CN108845701B - 触控面板及其制作方法、显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种触控面板及其制作方法、显示装置,属于触控技术领域。触控面板的制作方法,包括:形成第一导电层,第一导电层的厚度小于待形成的触控电极的厚度,待形成的触控电极包括第一触控电极和第二触控电极;对第一导电层进行构图;在第一触控电极和第二触控电极的预设交叉位置处形成绝缘图形,第一导电层的图形对应绝缘图形的区域包括两个相隔预设距离的刻蚀区和位于两个刻蚀区之间的非刻蚀区;形成第二导电层,第二导电层与第一导电层的厚度之和等于待形成的触控电极的厚度;对已形成的导电层进行构图,形成第一触控电极和第二触控电极。本发明能够降低触控面板的生产成本。

Description

触控面板及其制作方法、显示装置
技术领域
本发明涉及触控技术领域,特别是指一种触控面板及其制作方法、显示装置。
背景技术
现有技术在制作互容式触控面板时,首先在衬底基板上溅射形成第一导电层,第一导电层的厚度等于待形成的第一触控电极的厚度,然后对第一导电层进行构图形成第一触控电极;之后形成平坦层;在平坦层上溅射形成第二导电层,第二导电层的厚度等于待形成的第二触控电极的厚度,然后对第二导电层进行构图形成第二触控电极,可见,现有技术需要利用两次溅射工艺来分别形成第一导电层和第二导电层,对靶材的用量较多,生产成本较高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种触控面板及其制作方法、显示装置,能够降低触控面板的生产成本。
为解决上述技术问题,本发明的实施例提供技术方案如下:
一方面,提供一种触控面板的制作方法,包括:
形成第一导电层,所述第一导电层的厚度小于待形成的触控电极的厚度,所述待形成的触控电极包括第一触控电极和第二触控电极;
对所述第一导电层进行构图,形成第一导电层的图形;
在所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处形成绝缘图形,所述第一导电层的图形对应所述绝缘图形的区域包括两个相隔预设距离的刻蚀区和位于两个所述刻蚀区之间的非刻蚀区;
形成第二导电层,所述第二导电层与所述第一导电层的厚度之和等于待形成的触控电极的厚度;
对已形成的导电层进行构图,形成所述第一触控电极和所述第二触控电极,所述第一触控电极和所述第二触控电极交叉且所述第一触控电极和所述第二触控电极绝缘。
进一步地,所述形成第二导电层的图形之后,所述方法还包括:
形成覆盖所述第一触控电极和所述第二触控电极的平坦层。
进一步地,所述第一导电层和所述第二导电层的厚度均为待形成的触控电极的厚度的一半。
进一步地,在形成所述刻蚀区的同时,还去除所述第一导电层对应除待形成的触控电极之外的部分。
进一步地,所述第一导电层和所述第二导电层采用透明导电材料,所述制作方法具体包括:
在衬底基板上形成第一透明导电层;
对所述第一透明导电层进行构图,形成第一触控电极过渡图形、第二触控电极过渡图形和第一触控电极架桥,在所述第一触控电极过渡图形和第二触控电极过渡图形的交叉位置处,所述第一触控电极过渡图形与相邻第二触控电极过渡图形之间形成有所述刻蚀区,相邻第二触控电极过渡图形之间通过所述第一触控电极架桥连接;
在所述交叉位置处形成绝缘图形,所述绝缘图形覆盖所述刻蚀区;
形成第二透明导电层,对所述第二透明导电层进行构图,形成对应所述第一触控电极过渡图形的第三触控电极过渡图形和对应所述第二触控电极过渡图形的第四触控电极过渡图形,所述第二透明导电层位于所述绝缘图形上的部分形成连接相邻所述第一触控电极过渡图形的第二触控电极架桥,所述第一触控电极过渡图形与所述第三触控电极过渡图形组成所述第一触控电极,所述第二触控电极过渡图形与所述第四触控电极过渡图形组成所述第二触控电极。
进一步地,所述第一导电层和所述第二导电层采用金属,所述制作方法具体包括:
在衬底基板上形成第一金属层;
对所述第一金属层进行构图,在所述第一金属层每一对应所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处的区域均形成两个所述刻蚀区;
在所述预设交叉位置处形成绝缘图形,所述绝缘图形覆盖所述刻蚀区;
形成第二金属层,对所述第一金属层和所述第二金属层进行构图,所述第二金属层位于所述绝缘图形上的部分形成为触控电极架桥,由所述第一金属层和所述第二金属层共同形成网格状的所述第一触控电极和网格状的所述第二触控电极。
进一步地,所述预设距离为所述第一触控电极和所述第二触控电极的线宽。
本发明实施例还提供了一种触控面板,采用如上所述的制作方法制作得到。
进一步地,所述第一导电层和所述第二导电层采用透明导电材料时,所述第一触控电极和所述第二触控电极均为块状。
进一步地,所述第一导电层和所述第二导电层采用金属时,所述第一触控电极和所述第二触控电极呈网格状。
本发明实施例还提供了一种显示装置,包括如上所述的触控面板。
本发明的实施例具有以下有益效果:
上述方案中,在制作触控电极时,分别形成第一导电层和第二导电层,第一导电层和第二导电层的厚度均小于触控电极的厚度,第二导电层与第一导电层的厚度之和等于触控电极的厚度,由第二导电层和第一导电层共同组成第一触控电极和第二触控电极,即第一触控电极和第二触控电极由双层的导电层组成,而不是利用第一导电层形成第一触控电极后,再利用第二导电层形成第二触控电极,与现有技术相比,在触控电极厚度不变的情况下,对导电材料的用量降低了一半,生产成本得以降低。
附图说明
图1-图7为本发明一具体实施例制作触控面板的流程示意图;
图8-图14为本发明另一具体实施例制作触控面板的流程示意图。
附图标记
1 第一金属层
2 刻蚀区
3 绝缘图形
4 第二金属层
5 第一触控电极
6 第二触控电极
7 第一透明导电层
8 第二透明导电层
71 第一触控电极过渡图形
72 第二触控电极过渡图形
83 第三触控电极过渡图形
84 第四触控电极过渡图形
S 对应绝缘图形的区域
具体实施方式
为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明的实施例针对现有技术中在制作触控面板时,对靶材的用量较多,生产成本较高的问题,提供一种触控面板及其制作方法、显示装置,能够降低触控面板的生产成本。
本发明实施例提供了一种触控面板的制作方法,包括:
形成第一导电层,所述第一导电层的厚度小于待形成的触控电极的厚度,所述待形成的触控电极包括第一触控电极和第二触控电极;
对所述第一导电层进行构图,形成第一导电层的图形;
在所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处形成绝缘图形,所述第一导电层的图形对应所述绝缘图形的区域包括两个相隔预设距离的刻蚀区和位于两个所述刻蚀区之间的非刻蚀区;
形成第二导电层,所述第二导电层与所述第一导电层的厚度之和等于待形成的触控电极的厚度;
对已形成的导电层进行构图,形成所述第一触控电极和所述第二触控电极,所述第一触控电极和所述第二触控电极交叉且所述第一触控电极和所述第二触控电极绝缘。
本实施例中,在制作触控电极时,分别形成第一导电层和第二导电层,第一导电层和第二导电层的厚度均小于触控电极的厚度,第二导电层与第一导电层的厚度之和等于触控电极的厚度,由第二导电层和第一导电层共同组成第一触控电极和第二触控电极,即第一触控电极和第二触控电极由双层的导电层组成,而不是利用第一导电层形成第一触控电极后,再利用第二导电层形成第二触控电极,与现有技术相比,在触控电极厚度不变的情况下,对导电材料的用量降低了一半,生产成本得以降低。
其中,第一导电层和第二导电层可以采用透明导电材料,比如ITO、IZO;另外,为了降低成本,第一导电层和第二导电层还可以采用金属材料,比如Al、Ag、Au等等。
进一步地,所述形成第二导电层的图形之后,所述方法还包括:
形成覆盖所述第一触控电极和所述第二触控电极的平坦层,平坦层一方面可以对第一触控电极和第二触控电极进行保护,另一方面还可以为后续制程提供平坦的表面。
具体地,所述第一透明导电层和所述第二透明导电层的厚度可以均为待形成的触控电极的厚度的一半,当然,第一透明导电层和第二透明导电层的厚度还可以为其他取值,只要第一透明导电层和第二透明导电层的厚度之和等于触控电极的厚度即可,但是第一透明导电层和第二透明导电层的厚度差不宜过大。
一具体实施例中,所述对所述第一导电层进行构图,形成第一导电层的图形包括:
在所述第一导电层每一对应所述预设交叉位置处的区域形成两个间隔预设距离的刻蚀区;
所述对所述第二导电层进行构图,形成第二导电层的图形包括:
去除已形成的导电层除待形成的触控电极之外的部分,形成所述第一触控电极和所述第二触控电极,其中,已形成的导电层可以包括第一导电层和第二导电层,也可以仅包括第二导电层,第二导电层对应两个间隔预设距离的刻蚀区之间区域的部分形成为触控电极架桥。
进一步地,在所述第一导电层每一对应所述预设交叉位置处的区域形成两个间隔预设距离的刻蚀区的同时,还去除所述第一导电层对应除待形成的触控电极之外的部分,这样在形成刻蚀区的同时形成触控电极的一部分。
一具体实施例中,在所述第一导电层和所述第二导电层采用透明导电材料时,所述制作方法具体包括:
在衬底基板上形成第一透明导电层,所述第一透明导电层的厚度小于待形成的触控电极的厚度;
对所述第一透明导电层进行构图,形成第一触控电极过渡图形、第二触控电极过渡图形和第一触控电极架桥,在所述第一触控电极过渡图形和第二触控电极过渡图形的交叉位置处,所述第一触控电极过渡图形与相邻第二触控电极过渡图形之间形成有所述刻蚀区,相邻第二触控电极过渡图形之间通过所述第一触控电极架桥连接;
在所述交叉位置处形成绝缘图形,所述绝缘图形覆盖所述刻蚀区;
形成第二透明导电层,对所述第二透明导电层进行构图,形成对应所述第一触控电极过渡图形的第三触控电极过渡图形和对应所述第二触控电极过渡图形的第四触控电极过渡图形,所述第二透明导电层位于所述绝缘图形上的部分形成连接相邻所述第一触控电极过渡图形的第二触控电极架桥;所述第一触控电极过渡图形与所述第三触控电极过渡图形组成所述第一触控电极,所述第二触控电极过渡图形与所述第四触控电极过渡图形组成所述第二触控电极。
具体实施例中,可以利用溅射工艺形成第一透明导电层和第二透明导电层,形成所述第一透明导电层包括:
采用溅射工艺形成所述第一透明导电层;
形成所述第二透明导电层包括:
采用溅射工艺形成所述第二透明导电层。
另一具体实施例中,所述第一导电层和所述第二导电层采用金属,所述制作方法具体包括:
在衬底基板上形成第一金属层,所述第一金属层的厚度为待形成的触控电极的厚度的一半;
对所述第一金属层进行构图,在所述第一金属层每一对应所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处的区域均形成两个间隔预设距离的刻蚀区;
在所述预设交叉位置处形成绝缘图形,所述绝缘图形覆盖所述刻蚀区;
形成第二金属层,对所述第一金属层和所述第二金属层进行构图,所述第二金属层位于所述绝缘图形上的部分形成为触控电极架桥,由所述第一金属层和所述第二金属层共同形成网格状的所述第一触控电极和网格状的所述第二触控电极。
其中,第一金属层和第二金属层的厚度还可以为其他取值,只要第一金属层和第二金属层的厚度之和等于触控电极的厚度即可,但是第一金属层和第二金属层的厚度差不宜过大。
在形成第二金属层后,第二金属层通过过孔连接相邻的第一金属层的图形,第二金属层对应所述两个间隔预设距离的过孔之间的部分形成为触控电极架桥,由于触控电极采用金属网格制成,为了保证透过率的一致性,优选地,触控电极的线宽与触控电极架桥的线宽相等,因此,所述第一触控电极和所述第二触控电极的线宽可以均为所述预设距离。
具体实施例中,可以利用溅射工艺形成第一金属层和第二金属层,形成所述第一金属层包括:
采用溅射工艺形成所述第一金属层;
形成所述第二金属层包括:
采用溅射工艺形成所述第二金属层。
下面结合附图以及具体的实施例对本发明的触控面板的制作方法进行进一步介绍:
实施例一
现有技术中,在采用金属制作触控电极时,分别进行第一触控电极和第二触控电极的制作,其中,第一触控电极为驱动电极和感应电极中的一者,第二触控电极为驱动电极和感应电极中的另一者。
在制作第一触控电极时,首先通过溅射工艺形成第一金属层,第一金属层的厚度等于第一触控电极的厚度,对第一金属层进行构图形成第一触控电极;然后形成平坦层;在平坦层上通过溅射工艺形成第二金属层,第二金属层的厚度等于第二触控电极的厚度,然后对第二金属层进行构图形成第二触控电极,可以看出,金属靶材的用量比较多,生产成本比较高,并且需要通过两次构图工艺分别形成第一触控电极和第二触控电极,工艺比较复杂,制程风险高,对工艺的把控性较弱。
为了解决上述问题,本实施例的触控面板的制作方法包括以下步骤:
步骤1、如图1所示,在衬底基板上通过溅射工艺形成第一金属层1;
所述第一金属层1的厚度可以为待形成的触控电极的厚度的一半;
步骤2、如图2所示,对第一金属层1进行构图,在第一金属层1每一对应所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处的区域均形成两个间隔预设距离的刻蚀区2;
步骤3、如图3所示,在所述预设交叉位置处形成绝缘图形3,所述绝缘图形3覆盖所述刻蚀区2;
具体地,可以在经过步骤2的衬底基板上形成一层绝缘材料,对绝缘材料进行构图形成绝缘图形3。
步骤4、如图4所示,通过溅射工艺形成第二金属层4;
其中,所述第二金属层4的厚度可以为待形成的触控电极的厚度的一半,所述第二金属层4位于所述绝缘图形3上的部分形成为触控电极架桥;
步骤5、如图5所示,对所述第一金属层1和所述第二金属层4进行构图,由所述第一金属层1和所述第二金属层4共同形成网格状的所述第一触控电极5和网格状的所述第二触控电极6;
其中,第一触控电极5和第二触控电极6的厚度均等于第一金属层1和第二金属层2的厚度之和,在对第一金属层1和第二金属层4进行构图形成第一触控电极5和第二触控电极6的同时,还可以完成触控信号走线和绑定区域走线的制作。第一触控电极5和第二触控电极6的搭接处的AA’方向上的截面示意图如图6所示,第一触控电极5和第二触控电极6的搭接处的BB’方向上的截面示意图如图7所示。
步骤6、形成覆盖第一触控电极5和第二触控电极6的平坦层。
平坦层一方面可以保护第一触控电极5和第二触控电极6,另一方面可以为后续制程提供平坦的表面。
可以看出,本实施例的技术方案充分利用了金属材料,利用第一金属层和第二金属层同时形成第一触控电极、第二触控电极、触控信号走线和绑定区域走线,与现有技术相比,本实施例对金属靶材的用量降低了一半,降低了触控面板的生产成本;并且第一触控电极5和第二触控电极位于同一平面,网格密度更加均匀,消影效果更好;此外,第一触控电极5和第二触控电极6在同一次构图工艺中形成,降低了制程风险,提高了对工艺的把控性。另外,本实施例的技术方案中,还可以通过调整第一金属层和第二金属层的厚度降低第一触控电极和第二触控电极的方阻。
实施例二
现有技术中,在采用透明导电材料制作触控电极时,分别进行第一触控电极和第二触控电极的制作,其中,第一触控电极为驱动电极和感应电极中的一者,第二触控电极为驱动电极和感应电极中的另一者。
在制作第一触控电极时,首先通过溅射工艺形成第一透明导电层,第一透明导电层的厚度等于第一触控电极的厚度,对第一透明导电层进行构图形成第一触控电极;然后形成平坦层;在平坦层上通过溅射工艺形成第二透明导电层,第二透明导电层的厚度等于第二触控电极的厚度,然后对第二透明导电层进行构图形成第二触控电极,透明导电材料靶材的用量比较多,生产成本比较高,并且需要通过两次构图工艺分别形成第一触控电极和第二触控电极,工艺比较复杂,制程风险高,对工艺的把控性较弱,并且制程中也时常伴随着断线、钻刻等不良。
为了解决上述问题,本实施例的触控面板的制作方法包括以下步骤:
步骤1、如图8所示,在衬底基板上通过溅射工艺形成第一透明导电层7;
所述第一透明导电层7的厚度可以为待形成的触控电极的厚度的一半;
步骤2、如图9所示,对所述第一透明导电层7进行构图,形成第一触控电极过渡图形71、第二触控电极过渡图形72和第一触控电极架桥,在所述第一触控电极过渡图形71和第二触控电极过渡图形72的交叉位置处,所述第一触控电极过渡图形71与相邻第二触控电极过渡图形72之间在对应绝缘图形的区域S形成有所述刻蚀区,相邻第二触控电极过渡图形72之间通过所述第一触控电极架桥连接;
步骤3、如图10所示,在所述交叉位置处形成绝缘图形3,所述绝缘图形3覆盖所述刻蚀区;
具体地,可以在经过步骤2的衬底基板上形成一层绝缘材料,对绝缘材料进行构图形成绝缘图形3。
步骤4、如图11所示,通过溅射工艺形成第二透明导电层8;
第二透明导电层8与第一透明导电层7的厚度之和等于待形成的触控电极的厚度,所述第二透明导电层8位于所述绝缘图形3上的部分形成连接相邻所述第一触控电极过渡图形71的第二触控电极架桥;
步骤5、如图12所示,对所述第二透明导电层8进行构图,形成对应所述第一触控电极过渡图形71的第三触控电极过渡图形83和对应所述第二触控电极过渡图形72的第四触控电极过渡图形84,所述第一触控电极过渡图形71与所述第三触控电极过渡图形83组成所述第一触控电极5,所述第二触控电极过渡图形72与所述第四触控电极过渡图形84组成所述第二触控电极6。
其中,第一触控电极5和第二触控电极6的厚度均等于第一透明导电层7和第二透明导电层8的厚度之和。第一触控电极5和第二触控电极6的搭接处的AA’方向上的截面示意图如图13所示,第一触控电极5和第二触控电极6的搭接处的BB’方向上的截面示意图如图14所示。
步骤6、形成覆盖第一触控电极5和第二触控电极6的平坦层。
平坦层一方面可以保护第一触控电极5和第二触控电极6,另一方面可以为后续制程提供平坦的表面。
可以看出,本实施例的技术方案充分利用了透明导电材料,利用第一透明导电层和第二透明导电层共同形成第一触控电极、第二触控电极,与现有技术相比,本实施例对透明导电靶材的用量降低了一半,降低了触控面板的生产成本,并且由于溅射形成的第一透明导电层和第二透明导电层的厚度较小,减少了溅射制程工序,提高了设备稼动率;另外,本实施例的技术方案中,还可以通过调整第一透明导电层和第二透明导电层的厚度降低第一触控电极和第二触控电极的方阻;再者,本实施例的技术方案中,降低了透明导电图形的爬坡高度,降低了断线、钻刻等风险。
本发明实施例还提供了一种触控面板,采用如上所述的制作方法制作得到。
本实施例中,第一导电层和第二导电层的厚度均小于触控电极的厚度,第二导电层与第一导电层的厚度之和等于触控电极的厚度,第一触控电极和第二触控电极均由重叠的第一导电层图形和第二导电层的图形组成,即由第二导电层和第一导电层共同组成第一触控电极和第二触控电极,而不是第一触控电极由单独的一层导电层组成,第二触控电极由单独的另一层导电层组成,在触控电极厚度不变的情况下,对导电材料的用量降低了一半,生产成本得以降低。
一具体实施例中,所述第一导电层和所述第二导电层采用透明导电材料,所述第一触控电极和所述第二触控电极均为块状。优选地,所述第一触控电极和所述第二触控电极可以为菱形、矩形或圆形,当然,第一触控电极和第二触控电极并不局限为菱形、矩形或圆形,还可以为其他形状。
另一具体实施例中,所述第一导电层和所述第二导电层采用金属,所述第一触控电极和所述第二触控电极呈网格状。
本发明实施例还提供了一种显示装置,包括如上所述的触控面板。所述显示装置可以为:电视、显示器、数码相框、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或部件,其中,所述显示装置还包括柔性电路板、印刷电路板和背板。
其中,触控面板可以是单独设置在显示装置的显示面板外,也可以是内嵌在显示面板内。
一具体实施例中,所述显示装置包括显示面板和位于所述显示面板的出光侧的所述触控面板,所述触控面板的衬底基板复用所述显示面板的衬底基板,这样可以降低显示装置的厚度。
在本发明各方法实施例中,所述各步骤的序号并不能用于限定各步骤的先后顺序,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,对各步骤的先后变化也在本发明的保护范围之内。
除非另外定义,本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也可能相应地改变。
可以理解,当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件″上″或″下″时,该元件可以″直接″位于另一元件″上″或″下″,或者可以存在中间元件。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种触控面板的制作方法,其特征在于,包括:
形成第一导电层,所述第一导电层的厚度小于待形成的触控电极的厚度,所述待形成的触控电极包括第一触控电极和第二触控电极;
对所述第一导电层进行构图,形成第一导电层的图形;
在所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处形成绝缘图形,所述第一导电层的图形对应所述绝缘图形的区域包括两个相隔预设距离的刻蚀区和位于两个所述刻蚀区之间的非刻蚀区,所述绝缘图形覆盖所述第一导电层的图形的刻蚀区;
形成第二导电层,所述第二导电层与所述第一导电层的厚度之和等于待形成的触控电极的厚度;
对已形成的导电层进行构图,形成所述第一触控电极和所述第二触控电极,所述第一触控电极和所述第二触控电极交叉且所述第一触控电极和所述第二触控电极绝缘。
2.根据权利要求1所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述形成第二导电层的图形之后,所述方法还包括:
形成覆盖所述第一触控电极和所述第二触控电极的平坦层。
3.根据权利要求1所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述第一导电层和所述第二导电层的厚度均为待形成的触控电极的厚度的一半。
4.根据权利要求3所述的触控面板的制作方法,其特征在于,在形成所述刻蚀区的同时,还去除所述第一导电层对应除待形成的触控电极之外的部分。
5.根据权利要求4所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述第一导电层和所述第二导电层采用透明导电材料,所述制作方法具体包括:
在衬底基板上形成第一透明导电层;
对所述第一透明导电层进行构图,形成第一触控电极过渡图形、第二触控电极过渡图形和第一触控电极架桥,在所述第一触控电极过渡图形和第二触控电极过渡图形的交叉位置处,所述第一触控电极过渡图形与相邻第二触控电极过渡图形之间形成有所述刻蚀区,相邻第二触控电极过渡图形之间通过所述第一触控电极架桥连接;
在所述交叉位置处形成绝缘图形,所述绝缘图形覆盖所述刻蚀区;
形成第二透明导电层,对所述第二透明导电层进行构图,形成对应所述第一触控电极过渡图形的第三触控电极过渡图形和对应所述第二触控电极过渡图形的第四触控电极过渡图形,所述第二透明导电层位于所述绝缘图形上的部分形成连接相邻所述第一触控电极过渡图形的第二触控电极架桥,所述第一触控电极过渡图形与所述第三触控电极过渡图形组成所述第一触控电极,所述第二触控电极过渡图形与所述第四触控电极过渡图形组成所述第二触控电极。
6.根据权利要求3所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述第一导电层和所述第二导电层采用金属,所述制作方法具体包括:
在衬底基板上形成第一金属层;
对所述第一金属层进行构图,在所述第一金属层每一对应所述第一触控电极和所述第二触控电极的预设交叉位置处的区域均形成两个所述刻蚀区;
在所述预设交叉位置处形成绝缘图形,所述绝缘图形覆盖所述刻蚀区;
形成第二金属层,对所述第一金属层和所述第二金属层进行构图,所述第二金属层位于所述绝缘图形上的部分形成为触控电极架桥,由所述第一金属层和所述第二金属层共同形成网格状的所述第一触控电极和网格状的所述第二触控电极。
7.根据权利要求6所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述预设距离为所述第一触控电极和所述第二触控电极的线宽。
8.一种触控面板,其特征在于,采用如权利要求1-7中任一项所述的制作方法制作得到。
9.根据权利要求8所述的触控面板,其特征在于,所述第一导电层和所述第二导电层采用透明导电材料时,所述第一触控电极和所述第二触控电极均为块状。
10.根据权利要求8所述的触控面板,其特征在于,所述第一导电层和所述第二导电层采用金属时,所述第一触控电极和所述第二触控电极呈网格状。
11.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求8-10中任一项所述的触控面板。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108845701B (zh) * 2018-06-28 2020-06-05 京东方科技集团股份有限公司 触控面板及其制作方法、显示装置
CN110109567B (zh) * 2019-04-24 2020-07-10 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 触控板、触控显示器和触控板的制作方法
CN114356134B (zh) * 2021-12-24 2023-06-30 合肥维信诺科技有限公司 触控面板及触控显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102385461A (zh) * 2010-08-30 2012-03-21 华森电子科技股份有限公司 投射电容式触控面板及其制造方法
CN102830842A (zh) * 2012-08-14 2012-12-19 北京京东方光电科技有限公司 一种触摸屏、触控显示装置及一种触摸屏的制造方法
CN107512050A (zh) * 2017-09-15 2017-12-26 京东方科技集团股份有限公司 触控面板及其制作方法、触控显示装置
CN108089748A (zh) * 2017-12-14 2018-05-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性触控面板及柔性oled显示面板

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100238133A1 (en) * 2009-03-17 2010-09-23 Wintek Corporation Capacitive touch panel
CN102346609A (zh) * 2010-08-03 2012-02-08 群康科技(深圳)有限公司 具有电容式触控面板的显示系统及其制造方法
KR101363151B1 (ko) * 2011-09-06 2014-02-14 삼성전자주식회사 터치스크린용 투명 회로 기판, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 터치스크린
TWI485598B (zh) * 2013-07-02 2015-05-21 Au Optronics Corp 觸控面板及其製造方法
CN108845701B (zh) * 2018-06-28 2020-06-05 京东方科技集团股份有限公司 触控面板及其制作方法、显示装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102385461A (zh) * 2010-08-30 2012-03-21 华森电子科技股份有限公司 投射电容式触控面板及其制造方法
CN102830842A (zh) * 2012-08-14 2012-12-19 北京京东方光电科技有限公司 一种触摸屏、触控显示装置及一种触摸屏的制造方法
CN107512050A (zh) * 2017-09-15 2017-12-26 京东方科技集团股份有限公司 触控面板及其制作方法、触控显示装置
CN108089748A (zh) * 2017-12-14 2018-05-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性触控面板及柔性oled显示面板

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