CN108779839A - 电动致动器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及的电动致动器具备：驱动部(2)；将来自驱动部(2)的旋转运动转换为与驱动部(2)的输出轴平行的轴向的直线运动的运动转换机构部(3)；以及防止运动转换机构部(3)的驱动的锁定机构部(7)，锁定机构部(7)具有旋转电动机(64)和锁定构件(60)，锁定构件(60)由旋转电动机(64)驱动而成为防止运动转换机构部(3)的驱动的锁定状态和解除该锁定状态的锁定解除状态中的至少一方的状态。

Description

电动致动器

技术领域

本发明涉及电动致动器。

背景技术

近年来，为了车辆等的省力化、低燃料消耗率化而不断推进电动化，例如，开发出利用电动机的力来进行机动车的自动变速器、制动器、转向器等的操作的系统并将其投入到市场中。作为用于这样的用途的致动器，已知有使用了将电动机的旋转运动转换为直线方向的运动的滚珠丝杠机构的电动线性致动器。

然而，滚珠丝杠机构虽在向操作对象装置传递驱动力的驱动力传递效率上非常优异，但另一方面，在从操作对象装置侧向滚珠丝杠输入了外力的情况下，滚珠丝杠轴有时会沿着轴向移动。因此，目前提出了具备锁定机构的方案，该锁定机构用于针对来自操作对象装置侧的反向输入来防止滚珠丝杠的驱动。

例如，在专利文献1中，如图20所示，设置有相对于从电动马达100向滚珠丝杠200传递驱动力的齿轮400卡合脱离自如的作为锁定构件的轴300，利用该轴300来阻止齿轮400的旋转，由此防止滚珠丝杠200的驱动。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利第5243018号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

然而，在上述专利文献1所记载的结构中，作为使轴300驱动的驱动机构而使用了螺线管。然而，在使用了螺线管的情况下，框架、线圈等大型部件较多，因此存在电动致动器大型化的课题。

因此，本发明的目的在于提供能够实现小型化的电动致动器。

【用于解决技术课题的方案】

作为用于达成上述目的的技术方案，本发明的电动致动器的特征在于，具备：驱动部；将来自驱动部的旋转运动转换为与驱动部的输出轴平行的轴向的直线运动的运动转换机构部；以及防止运动转换机构部的驱动的锁定机构部，锁定机构部具有旋转电动机和锁定构件，锁定构件由旋转电动机驱动而成为防止运动转换机构部的驱动的锁定状态和解除锁定状态的锁定解除状态中的至少一方的状态。

这样，通过使用旋转电动机来作为锁定机构部的驱动源，由此与将螺线管作为驱动源的结构相比，能够实现电动致动器的小型化。

优选的是，上述锁定机构部具有将旋转电动机的旋转运动转换为直线运动来驱动锁定构件的滑动丝杠装置。通过在锁定机构部中使用滑动丝杠装置，由此能够在使用旋转电动机作为驱动源的结构中通过部件数量少的简单结构来实现直线运动，因此能够实现进一步的小型化。

而且，通过致动器壳体具有对滑动丝杠装置中的进行直线运动的构件的旋转进行限制的旋转限制部，由此无需另行设置旋转限制构件，有利于小型化。

例如，通过将构成滑动丝杠装置的滑动丝杠螺母及滑动丝杠轴中的一方固定于锁定构件且将另一方固定于旋转电动机的输出轴，将锁定构件的前端部侧形成为平板状且在致动器壳体形成供锁定构件的前端部侧插入的截面矩形的贯通孔，由此能够使致动器壳体带有旋转限制部的功能。即，这种情况下，通过将形成为平板状的锁定构件的前端部侧插入形成为截面矩形的贯通孔中，由此贯通孔内的锁定构件的旋转受到限制，因此能够限制固定于锁定构件的滑动丝杠螺母或者滑动丝杠轴的旋转而进行直线运动。

如上所述，在锁定构件与贯通孔之间限制旋转的情况下，优选锁定构件的前端部侧与旋转电动机的输出轴同轴地配置。通过这样构成，由此锁定构件与贯通孔的接触部位(旋转限制部位)的位置成为在半径方向上接近旋转电动机的旋转中心线的位置，因此在旋转限制部位受到的力矩变小，能够减少对锁定构件的直线运动的阻力。由此，锁定构件的动作性提高，电动致动器的可靠性提高。

另外，可以构成为，上述锁定机构部具有对锁定构件向使锁定构件成为锁定状态的方向施力的弹簧，旋转电动机在驱动部进行驱动时驱动锁定构件克服弹簧的作用力而将锁定构件切换为锁定解除状态。这种情况下，即便不向旋转电动机供给电力，也能够利用弹簧的作用力保持锁定状态。

另外，优选的是，在从驱动部向运动转换机构部传递驱动力的齿轮的与轴向交叉的侧面上形成有供锁定构件卡合的卡合孔。这种情况下，由于锁定构件不与齿轮的齿进行卡合，因此能够避免因卡合而向齿施加的负载，可靠性得以提高。

另外，优选的是，设置有防止锁定构件相对于进退方向的倾斜的防倾斜部。

通过像这样设置防倾斜部，由此能够减少或消除锁定构件的倾斜，能够使锁定构件的进退动作顺畅地进行。由此，锁定动作及锁定解除动作的可靠性增加，可靠性得以提高。

例如，在电动致动器具备通过与锁定构件接触来检测锁定构件的进退位置的锁定传感器的情况下，将防倾斜部在锁定传感器相对于锁定构件进行接触这一侧的相反侧设置于致动器壳体。并且，在锁定构件前进而向锁定位置移动时，通过锁定传感器相对于锁定构件进行接触这一侧的相反侧的锁定构件的面与防倾斜部碰触，而能够使锁定构件从倾斜的状态恢复。即，即便锁定传感器与锁定构件的单侧接触而使锁定构件发生了倾斜，也能够通过锁定构件的相反侧的面与防倾斜部碰触而使锁定构件从倾斜的状态恢复。

另外，在锁定构件具有向卡合孔插入而进行卡合的前端部以及夹着通过前端部的进退方向上的直线而彼此配置在相反侧的一对肩部，且锁定传感器配置在能够与一方的肩部接触的位置这样的情况下，将防倾斜部以与锁定传感器所接触的肩部的相反侧的肩部对置的方式设置于致动器壳体。通过在这样的位置设置防倾斜部，由此通过锁定构件的前进而使锁定传感器所接触的肩部的相反侧的肩部与防倾斜部碰触，能够使锁定构件从倾斜的状态恢复。

另外，如上所述，在通过电动致动器与锁定构件接触来检测锁定构件的进退位置的锁定传感器的情况下，可以将防倾斜部在锁定传感器相对于锁定构件进行接触这一侧的相反侧设置于锁定构件。这种情况下，在锁定构件前进而向锁定位置移动时，通过防倾斜部与致动器壳体碰触而能够使锁定构件从倾斜的状态恢复。

另外，在锁定构件具有上述那样的一对肩部的情况下，可以将防倾斜部设置于锁定传感器所接触的肩部的相反侧的肩部。

另外，通过将锁定构件的表面设置成低摩擦面，由此能够使锁定构件相对于周边构件的滑动性提高，并且，还能够抑制因与周边构件的干涉而产生的锁定构件的磨损。

另外，通过在卡合孔的入口部设置倾斜面，由此能够使锁定构件沿着该倾斜面顺畅地插入卡合孔。

另外，也可以将上述齿轮中的卡合孔的部分由低摩擦表面的树脂构成，将齿的部分由金属构成。由此，能够提高锁定构件相对于卡合孔的滑动性，并且还能够抑制因锁定构件与卡合孔的干涉而产生的磨损。

【发明效果】

根据本发明，能够提供适合于小型化的电动致动器。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的电动致动器的纵剖视图。

图2是电动致动器的外观立体图。

图3是电动致动器的分解立体图。

图4是从开口部侧观察电动机壳体的图。

图5是在图1的A-A线处向视观察所得的横剖视图。

图6是减速机构部的分解立体图。

图7是轴壳及安装于轴壳的锁定机构部的分解立体图。

图8是在图1的B-B线处向视观察所得的横剖视图。

图9是从图1的左侧观察轴承壳体的主视图。

图10是表示锁定构件的前端部从贯通孔突出的状态的立体图。

图11是在图1的C-C线处向视观察所得的横剖视图。

图12是电动致动器的控制框图。

图13是电动致动器的控制框图。

图14是用于说明锁定构件产生倾斜的原因的横剖视图。

图15是表示在轴承壳体设置有防倾斜部的结构的横剖视图。

图16A是表示锁定构件倾斜了的状态的横剖视图。

图16B是用于说明防倾斜部的作用的横剖视图。

图17是表示在锁定构件设置有防倾斜部的结构的横剖视图。

图18是齿的部分的构成材料与卡合孔的部分的构成材料不同的驱动齿轮的图。

图19是本发明的又一实施方式的电动致动器的纵剖视图。

图20是现有的电动线性致动器的纵剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明进行说明。需要说明的是，在用于说明本发明的各图中，针对具有同一功能或形状的构件或构成部件等构成要素，只要能够辨别就标注同一符号，从而在说明过一次之后省略重复说明。

图1是表示本发明的一实施方式的电动致动器的组装状态的纵剖视图，图2是表示所述电动致动器的组装状态的外观立体图，图3是所述电动致动器的分解立体图。

如图1所示，本实施方式的电动致动器1主要包括：产生驱动力的驱动部2；将来自驱动部2的旋转运动转换为直线运动的运动转换机构部3；从驱动部2向运动转换机构部3传递驱动力的驱动力传递部4；对运动转换机构部3进行支承的运动转换机构支承部5；输出运动转换机构部3的运动的操作部6；防止运动转换机构部3的驱动的锁定机构部7。另外，驱动部2由电动机部8和减速机构部9构成。

构成上述电动致动器1的各部分分别具有壳体，在各壳体内收容有构成部件。具体而言，电动机部8具有收容驱动用电动机10的电动机壳体11，减速机构部9具有收容减速齿轮机构16的减速齿轮壳体17。另外，驱动力传递部4具有收容传递齿轮机构28的传递齿轮壳体29，运动转换机构支承部5具有收容支承轴承40的轴承壳体41。并且，电动机部8与减速机构部9、减速机构部9与驱动力传递部4、驱动力传递部4与运动转换机构支承部5构成为彼此能够按壳体进行连结分离。而且，轴壳50构成为能够相对于轴承壳体41连结分离。以下，对构成电动致动器1的各部的详细结构进行说明。

电动机部8主要包括：驱动运动转换机构部3的驱动用电动机(DC电动机)10；收容驱动用电动机10的电动机壳体11。电动机壳体11具有在内部收容驱动用电动机10的有底圆筒状的壳体主体12以及从壳体主体12的底部12a向外部突出的突出部13。突出部13上形成有与壳体主体12的内部空间连通的孔部13a。该孔部13a由覆盖突出部13的外表面的树脂制的密封构件14密封。

在驱动用电动机10从壳体主体12的开口部12d插入到内部的状态下，驱动用电动机10的插入方向里侧的端面与壳体主体12的底部12a抵接。另外，在底部12a的中央部形成有嵌合孔12c，通过驱动用电动机10的插入方向里侧的突起10b与该嵌合孔12c嵌合，由此避免从突起10b突出的输出轴10a的后端(图1的左端部)与电动机壳体11的底部12a发生干涉。而且，壳体主体12的周壁部12b的内周面随着从开口部12d侧朝向底部12a侧而呈锥状地缩径，在驱动用电动机10被向壳体主体12内插入时，驱动用电动机10的插入方向里侧的外周面与周壁部12b的内周面接触。这样，驱动用电动机10在插入到壳体主体12内的状态下通过与壳体主体12的内周面的接触以及与嵌合孔12c的嵌合而被支承。

另外，如从开口部12d侧观察电动机壳体11的图4所示，在壳体主体12安装有用于将驱动用电动机10连接于动力电源的一对母线15。各母线15的一端部15a与电动机端子10c铆接连接，另一端部15b从壳体主体12向外部露出(参照图2、图3)。该向外部露出的母线15的端部15b与动力电源连接。

接着，对减速机构部9进行说明。

如图1所示，减速机构部9主要包括对驱动用电动机10的驱动力进行减速并将其输出的减速齿轮机构16以及收容减速齿轮机构16的减速齿轮壳体17。减速齿轮机构16由包括多个齿轮等的行星齿轮减速机构18构成。需要说明的是，在后叙述行星齿轮减速机构18的详细结构。

在减速齿轮壳体17设置有用于从驱动用电动机10侧的相反侧收容行星齿轮减速机构18的收容凹部17a。另外，在减速齿轮壳体17上能够安装作为电动机安装构件的电动机适配器19。电动机适配器19为筒状的构件，驱动用电动机10的输出侧(图1的右侧)的突起10d插入电动机适配器19的内周面而与之嵌合。在减速齿轮壳体17形成有供电动机适配器19嵌合的嵌合孔17b，电动机适配器19从驱动用电动机10侧插入该嵌合孔17b中而被安装。

减速齿轮壳体17能够与电动机壳体11以及配置在电动机壳体11的相反侧的后述的传递齿轮壳体29嵌合。减速齿轮壳体17中，配置在电动机壳体11侧的部分内嵌于电动机壳体11的开口部12d侧，配置在传递齿轮壳体29侧的部分外嵌于传递齿轮壳体29。另外，减速齿轮壳体17在相对于电动机壳体11嵌合的状态下与电动机适配器19一起地通过螺栓21(参照图3、图6)而紧固到驱动用电动机10上。在减速齿轮壳体17的驱动用电动机10侧形成有凹部17c，该凹部17c用于避免在减速齿轮壳体17与电动机壳体11嵌合着的状态下减速齿轮壳体17与从驱动用电动机10突出的电动机端子10c及铆接于电动机端子10c的母线15的端部15a发生干涉。另外，在与电动机壳体11的内周面嵌合的减速齿轮壳体17的外周面(嵌合面)形成有用于装配O形环20的装配槽17d。

接着，对运动转换机构部3进行说明。

运动转换机构部3由滚珠丝杠22构成。滚珠丝杠22主要包括作为旋转体的滚珠丝杠螺母23、进行直线运动的作为轴部的滚珠丝杠轴24、多个滚珠25及作为循环构件的回珠件26。在滚珠丝杠螺母23的内周面和滚珠丝杠轴24的外周面分别形成有螺旋状槽23a、24a。在两螺旋状槽23a、24a之间填充滚珠25并装入回珠件26，由此两列滚珠25进行循环。

滚珠丝杠螺母23受到来自驱动用电动机10的驱动力而正向或反向地旋转。另一方面，滚珠丝杠轴24被设置于其后端部(图1的右端部)的作为旋转限制构件的销27限制旋转。因此，在滚珠丝杠螺母23旋转时，滚珠25沿着两螺旋状槽23a、24a及回珠件26进行循环，使滚珠丝杠轴24沿着轴向进退。需要说明的是，图1表示滚珠丝杠轴24配置在最向图的右侧后退的初始位置处的状态。另外，滚珠丝杠轴24与驱动用电动机10的输出轴10a平行地配置，来自驱动用电动机10的旋转运动被滚珠丝杠轴24转换为与输出轴10a平行的轴向的直线运动。滚珠丝杠轴24的前进方向的前端部(图1的左端部)作为对操作对象装置进行操作的操作部(致动器头)6而发挥功能。

接着，对驱动力传递部4进行说明。

驱动力传递部4主要包括从驱动部2所具有的驱动用电动机10向作为运动转换机构部3的滚珠丝杠22传递驱动力的传递齿轮机构28、收容传递齿轮机构28的传递齿轮壳体29。传递齿轮机构28具有作为第一齿轮的驱动侧的驱动齿轮30以及与驱动齿轮30啮合的作为第二齿轮的被驱动侧的从动齿轮31。

在驱动齿轮30的旋转中心部压入嵌合有齿轮轮毂32。驱动齿轮30经由该齿轮轮毂32而被装配在传递齿轮壳体29和后述的轴承壳体41的两壳体上的两个滚动轴承33、34支承为能够旋转。另一方面，从动齿轮31压入嵌合于滚珠丝杠螺母23的外周面而被固定。在来自驱动用电动机10的驱动力经由行星齿轮减速机构18向驱动齿轮30传递时，从动齿轮31与滚珠丝杠螺母23一体地旋转，使滚珠丝杠轴24进退。

传递齿轮壳体29在内部具有收容驱动齿轮30及从动齿轮31的收容凹部29a。另外，在传递齿轮壳体29形成有供齿轮轮毂32穿过的插通孔29b，在插通孔29b的内周面形成有供支承齿轮轮毂32的一方的滚动轴承33进行装配的轴承装配面29c。另外，传递齿轮壳体29具有与减速齿轮壳体17的内周面嵌合的环状突起29d。在该环状突起29d的外周面(嵌合面)形成有用于装配O形环35的装配槽29e。另外，在传递齿轮壳体29的轴承壳体41侧的面上形成有与轴承壳体41嵌合的槽状的嵌合凹部29f。

另外，传递齿轮壳体29具有向滚珠丝杠轴24的前端部侧(图1的左侧)突出的圆筒部29g。该圆筒部29g是在传递齿轮壳体29内收容了从动齿轮31且在该从动齿轮31上组装了滚珠丝杠22的状态下以覆盖滚珠丝杠轴24的周围的方式配置的部分。在圆筒部29g与滚珠丝杠轴24之间安装有防止向传递齿轮壳体29内侵入异物的护罩36。护罩36由大径端部36a、小径端部36b及将大径端部36a与小径端部36b连结且在轴向上伸缩的蛇腹部36c构成。大径端部36a通过护罩带37紧固固定在圆筒部29g的外周面的安装部位上，小径端部36b通过护罩带38紧固固定在滚珠丝杠轴24的外周面的安装部位上。另外，在圆筒部29g设置有在护罩36进行伸缩时用于使内外通气的通气孔29h。另外，在上述电动机壳体11一体地设置有配置在护罩36的周围的护罩套39。

接着，对运动转换机构支承部5进行说明。

运动转换机构支承部5主要包括对作为运动转换机构部3的滚珠丝杠22进行支承的支承轴承40、收容支承轴承40的轴承壳体41。支承轴承40由将外圈42、内圈43及夹在它们之间的两列滚珠44作为主要构成要素的背对背的双列角接触球轴承构成。

支承轴承40收容在与轴承壳体41一体地形成的套筒45内，由装配在套筒45的内周面上的挡圈46固定。另外，支承轴承40在比上述从动齿轮31靠滚珠丝杠轴24的后端侧(图1的右侧)的位置处压入嵌合于滚珠丝杠螺母23的外周面而被固定。固定在滚珠丝杠螺母23的外周面上的支承轴承40和从动齿轮31被设置在滚珠丝杠螺母23的从动齿轮31侧的限制突起23b和装配在支承轴承40侧的限制构件47限制轴向的移动。限制构件47由一对半圆弧状构件构成，以将这一对半圆弧状构件呈环状组合的状态装配在滚珠丝杠螺母23的外周面上。而且，在滚珠丝杠螺母23的外周面装配有保持限制构件47的按压用轴环48、防止该按压用轴环48的轴向的脱落的挡圈49。

在轴承壳体41的传递齿轮壳体29侧设置有与传递齿轮壳体29的嵌合凹部29f嵌合的突条部41a。另外，在轴承壳体41的传递齿轮壳体29侧设置有齿轮轮毂收容部41b，齿轮轮毂收容部41b在轴承壳体41与传递齿轮壳体29嵌合的状态下对从传递齿轮壳体29突出的齿轮轮毂32的一部分进行收容。在该齿轮轮毂收容部41b的内周面形成有用于装配对齿轮轮毂32进行支承的滚动轴承34的轴承装配面41c。

对滚珠丝杠轴24的后端部侧(图1的右端部侧)进行收容的有底筒状的轴壳50通过螺栓51(参照图3)能够紧固在轴承壳体41的与传递齿轮壳体29侧相反的一侧。在轴壳50的与轴承壳体41抵接的抵接面形成有用于装配O形环52的装配槽50a。另外，在轴壳50的内周面形成有沿着轴向延伸的引导槽50b，该引导槽50b供设置在滚珠丝杠轴24上的销27的两端部插入。在销27的两端部分别装配能够旋转的引导轴环53，在滚珠丝杠轴24沿着轴向进退时，引导轴环53沿着引导槽50b边旋转边移动。

如图3所示，在上述电动机壳体11、减速齿轮壳体17、传递齿轮壳体29、轴承壳体41这样的各壳体的半径方向外侧周边设置有供用于组装紧固这些壳体的螺栓54穿过的螺栓插通孔11a、17e、29i、41d。而且，在传递齿轮壳体29和轴承壳体41这两方的半径方向外侧周边设置有用于将组装好的电动致动器1安装到设置场所的贯通孔29j、41e。

这里，参照图1、图5及图6对行星齿轮减速机构18进行说明。

图5是在图1的A-A线处向视观察所得的横剖视图，图6是行星齿轮减速机构18的分解立体图。

行星齿轮减速机构18由齿圈55、太阳轮56、多个行星齿轮57、行星齿轮架58(参照图1)及行星齿轮支架59(参照图1)构成。齿圈55具有向轴向突出的多个凸部55a，在减速齿轮壳体17的收容凹部17a设置有与凸部55a数量相同的卡合凹部17f(参照图1)。通过使齿圈55的凸部55a与减速齿轮壳体17的卡合凹部17f相位对合地装入，由此将齿圈55以止转的方式收容于减速齿轮壳体17。

在齿圈55的中央配置有太阳轮56，在太阳轮56压入嵌合有驱动用电动机10的输出轴10a。另外，各行星齿轮57以与齿圈55、太阳轮56啮合的方式配置在齿圈55与太阳轮56之间。各行星齿轮57由行星齿轮架58和行星齿轮支架59支承为能够旋转。行星齿轮架58在其中央部具有圆筒部58a，圆筒部58a压入嵌合在齿轮轮毂32的外周面与滚动轴承33的内周面之间(参照图1)。需要说明的是，在另一方的滚动轴承34的内周面与齿轮轮毂32的外周面之间装配有环状的轴环75。

就如上那样构成的行星齿轮减速机构18而言，在驱动用电动机10进行旋转驱动时，与驱动用电动机10的输出轴10a连结的太阳轮56旋转，随之各行星齿轮57一边自转一边沿着齿圈55公转。并且，通过这些行星齿轮57的公转运动而使行星齿轮架58旋转。由此，将驱动用电动机10的旋转减速而向驱动齿轮30传递，使转矩增加。这样，通过经由行星齿轮减速机构18传递驱动力，由此能够得到滚珠丝杠轴24的大的输出，能够实现驱动用电动机10的小型化。

接着，基于图1、图7及图8对锁定机构部7进行说明。图7是轴壳50和安装于轴壳50的锁定机构部7的分解立体图，图8是在图1的B-B线处向视观察所得的横剖视图。

锁定机构部7主要包括锁定构件60、滑动丝杠螺母61、滑动丝杠轴62、锁定构件固定板63、锁定用电动机(DC电动机)64及弹簧65。锁定机构部7的组装如下进行：首先，将锁定构件60借助锁定构件固定板63而由螺栓84(参照图7)紧固于滑动丝杠螺母61(参照图7)；接着，将锁定用电动机64收容于在轴壳50设置的支架部66内，在从支架部66突出的锁定用电动机64的输出轴64a上安装滑动丝杠轴62；然后，在滑动丝杠轴62的外周配置弹簧65，并且将安装有锁定构件60的滑动丝杠螺母61与滑动丝杠轴62螺合来进行装配。这样，完成锁定机构部7的组装。

支架部66形成为有底筒状，在与其底部66a相反的一侧装配有盖67。在锁定用电动机64插入到支架部66内且装配了盖67的状态下，锁定用电动机64与支架部66的底部66a及盖67的内表面抵接。另外，在该状态下，锁定用电动机64的输出侧(图1的左侧)的突起64b与形成在支架部66的底部66a的嵌合孔66c嵌合。锁定用电动机64的主体外周面及支架部66的周壁部66b的内周面均形成为不是圆筒形的相同形状，通过向支架部66的周壁部66b内插入锁定用电动机64来限制锁定用电动机64的旋转。这样，通过在支架部66收容锁定用电动机64，从而利用支架部66来保持锁定用电动机64，而将锁定机构部7整体进行保持。另外，在盖67形成有供与锁定用电动机64的电动机端子64d连接的线缆68穿过的孔部67a(参照图8)。

在轴壳50的设有支架部66的部分及与该部分对置的轴承壳体41的部分分别形成有锁定机构收容凹部66d、41f，在轴承壳体41侧的锁定机构收容凹部41f形成有贯通孔41g。如图1所示，在轴壳50安装于轴承壳体41的状态下，在锁定机构收容凹部66d、41f内收容有从支架部66突出的锁定用电动机64的输出轴64a、滑动丝杠轴62、滑动丝杠螺母61、锁定构件固定板63、弹簧65及锁定构件60的一部分，在贯通孔41g内插入锁定构件60的形成为平板状的前端部侧。贯通孔41g由与锁定构件60的前端部侧大致相同尺寸且相同形状的截面矩形的孔构成(参照图9、图10)。另外，在轴壳50安装于轴承壳体41的状态下，弹簧65在支架部66的底部66a与锁定构件固定板63之间沿着轴向被压缩，由该被压缩的弹簧65始终对锁定构件60向前进的方向(图1的左侧)施力。

在锁定构件60前进的方向配置有驱动齿轮30，在驱动齿轮30形成有能够与锁定构件60的前端部卡合的卡合孔30a。如在图1的C-C线处向视观察所得的作为横剖视图的图11所示，卡合孔30a遍及驱动齿轮30的周向地设置有多个。锁定构件60通过与这些卡合孔30a中的任一个卡合来限制驱动齿轮30的旋转。另外，在各卡合孔30a的入口部形成有倾斜面30b，锁定构件60沿着该倾斜面30b顺畅地插入卡合孔30a。

在轴承壳体41装配有用于检测锁定状态的锁定传感器69(参照图8)。锁定传感器69具有由板簧等弹性构件构成的接触件69a，在锁定构件60前进而与卡合孔30a卡合时(成为锁定状态时)，锁定构件60按压接触件69a而被检测到成为了锁定状态这一情况。

以下，对锁定机构部7的动作进行说明。

在未向锁定用电动机64供给电力的状态下，锁定构件60在弹簧65的作用下保持于前进的位置，成为锁定构件60的前端部与驱动齿轮30的卡合孔30a卡合的锁定状态。若从该状态起为了开始滚珠丝杠轴24的驱动而向驱动用电动机10供给电力，则也向锁定用电动机64供给电力，锁定用电动机64对锁定构件60向使其后退的方向进行驱动。由此，滑动丝杠轴62旋转，另一方面，由于滑动丝杠螺母61因锁定构件60的平板状前端部向截面矩形的贯通孔41g的插入而被限制旋转，因此在滑动丝杠轴62旋转时，滑动丝杠螺母61克服弹簧65的作用力而后退，锁定构件60与滑动丝杠螺母61一体地也后退。由此，锁定构件60的前端部从驱动齿轮30的卡合孔30a脱离，锁定状态被解除。这样，在驱动滚珠丝杠轴24的期间，锁定构件60保持于后退的位置，驱动齿轮30保持于未被锁定的状态(锁定解除状态)。

之后，在切断向驱动用电动机10的电力供给而停止滚珠丝杠轴24的驱动时，向锁定用电动机64的电力供给也被切断。由此，不再产生用于使锁定构件60后退的驱动力，因此锁定构件60被弹簧65向前进的方向按压而移动。并且，锁定构件60的前端部与驱动齿轮30的卡合孔30a卡合而成为锁定状态，驱动齿轮30的旋转受到限制。

这样，通过利用锁定构件60来限制驱动齿轮30的旋转，由此滚珠丝杠轴24被保持为不进退的状态。由此，即便从操作对象装置侧向滚珠丝杠轴24侧输入了外力，也能够将滚珠丝杠轴24的位置保持在规定的位置。上述结构在向需要保持位置的设备应用电动致动器的情况下尤为适合。

在本实施方式中，通过使锁定用电动机64驱动来使锁定构件60后退，但反之，也可以使锁定用电动机64驱动来使锁定构件60前进。另外，还可以通过使锁定用电动机64正反转来使锁定构件60前进或后退。

在本实施方式的电动致动器1搭载有用于检测滚珠丝杠轴24的行程的行程传感器70(参照图2、图3)。行程传感器70安装于传感器基座71，传感器基座71通过螺栓72紧固固定于在电动机壳体11与护罩套39之间的外周面上设置的传感器壳体76。另一方面，在滚珠丝杠轴24的由护罩36覆盖的部分的外周面安装有作为传感器检测对象的永磁铁73(参照图1)。在本实施方式中，永磁铁73借助周向上的一部分被切去的圆筒状的弹性构件74而安装于滚珠丝杠轴24。在滚珠丝杠轴24进退时，磁铁73相对于行程传感器70的位置发生变化，行程传感器70检测出随之变化的磁力线的朝向，由此能够掌握滚珠丝杠轴24的轴向位置。

接着，基于图12对使用了行程传感器70的反馈控制进行说明。

如图12所示，在将目标值向控制装置80发送时，从控制装置80的控制器81向驱动用电动机10发送控制信号。需要说明的是，该目标值例如是在车辆上位的ECU被输入了操作量时ECU基于该操作量进行运算而得出的行程值。

接收了控制信号的驱动用电动机10开始进行旋转驱动，其驱动力经由上述行星齿轮减速机构18、驱动齿轮30、从动齿轮31、滚珠丝杠螺母23向滚珠丝杠轴24传递，使滚珠丝杠轴24前进。由此，对配置在滚珠丝杠轴24的前端部侧(致动器头侧)的操作对象装置进行操作。

此时，由行程传感器70来检测滚珠丝杠轴24的行程值(轴向位置)。由行程传感器70检测出的检测值被向控制装置80的比较部82发送，算出检测值与上述目标值的差量。而且，使驱动用电动机10进行驱动直至检测值与目标值一致为止。这样，通过对由行程传感器70检测出的行程值进行反馈来控制滚珠丝杠轴24的位置，由此能够在将本实施方式的电动致动器1例如适用于线控换挡的情况下可靠地控制换挡位置。

接着，基于图13对取代行程传感器70而使用了压力传感器83的情况下的反馈控制进行说明。

如图13所示，这种情况下，在操作对象装置设有压力传感器83。在向车辆上位的ECU输入操作量时，ECU计算所要求的目标值(压力指令值)。将该目标值向控制装置80发送，从控制器81向驱动用电动机10发送控制信号，此时，驱动用电动机10开始进行旋转驱动。由此，滚珠丝杠轴24前进，对配置在滚珠丝杠轴24的前端部侧(致动器头侧)的操作对象装置进行加压操作。

此时的滚珠丝杠轴24的操作压力由压力传感器83来检测，并基于该检测值及目标值而与使用上述行程传感器70的情况同样地对滚珠丝杠轴24的位置进行反馈控制。这样，通过对压力传感器83检测出的压力值进行反馈来控制滚珠丝杠轴24的位置，由此能够在将本实施方式的电动致动器1例如适用于线控制动的情况下可靠地控制制动器的液压。

本实施方式的电动致动器1的结构及动作如上所述。以下，针对本实施方式的电动致动器1中的有利于小型化的结构部分进行说明。

如对上述锁定机构部7进行说明的那样，在本实施方式中，作为驱动锁定机构部7的驱动源，使用的是旋转式的锁定用电动机64。这样，通过使用旋转电动机来作为锁定机构部7的驱动源，由此与将螺线管作为驱动源的结构相比，能够实现电动致动器1的小型化。

另外，锁定用电动机64所使用的旋转电动机优选是小型电动机。

在本实施方式中，将旋转电动机用作为了解除锁定状态而使锁定构件60后退的驱动源，但也可以将旋转电动机用作用于将锁定构件60设为锁定状态(用于使锁定构件60前进)的驱动源，还可以将旋转电动机用作用于将锁定构件60切换为锁定状态和锁定解除状态这两种状态(用于使锁定构件60前进或后退)的驱动源。

另外，在本实施方式中，将锁定用电动机64的旋转运动转换为直线运动的机构使用的是由滑动丝杠螺母61和滑动丝杠轴62构成的滑动丝杠装置。这样，通过使用滑动丝杠装置，能够在使用了旋转电动机作为驱动源的结构中凭借部件数量少的简单结构来实现直线运动，因此能够实现进一步的小型化。

在本实施方式中，采用了使滑动丝杠轴62旋转而使滑动丝杠螺母61进行直线运动的结构，但反之也可以是使滑动丝杠螺母61旋转而使滑动丝杠轴62进行直线运动的结构。即，通过将滑动丝杠螺母61固定在锁定用电动机64的输出轴64a上并将滑动丝杠轴62固定在锁定构件60上，由此利用锁定用电动机64的驱动来使滑动丝杠螺母61旋转，能够使滑动丝杠轴62与锁定构件60一体地进退。

如上所述，在使用滑动丝杠装置的情况下，需要对滑动丝杠装置中的进行直线运动的构件的旋转进行限制的结构，但在本实施方式中，通过在轴承壳体41设置截面矩形的贯通孔41g且在该贯通孔41g中插入平板状的锁定构件60，由此对滑动丝杠装置中的进行直线运动的构件(滑动丝杠螺母61)的旋转进行限制。这样，使作为致动器壳体的一部分的轴承壳体41带有旋转限制部的功能，由此无需另行设置用于对滑动丝杠螺母61的旋转进行限制的构件，有利于小型化。

需要说明的是，作为与本实施方式不同的结构，也可以通过在滑动丝杠螺母61的外周面设置突起且使该突起与轴承壳体41的内表面抵接来限制滑动丝杠螺母61的旋转。但是考虑到如下情况：若限制滑动丝杠螺母61的旋转的部位在半径方向上远离锁定用电动机64的输出轴64a，则在限制旋转的部位受到的力矩变大，对滑动丝杠螺母61的直线运动的阻力变大。因此，期望限制旋转的部位是尽可能在半径方向上接近锁定用电动机64的输出轴64a的位置。关于这点，在本实施方式中，由于锁定构件60的前端部侧与锁定用电动机64的输出轴64a同轴地配置(参照图1、图8)，因此能够在半径方向上接近输出轴64a的位置处限制旋转，能够减少对滑动丝杠螺母61施加的阻力。由此，锁定构件60的动作性提高，电动致动器的可靠性提高。

在本实施方式中，从驱动齿轮30向从动齿轮31等速地传递旋转，但也可以从驱动齿轮30向从动齿轮31减速地传递旋转。这种情况下，驱动齿轮30相较于从动齿轮31而言旋转速度虽快但转矩变小。因而，通过将成为锁定机构部7的卡合对象的齿轮设为转矩小的驱动齿轮30而不是设为转矩大的从动齿轮31，由此能够减少卡合时向锁定机构部7施加的负载。另外，这种情况下，锁定机构部7的卡合对象是旋转速度快的驱动齿轮30，由此与锁定机构部7的卡合对象是减速后的从动齿轮31这样的情况相比，能够在旋转方向上对驱动齿轮30精细地进行定位，提高使运动转换机构部3停止的位置精度。

以下，对本发明的其它实施方式进行说明。需要说明的是，以下所说明的部分以外的部分是与上述实施方式基本相同的结构，因此省略重复的部分说明。

在本实施方式中，也与上述实施方式同样，在轴承壳体41装配有检测锁定构件60的进退位置来把握是否为锁定状态的锁定传感器69(参照图8)。锁定传感器69具有由板簧等弹性构件构成的接触件69a，在锁定构件60前进时，锁定构件60按压接触件69a，由此锁定构件60的位置被检测。

以下，对锁定机构部7的动作进行说明。

在未向锁定用电动机64供给电力的状态下，锁定构件60在弹簧65的作用下保持于前进的锁定位置，成为锁定构件60的前端部与驱动齿轮30的卡合孔30a卡合的锁定状态。若从该状态起为了开始滚珠丝杠轴24的驱动而向驱动用电动机10供给电力，则也向锁定用电动机64供给电力，锁定用电动机64对锁定构件60向使其后退的方向进行驱动。由此，滑动丝杠轴62旋转。此时，滑动丝杠螺母61因锁定构件60的平板状前端部向截面矩形的贯通孔41g的插入而被限制旋转，因此在滑动丝杠轴62旋转时，滑动丝杠螺母61克服弹簧65的作用力而后退，锁定构件60与滑动丝杠螺母61一体地也后退。由此，锁定构件60的前端部从驱动齿轮30的卡合孔30a脱离，锁定状态被解除。这样，在驱动滚珠丝杠轴24的期间，锁定构件60保持于后退的锁定解除位置，驱动齿轮30保持成未被锁定的锁定解除状态。

之后，在切断向驱动用电动机10的电力供给而停止滚珠丝杠轴24的驱动时，向锁定用电动机64的电力供给也被切断。由此，不再产生用于使锁定构件60后退的驱动力，因此锁定构件60被弹簧65向前进的方向按压而移动。并且，锁定构件60的前端部与驱动齿轮30的卡合孔30a卡合而成为锁定状态，驱动齿轮30的旋转受到限制。

然而，在本实施方式的电动致动器中，若上述锁定构件60为了成为锁定状态而前进，则存在如下情况：由于锁定传感器69的接触件69a与锁定构件60的单侧接触，因此锁定构件60相对于进退方向发生倾斜。详细而言，如图14所示，在锁定构件60上，一对肩部60b以夹着通过前端部60a的进退方向的直线L的方式彼此设置在相反侧，锁定传感器69的接触件69a与上述肩部60b中的一方接触。在像这样接触件69a与上述肩部60b中的一方接触时，仅在锁定传感器69的单侧作用接触阻力。另外，由于来自接触件69a的反力R作用在与锁定构件60前进的方向交叉的方向上，因此锁定构件60受到图中的逆时针方向的力矩M而欲进行旋转。由此，锁定构件60相对于其进退方向发生倾斜，此时，存在锁定构件60卡挂在贯通孔41g的内表面而无法进行顺畅的进退运动的可能性。另外，锁定构件60产生了倾斜的结果是，锁定构件60可能无法插入卡合孔30a中或者锁定构件60即便插入了卡合孔30a也无法拔出。

因此，为了防患这种问题于未然，在本实施方式的电动致动器中，设置有用于防止锁定构件60的倾斜的防倾斜部。在本实施方式中，如图15所示，在轴承壳体41的内表面设置有防倾斜部90。详细而言，防倾斜部90在轴承壳体41的内表面以与锁定传感器69的接触件69a相对于锁定构件60进行接触这一侧的相反侧的肩部60b(图15的右侧的肩部60b)的前表面(面向前进方向的面)601对置的方式配置。

通过在这样的位置配置防倾斜部90，由此在锁定构件60前进时，上述右侧的肩部60b的前表面601与防倾斜部90碰触。由此，如图16A所示，即便锁定构件60发生了倾斜，通过如图16B所示那样锁定构件60与防倾斜部90抵接，而对锁定构件60作用图中的顺时针方向的力矩，使锁定构件60的姿势恢复而减少或消除倾斜。

需要说明的是，通过变更防倾斜部90的厚度t(参照图16B)，由此能够调整锁定构件60前进时与防倾斜部90碰撞的时机。防倾斜部90若过厚，则锁定构件60的前端部60a无法插入卡合孔30a中，若过薄，则校正倾斜的时机延迟而难以获得期待的效果，因此优选适当设定防倾斜部90的厚度t，以避免妨碍锁定构件60向卡合孔30a的插入，且能够在尽早的时机校正倾斜。

如上所述，在本发明的电动致动器中，通过设置防倾斜部90，由此能够减少或消除锁定构件60的倾斜，能够避免锁定构件60卡挂在贯通孔41g或卡合孔30a、锁定构件60无法插入卡合孔30a这样的事态。由此，锁定及锁定解除的可靠性增加，可靠性得以提高。并且，通过仅仅是将防倾斜部90安装于轴承壳体41这样简单的结构，能够实现锁定构件60的顺畅的进退动作，由此还有利于装置的低成本化或小型化。

在上述的实施方式中，锁定构件的倾斜因与锁定传感器的接触而产生，但本发明并不局限于此，也能够适用于因与锁定传感器以外的周边构件的接触或干涉等原因而导致锁定构件产生倾斜的电动致动器。

另外，如图17所示的例子那样，防倾斜部90也可以不设置于轴承壳体41而设置于锁定构件60。这种情况下，防倾斜部90设置在与锁定传感器69进行接触的肩部60b的相反侧的肩部60b的前表面601，通过锁定构件60前进而使防倾斜部90与轴承壳体41的内表面碰触，由此与上述同样地能减少或消除锁定构件60的倾斜。另外，也可以将防倾斜部90与轴承壳体41等致动器壳体或锁定构件60一体成型，而不是分体地形成。

另外，为了提高锁定构件60相对于卡合孔30a、贯通孔41g的滑动性，进而抑制锁定构件60因与上述卡合孔30a、贯通孔41g的干涉而发生的磨损，可以对锁定构件60的表面进行低摩擦处理(也可以设置成低摩擦面)。作为低摩擦处理，例如，可以适用将二硫化钼粉末向处理对象物的表面高速喷射并冲撞而在处理对象物的表面形成二硫化钼的层这样的所谓二硫化钼喷丸处理等。进行低摩擦处理的部分可以是锁定构件60的表面整体，但只要至少是与卡合孔30a、贯通孔41g进行接触的部分即可。

另外，也可以如图18所示的例子那样，通过镶嵌成型等仅将驱动齿轮30的齿的部分及其周边部(图2的剖面线部)由金属构成，而将形成有卡合孔30a的其它部分由进行了低摩擦处理的树脂(低摩擦表面的树脂)构成。这种情况下，由于卡合孔30a的表面成为低摩擦面，因此能够提高锁定构件60相对于卡合孔30a的滑动性，并且，能够抑制因锁定构件60与卡合孔30a的干涉而引起的磨损。而且，通过除了将卡合孔30a的部分由进行了低摩擦处理的树脂构成以外还如上所述那样对锁定构件60的表面也进行低摩擦处理，由此能够进一步提高锁定构件60的滑动性和磨损抑制效果。

图19是本发明的又一实施方式的电动致动器1。

图19所示的电动致动器1与图1所示的电动致动器1相比，去掉减速机构部9而将电动机部8与驱动力传递部4直接连结。这种情况下，驱动部2仅由电动机部8构成。另外，由于没有减速机构部9，因此驱动用电动机10的输出轴10a压入嵌合于齿轮轮毂32，并省略对齿轮轮毂32进行支承的传递齿轮壳体29侧的滚动轴承33。另外，就供驱动用电动机10安装的电动机适配器19而言，由于所嵌合的对象构件从减速齿轮壳体17变为传递齿轮壳体29，因此变为与对象构件的嵌合形状匹配的其它形状。其它结构与图1所示的实施方式同样。需要说明的是，图19所示的实施方式的电动致动器1除了将来自驱动用电动机10的驱动力不经由减速机构部9地直接向驱动力传递部4传递以外，与上述各实施方式基本同样地被控制而进行动作，因此省略与控制及动作相关的说明。

在图19所示的电动致动器1中，与图1所示的电动致动器1同样地使用旋转电动机(锁定用电动机64)作为驱动锁定机构部7的驱动源，由此与将螺线管作为驱动源的结构相比，能够实现电动致动器1的小型化。

如上所述，根据本发明，能够使用旋转电动机来作为驱动锁定机构部7的驱动源，由此能够实现电动致动器1的小型化。由此，还能实现搭载电动致动器的装置或设备的小型化。因而，本发明涉及的电动致动器的结构除了在将电动致动器例如用于包括二轮车在内的机动车用的电动驻车制动机构、电动液压制动机构、电动换挡切换机构、电动动力转向器这样的用途时合适，在用于2WD/4WD电动切换机构、舷外机用(船舶推进器用)的电动换挡切换机构等用途、对应于使用进行系列化而开展为多品种时也合适。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不局限于使用DC电动机作为上述旋转电动机(锁定用电动机64)的情况，可以使用DC电动机以外的旋转电动机。另外，锁定机构部7不局限于使用滑动丝杠装置，也可以使用滚珠丝杠装置。

对上述运动转换机构部3进行支承的支承轴承40并不局限于使用双列角接触球轴承的结构，也可以将一对单列角接触球轴承组合使用。另外，作为支承轴承40，除了角接触球轴承以外，例如也可以适用使用了深沟球轴承等的其它的双列轴承。

上述运动转换机构部3可以是滑动丝杠装置。但是，若从减小转矩来使驱动用电动机10小型化的观点出发，则滚珠丝杠22更为合适。

另外，上述减速机构部9可以是行星齿轮减速机构18以外的减速机构。

本发明完全不限定于上述的实施方式，当然可以在不脱离本发明的主旨的范围内以各种各样的方式实施，本发明的范围由技术方案表示，进而包含与技术方案等同的范围及该范围内的所有变更。

【附图标记说明】

1 电动致动器

2 驱动部

3 运动转换机构部

4 驱动力传递部

5 运动转换机构支承部

6 操作部

7 锁定机构部

8 电动机部

9 减速机构部

10 驱动用电动机

10a 输出轴

28 传递齿轮机构

30 驱动齿轮

30a 卡合孔

41 轴承壳体

41g 贯通孔

60 锁定构件

60a 前端部

60b 肩部

61 滑动丝杠螺母

62 滑动丝杠轴

64 锁定用电动机

65 弹簧

69 锁定传感器

90 防倾斜部

Claims (15)

1.一种电动致动器，其特征在于，具备：

驱动部；将来自所述驱动部的旋转运动转换为与所述驱动部的输出轴平行的轴向的直线运动的运动转换机构部；以及防止所述运动转换机构部的驱动的锁定机构部，

所述锁定机构部具有旋转电动机和锁定构件，所述锁定构件由所述旋转电动机驱动而成为防止所述运动转换机构部的驱动的锁定状态和解除该锁定状态的锁定解除状态中的至少一方的状态。

2.根据权利要求1所述的电动致动器，其中，

所述锁定机构部具有将所述旋转电动机的旋转运动转换为直线运动来驱动所述锁定构件的滑动丝杠装置。

3.根据权利要求2所述的电动致动器，其中，

致动器壳体具有在所述旋转电动机进行旋转驱动时对所述滑动丝杠装置中的进行直线运动的构件的旋转进行限制的旋转限制部。

4.根据权利要求3所述的电动致动器，其中，

构成所述滑动丝杠装置的滑动丝杠螺母和滑动丝杠轴中的一方固定于所述锁定构件，并且，另一方固定于所述旋转电动机的输出轴，

所述锁定构件的前端部侧形成为平板状，

在所述致动器壳体形成有供所述锁定构件的前端部侧插入的截面矩形的贯通孔。

5.根据权利要求4所述的电动致动器，其中，

所述锁定构件的前端部侧与所述旋转电动机的输出轴同轴地配置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的电动致动器，其中，

所述锁定机构部具有对所述锁定构件向使所述锁定构件成为所述锁定状态的方向施力的弹簧，

所述旋转电动机在所述驱动部进行驱动时驱动所述锁定构件克服所述弹簧的作用力而将所述锁定构件切换为所述锁定解除状态。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的电动致动器，其中，

在从所述驱动部向所述运动转换机构部传递驱动力的齿轮的与轴向交叉的侧面上形成有供所述锁定构件卡合的卡合孔。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的电动致动器，其中，

所述电动致动器具备驱动力传递部，所述驱动力传递部具有从所述驱动部向所述运动转换机构部传递驱动力的传递齿轮机构，

所述锁定构件构成为进行进退而能够向防止所述运动转换机构部的驱动的锁定位置和不防止所述运动转换机构部的驱动的锁定解除位置移动，

所述电动致动器中设置有防止所述锁定构件相对于进退方向的倾斜的防倾斜部。

9.根据权利要求8所述的电动致动器，其中，

所述电动致动器具备通过与所述锁定构件接触来检测所述锁定构件的进退位置的锁定传感器，

所述防倾斜部在所述锁定传感器相对于所述锁定构件进行接触这一侧的相反侧设置于致动器壳体，

在所述锁定构件前进而向所述锁定位置移动时，通过所述锁定传感器相对于所述锁定构件进行接触这一侧的相反侧的所述锁定构件的面与所述防倾斜部碰触而使所述锁定构件从倾斜的状态恢复。

10.根据权利要求9所述的电动致动器，其中，

所述传递齿轮机构具有齿轮，在所述齿轮上形成有能够供所述锁定构件卡合或脱离的卡合孔，

所述锁定构件具有向所述卡合孔插入而进行卡合的前端部以及夹着通过所述前端部的进退方向上的直线而彼此配置在相反侧的一对肩部，

所述锁定传感器配置在能够与一方的所述肩部接触的位置，

所述防倾斜部以与所述锁定传感器所接触的所述肩部的相反侧的所述肩部对置的方式设置于所述致动器壳体。

11.根据权利要求8所述的电动致动器，其中，

所述电动致动器具备通过与所述锁定构件接触来检测所述锁定构件的进退位置的锁定传感器，

所述防倾斜部在所述锁定传感器相对于所述锁定构件进行接触这一侧的相反侧设置于所述锁定构件，

在所述锁定构件前进而向所述锁定位置移动时，通过所述防倾斜部与致动器壳体碰触而使所述锁定构件从倾斜的状态恢复。

12.根据权利要求11所述的电动致动器，其中，

所述传递齿轮机构具有齿轮，在所述齿轮上形成有能够供所述锁定构件卡合或脱离的卡合孔，

所述锁定构件具有向所述卡合孔插入而进行卡合的前端部以及夹着通过所述前端部的进退方向上的直线而彼此配置在相反侧的一对肩部，

所述锁定传感器配置在能够与一方的所述肩部接触的位置，

所述防倾斜部设置于所述锁定传感器所接触的所述肩部的相反侧的所述肩部。

13.根据权利要求8～12中任一项所述的电动致动器，其中，

所述锁定构件的表面设置成低摩擦面。

14.根据权利要求8～13中任一项所述的电动致动器，其中，

所述传递齿轮机构具有齿轮，在所述齿轮上形成有能够供所述锁定构件卡合或脱离的卡合孔，

在所述卡合孔的入口部设置有倾斜面。

15.根据权利要求8～14中任一项所述的电动致动器，其中，

所述传递齿轮机构具有齿轮，在所述齿轮上形成有能够供所述锁定构件卡合或脱离的卡合孔，

所述齿轮中的所述卡合孔的部分由低摩擦表面的树脂构成，齿的部分由金属构成。