障。

作为所述气体通道的具体结构示例，可以列举所述气体通道构成校准气体流路和清除气体流路中的至少一方。

例如，作为原本的使用目的以外的通常测定时，高温排气的一部分也在所述气体通道中流通。因此，在保持于所述传感器支架内的所述气体传感器中，对于包含不耐高温的电气回路等的主体部，需要保护该主体部不受来自所述气体通道的热量的影响。以往，所述气体传感器的主体部在所述传感器支架内配置在导入有冷却介质的冷却空间内。

但是，如果所述气体通道接近所述冷却空间，则流经所述气体通道的排气中的水分被冷却而冷凝，排气中的氮氧化物和硫化物溶解而成为酸性液体，有可能腐蚀形成气体通道的金属配管等。为了防止所述气体通道中的水分冷凝来解决上述问题，优选的是，所述气体传感器还具有主体部，所述主体部被保持在所述传感器支架内的比所述传感器部更靠基端部侧，所述探针设备还包括冷却空间，所述冷却空间形成在所述传感器支架内，收容所述气体传感器的主体部并导入有冷却介质，在所述冷却空间和所述气体通道之间形成有隔热层。

为了利用流经所述烟道的排气的热量对在所述气体通道中流通的排气进行加热，进一步使排气中的水分不容易冷凝，优选的是，所述气体通道的至少一部分形成在朝向所述烟道内突出的所述传感器支架的顶端部内。

为了利用流经所述烟道的排气的热量对在所述气体通道中流通的排气进行加热而不容易发生水分的冷凝，并且使所述气体传感器不容易因流经所述烟道的排气或流经所述气体通道的排气而温度上升，优选的是，所述传感器支架具有至少由内侧管和外侧管构成的多重管结构，在所述内侧管的内部形成所述冷却空间，在所述内侧管和所述外侧管之间形成所述气体通道。

为了例如利用空气层而使所述冷却空间和所述气体通道之间不容易传热，使在所述气体通道中流通的排气不容易被所述冷却介质冷却，从而能够防止排气中的水分冷凝，优选的是，所述传感器支架在所述内侧管和所述外侧管之间还具有分隔管，由所述内侧管的外侧面和所述分隔管的内侧面之间的空间形成所述隔热层。

为了确保能够流通所述气体通道的气体的流量，并且利用所述气体通道遍布所述传感器支架的整周对流经所述烟道的排气的热量进行隔热，使所述气体传感器不容易成为高温，优选的是，在观察所述传感器支架的横断面时，所述气体通道形成为遍布整周地包围所述内侧管的外侧面。

为了防止流经所述烟道的排气中所包含的微小颗粒等接触所述气体传感器导致妨碍测定而设置过滤器时，为了能够自动检测出该过滤器捕集了预定量以上的颗粒而难以继续测定的情况，优选的是，所述探针设备还包括：排气导入空间，至少一部分形成在朝向所述烟道内突出的所述传感器支架的顶端部内，收容所述气体传感器的所述传感器部并从所述烟道导入排气；过滤器，将所述烟道和所述排气导入空间分隔；以及堵塞判定部，基于所述压力传感器的输出所示的测定压力值和预先确定的基准值，判定所述过滤器是否堵塞。

本发明的排气分析装置包括：本发明的探针设备；以及分析装置主体，基于来自所述气体传感器的输出，对流经所述烟道的排气进行分析。按照本发明的排气分析装置，可以得到消除了流经所述烟道的排气的压力变动影响的准确分析结果。此外，即使例如船舶的内燃机排出的排气的分析那样的难以长时间由专家进行维护或验证的用途中，也可以得到可信赖的测定值。

此外，本发明的修正方法是对探针设备的气体传感器的输出进行修正的方法，所述探针设备对流经烟道的排气进行取样，包括：所述气体传感器，具有接触排气的传感器部；以及传感器支架，在内部保持所述气体传感器，并且设置成贯通所述烟道的内外，所述修正方法的特征在于，基于压力传感器的输出，对所述气体传感器的输出进行修正，所述压力传感器设置于气体通道或者设置于在所述烟道的外侧与所述气体通道连通的流路，所述气体通道形成于所述传感器支架，从配置在所述烟道的外侧的所述传感器支架的基端部到达所述传感器部。特征在于，设置有对在所述烟道的外侧与所述气体通道连通的流路的压力进行测定的压力传感器，以及基于所述压力传感器的输出，对所述气体传感器的输出进行修正。

按照本发明的修正方法，即使流经所述烟道的排气产生压力变动，也能够使所述气体传感器的输出不会表现出压力变动的影响。此外，由于所述气体传感器接触所述气体通道中流动的排气，或者接触与所述气体通道连通的流路中流动的排气，所以不会直接接触高温的排气，能够防止因持续暴露在高温环境中而发生故障。

按照本发明的探针设备，由于即使流经烟道的排气产生压力变动，也基于气体通道或与该气体通道连通的流路上设置的压力传感器的测定值，对来自所述气体传感器的输出进行修正，所以能够始终保持预定的测定精度。此外，由于所述压力传感器未直接设置在所述烟道内，所以不容易因高温排气而发生故障，能够长时间利用可信赖的压力值来对气体传感器的输出进行修正。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式的探针设备和排气分析装置的示意图。

图2是表示同一实施方式的传感器支架内的详细结构的示意性纵断面图。

图3是表示同一实施方式的传感器支架内的详细结构的示意性横断面图。

图4是同一实施方式的探针设备的功能模块图。

图5是表示现有的探针设备的结构的示意性纵断面图。

图6是表示现有的探针设备的结构的示意性横断面图。

附图标记说明

200 排气分析装置

100 探针设备

1 气体传感器

11 传感器部

12 主体部

2 传感器支架

21 内侧管

22 分隔管

23 外侧管

L1 排气导入空间

L2 校准气体流路

L3 冷却空间

TB 隔热层

3 压力传感器

4 修正处理部

5 堵塞判定部

具体实施方式

参照各图，说明本发明一个实施方式的探针设备100和具有该探针设备100的排气分析装置200。

图1所示的探针设备100和排气分析装置200用于分析流经排气管EP内的烟道LE的排气中所含的预定成分等(例如NO_X、SO_X、CO₂和CO等)，该排气管EP例如与锅炉、燃气发动机和船舶用发动机等内燃机或外燃机连接。另外，由排气分析装置200得到的分析结果(例如预定成分的浓度)用于脱硝或脱硫的控制等。

具体地说，如图1所示，所述排气分析装置200包括：探针设备100，固定于排气管EP，其顶端部向烟道LE内突出设置，并且具备检测预定成分的气体传感器1；以及分析装置主体101，接收来自所述探针设备100的检测信号，连续且高速地分析排气中所含的预定成分。另外，该分析装置主体101具备计算机等运算处理装置和显示装置，由电缆连接探针设备100和分析装置主体101。

如图1所示，所述探针设备100对流经烟道LE的排气的一部分进行取样，并且检测该取样的排气中所包含的预定成分。如图1所示，该探针设备100包括：筒状的传感器支架2，设置成从侧面贯通圆筒状的排气管EP；以及气体传感器1，保持在所述传感器支架2的内部。此外，在所述传感器支架2内形成有：排气导入空间L1，使从所述烟道LE取样的排气接触所述气体传感器1；校准气体流路L2，用于向所述气体传感器1供给校准气体；以及冷却空间L3，利用冷却介质对所述气体传感器1的一部分进行冷却。此外，与所述校准气体流路L2连通设置的流路设置有压力传感器3，在所述校准气体流路L2和所述冷却空间L3之间设置有防止彼此之间传热的隔热层TB。

此外，该探针设备100具有运算处理部COM，该运算处理部COM基于所述气体传感器1和所述压力传感器3的输出进行预定的运算处理。在本实施方式中，运算处理部COM的功能利用所述分析装置主体101的运算能力来实现，但是例如也可以利用设置于所述气体传感器1或所述压力传感器3的微机的运算能力来实现运算处理部COM的功能。

接着，对所述探针设备100的各部分进行详细说明。

如图2和作为图2的A-A线断面图的图3所示，所述气体传感器1是大体圆筒状的部件，顶端侧配置在所述排气导入空间L1内，基端侧配置在所述冷却空间L3内。更具体地说，所述气体传感器1的顶端侧是接触排气的传感器部11，并且基端侧是收容电气回路等的主体部12，所述电气回路用于对所述传感器部11的输出进行信号处理。另外，如果以其他方式来描述所述传感器部11，则所述传感器部11是感应部，使所述气体传感器1的顶端侧与取样到所述传感器支架2内的排气接触，并与预定成分发生反应。当检测出预定成分时，借助电缆从该主体部12向所述分析装置主体101输出检测信号。

如图1所示，所述传感器支架2是大体圆筒状的部件，从形成所述烟道LE的排气管EP的侧面上设置的安装凸缘沿着排气管EP的半径方向插入。换句话说，所述传感器支架2设置成其轴向与排气流垂直。在本实施方式中，所述传感器支架2的顶端配置在所述烟道LE的轴中心附近。另外，在以下的说明中，所述传感器支架2的顶端部是指该传感器支架2中的插入所述烟道LE内的部分，所述传感器支架2的基端部是指配置在所述烟道LE的外侧的部分。

如图1所示，所述传感器支架2在顶端部内形成有所述排气导入空间L1，该顶端部以形成所述烟道LE的排气管EP为基准而配置在该烟道LE内。另外，在本实施方式中，整个所述排气导入空间L1形成在所述传感器支架2的顶端部内，但是也可以将所述排气导入空间L1的一部分形成在所述传感器支架2的顶端部内，并且将剩余部分形成于所述传感器支架2的基端部。

所述气体传感器1的所述传感器部11以配置在该排气导入空间L1内的状态固定。在所述传感器支架2的顶端形成有排气导入口，该排气导入口将排气从所述烟道LE导入所述排气导入空间L1，通过在该排气导入口设置过滤器F，从而将所述烟道LE与所述排气导入空间L1之间分隔。

此外，如图2和图3所示，在所述传感器支架2中，比所述排气导入空间L1更靠基端侧的部分形成多重管结构，该多重管结构将多个直径不同的管配置成同心圆状。如图3所示，所述多重管结构从内侧开始依次设置有内侧管21、分隔管22和外侧管23这三根管，以便从内侧朝向外侧形成所述冷却空间L3、所述隔热层TB和所述校准气体流路L2。即，如图3所示，从横断面观察时，在圆形的所述冷却空间L3的周围配置有环状(圆环状)的所述隔热层TB，并且从横断面观察时，在所述隔热层TB的外侧配置有环状的校准气体流路L2。

所述冷却空间L3形成在所述内侧管21的内部，是收容有所述气体传感器1的主体部12的圆筒状的空间。如图1所示，借助形成在所述内侧管21的基端附近侧面的冷却介质导入口24，向所述冷却空间L3的内部导入冷却介质。例如，可以借助所述冷却介质导入口24，使调整成低温的气体作为冷却介质在冷却空间L3内循环而保持预定的温度。

所述校准气体流路L2是形成在所述传感器支架2内的流路，并且是从配置在所述烟道LE的外侧的所述传感器支架2的基端部到达所述排气导入空间L1的气体通道。在本实施方式中，气体通道构成为向所述排气导入空间L1供给校准气体的校准气体流路L2。所述校准气体流路L2以如下方式构成：在所述传感器支架2内，除了所述排气导入空间L1附近以外，使校准气体沿着轴向在最外侧部分流动。更具体地说，所述校准气体流路L2是如下流路：在配置于所述烟道LE的外侧的所述传感器支架2的基端部处，从在所述外侧管23的侧面上开口的校准气体导入口25向所述排气导入空间L1供给校准气体。在本实施方式中，所述校准气体流路L2包括由双重管形成的流路和与所述排气导入空间L1连通的连通流路L21，该双重管由所述分隔管22和所述外侧管23构成。

如图1所示，零点气体供给源ZG和量程调整气体供给源SG分别借助所述校准气体导入口25连接于该校准气体流路L2。另外，零点气体供给源ZG和量程调整气体供给源SG分别设置有开关阀，可以控制向所述校准气体流路L2供给哪一方的气体或不供给各气体。零点气体是实质上不包含由所述气体传感器1检测出的预定成分的气体，该气体也用作清除气体，该清除气体用于清除存在于所述校准气体流路L2和所述排气导入空间L1内的气体。即，在本实施方式中，共用校准气体流路L2和清除气体流路，而不需要像以往那样将校准气体流路L2和清除气体流路分别设置在所述传感器支架2内。另外，量程调整气体用于量程校准，以预定浓度包含由所述气体传感器1检测出的预定成分。

如图2和图3所示，所述隔热层TB例如是空气层，形成在所述分隔管22的内周面和所述内侧管21的外周面之间。该隔热层TB可以防止在通常测定时有可能从所述排气导入空间L1流入所述校准气体流路L2的排气被所述冷却空间L3的冷却介质冷却。在此，隔热层TB可以定义为如下的层：与例如图5和图6所示的校准气体流路L2的配管与形成冷却空间L3的内侧管21接近的状态相比，热量不容易传递。此外，隔热层TB可以不是空气层，而是封入树脂等填充物来进一步防止热量传递。或者也可以使所述内侧管21和所述分隔管22之间由金属形成为实心，形成为至少比所述外侧管23厚的一根管。

运算处理部COM执行存储于存储器的探针设备用程序，通过使各种设备协同动作，至少实现作为修正处理部4和堵塞判定部5的功能。

所述修正处理部4基于所述压力传感器3的输出，对所述气体传感器1的输出进行修正。例如，预先利用实验等求出将压力作为参数的修正系数，该修正系数表示由所述气体传感器1检测出预定浓度的预定成分时的输出所示的值与排气的压力之间的关系，所述修正处理部4基于该修正系数和由所述压力传感器3测定的压力，对所述气体传感器1的输出进行修正。也就是说，即使流经所述烟道LE的排气产生压力变动，所述修正处理部4也能够换算成与预定成分的浓度对应的输出值。

所述堵塞判定部5基于所述压力传感器3的输出所示的测定压力值和预先确定的基准值，判定所述过滤器F是否堵塞。例如在过滤器F未堵塞的状态下，基于由所述压力传感器3测定的测定压力值来设定基准值。

按照如此构成的本实施方式的探针设备100和排气分析装置200，由于利用所述压力传感器3监测流经所述烟道LE的排气的压力变动，并且所述修正处理部4对压力变动进行修正，所以能够准确地得到消除了压力影响的排气的预定成分的浓度。

此外，在校准时，与流经所述烟道LE的排气的压力变动对应，流经所述校准气体流路L2的校准气体朝向所述烟道LE的排气发生变动，但是由于可以利用所述压力传感器3来测定校准时的压力，所以也能够对这种变动进行修正来对所述气体传感器1进行校准。即，由于压力传感器3设置在与校准气体流路L2连通且与零点气体供给源ZG和量程调整气体供给源SG连通的流路，所以不仅可以用于气体传感器1的测定值的压力修正，并且可以用于校准时的气体传感器1的输出的压力修正。

此外，通过由所述堵塞判定部5监测所述压力传感器3所示的测定压力值，可以监视所述过滤器F的堵塞状态，所以能够自动得到所述过滤器F的更换时期。例如，在使流经所述烟道LE的排气的状态大幅度变动的用途中，如果由使用期限等来设定更换时期，则有时所述过滤器F成为不适合测定的状态。另一方面，如果是所述探针设备100，则能够检测到所述过滤器F堵塞而使流经所述过滤器F之后的排气的压力下降的情况，所以能够在测定发生问题之前进行维护。

由于利用所述隔热层TB将所述校准气体流路L2与所述冷却空间L3之间分隔，所以即使在所述烟道LE中流动的高温排气从所述排气导入空间L1流入所述校准气体流路L2中，也不会将排气中所含的水分冷却至冷凝的程度。因此，可以防止排气中的氮氧化物和硫化物溶解于冷凝的水分而成为酸性液体从而腐蚀所述外侧管23或所述分隔管22。

此外，由于所述校准气体流路L2在所述传感器支架2中配置在最外周侧，并且其一部分配置在所述烟道LE内，所以能够在测定时利用流经所述烟道LE的高温排气，对从所述烟道LE向所述校准气体流路L2倒流的排气进行加热，从而不会发生水分的冷凝。另一方面，校准时在所述烟道LE内流动的排气的热量借助所述外侧管23传热，可以对校准气体进行加热。因此，不使用加热器等，就能够使校准气体接近实际测定时的温度而实现更准确的校准。

由于所述压力传感器3设置在与所述校准气体流路L2连通的流路，所以不会与流经所述烟道LE的高温的排气直接接触，从而能够防止因热量而发生故障。

此外，由于所述气体传感器1的主体部12配置在所述冷却空间L3内，所以即使一部分配置在所述烟道LE内，也能够防止因排气的高温而发生故障。

接着，对本发明的其他实施方式进行说明。

在所述实施方式中，所述压力传感器设置在与所述校准气体流路连通的流路，但是例如也可以将压力传感器设置于校准气体流路。

所述修正处理部基于所述压力传感器的测定压力值，将所述气体传感器的输出所示的值修正处理为计算机上的值，但是也可以对从所述主体部输出的输出信号自身进行修正处理。此外，气体传感器并不限定于进行与预定成分的浓度对应的输出，也可以是进行与其他物理参数对应的输出的传感器。

在所述实施方式中，共用校准气体流路和清除气体流路，但是也可以区分为用于各气体的专用流路。此外，设置有压力传感器的流路并不限定于用于将校准气体或清除气体向所述排气导入空间供给的流路。例如，可以另外设置与所述排气导入空间连通且在所述传感器支架内到达配置在所述烟道外侧的基端部的气体通道，从而使校准气体或清除气体不流经该气体通道。

在所述实施方式中，所述传感器支架具有由所述内侧管、所述分隔管和所述外侧管构成的三重管结构，但是也可以是例如由内侧管和外侧管构成的双重管结构。即，可以将所述内侧管的内侧作为气体传感器的冷却空间，将所述内侧管和所述外侧管之间作为校准气体流路。在这种情况下，只要使所述内侧管的厚度比所述外侧管厚而作为隔热层发挥功能即可。即使是这种结构，流经所述校准气体流路的高温的排气也不容易被导入所述冷却空间的冷却介质冷却，可以防止水分冷凝，从而可以防止生成硫酸等酸性液体。此外，传感器支架可以不是同轴的多重结构，例如也可以是内侧管相对于外侧管偏心。另外，作为气体通道的校准气体流路的横断面形状并不限定于环状，例如也可以在所述外侧管和所述内侧管之间封闭一部分，使气体通道的横断面形状形成为C形等部分环状。

此外，只要不违反本发明的宗旨，可以对实施方式进行各种变形和组合。

Claims (10)

1.一种探针设备，对流经烟道的排气进行取样，其特征在于，包括：

气体传感器，具有接触排气的传感器部；

传感器支架，在内部保持所述气体传感器，并且设置成贯通所述烟道的内外；

气体通道，形成于所述传感器支架，从配置在所述烟道的外侧的所述传感器支架的基端部到达所述传感器部；

压力传感器，测定所述气体通道的压力，或者测定在所述烟道的外侧与所述气体通道连通的流路的压力；以及

修正处理部，基于所述压力传感器的输出，对所述气体传感器的输出进行修正。

2.根据权利要求1所述的探针设备，其特征在于，所述气体通道构成校准气体流路和清除气体流路中的至少一方。

3.根据权利要求1所述的探针设备，其特征在于，

所述气体传感器还具有主体部，所述主体部被保持在所述传感器支架内的比所述传感器部更靠基端部侧，

所述探针设备还包括冷却空间，所述冷却空间形成在所述传感器支架内，收容所述气体传感器的主体部并导入有冷却介质，

在所述冷却空间和所述气体通道之间形成有隔热层。

4.根据权利要求1所述的探针设备，其特征在于，所述气体通道的至少一部分形成在朝向所述烟道内突出的所述传感器支架的顶端部内。

5.根据权利要求3所述的探针设备，其特征在于，

所述传感器支架具有至少由内侧管和外侧管构成的多重管结构，

在所述内侧管的内部形成所述冷却空间，

在所述内侧管和所述外侧管之间形成所述气体通道。

6.根据权利要求5所述的探针设备，其特征在于，

所述传感器支架在所述内侧管和所述外侧管之间还具有分隔管，

由所述内侧管的外侧面和所述分隔管的内侧面之间的空间形成所述隔热层。

7.根据权利要求5所述的探针设备，其特征在于，在观察所述传感器支架的横断面时，所述气体通道形成为遍布整周地包围所述内侧管的外侧面。

8.根据权利要求1所述的探针设备，其特征在于，还包括：

排气导入空间，至少一部分形成在朝向所述烟道内突出的所述传感器支架的顶端部内，收容所述气体传感器的所述传感器部并从所述烟道导入排气；

过滤器，将所述烟道和所述排气导入空间分隔；以及

堵塞判定部，基于所述压力传感器的输出所示的测定压力值和预先确定的基准值，判定所述过滤器是否堵塞。

9.一种排气分析装置，其特征在于，包括：

权利要求1所述的探针设备；以及

分析装置主体，基于来自所述气体传感器的输出，对流经所述烟道的排气进行分析。

10.一种修正方法，是对探针设备的气体传感器的输出进行修正的方法，所述探针设备对流经烟道的排气进行取样，包括：所述气体传感器，具有接触排气的传感器部；以及传感器支架，在内部保持所述气体传感器，并且设置成贯通所述烟道的内外，

所述修正方法的特征在于，

基于压力传感器的输出，对所述气体传感器的输出进行修正，所述压力传感器设置于气体通道或者设置于在所述烟道的外侧与所述气体通道连通的流路，所述气体通道形成于所述传感器支架，从配置在所述烟道的外侧的所述传感器支架的基端部到达所述传感器部。