CN108723985A - 一种ito圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及ITO圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。本发明提供了一种用于ITO圆筒靶材外侧壁研磨的定位支撑工装，通过简单的机械机构定位杆IE，能够100％保证不会对ITO靶材造成磕碰伤，而且效率非常高，操作简单，在生产成本低廉的同时，还具有很好的使用效果。

Description

一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法

技术领域

本发明涉及ITO圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，

背景技术

ITO圆筒靶材烧结完成后，外径表面会形成不规则圆形。必须对其外表面进行研磨以达到客户要求的尺寸，尺寸精度一般在±0.1mm。由于ITO圆筒靶在磨外径时，靶材、工装和砂轮都是快速旋转的。且ITO靶材为陶瓷靶材，属于脆硬材料，极易碰裂。所以对工装和靶材的贴合性、材质都要求较高。普通工装要么容易把靶材碰裂；要么贴合性不好，磨出来的外径尺寸超出客户要求；所以一种用于圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装是现在所需要的。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种支撑圆筒靶材，用于圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。

所述单体支撑工装还包括套接在转动轴上用于顶升支撑垫块的挤压套筒，在支撑套筒上设有挤压开口，挤压开口朝向挤压套筒一侧。

所述挤压套筒截面呈锥台型，所述支撑垫块处于支撑套筒内部的一端与挤压套筒外侧壁相贴合。

所述单体支撑工装还包括调节在转动轴上用于挤压套筒定位的限位卡环组。

所述限位卡环组包括两个单体限位卡环，两个所述限位卡环套接在转动轴上，并且在两个所述限位卡环之间至少一个设有支撑套筒和挤压套筒。

所述挤压开口竖直截面呈锥台型，所述挤压套筒竖直截面也呈锥台型。

所述支撑套筒上设有用于减少支撑垫块对圆筒靶材内壁磨损的硅胶圈。

所述转动轴本体包括多个单体转动轴本体，所述单体转动轴本体间依次连接组成转动轴本体；每个所述单体转动轴本体上至少设有一个单体支撑工装。

所述单体支撑工装间通过连接组件相连接，所述连接组件包括分别设置在单体转动轴本体端部的连接盘，相邻单体转动轴本体通过相邻连接盘的连接相连接。

一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，所述使用方法包括如下步骤：

(1)确定需要研磨外壁的圆筒靶材内径，选取合适的定位支撑工装，并针对相应圆筒靶材的长度，选定相对应的定位支撑工装长度；

(2)步骤(1)完成后，进行单体支撑工装的组装，先在支撑套筒的放置槽内放置相应数量的支撑垫块，并在支撑套筒外侧套接多个硅胶圈用于辅助固定支撑垫块；

(3)步骤(2)完成后，先将一个单体限位卡环套接在转动轴上，随后再把步骤(2)中初步装配完成的支撑套筒套接在转动轴上；

(4)步骤(3)完成后，在支撑套筒开口朝向的一侧加装一个挤压套筒，挤压套筒套接在转动轴上；

(5)步骤(4)完成后，再在转动轴上增加一个用于固定挤压套筒的单体限位卡环，该单体限位卡环与步骤(3)中的单体限位卡环关于挤压套筒和支撑套筒对称分布；

(6)步骤(5)完成后，一个单体支撑工装组装完成，如果需要组装多个单体支撑工装，重复步骤(2)-(5)即可，多次在转动轴上增加单体支撑工装，直至装配处符合产品要求的定位支撑工装；

(7)步骤(6)完成后，把步骤(7)中组合完成的定位支撑工装竖立放进ITO圆筒靶材里，慢慢把工装移进到靶材中间；

(8)步骤(7)完成后，将支撑工装两端最外侧的单体限位卡环旋动，使其对相邻的挤压套筒产生挤压，进而推动挤压套筒对支撑垫块的顶起，挤压套筒顶起支撑垫块，使得支撑垫块外侧面与圆筒靶材内侧壁相贴合，进而实现对圆筒靶材的固定；

(9)步骤(8)完成后，把固定有圆筒靶材的定位支撑工装安装在研磨设备上，启动研磨设备，使得研磨设备对圆筒靶材外侧面进行研磨。

本发明的优点在于：

本发明提供了一种用于ITO圆筒靶材外侧壁研磨的定位支撑工装，通过简单的机械机构定位杆IE，能够100％保证不会对ITO靶材造成磕碰伤，而且效率非常高，操作简单，在生产成本低廉的同时，还具有很好的使用效果。

附图说明

下面对本发明说明书各幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为本发明使用时的结构示意图。

图2为本发明中单体支撑工装的结构示意图。

图3为本发明中沿A-A的局部剖视图。

上述图中的标记均为：

1、转动轴，2、挤压套筒，3、支撑套筒，4、挤压开口，5、硅胶圈，6、支撑垫块，7单体限位卡环，8放置槽，9

具体实施方式

下面对照附图，通过对最优实施例的描述，对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，定位支撑工装包括多个单体支撑工装，单体支撑工装间通过转动轴1依次连接；转动轴1上设有外螺纹；每个单体支撑工装套接在转动轴1上的支撑套筒3，支撑套筒3上设有放置槽8，放置槽8内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块6；本发明中转动轴1起到主支撑作用，使用时转动轴1两端与研磨设备相连接，起到最初的支撑作用；同时在本发明中转动轴1上设有多个单体支撑工装，每个单体支撑工装包括支撑套筒3，支撑套筒3套接在转动轴1上，支撑套筒3上设有穿接孔，用于支撑套筒3套接在转动轴1上，并且该穿接孔内设有内螺纹，方便支撑套筒3套接在转动轴1上；同时为了实现圆筒靶材的固定，在本发明中支撑套筒3上设有放置槽8，放置槽8内设有支撑垫块6，同时本发明中支撑垫块6高度大于放置槽8深度，使用时支撑垫块6上端与圆筒靶材相贴合，起到移动的紧固作用，进而实现对圆筒靶材的支撑作用，也就是通过支撑圆筒和支撑垫块6的设置，使的圆筒靶材内侧壁得到支撑，进而实现对圆筒靶材的定位操作；除了以上设置，为了使得本发明具有更好的使用效果，本发明中支撑套筒3设有挤压开口4，挤压开口4沿支撑套筒3轴向设置，并且挤压开口4深度小于支撑套筒3长度，这样设置的原因是挤压开口4的设置是方便后续挤压套筒2的放入，如果挤压开口4深度与支撑套筒3长度相同，这也就造成上述的穿接孔消失，不方便支撑套筒3与转动轴1的连接，影响本申请公开的装置使用，基于本发明公开有挤压开口4，为了更好的实现支撑垫块6对圆筒靶材的挤压效果，本发明中单体支撑工装还包括套接在转动轴1上用于顶升支撑垫块6的挤压套筒2，挤压套筒2套接在转动轴1上，并且挤压套筒2截面也呈锥台型，挤压套筒2与挤压开口4相适配，当挤压套筒2放置在挤压开口4中时，要求挤压套筒2外侧面与挤压开口4内侧壁完全贴合，这样可以保证挤压套筒2与挤压开口4连接的紧密性，进而保证支撑垫块6凸起高度相同，保证圆筒靶材更好的固定；同理，为了更好的实现对挤压套筒2与转动轴1的连接，本发明挤压套筒2轴向也设有用于套接在转动轴1上的套接孔，套接孔内壁上设有内螺纹；除了以上结构的设置，本发明放置槽8是一个贯通槽，放置槽8使得挤压开口4与支撑套筒3外侧壁相连通，保证支撑垫块6可以在挤压套筒2的作用下上下移动，同时本发明中的支撑垫块6下端面是具有一个倾斜面的，目的是为了与挤压套筒2外侧面相适配，保证挤压套筒2对支撑垫块6顶升时，支撑垫块6下端面与挤压套筒2完全重合，避免局部应力过大的问题，同时避免支撑垫块6影响挤压套筒2的进给，避免两者之间的干涉。

作为优选的，本发明中放置槽8是竖直截面呈锥台型，本发明中支撑垫块6竖直截面也呈锥台型，这样的设置，可以避免支撑垫块6从放置槽8下端进而支撑套筒3内壁，保证良好的使用效果；同时作为优选的，本发明中支撑垫块长度也是渐变的，各个支撑垫块被顶升后处于支撑套筒外侧的一端处于一个圆周面上，也即是各个支撑垫块上端面与其相贴合的圆筒靶材相贴合；因为挤压套筒2为锥形台状，为了保证支撑垫块被顶升后外侧面处于一个圆周面上，需要对支撑垫块高度进行修改，具体尺寸更加实际需求进行设置。

作为优选的，本发明中单体支撑工装还包括调节在转动轴1上用于挤压套筒2定位的限位卡环组；限位卡环柱起到一个辅助固定的作用，限位卡环组的设置，使得本发明中上文中支撑套筒3与挤压套筒2可以是直接套接在转动轴1上，支撑套筒3与挤压套筒2与转动轴1之间不相互连接也是可以的，因为限位卡环组的设置可以对支撑套筒3和挤压套筒2进行限位操作，继而保证整个装置的正常使用，所以本发明中限位卡环组还具有相应的优化，本发明中限位卡环组包括两个单体限位卡环7，两个单体限位卡环7套接在转动轴1上，并且在两个限位卡环之间至少一个设有支撑套筒3和挤压套筒2；通过该两个单体限位卡环7，可以实现对两者之间的物体进行稳固，继而实现上述目的，同时本发明中单体限位卡环7与转动轴1通过螺纹连接。

作为优选的，本发明中支撑套筒3上设有用于减少支撑垫块6对圆筒靶材内壁磨损的硅胶圈5，硅胶圈5实际上就是一个圆环，可以套接在支撑套筒3上，这样的设置一个是起到防护作用，因为本发明支撑垫块6具有一定的硬度，硅胶圈5的设置，可以减少支撑垫块6与圆筒靶材接触位置的损伤；还有就是本发明中硅胶圈5具有一个束缚作用，硅胶圈5具有一定的弹性变形能力，使用时可以变形，当不受到外力时，硅胶圈5具有一个回位的能力，这样的能力使得硅胶圈5可以束缚支撑垫块6停留在相应的放置槽8内，避免支撑垫块6在本发明不使用时丢失或者遗漏。

作为优选的，本发明中转动轴本体包括多个单体转动轴本体101，单体转动轴本体101间依次连接组成转动轴本体；每个单体转动轴本体101上至少设有一个单体支撑工装，这是一种优化方案，是说明本发明转动轴1是拼接而成的，而拼接得以实现是因为本发明中公开有单体支撑工装间通过连接组件相连接，连接组件包括分别设置在单体转动轴本体101端部的连接盘102，相邻单体转动轴本体101通过相邻连接盘102的连接相连接；基于以上表述，可以知道，本发明中转动轴1是由多个单体转动轴本体101连接而成的，相邻单体转动轴1之间的连接是通过设置在单体转动轴1端部的连接盘102间相互连接得以实现的，也就是说单体转动轴1之间的连接是通过相邻连接盘102之间的连接来完成的，相邻连接盘102之间可以是焊接也可以是通过螺栓连接，具体连接方式更加实际需要确定。

一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，使用方法包括如下步骤：

(1)确定需要研磨外壁的圆筒靶材内径，选取合适的定位支撑工装，并针对相应圆筒靶材的长度，选定相对应的定位支撑工装长度；

(2)步骤(1)完成后，进行单体支撑工装的组装，先在支撑套筒3的放置槽8内放置相应数量的支撑垫块6，并在支撑套筒3外侧套接多个硅胶圈5用于辅助固定支撑垫块6；

(3)步骤(2)完成后，先将一个单体限位卡环7套接在转动轴1上，随后再把步骤(2)中初步装配完成的支撑套筒3套接在转动轴1上；

(4)步骤(3)完成后，在支撑套筒3开口朝向的一侧加装一个挤压套筒2，挤压套筒2套接在转动轴1上；

(5)步骤(4)完成后，再在转动轴1上增加一个用于固定挤压套筒2的单体限位卡环7，该单体限位卡环7与步骤(3)中的单体限位卡环7关于挤压套筒2和支撑套筒3对称分布；

(6)步骤(5)完成后，一个单体支撑工装组装完成，如果需要组装多个单体支撑工装，重复步骤(2)-(5)即可，多次在转动轴1上增加单体支撑工装，直至装配处符合产品要求的定位支撑工装；

(7)步骤(6)完成后，把步骤(7)中组合完成的定位支撑工装竖立放进ITO圆筒靶材里，慢慢把工装移进到靶材中间；

(8)步骤(7)完成后，将支撑工装两端最外侧的单体限位卡环7旋动，使其对相邻的挤压套筒2产生挤压，进而推动挤压套筒2对支撑垫块6的顶起，挤压套筒2顶起支撑垫块6，使得支撑垫块6外侧面与圆筒靶材内侧壁相贴合，进而实现对圆筒靶材的固定；

(9)步骤(8)完成后，把固定有圆筒靶材的定位支撑工装安装在研磨设备上，启动研磨设备，使得研磨设备对圆筒靶材外侧面进行研磨。

实际上，本发明中定位支撑工装是包括一个转动轴1，在转动轴1上设有多个单体支撑工装拼接完成的，这样的设置，使得本发明可以适用不同长度的圆筒板材，可以更好的对各个尺寸的圆筒靶材外侧面进行研磨定位，也就是使得本发明适用范围增加。

显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，均在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。

2.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述单体支撑工装还包括套接在转动轴上用于顶升支撑垫块的挤压套筒，在支撑套筒上设有挤压开口，挤压开口朝向挤压套筒一侧。

3.根据权利要求2所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述挤压套筒截面呈锥台型，所述支撑垫块处于支撑套筒内部的一端与挤压套筒外侧壁相贴合。

4.根据权利要求4所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述单体支撑工装还包括调节在转动轴上用于挤压套筒定位的限位卡环组。

5.根据权利要求4所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述限位卡环组包括两个单体限位卡环，两个所述限位卡环套接在转动轴上，并且在两个所述限位卡环之间至少一个设有支撑套筒和挤压套筒。

6.根据权利要求2所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述挤压开口竖直截面呈锥台型，所述挤压套筒竖直截面也呈锥台型。

7.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述支撑套筒上设有用于减少支撑垫块对圆筒靶材内壁磨损的硅胶圈。

8.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述转动轴本体包括多个单体转动轴本体，所述单体转动轴本体间依次连接组成转动轴本体；每个所述单体转动轴本体上至少设有一个单体支撑工装。

9.根据权利要求8所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述单体支撑工装间通过连接组件相连接，所述连接组件包括分别设置在单体转动轴本体端部的连接盘，相邻单体转动轴本体通过相邻连接盘的连接相连接。

10.如权利要求1-9任一项所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括如下步骤：

(1)确定需要研磨外壁的圆筒靶材内径，选取合适的定位支撑工装，并针对相应圆筒靶材的长度，选定相对应的定位支撑工装长度；

(2)步骤(1)完成后，进行单体支撑工装的组装，先在支撑套筒的放置槽内放置相应数量的支撑垫块，并在支撑套筒外侧套接多个硅胶圈用于辅助固定支撑垫块；

(3)步骤(2)完成后，先将一个单体限位卡环套接在转动轴上，随后再把步骤(2)中初步装配完成的支撑套筒套接在转动轴上；

(4)步骤(3)完成后，在支撑套筒开口朝向的一侧加装一个挤压套筒，挤压套筒套接在转动轴上；

(5)步骤(4)完成后，再在转动轴上增加一个用于固定挤压套筒的单体限位卡环，该单体限位卡环与步骤(3)中的单体限位卡环关于挤压套筒和支撑套筒对称分布；

(6)步骤(5)完成后，一个单体支撑工装组装完成，如果需要组装多个单体支撑工装，重复步骤(2)-(5)即可，多次在转动轴上增加单体支撑工装，直至装配处符合产品要求的定位支撑工装；

(7)步骤(6)完成后，把步骤(7)中组合完成的定位支撑工装竖立放进ITO圆筒靶材里，慢慢把工装移进到靶材中间；

(8)步骤(7)完成后，将支撑工装两端最外侧的单体限位卡环旋动，使其对相邻的挤压套筒产生挤压，进而推动挤压套筒对支撑垫块的顶起，挤压套筒顶起支撑垫块，使得支撑垫块外侧面与圆筒靶材内侧壁相贴合，进而实现对圆筒靶材的固定；

(9)步骤(8)完成后，把固定有圆筒靶材的定位支撑工装安装在研磨设备上，启动研磨设备，使得研磨设备对圆筒靶材外侧面进行研磨。