CN108735564B - 离子源 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种定位销及离子源，所述定位销的固定结构得到了简化。所述定位销(P)用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装，在定位销(P)的长边方向的两个端部中，在第一端部(11)形成有螺丝(S)，与第一端部(11)相反侧的第二端部(12)为锥形。

Description

离子源
技术领域
本发明涉及用于离子源的引出电极系统的定位的定位销和利用被该定位销定位了的引出电极系统进行离子束的引出的离子源。
背景技术
在由多个电极构成的离子束的引出电极系统中形成有用于引出离子束的开口。在组装离子源时，使用定位用的销(定位销)，以使电极位置的安装位置成为适当的位置。
在专利文献1中，作为定位销的例子，公开了圆筒状对准绝缘体。该圆筒状对准绝缘体通过插入形成在用于引出离子束发生器的离子束的三个取出电极组件的端部的贯通孔，由此对各取出组件进行定位。
现有技术文献
专利文献1：日本专利公开公报特开2011-129270号
在圆筒状对准绝缘体的长边方向的各端部设有环状构件。通过该环状构件和插入绝缘体的内部的金属固定螺丝来固定圆筒状对准绝缘体。
具体来说，插入圆筒状对准绝缘体的金属固定螺丝的前端螺合于形成在一方的环状构件上的螺孔，金属固定螺丝的头部将圆筒状对准绝缘体向另一方的环状构件推压。由此，固定圆筒状对准绝缘体。
在所述结构的定位销的固定中，需要环状构件和金属固定螺丝，因此结构复杂，构件多，成本也相应地增加。
发明内容
本发明的目的在于提供一种固定的结构得到了简化的定位销。
本发明的定位销，其用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装，在定位销的长边方向的两个端部中，在第一端部形成有螺丝(螺子)，与所述第一端部相反侧的第二端部为锥形。
按照所述结构的定位销，由于在定位销自身形成有螺丝，因此无需使用其它的构件就能够进行定位销的固定，因此结构变得简单。
此外，由于第二端部为锥形，因此该端部向定位构件的插入变得简单，能够提高定位时的操作效率。
为了使定位销的装拆操作变得简单，优选的是，在所述第二端部的前端形成有进行定位销的松紧的槽。
如果具有所述槽，则能够从第二端部侧进行定位销的松紧。
在定位电位不同的构件的情况下，优选的是，所述第二端部被绝缘性的帽覆盖，所述帽具有凹凸状的台阶部。
按照该结构，即使定位销是导电性的定位销，由于第二端部被绝缘性的帽覆盖，因此也能够在电位不同的构件间使用定位销。
此外，由于在帽的外表面形成有凹凸状的台阶部，因此能够加长电位不同的构件间的爬电距离。
作为具体的离子源结构，其使用具有定位销的引出电极系统，进行离子束的引出，所述定位销，用于构成所述离子源的引出电极系统的电极的安装，在所述定位销的长边方向的两个端部中，在第一端部形成有螺丝，与所述第一端部相反侧的第二端部为锥形，所述离子源包括：第一电极框体，安装有所述定位销；以及第二电极，与所述电极框体相对，在所述电极上形成有贯通孔，所述定位销的所述第二端部配置在所述贯通孔内。
如果考虑定位精度，则优选的是，所述第一构件是外形为大致长方形的构件，所述定位销安装在所述第一构件的长边方向的端部。
由于在定位销自身形成有螺丝，因此不使用其它构件就能够固定定位销，结构变得简单。
此外，由于第二端部为锥形，因此将该端部插入定位的构件变得简单，定位时的操作效率提高。
附图说明
图1是表示定位销的一个例子的平面图。图1的(A)表示定位销侧方的样子。图1的(B)表示从X方向观察图1的(A)时的定位销的样子。
图2是具有绝缘性帽的定位销的平面图。图2的(A)是绝缘性帽。图2的(B)表示图1中记载的定位销安装有绝缘性帽时的样子。
图3是使用定位销在构件间进行定位时的说明图。图3的(A)是安装有定位销的构件和形成有贯通孔的构件的立体图。图3的(B)是图3的(A)中记载的两构件被定位时的定位销附近的剖视图。
图4是使用定位销在其它构件间进行定位时的说明图。
图5是使用定位销在电位不同的构件间进行定位时的说明图。图5的(A)是安装有定位销的构件和形成有贯通孔的构件的立体图。图5的(B)是图5的(A)中记载的两构件被定位时的定位销附近的剖视图。
附图标记说明
P 定位销
C 帽
11 第一端部
12 第二端部
13 槽
14 台阶部
15 贯通孔
具体实施方式
图1描述了本发明的定位销的一个结构例。
图1的(A)是从侧方观察定位销时的图。图1的(B)是从图示的X方向观察图1的(A)的定位销时的图。
如图1的(A)所描述的那样，定位销在长边方向上具有两个端部。
在构成一个端部的第一端部11上形成有螺丝S。该螺丝S与在后述的电极、电极框体、支承框等上形成的螺孔螺合。
构成另一端部的第二端部12形成为锥形。形成为锥形的目的是便于定位销插入形成在后述的电极等上的贯通孔。
此外，该定位销P例如由耐热性、刚性优异的不锈钢材料构成。
本发明的定位销P由于在定位销P本身上形成有螺丝S，所以无需使用其它的构件就能够固定定位销P，因此结构变得简单。
此外，由于第二端部12是锥形，因此将该端部插入定位的构件变得简单，定位时的操作效率提高。
如图1的(B)所描述的那样，在第二端部12的前端形成有槽13。
该槽13是用于通过插入螺丝刀等松紧工具而从第二端部12侧进行定位销P的松紧的结构。如果具有这样的槽13，则定位销P的装拆操作变得简便。
图2描述了绝缘性帽C和图1中描述的定位销P上安装有该帽C时的样子。
帽C例如是由耐热性、绝缘性优异的PEEK材料构成。此外，帽C设有凹凸状的台阶部14。
在使用定位销P进行电位不同的构件间的定位的情况下，如果形成有该台阶部14，则能够加长构件间的爬电距离。
在图3至图5中，对使用定位销P的定位进行说明。
图3是关于电极D和支承其的电极框体H1的定位的说明图。
电极D是构成离子源的引出电极系统的一部分的电极。如图3的(A)所描述的那样，在长边方向的两端部形成有贯通孔15。
电极框体H1是在内部具有未图示的制冷剂流道的电极D的支承框。
在电极框体H1的长边方向的两端部螺合有定位销P。
在电极框体H1安装在对其进行支承的构件上之后，通过将电极框体H1的定位销P插入电极D的贯通孔15，由此进行电极D的定位。
如果定位销P的第二端部12向施加有高电压的空间内突出，则有可能由第二端部12引起产生异常放电。因此，在本发明中，如图3的(B)所描述的那样，定位销P的第二端部12配置在电极D的贯通孔15的内侧，不从电极D的表面突出。
此外，不论定位销P的第二端部12配置在贯通孔15的内或外，作为锥形形状的第二端部12的前端不尖锐。第二端部12的前端如图示那样是平坦的形状或被实施了圆头加工。
如果是这样的结构，则与作为锥形形状的第二端部12的前端尖锐的情况相比，能够抑制异常放电的发生。
另外，也可以设置如绝缘性帽C那样的覆盖第二端部12的导电性帽，并使该帽的前端平坦，或者对该帽的前端实施圆头加工。在该情况下，也可以使被该导电性帽覆盖的第二端部12的前端变尖。
此外，如果考虑定位销P的强度，则也可以如图所示地，在安装定位销P的部位形成沉孔，在该沉孔内收纳与定位销P的形成有螺丝S的部位相连的大直径部的一部分，并进行定位销P的安装。
如果是这样的结构，则能够提高定位销P相对于定位销P所插入的构件的横向负荷的刚性。
由本发明的定位销P定位的构件并不限于图3中例示的电极D和电极框体H1。例如，本发明的定位销P也可以用于图4所示的电极框体H1和支承电极框体H1的支承框H2的定位。此外，也可以用于支承框H2和支承其的其它构件的定位等，可以用于各种构件间的定位。
在电位不同的构件间的定位中，使用之前说明过的具有图2的绝缘性帽C的定位销P。
构成离子源的引出电极系统的电极彼此电位不同。在该电极彼此间进行定位的情况下，例如使用图5所示的结构例。
图5的(A)描述了形成有贯通孔15的电极D和安装有具有绝缘性帽C的定位销P的电极D。
图5的(B)描述了将定位销P插入贯通孔15时的样子。
帽C的凹凸状台阶部14的凸部分的直径大于贯通孔15的直径，因此，两电极D彼此未物理接触。此外，由于在帽C的外表面形成有凹凸状的台阶部14，所以与没有台阶部14的直径恒定的情况相比，能够增大电极间的爬电距离。
在所述实施方式中，说明了连接形成在电极、电极框体、支承框上的两个贯通孔的线与各构件的长边方向为平行关系的例子，但是连接各贯通孔的线也可以相对于各构件的长边方向倾斜。此外，对于定位销的安装位置也可以采用相同的方式。
如果是外形为长方形的构件，则在考虑到定位精度的情况下，优选的是，用于定位的贯通孔和定位销设置在各构件的长边方向的两端部相对于构件的中心位置呈点对称的位置。但是，如果不考虑定位精度，则定位的贯通孔和定位销也可以设置在构件的短边方向的两端部相对于构件的中心位置呈点对称的位置。
图5中作为电位不同的构件间的定位的例子，以对置电极为例进行了说明，但是本发明的定位销也可以用于对置电极以外的电位不同的构件间的定位。
作为电极形状，以大致长方形的电极为例进行了说明，但是本发明的定位销也可以用于与专利文献1相同的圆形的电极或其它形状的电极。
在所述实施方式中，是在安装有定位销的构件上形成有沉孔的结构，但是在对定位销施加的横向负荷小的情况下，无需在安装有定位销的构件上形成沉孔。在该情况下，仅定位销的形成在第一端部11的螺丝S的部分配置在安装有定位销的构件的内部。
此外，在对定位销施加的横向负荷小的情况下，代替图2中说明过的绝缘性帽覆盖定位销的结构，也可以用绝缘材料制作定位销自身。这样，就不需要之后用绝缘性帽覆盖定位销。
另外，除了所述的内容以外，在不脱离本发明宗旨的范围内，当然也可进行各种改良及变形。

Claims (4)

1.一种离子源，其使用具有定位销的引出电极系统，进行离子束的引出，
所述定位销，用于构成所述离子源的引出电极系统的电极的安装，在所述定位销的长边方向的两个端部中，在第一端部形成有螺丝，与所述第一端部相反侧的第二端部为锥形，
所述离子源的特征在于，
所述离子源包括：
电极框体，安装有所述定位销；以及
电极，与所述电极框体相对，
在所述电极上形成有贯通孔，
所述定位销的所述第二端部配置在所述贯通孔内。
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
在所述第二端部的前端形成有进行定位销的松紧的槽。
3.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
所述第二端部被绝缘性的帽覆盖，
所述帽具有凹凸状的台阶部。
4.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
所述电极框体是外形为大致长方形的构件，
所述定位销安装在所述电极框体的长边方向的两端部。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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