CN108922848B - 一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及晶圆流片加工生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其可以降低安全隐患，提高硅晶柱切割过程中的稳定性，提高切割精度，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性；包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带、金刚石切割片、左限位板、右限位板、左滑板、右滑板、顶板、调节丝杠、带动电机、两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮、两组锁紧螺栓、上固定板、下固定板、左固定板、右固定板、螺纹管、螺纹杆、调节板和张紧轮，后侧板的中部的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆流片加工生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置。
背景技术
众所周知，晶圆是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，用于晶圆刻蚀设备的切割装置是一种对硅晶柱进行切割，以便于更好的加工获得硅片的辅助装置，其在晶圆流片加工生产的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆刻蚀设备的切割装置包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带和金刚石切割片，后侧板的底端与操作板的顶端后侧连接，并且四组支腿的顶端分别与操作板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机安装在后侧板的后端右侧中部，并且切割电机的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板的后端穿过后侧板的内部并伸出至后侧板的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；现有的用于晶圆刻蚀设备的切割装置使用时，首先将待切割的硅晶柱放置在操作板上，然后将切割电机与外部电源接通，打开切割电机，通过切割电机的转动，带动皮带主动轮的转动，通过传动皮带的传动，带动金刚石切割片转动，然后人工拿住待切割的硅晶柱，向上移动，使用旋转的金刚石切割片对其进行切割即可；现有的用于晶圆刻蚀设备的切割装置使用中发现，人工手拿硅晶柱向上切割，存在安全隐患，同时由于人手的稳定性较差，切割精度较低，且由于金刚石切割片的切割直径较小，在硅晶柱向上移动过程中，不能将硅晶柱一次性切割，导致切割效果较差，使用局限性较高；并且传动皮带在长时间使用过程中，受外界因素容易发生松弛，导致传动效果较差，使用可靠性较低。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种降低安全隐患，提高硅晶柱在上升移动切割过程中的稳定性，提高切割精度，解决因金刚石切割片切割直径较小不能将硅晶柱一次性切割的问题，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性的用于晶圆刻蚀设备的切割装置。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带和金刚石切割片，后侧板的底端与操作板的顶端后侧连接，并且四组支腿的顶端分别与操作板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机安装在后侧板的后端右侧中部，并且切割电机的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板的后端穿过后侧板的内部并伸出至后侧板的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；包括左限位板、右限位板、左滑板、右滑板、顶板、调节丝杠、带动电机、两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓，所述左限位板和右限位板的底端分别与所述操作板顶端左侧区域的左侧和右侧连接，并且左限位板的右端纵向设置有左限位滑槽，右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽，所述左滑板的左端与所述左限位板的右端可滑动接触，并且所述左滑板包括左上滑板和左下滑板，所述左下滑板的左端设置有左限位滑块，左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部，所述右滑板的右端与所述右限位板的左端可滑动接触，并且所述右滑板的右端设置有右限位滑块，右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部，所述顶板的左端与左滑板的右端下侧连接，顶板的右端与右滑板的左端下侧连接，所述左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置，并且所述左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔，并且所述左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔，所述两组锁紧螺栓的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部，所述两组左上导轮分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧，并且所述两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧，所述两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧，并且所述两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧，所述带动电机的底端安装在顶板的顶端中部，并且带动电机的前部输出端设置有带动胶轮，所述操作板的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔，并且所述螺纹通孔位于左限位板和右限位板的中部，所述调节丝杠的顶端自操作板的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板的顶端外界与所述顶板的底端中部接触，调节丝杠的底端同心设置有第一手轮；还包括上固定板、下固定板、左固定板、右固定板、螺纹管、螺纹杆、调节板和张紧轮，所述后侧板的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽，并且所述调节板后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块，所述两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部，并且所述下固定板的底端与所述后侧板的顶端中部连接，所述左固定板和右固定板的底端分别与所述下固定板顶端的左侧和右侧连接，并且左固定板和右固定板的顶端分别与所述上固定板底端的左侧和右侧连接，所述上固定板和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述螺纹管的底端自上固定板的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界，上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管圆周外壁的上侧和下侧固定连接，所述螺纹杆的顶端插入并螺装至螺纹管的底端内部，并且螺纹杆的底端与所述调节板的顶端中部连接，螺纹管的顶端同心连接设置有第二手轮，所述张紧轮的后端设置有张紧轴，并且调节板的前端中部设置有右固定槽，并且右固定槽内部设置有右滚珠轴承，所述张紧轴的后端插入并固定安装至右滚珠轴承内部，所述张紧轮的顶端与所述传动皮带的内圈上侧可滚动接触。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括安装螺杆和旋转盘，所述支撑轴的前端同心设置有安装轴，并且所述安装轴的直径小于所述支撑轴的直径，安装轴的前端设置有安装螺纹孔，并且所述金刚石切割片套设在所述安装轴上，并且所述旋转盘的后端与所述安装螺杆的前端同心连接，旋转盘后端的上侧、下侧、左侧和右侧均设置有防滑胶块，并且所述安装螺杆的后端插入并螺装至安装螺纹孔的前端内部，并且所述四组防滑胶块的后端均与所述金刚石切割片的前端锁紧接触。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，所述旋转盘的前端内接于圆设置有内六角固定槽。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括左锁紧板、右锁紧板、左锁紧螺栓和右锁紧螺栓，所述左锁紧板的右端与所述调节板的左端连接，并且所述右锁紧板的左端与调节板的右端连接，左锁紧板和右锁紧板的后端均与所述后侧板的前端可滑动接触，并且所述左锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的左条形通槽，并且所述右锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的右条形通槽，所述后侧板的前端的左侧和右侧分别对应设置有左锁紧螺纹通孔和右锁紧螺纹通孔，所述左锁紧螺栓的后端穿过左条形通槽内部插入并螺装至左锁紧螺纹通孔内部，并且右锁紧螺栓的后端穿过右条形通槽内部插入并螺装至右锁紧螺纹通孔内部。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，所述两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的外部均设置有橡胶皮套。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，所述左滑板左端的左限位滑块设置为两组，并且两组左限位滑块的右端分别与所述左滑板左端的前侧和后侧连接，并且所述左限位板右端的左限位滑槽对应设置为两组，所述两组左限位滑槽分别设置在左限位板右端的前侧和后侧，两组左限位滑块分别可滑动设置在两组左限位滑槽内部，并且所述右滑板右端的右限位滑块设置为两组，并且两组右限位滑块的左端分别与所述右滑板右端的前侧和后侧连接，并且所述右限位板左端的左限位滑槽对应设置为两组，所述两组右限位滑槽分别设置在右限位板左端的前侧和后侧，两组右限位滑块分别可滑动设置在两组右限位滑槽内部。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括调节轴、加强圈、四组加长杆、调节盘和四组插杆，所述四组支腿的内侧横向固定设置有支撑板，并且所述支撑板的顶端左侧设置有辅助槽，辅助槽内部设置有辅助滚珠轴承，所述调节轴的底端插入并固定安装至辅助滚珠轴承内部，所述调节盘的底端与所述调节轴的顶端同心连接，并且所述四组插杆的底端分别与所述调节盘顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组插杆的顶端分别纵向穿过所述第一手轮底端内部并伸出至第一手轮的顶端外界，所述加强圈固定套装在所述调节轴的外部，并且所述四组加长杆的内端均布圆周连接设置在所述加强圈的圆周外侧壁上。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括四组防滑套，所述四组防滑套分别固定套装在所述四组加长杆的外端外部。
与现有技术相比本发明的有益效果为：可以通过向上拧松两组锁紧螺栓，使左上滑板和左下滑板在两组铰链的作用下可以向左翻转，从而使两组左上导轮可以向左翻转，从而方便将待切割的硅晶柱放置在两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮内部，然后通过向右翻转左上滑板，使左上滑板回复至原始位置，并通过分别向下旋转两组锁紧螺栓，使左上滑板和左下滑板之间纵向固定，从而可以通过左滑板和右滑板内部的两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮对被切割的硅晶柱进行稳定夹紧，并且可以通过左限位板和右限位板对左滑板和右滑板进行限位支撑，并且通过左限位滑块在左限位滑槽内部的滑动配合，同时通过右限位滑块在右限位滑槽内部的滑动配合，使左滑板和右滑板可以进行上下移动调节，并且可以通过顶板对左滑板和右滑板的连接，同时通过调节丝杠与螺纹通孔之间的螺装配合，通过旋转第一手轮，带动调节丝杠进行转动，从而推动顶板向上移动，从而可以推动被切割的硅晶柱向上在左限位滑槽和右限位滑槽的限位下沿着左限位滑槽和右限位滑槽的方向向上稳定移动，无需操作人员直接拿住硅晶柱向上移动切割，降低安全隐患，并且通过左限位滑槽和右限位滑槽与两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的配合，提高硅晶柱在上升移动切割过程中的稳定性，提高切割精度，可以通过带动电机的转动，使带动胶轮进行转动，并且通过两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的转动支撑下，使硅晶柱可以在左滑板和右滑板内部稳定的旋转，通过设定带动电机和切割电机的相反的转动方向，使硅晶柱与金刚石切割片转向相同，在通过向上旋转调节丝杠至合适的切割深度后，通过硅晶柱的旋转，使硅晶柱在旋转过程中进行切割，通过圆周切割的方式解决因金刚石切割片切割直径较小不能将硅晶柱一次性切割的问题，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可以通过两组燕尾滑块与两组燕尾滑槽之间的滑动配合，使调节板可以沿着两组燕尾滑槽的方向纵向移动调节，通过旋转第二手轮，使螺纹管分别在上滚珠轴承和下滚珠轴承内部转动，通过螺纹管与螺纹杆之间的螺装配合，使螺纹杆可以向螺纹管内部旋进，从而带动调节板向上移动，通过张紧轴底端与传动皮带内圈的可转动配合，使向上移动的张紧轴将传动皮带向上拉紧，从而可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明A处的局部放大结构示意图；
图3是本发明B处的局部放大结构示意图；
图4是本发明安装螺杆、旋转盘和金刚石切割片连接的左视的结构示意图；
图5是本发明调节盘、四组插杆和第一手轮连接立体结构示意图；
图6是本发明切割电机和后侧板连接的右视结构示意图；
附图中标记：1、操作板；2、支腿；3、后侧板；4、切割电机；5、传动皮带；6、金刚石切割片；7、左限位板；8、左滑板；9、顶板；10、调节丝杠；11、带动电机；12、左下导轮；13、锁紧螺栓；14、第一手轮；15、上固定板；16、左固定板；17、螺纹管；18、螺纹杆；19、调节板；20、张紧轮；21、安装螺杆；22、旋转盘；23、内六角固定槽；24、左锁紧板；25、左锁紧螺栓；26、橡胶皮套；27、调节轴；28、加强圈；29、加长杆；30、调节盘；31、插杆；32、防滑套。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图6所示，本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，包括操作板1、四组支腿2、后侧板3、切割电机4、传动皮带5和金刚石切割片6，后侧板的底端与操作板的顶端后侧连接，并且四组支腿的顶端分别与操作板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机安装在后侧板的后端右侧中部，并且切割电机的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板的后端穿过后侧板的内部并伸出至后侧板的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；包括左限位板7、右限位板、左滑板8、右滑板、顶板9、调节丝杠10、带动电机11、两组左上导轮、两组左下导轮12、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓13，左限位板和右限位板的底端分别与操作板顶端左侧区域的左侧和右侧连接，并且左限位板的右端纵向设置有左限位滑槽，右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽，左滑板的左端与左限位板的右端可滑动接触，并且左滑板包括左上滑板和左下滑板，左下滑板的左端设置有左限位滑块，左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部，右滑板的右端与右限位板的左端可滑动接触，并且右滑板的右端设置有右限位滑块，右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部，顶板的左端与左滑板的右端下侧连接，顶板的右端与右滑板的左端下侧连接，左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置，并且左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔，并且左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔，两组锁紧螺栓的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部，两组左上导轮分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧，并且两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧，两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧，并且两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧，带动电机的底端安装在顶板的顶端中部，并且带动电机的前部输出端设置有带动胶轮，操作板的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔，并且螺纹通孔位于左限位板和右限位板的中部，调节丝杠的顶端自操作板的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板的顶端外界与顶板的底端中部接触，调节丝杠的底端同心设置有第一手轮14；还包括上固定板15、下固定板、左固定板16、右固定板、螺纹管17、螺纹杆18、调节板19和张紧轮20，后侧板的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽，并且调节板后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块，两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部，并且下固定板的底端与后侧板的顶端中部连接，左固定板和右固定板的底端分别与下固定板顶端的左侧和右侧连接，并且左固定板和右固定板的顶端分别与上固定板底端的左侧和右侧连接，上固定板和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，螺纹管的底端自上固定板的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界，上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管圆周外壁的上侧和下侧固定连接，螺纹杆的顶端插入并螺装至螺纹管的底端内部，并且螺纹杆的底端与调节板的顶端中部连接，螺纹管的顶端同心连接设置有第二手轮，张紧轮的后端设置有张紧轴，并且调节板的前端中部设置有右固定槽，并且右固定槽内部设置有右滚珠轴承，张紧轴的后端插入并固定安装至右滚珠轴承内部，张紧轮的顶端与传动皮带的内圈上侧可滚动接触；可以通过向上拧松两组锁紧螺栓，使左上滑板和左下滑板在两组铰链的作用下可以向左翻转，从而使两组左上导轮可以向左翻转，从而方便将待切割的硅晶柱放置在两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮内部，然后通过向右翻转左上滑板，使左上滑板回复至原始位置，并通过分别向下旋转两组锁紧螺栓，使左上滑板和左下滑板之间纵向固定，从而可以通过左滑板和右滑板内部的两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮对被切割的硅晶柱进行稳定夹紧，并且可以通过左限位板和右限位板对左滑板和右滑板进行限位支撑，并且通过左限位滑块在左限位滑槽内部的滑动配合，同时通过右限位滑块在右限位滑槽内部的滑动配合，使左滑板和右滑板可以进行上下移动调节，并且可以通过顶板对左滑板和右滑板的连接，同时通过调节丝杠与螺纹通孔之间的螺装配合，通过旋转第一手轮，带动调节丝杠进行转动，从而推动顶板向上移动，从而可以推动被切割的硅晶柱向上在左限位滑槽和右限位滑槽的限位下沿着左限位滑槽和右限位滑槽的方向向上稳定移动，无需操作人员直接拿住硅晶柱向上移动切割，降低安全隐患，并且通过左限位滑槽和右限位滑槽与两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的配合，提高硅晶柱在上升移动切割过程中的稳定性，提高切割精度，可以通过带动电机的转动，使带动胶轮进行转动，并且通过两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的转动支撑下，使硅晶柱可以在左滑板和右滑板内部稳定的旋转，通过设定带动电机和切割电机的相反的转动方向，使硅晶柱与金刚石切割片转向相同，在通过向上旋转调节丝杠至合适的切割深度后，通过硅晶柱的旋转，使硅晶柱在旋转过程中进行切割，通过圆周切割的方式解决因金刚石切割片切割直径较小不能将硅晶柱一次性切割的问题，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可以通过两组燕尾滑块与两组燕尾滑槽之间的滑动配合，使调节板可以沿着两组燕尾滑槽的方向纵向移动调节，通过旋转第二手轮，使螺纹管分别在上滚珠轴承和下滚珠轴承内部转动，通过螺纹管与螺纹杆之间的螺装配合，使螺纹杆可以向螺纹管内部旋进，从而带动调节板向上移动，通过张紧轴底端与传动皮带内圈的可转动配合，使向上移动的张紧轴将传动皮带向上拉紧，从而可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括安装螺杆21和旋转盘22，支撑轴的前端同心设置有安装轴，并且安装轴的直径小于支撑轴的直径，安装轴的前端设置有安装螺纹孔，并且金刚石切割片套设在安装轴上，并且旋转盘的后端与安装螺杆的前端同心连接，旋转盘后端的上侧、下侧、左侧和右侧均设置有防滑胶块，并且安装螺杆的后端插入并螺装至安装螺纹孔的前端内部，并且四组防滑胶块的后端均与金刚石切割片的前端锁紧接触；可以通过安装螺杆在安装轴上的安装螺纹孔之间的螺装配合，使安装螺杆方便拆卸，从而可以使金刚石切割片可以进行拆卸更换，提高使用性，并且可以通过旋转盘后端的四组防滑胶块防止安装后的金刚石切割片与支撑轴发生相对滑动，提高金刚石切割片转动切割过程中的使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，旋转盘的前端内接于圆设置有内六角固定槽23；可以通过内六角固定槽设置，方便操作人员使用内六角扳手对旋转盘进行旋转操作，节省人力，降低使用局限性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括左锁紧板24、右锁紧板、左锁紧螺栓25和右锁紧螺栓，左锁紧板的右端与调节板的左端连接，并且右锁紧板的左端与调节板的右端连接，左锁紧板和右锁紧板的后端均与后侧板的前端可滑动接触，并且左锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的左条形通槽，并且右锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的右条形通槽，后侧板的前端的左侧和右侧分别对应设置有左锁紧螺纹通孔和右锁紧螺纹通孔，左锁紧螺栓的后端穿过左条形通槽内部插入并螺装至左锁紧螺纹通孔内部，并且右锁紧螺栓的后端穿过右条形通槽内部插入并螺装至右锁紧螺纹通孔内部；可以通过左锁紧板和右锁紧板上的左条形通槽和右条形通槽方便调节板向上移动调节，并且可以通过分别向后旋转左锁紧螺栓和右锁紧螺栓，使左锁紧板和右锁紧板的后端分别与后侧板前端的左侧和右侧锁紧接触，从而可以使调节板调节后的位置锁紧固定，从而对张紧轮的位置进行锁紧固定，防止因第二手轮受外力旋转造成张紧轮的位置移动，提高张紧轮对传动皮带张紧调节的使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的外部均设置有橡胶皮套26；可以通过橡胶皮套减少两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮对硅晶柱的磨损，提高对硅晶柱的保护。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，左滑板左端的左限位滑块设置为两组，并且两组左限位滑块的右端分别与左滑板左端的前侧和后侧连接，并且左限位板右端的左限位滑槽对应设置为两组，两组左限位滑槽分别设置在左限位板右端的前侧和后侧，两组左限位滑块分别可滑动设置在两组左限位滑槽内部，并且右滑板右端的右限位滑块设置为两组，并且两组右限位滑块的左端分别与右滑板右端的前侧和后侧连接，并且右限位板左端的左限位滑槽对应设置为两组，两组右限位滑槽分别设置在右限位板左端的前侧和后侧，两组右限位滑块分别可滑动设置在两组右限位滑槽内部；可以通过两组左限位滑块和两组右限位滑块的设置，提高左滑板和右滑板在上升过程中的稳定性，减少晃动，从而可以提高对硅晶柱进行切割深度调节的精准度，提高使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括调节轴27、加强圈28、四组加长杆29、调节盘30和四组插杆31，四组支腿的内侧横向固定设置有支撑板，并且支撑板的顶端左侧设置有辅助槽，辅助槽内部设置有辅助滚珠轴承，调节轴的底端插入并固定安装至辅助滚珠轴承内部，调节盘的底端与调节轴的顶端同心连接，并且四组插杆的底端分别与调节盘顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组插杆的顶端分别纵向穿过第一手轮底端内部并伸出至第一手轮的顶端外界，加强圈固定套装在调节轴的外部，并且四组加长杆的内端均布圆周连接设置在加强圈的圆周外侧壁上；可以通过四组加长杆的增强旋转调节轴的旋转力臂，根据杠杆原理，从而可以在旋转调节轴的过程中节省操作人员的人力，通过下滚珠轴承方便调节轴的旋转，并且可以通过四组插杆分别插进至第一手轮内部的设置，从而可以通过转动调节轴，可以带动第一手轮进行转动，从而可以通过使用四组加长杆，节省旋转调节第一手轮的人力，操作简单，提高实用性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括四组防滑套32，四组防滑套分别固定套装在四组加长杆的外端外部；可以通过四组防滑套可以提高操作人员人手对四组加长杆使用过程中的摩擦力，防止打滑，提高实用性。
本发明的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其在工作时，首先通过向上拧松两组锁紧螺栓，使左上滑板和左下滑板在两组铰链的作用下向左翻转，使两组左上导轮向左翻转，将待切割的硅晶柱放置在两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮内部，然后通过向右翻转左上滑板，使左上滑板回复至原始位置，并通过分别向下旋转两组锁紧螺栓，使左上滑板和左下滑板之间纵向固定，通过左滑板和右滑板内部的两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮对被切割的硅晶柱进行稳定夹紧，并且通过左限位板和右限位板对左滑板和右滑板进行限位支撑，并且通过左限位滑块在左限位滑槽内部的滑动配合，同时通过右限位滑块在右限位滑槽内部的滑动配合，使左滑板和右滑板进行上下移动调节，并且通过顶板对左滑板和右滑板的连接，同时通过调节丝杠与螺纹通孔之间的螺装配合，通过四组加长杆的增强旋转调节轴的旋转力臂，根据杠杆原理，在旋转调节轴的过程中节省操作人员的人力，通过下滚珠轴承调节轴的旋转，并且通过四组插杆分别插进至第一手轮内部的设置，通过转动调节轴，带动第一手轮进行转动，通过使用四组加长杆，节省旋转调节第一手轮的人力，通过四组防滑套提高操作人员人手对四组加长杆使用过程中的摩擦力，防止打滑，通过旋转第一手轮，带动调节丝杠进行转动，推动顶板向上移动，推动被切割的硅晶柱向上在左限位滑槽和右限位滑槽的限位下沿着左限位滑槽和右限位滑槽的方向向上稳定移动，通过两组左限位滑块和两组右限位滑块的设置，提高左滑板和右滑板在上升过程中的稳定性，减少晃动，提高对硅晶柱进行切割深度调节的精准度，并且通过左限位滑槽和右限位滑槽与两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的配合，通过带动电机的转动，使带动胶轮进行转动，并且通过两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的转动支撑下，使硅晶柱在左滑板和右滑板内部稳定的旋转，通过设定带动电机和切割电机的相反的转动方向，使硅晶柱与金刚石切割片转向相同，在通过向上旋转调节丝杠至合适的切割深度后，通过硅晶柱的旋转，使硅晶柱在旋转过程中进行切割，通过橡胶皮套减少两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮对硅晶柱的磨损，传动皮带在长时间使用过程中，通过两组燕尾滑块与两组燕尾滑槽之间的滑动配合，使调节板沿着两组燕尾滑槽的方向纵向移动调节，通过旋转第二手轮，使螺纹管分别在上滚珠轴承和下滚珠轴承内部转动，通过螺纹管与螺纹杆之间的螺装配合，使螺纹杆向螺纹管内部旋进，带动调节板向上移动，通过张紧轮底端与传动皮带内圈的可转动配合，使向上移动的张紧轴将传动皮带向上拉紧，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，通过左锁紧板和右锁紧板上的左条形通槽和右条形通槽调节板向上移动调节，并且通过分别向后旋转左锁紧螺栓和右锁紧螺栓，使左锁紧板和右锁紧板的后端分别与后侧板前端的左侧和右侧锁紧接触，使调节板调节后的位置锁紧固定，对张紧轮的位置进行锁紧固定，防止因第二手轮受外力旋转造成张紧轮的位置移动即可。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，包括操作板(1)、四组支腿(2)、后侧板(3)、切割电机(4)、传动皮带(5)和金刚石切割片(6)，后侧板(3)的底端与操作板(1)的顶端后侧连接，并且四组支腿(2)的顶端分别与操作板(1)底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机(4)安装在后侧板(3)的后端右侧中部，并且切割电机(4)的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板(3)的后端穿过后侧板(3)的内部并伸出至后侧板(3)的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板(3)的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片(6)的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带(5)分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；其特征在于，包括左限位板(7)、右限位板、左滑板(8)、右滑板、顶板(9)、调节丝杠(10)、带动电机(11)、两组左上导轮(12)、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓(13)，所述左限位板(7)和右限位板的底端分别与所述操作板(1)顶端左侧区域的左侧和右侧连接，并且左限位板(7)的右端纵向设置有左限位滑槽，右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽，所述左滑板(8)的左端与所述左限位板(7)的右端可滑动接触，并且所述左滑板(8)包括左上滑板和左下滑板，所述左下滑板的左端设置有左限位滑块，左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部，所述右滑板的右端与所述右限位板的左端可滑动接触，并且所述右滑板的右端设置有右限位滑块，右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部，所述顶板(9)的左端与左滑板(8)的右端下侧连接，顶板(9)的右端与右滑板的左端下侧连接，所述左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置，并且所述左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔，并且所述左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔，所述两组锁紧螺栓(13)的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部，所述两组左上导轮(12)分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧，并且所述两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧，所述两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧，并且所述两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧，所述带动电机(11)的底端安装在顶板(9)的顶端中部，并且带动电机(11)的前部输出端设置有带动胶轮，所述操作板(1)的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔，并且所述螺纹通孔位于左限位板(7)和右限位板的中部，所述调节丝杠(10)的顶端自操作板(1)的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板(1)的顶端外界与所述顶板(9)的底端中部接触，调节丝杠(10)的底端同心设置有第一手轮(14)；还包括上固定板(15)、下固定板、左固定板(16)、右固定板、螺纹管(17)、螺纹杆(18)、调节板(19)和张紧轮(20)，所述后侧板(3)的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽，并且所述调节板(19)后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块，两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部，并且所述下固定板的底端与所述后侧板(3)的顶端中部连接，所述左固定板(16)和右固定板的底端分别与所述下固定板顶端的左侧和右侧连接，并且左固定板(16)和右固定板的顶端分别与所述上固定板(15)底端的左侧和右侧连接，所述上固定板(15)和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述螺纹管(17)的底端自上固定板(15)的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界，上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管(17)圆周外壁的上侧和下侧固定连接，所述螺纹杆(18)的顶端插入并螺装至螺纹管(17)的底端内部，并且螺纹杆(18)的底端与所述调节板(19)的顶端中部连接，螺纹管(17)的顶端同心连接设置有第二手轮，所述张紧轮(20)的后端设置有张紧轴，并且调节板(19)的前端中部设置有右固定槽，并且右固定槽内部设置有右滚珠轴承，所述张紧轴的后端插入并固定安装至右滚珠轴承内部，所述张紧轮(20)的顶端与所述传动皮带(5)的内圈上侧可滚动接触；
还包括调节轴(27)、加强圈(28)、四组加长杆(29)、调节盘(30)和四组插杆(31)，所述四组支腿(2)的内侧横向固定设置有支撑板，并且所述支撑板的顶端左侧设置有辅助槽，辅助槽内部设置有辅助滚珠轴承，所述调节轴(27)的底端插入并固定安装至辅助滚珠轴承内部，所述调节盘(30)的底端与所述调节轴(27)的顶端同心连接，并且所述四组插杆(31)的底端分别与所述调节盘(30)顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组插杆(31)的顶端分别纵向穿过所述第一手轮(14)底端内部并伸出至第一手轮(14)的顶端外界，所述加强圈(28)固定套装在所述调节轴(27)的外部，并且所述四组加长杆(29)的内端均布圆周连接设置在所述加强圈的圆周外侧壁上；
还包括四组防滑套(32)，所述四组防滑套(32)分别固定套装在所述四组加长杆(29)的外端外部。
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其特征在于，还包括安装螺杆(21)和旋转盘(22)，所述支撑轴的前端同心设置有安装轴，并且所述安装轴的直径小于所述支撑轴的直径，安装轴的前端设置有安装螺纹孔，并且所述金刚石切割片(6)套设在所述安装轴上，并且所述旋转盘(22)的后端与所述安装螺杆(21)的前端同心连接，旋转盘(22)后端的上侧、下侧、左侧和右侧均设置有防滑胶块，并且所述安装螺杆的后端插入并螺装至安装螺纹孔的前端内部，并且所述四组防滑胶块的后端均与所述金刚石切割片(6)的前端锁紧接触。
3.如权利要求2所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其特征在于，所述旋转盘(22)的前端内接于圆设置有内六角固定槽(23)。
4.如权利要求3所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其特征在于，还包括左锁紧板(24)、右锁紧板、左锁紧螺栓(25)(13)和右锁紧螺栓(13)，所述左锁紧板(24)的右端与所述调节板(19)的左端连接，并且所述右锁紧板的左端与调节板(19)的右端连接，左锁紧板(24)和右锁紧板的后端均与所述后侧板(3)的前端可滑动接触，并且所述左锁紧板(24)的前端纵向设置有前后贯穿的左条形通槽，并且所述右锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的右条形通槽，所述后侧板(3)的前端的左侧和右侧分别对应设置有左锁紧螺纹通孔和右锁紧螺纹通孔，所述左锁紧螺栓(25)(13)的后端穿过左条形通槽内部插入并螺装至左锁紧螺纹通孔内部，并且右锁紧螺栓(13)的后端穿过右条形通槽内部插入并螺装至右锁紧螺纹通孔内部。
5.如权利要求4所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其特征在于，所述两组左上导轮(12)、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的外部均设置有橡胶皮套(26)。
6.如权利要求5所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其特征在于，所述左滑板(8)左端的左限位滑块设置为两组，并且两组左限位滑块的右端分别与所述左滑板(8)左端的前侧和后侧连接，并且所述左限位板(7)右端的左限位滑槽对应设置为两组，所述两组左限位滑槽分别设置在左限位板(7)右端的前侧和后侧，两组左限位滑块分别可滑动设置在两组左限位滑槽内部，并且所述右滑板右端的右限位滑块设置为两组，并且两组右限位滑块的左端分别与所述右滑板右端的前侧和后侧连接，并且所述右限位板左端的左限位滑槽对应设置为两组，所述两组右限位滑槽分别设置在右限位板左端的前侧和后侧，两组右限位滑块分别可滑动设置在两组右限位滑槽内部。
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