CN108704355A - 光阻过滤器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。所述光阻过滤器结构精简且过滤性能佳。
Description
技术领域
本发明涉及一种半导体处理设备，特别是一种光阻过滤器。
背景技术
在半导体加工处理过程中，往往需要采用诸如光阻的光敏材料。光阻，亦称光阻剂，可以应用于很多工业制程中。在对半导体部件进行处理后，往往需要将相应的光阻进行剥离。一般地，在进行光阻剥离过程中会产生体积不一、无法溶解在化学处理液中的块状光阻。块状光阻的积累容易导致循环管路堵塞。
发明内容
本发明的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种过滤性能佳的光阻过滤器。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：
本发明提供一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。
优选地，所述的光阻过滤器还包括第二过滤桶。所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内。所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述第二过滤桶具有第二容腔。所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔。所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔地设置。
优选地，所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。
优选地，所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。
优选地，所述槽体的侧壁上设置有注液通孔。所述注液通孔与所述容纳槽连通，以可导入参杂有光阻的处理液。所述槽盖设置有出液通孔。所述出液通孔与所述第二容腔连通，以可导出滤除了光阻的处理液。
优选地，所述槽体的底壁上设置有排放通孔。所述排放通孔与所述容纳槽连通，以可排出光阻。
优选地，所述槽盖设置有减压部，以可减轻所述容纳槽内的气体压强。
优选地，所述的光阻过滤器还包括液位传感器。所述液位传感器容置在所述容纳槽内，以可感测所述容纳槽内的处理液高度。
优选地，所述过滤桶的顶端可拆卸地设置在所述槽盖的底端。
优选地，所述的光阻过滤器还包括过滤器花篮。所述过滤器花篮具有容置腔。所述过滤器花篮设置在所述容纳槽内。所述过滤桶设置在所述过滤器花篮的容置腔内。
优选地，在沿所述槽体的径向上，所述过滤器花篮与所述槽体之间的间距小于该过滤器花篮与所述过滤桶之间的间距。
与现有技术相比，本发明光阻过滤器。所述光阻过滤器通过过滤桶与槽体的配合，替代了传统的过滤网，不仅整体结构较为简单、操作便利且过滤性能佳。进一步地，在所述过滤桶内再设置第二过滤桶实现再一次过滤，从而进一步提升过滤性能。
附图说明
图1为本发明提供的光阻过滤器的俯视示意图。
图2为图1的光阻过滤器的立体剖视图。
图3为图1的光阻过滤器沿E-E线的剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细的描述：
请参阅图1至图3，其为本发明提供的一种光阻过滤器101。所述光阻过滤器101包括槽体10及过滤桶20。所述过滤桶20容置在所述槽体10内，并可过滤光阻。
所述槽体10作为容纳部件，用于容纳所述光阻过滤器101的其他部件。具体地，所述槽体10具有容纳槽12。所述容纳槽12用于提供存储空间。所述容纳槽12的具体形状及尺寸只要能够提供相应的存储空间即可。在本实施例中，为了提升过滤效率、便利于组装，所述容纳槽12为圆桶状。也即是，所述槽体10为桶状结构。相应地，所述槽体10的顶部具有开口14。所述槽体10可以为金属一体件或注塑一体件。
所述过滤桶20用于过滤化学处理液内的光阻。所述过滤桶20容置在所述容纳槽12内。所述过滤桶20具有容腔22。所述过滤桶20具有多个过滤通孔24。所述过滤通孔24连通所述容腔22与所述容纳槽12地设置。相应地，所述过滤桶20通过所述过滤通孔24能够将所述容纳槽12内的化学处理液内的光阻进行过滤。相应地，所述容腔22内的经过过滤处理的化学处理液能够得到利用。譬如，可以采用相应的泵抽取所述容腔22内的化学处理液。在本实施例中，所述过滤桶20容置在下述过滤器花篮40的容置腔42内。为了进一步便利于化学处理液的流动，所述过滤桶20与所述槽体10的底部间隔设置。所述过滤桶20可固定设置在所述槽盖50的顶端52上。在本实施例中，为了便利于清除光阻，所述过滤桶20可拆卸地设置于所述槽盖50。
所述容腔22的形状及尺寸只要满足相应的过滤需要即可。在本实施例中，所述容腔22为圆筒状。相应地，所述过滤桶20为圆桶构造。为了便利于所述过滤桶20保持在预设的位置而不发生移动，在本实施例中，所述过滤桶20的顶端25设置在下述槽盖50的底端52上。为了提升过滤效率，在本实施例中，所述过滤桶20与所述槽体10同轴设置。也即是，所述过滤桶20的中心轴与所述槽体10的中心轴重合。
所述过滤通孔24的分布密度根据需要而选择。在本实施例中，为了兼顾化学处理液的流动速度及过滤性能，所述过滤通孔24的密度为数十目。也即是，所述过滤通孔24在每平方英寸的面积上的分布数目为数十个
为了进一步提升过滤性能，所述光阻过滤器101还包括第二过滤桶30。所述第二过滤桶30设置在所述过滤桶20的容腔22内，以进入所述容腔22内的化学处理液进行进一步地光阻过滤。相应地，所述第二过滤桶30具有第二容腔32。所述第二过滤桶30设置有多个第二过滤通孔34。所述第二过滤通孔34连通所述第二容腔32及所述过滤桶20的容腔22地设置。所述第二过滤桶30可以具有与所述过滤桶20相同的形状及构造。相应地，所述第二过滤桶30为圆桶构造。所述第二容腔32为圆桶形状。进一步地，所述第二过滤桶30与所述过滤桶20同轴设置。所述第二过滤桶30可固定设置在所述槽盖50的顶端52上。在本实施例中，为了便利于清除光阻，所述第二过滤桶30可拆卸地设置于所述槽盖50。
所述第二过滤通孔34的分布密度根据需要而选择。为了提升过滤性能，在本实施例中，所述第二过滤通孔34的密度大于所述过滤桶20的过滤通孔24的密度。更具体地，所述第二过滤通孔34的密度为上百目。也即是，所述第二过滤通孔34在单位平方英寸的面积上分布的数目为上百个。
为了进一步提升过滤性能，所述光阻过滤器101还包括过滤器花篮40。所述过滤器花篮40具有容置腔42。所述过滤器花篮40设置在所述槽体10的容纳槽12内。所述过滤桶20设置在所述过滤器花篮40的容置腔42内。所述过滤器花篮40可以对化学处理液进行首先过滤，然后依次通过所述过滤桶20、所述第二过滤桶30对化学处理液进行过滤。为了提升过滤性能，在沿所述槽体10的径向方向，所述过滤器花篮40与所述槽体10之间的间距小于该过滤器花篮40与所述过滤桶20之间的间距。也即是，所述过滤器花篮40靠近所述槽体10而远离所述过滤桶20。为了便利于提升所述过滤器花篮40的稳固性能，所述过滤器花篮40可以通过紧固件(图中未示出)连接至所述槽体10的顶部。在沿所述槽体10的径向方向，部分或全部所述过滤器花篮40可与所述槽体10接触设置。
为了便利拆装、提升密封性能，所述光阻过滤器101还包括槽盖50。所述槽盖50设置在所述槽体10的顶部，并密封所述槽体10地设置。也即是，所述槽盖50密封所述容纳槽12在所述槽体10的顶部形成的开口。在本实施例中，所述槽盖50大致为圆板形的盖子。更具体地，所述槽盖50的底端52用于支撑所述过滤桶20及所述第二过滤桶30。在本实施例中，所述槽盖50可拆卸地设置。相应地，所述槽盖50可以打开、密封所述容纳槽12地设置。所述槽盖50可以以任意方式设置在所述槽体10上，譬如铰接、卡扣扣接等。在本实施例中，为了增强密封性能，所述槽盖50通过四个蝶形螺母与所述槽体10紧固连接。四个所述蝶形螺母彼此均匀间隔分布。为了进一步增强密封性能，所述槽盖50与所述槽体10之间设置在有密封圈。也即是，所述槽盖50与所述槽体10通过诸如橡胶材质的O形密封圈增强密封性能。
所述槽体10的侧壁11上设置有注液通孔61。所述注液通孔61与所述容纳槽12连通，以可导入参杂有光阻的处理液。所述槽盖50设置有出液通孔63。所述出液通孔63与所述第二容腔32连通，以可导出滤除了光阻的处理液。相应地，参杂有光阻的处理液可以环绕才10的侧壁11内表面流通，并且依次进入所述过滤桶20、所述第二过滤桶30进行过滤，然后可以通过外部的泵通过所述槽盖50的出液通孔63排出第二过滤桶30的第二容腔32内的已经滤除了光阻的处理液。
进一步地，所述槽体10的底壁13上设置有排放通孔65。所述排放通孔65与所述容纳槽12连通，以可排出被过滤掉的光阻。
进一步地，所述槽盖50上设置有减压部。所述减压部用于排出所述容纳槽12内的气体，从在保证所述槽体10的气体密封性的同时避免所述槽体10内部气体压强过大。所述减压部可以安全阀门。
进一步地，所述光阻过滤器101还包括液位传感器70。所述液位传感器70容置在所述容纳槽12内。具体地，所述液位传感器70设置在所述槽体10的侧壁11的内表面上。更具体地，两个液位传感器70分别设置在所述槽体10的侧壁的11的底部及顶部，以提升感测处理液的准确性。
需要说明的是，如无特别指出，在本发明中出现的“上、下”、“左、右”、“顶、底”、“轴向、径向”均为相对概念。其中，“轴向”为所述槽体10的容纳槽12的深度方向；“径向”为与“轴向”垂直的方向。相应地，上下方向为图3示出的上下方向。
以上仅为本发明较佳的实施例，并不用于局限本发明的保护范围，任何在本发明精神内的修改、等同替换或改进等，都涵盖在本发明的权利要求范围内。
Claims (11)
1.一种光阻过滤器，其特征在于，包括：
槽体，所述槽体具有容纳槽；
槽盖，所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置；及
过滤桶，所述过滤桶容置在所述容纳槽内；所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；
所述过滤桶具有容腔；所述过滤桶设置有多个过滤通孔；所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。
2.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：
第二过滤桶，所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内；所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；
所述第二过滤桶具有第二容腔；所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔；
所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔地设置。
3.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。
4.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。
5.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述槽体的侧壁上设置有注液通孔；所述注液通孔与所述容纳槽连通，以可导入参杂有光阻的处理液；
所述槽盖设置有出液通孔；所述出液通孔与所述第二容腔连通，以可导出滤除了光阻的处理液。
6.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述槽体的底壁上设置有排放通孔；所述排放通孔与所述容纳槽连通，以可排出光阻。
7.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述槽盖设置有减压部，以可减轻所述容纳槽内的气体压强。
8.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：
液位传感器，所述液位传感器容置在所述容纳槽内，以可感测所述容纳槽内的处理液高度。
9.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述过滤桶的顶端可拆卸地设置在所述槽盖的底端。
10.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：
过滤器花篮，所述过滤器花篮具有容置腔；
所述过滤器花篮设置在所述容纳槽内；
所述过滤桶设置在所述过滤器花篮的容置腔内。
11.根据权利要求10所述的光阻过滤器，其特征在于：
在沿所述槽体的径向上，所述过滤器花篮与所述槽体之间的间距小于该过滤器花篮与所述过滤桶之间的间距。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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