CN108693844A - 执行控制与半导体制造装置的动作相关的显示的方法的程序、该方法及进行该显示的系统 - Google Patents

执行控制与半导体制造装置的动作相关的显示的方法的程序、该方法及进行该显示的系统 Download PDF

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Abstract

在半导体制造装置中，提供能够简单理解怎样达到了某种状况、例如故障的动画。提供一种计算机程序，在一个以上计算机执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法，包含如下步骤：反复获取半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态；每获取一次一个以上的设备的状态时，至少将表示状态的图像显示在显示器上，由此提供表示半导体制造装置的动作的第一动画；将所获取的一个以上的设备的状态和与状态相关的时刻存储于存储器；接收切换显示模式的输入；在收到切换显示模式的输入后，至少将分别表示存储于存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的一个以上的设备的状态的一个以上的图像逐一显示在显示器上，由此提供半导体制造装置的第二动画。

Description

执行控制与半导体制造装置的动作相关的显示的方法的程 序、该方法及进行该显示的系统
技术领域
本发明涉及一种关于半导体制造装置的动作的显示。
背景技术
在半导体制造装置中，监视包含制造中的半导体基板的状态的半导体装置的状态，与该状态的异常等对应的警报、半导体制造过程等的履历在计算机中显示，该计算机例如直接或间接地与该装置连接。在半导体制造装置产生故障的情况下，根据在这样的计算机所显示的履历的数据等来推测半导体制造装置的过去的动作。履历的数据由文字及数字值构成，即使人看了也不能简单地理解，需要在数据的解析上花费劳力和时间。
对此，例如，日本特开2015-211133号公报提出了一种CMP分析装置，该CMP分析装置具有如下功能：对于作为半导体制造装置的一例的Chemical Mechanical Polishing，即化学机械研磨(以下，称为“CMP”。)装置求出关于成为异常原因的运转状况的变量(例如，使工作台驱动电机旋转时的转矩电流D1)(参照该公报的第[0022]～[0032]段及图1等)。
然而，例如，根据上述技术，异常的原因能够特定到使工作台驱动电机旋转时的转矩电流D1，但是，不存在能够简单地理解异常是经过怎样的过程产生的技术。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-211133号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明是鉴于以上问题而作出的，所要解决的课题是提供一种动画，在半导体制造装置中，能够简单地理解怎样到达了某种状况，例如怎样产生了故障。
用于解决课题的手段
为了解决上述的课题，根据本发明的实施方式，提供一种执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机/程序，该计算机程序在一个以上计算机中执行，所述方法包含如下步骤：反复获得所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态的步骤；每获取一次所述一个以上的设备的状态时，至少将表示所述状态的图像显示在显示器上，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画的步骤；将所获取的所述一个以上的设备的状态、和与所述状态相关的时刻存储于存储器的步骤；接收切换显示模式的输入的步骤；以及在收到切换显示模式的输入之后，至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画的步骤，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态。
在一实施方式中，所述方法还包含如下步骤：将包含带的座标图显示在所述显示器的步骤，其中，该带表示在所述半导体制造装置中产生的警报，所述座标图的一个轴与时刻对应，所述带的一方的端与所述警报的产生时刻对应，所述带的另一方的端与所述警报的复原时刻对应；以及接收所显示的座标图中的位置或带的选择的步骤，其中，将与被选择的所述位置对应的时刻、或者与被选择的所述带相关的所述产生时刻或所述复原时刻设定为所述基准时刻。
在一实施方式中，所述方法还包含如下步骤：将所述半导体制造装置中的处理的记录显示在所述显示器的步骤；以及接收所显示的所述记录中的处理的选择的步骤，其中，将与被选择的所述处理相关的时刻设定为所述基准时刻。
在一实施方式中，所述方法还包含如下步骤：将与所述半导体制造装置相关的甘特图显示在所述显示器的步骤，其中，所述甘特图的一方的轴与时刻对应，所述甘特图包含带，该带表示所述半导体制造装置所包含的至少一个设备所执行的处理，所述带的一方的端与所述状态的开始时刻对应，所述带的另一方的端与所述状态的结束时刻对应；以及接收所显示的所述甘特图中的位置或带的选择的步骤，其中，将与被选择的所述位置对应的时刻、或者与被选择的所述带相关的所述开始时刻或所述结束时刻设定为所述基准时刻。
在一实施方式中，所述方法还包含如下步骤：将与播放、快进、逐帧播放、暂停、逐帧回放、快退以及回放中的一个以上对应的操控显示在所述显示器的步骤；接收所显示的所述操控的选择的步骤；以及对所述半导体制造装置的所述第二动画进行与被选择的所述操控对应的控制的步骤。
在一实施方式中，所述半导体制造装置是镀覆装置。
为了解决上述的课题，根据本发明的实施方式，提供一种存储上述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序的计算机可读存储介质。
为了解决上述的课题，根据本发明的实施方式，提供一种控制与半导体制造装置相关的显示的方法，包含如下步骤：反复获取所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态的步骤；每获取一次所述一个以上的设备的状态时，至少将表示所述状态的图像显示在显示器上，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画的步骤；将所获取的所述一个以上的设备的状态、和与所述状态相关的时刻存储于存储器的步骤；接收切换显示模式的输入的步骤；以及在收到切换显示模式的所述输入之后，至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画的步骤，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态。
为了解决上述的课题，根据本发明的实施方式，提供一种进行与半导体制造装置相关的显示的系统，包含：第一构件，该第一构件反复获取所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态；第二构件，该第二构件存储所获取的所述一个以上的设备的状态和与所述状态相关的时刻；第三构件，该第三构件提供表示所述半导体制造装置的动作的动画，在显示模式是第一模式的情况下，每获取一次所述一个以上的设备的状态时，所述第三构件至少显示表示所述状态的图像，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画，在所述显示模式是第二模式的情况下，所述第三构件至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述第二构件的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态；以及第四构件，该第四构件接收至少在所述第一模式与所述第二模式之间切换所述显示模式的输入。
在一实施方式中，所述第一构件存在多个，多个所述第一构件分别反复获取不同的半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态，多个所述第一构件、所述第二构件、所述第三构件以及第四构件之间的通信路径的至少一部分是无线的。
(发明效果)
根据本发明的实施方式，能够提供一种能够简单地理解在半导体制造装置中怎样到达了某种状况的动画。
附图说明
图1表示本发明的实施方式的系统的结构。
图2表示本发明的实施方式的方法的流程图。
图3表示用于设定基准时刻的第一方法的流程图。
图4表示用于设定基准时刻的第二方法的流程图。
图5表示用于设定基准时刻的第三方法的流程图。
图6表示用于控制动画的播放的方法的流程图。
图7表示监视模式画面。
图8a-8f分别表示不同时刻的表示基板保持架输送装置的状态的图像。
图8g表示提供半导体制造装置110的动作的数字值的部分720。
图8h表示表示各种数字值的图像。
图9表示重放模式画面。
图10a表示表格形式下的警报履历。
图10b表示坐标图形式下的警报履历。
图10c表示坐标图形式下的设备的动作履历。
图10d及10f表示播放位置不同的坐标图形式下的相同设备的动作履历。图10e及10g分别表示图10d及10f所示的播放位置中的提供第二动画的部分910的一部分。
图11a表示表格形式下的处理履历。
图11b表示甘特坐标图形式下的处理履历。
图12表示本发明的实施方式的系统的其他结构。
图13表示计算机的硬件结构的一例。
具体实施方式
以下，一边参照附图一边对本发明的实施方式进行详细地说明。此外，以下的说明不过是本发明的实施方式的例示。因此，要注意的是，本发明不限定于以下说明的结构，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种各样的变更。
1本发明的实施方式的系统的结构
图1表示本发明的实施方式的系统的结构。图中的模块表示系统的结构要素。连结图中的结构要素的直线表示结构要素间的信息(包含信号、数据等)的主要传递路径，由直线连结的两个结构要素中的至少一方能够向另一方传递信息。此外，有这样的情况：由直线连结的两个结构要素中的至少一方经由其他结构要素或未图示的要素向另一方传递信息。另外，并没有排除未由直线连结的结构要素间的信息的传递的意图。要注意的是，图1所示的结构要素及直线与实际的结构要素的大小、配置、配线等无关系。
110表示包含一个以上的设备110i的半导体制造装置。半导体制造装置110的例子是镀覆，例如电解镀覆装置、曝光装置、蚀刻装置、背面研磨装置、CMP装置，半导体制造装置110所包含的设备110i的例子有基板保持架输送装置、清洗组件、研磨组件、镀覆组件、各种自动装置、各种促动器、各种电机、各种阀、各种传感器。在以下的说明中，假设设备110i是包含基板保持架输送装置的设备。
120i表示用于获取设备110i的状态的一个以上的传感器。对于基板保持架输送装置的传感器的一例是接触传感器或光学传感器，状态的例子有基板保持架输送装置所包含的机械手的位置及角度、与基板保持架输送装置相关的闸门的开闭和设置于基板保持架输送装置的基板的编号。此外，在图1中，描述为设备和传感器一一对应，但是这是例示，也存在如下情况：对于一个设备能够存在多个传感器，相反，也可以是对于多个设备仅存在一个传感器。另外，在图1中，描述为设备110i和传感器120i分体，但是，也存在如下情况：设备自身也具备传感器，关于110i，如上所述，设备自身是传感器。此外，半导体制造装置110也可以包含不存在对应的传感器的设备。
130表示一种计算机、即控制半导体制造装置110的可编程逻辑控制器(以下，称为“PLC”。)。PLC130直接或间接地与设备110i连接(省略图示)，根据来自后述的时刻表或其他计算机的指示来控制各设备的动作。另外，PLC130与传感器120i连接，接收来自各传感器的信号，从该信号获取各设备的状态。此外，PLC130生成后述的动画数据及警报/处理数据，并向后述的计算机发送。
140是用于决定半导体制造装置110的动作时间表并管理其动作的计算机(以下，称为“管理用计算机”。)。管理用计算机140将遵循动作时间表的时刻表向PLC130及后述的计算机发送。另外，在管理用计算机140中，输入有关于制造的基板的信息，至少基于该信息来决定上述动作时间表。
150表示用于存储从PLC130接收的动画数据及从管理用计算机140接收的时刻表的计算机(以下，称为“保存用计算机”。)。
160是通过至少提供基于从PLC130接收的动画数据的、表示半导体制造装置110的动作的动画，从而监视半导体制造装置110的动作的计算机(以下，称为“监视用计算机”。)。另外，监视用计算机160也提供基于从保存用计算机150接收的动画数据的、表示半导体制造装置110的动作的动画。此外，监视用计算机160也进行基于从PLC130接收的警报/处理数据的显示，以及基于从保存用计算机150接收的时刻表的显示。此外，监视用计算机160能够至少暂时地存储接收的动画数据、警报/处理数据以及时刻表。
此外，半导体制造装置110及PLC130、管理用计算机140、保存用计算机150以及监视用计算机160(以下，称为“PLC130等”。)中的一个以上也可以存在多个。另外，PLC130等中的两个以上在物理上也可以是一个计算机。
2本发明的实施方式的方法的流程
图2表示本发明的实施方式的方法的流程图。
在步骤S210中，PLC130获取设备110i的状态。设备110i的状态能够基于来自各传感器120i的信号来获取。此外，反复执行步骤S210，因此步骤S210被执行多次。
在步骤S220中，监视用计算机160将表示所获取的设备110i的状态的图像显示在显示器上。监视用计算机160能够根据由PLC130接收的动画数据来获取设备110i的被获取的状态。之后对“表示设备的状态的图像”进行叙述。步骤S220在每次获取设备110i的状态时执行，由此，提供表示半导体制造装置110的动作的第一动画。优选的是，从传感器120i中的信号的产生到用于提供第一动画的图像的显示的延迟尽可能地小，以使得第一动画表示半导体制造装置110的实时动作。
在步骤S230中，保存用计算机150将所获取的设备110i的状态和与该状态相关的时刻存储于存储器。保存用计算机150能够根据由PLC130接收的动画数据来获取所获取的设备110i的状态和与该状态相关的时刻。之后对“与状态相关的时刻”进行叙述。此外，如上所示，由于获取设备110i的状态的步骤S210被执行多次，因此在保存用计算机150的存储器存储有多组设备110i的状态和与该状态相关的时刻。
在步骤S240中，监视用计算机160接收切换显示模式的输入。在该步骤之前，监视用计算机160能够在显示器上显示用于切换显示模式的按钮，能够将显示出的按钮的选择设为切换显示模式的输入。之后对该按钮的显示进行叙述。
在步骤S250中，监视用计算机160将一个以上的图像逐一显示在显示器上，该一个以上的图像分别表示存储于保存用计算机150的存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的状态。在显示前的任意的时刻，监视用计算机160能够要求保存用计算机150发送与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的状态的、所存储的动画数据。之后联系图3～5对“基准时刻”进行叙述。以下，也将“表示与时刻相关的状态的图像”称为“与时刻相关的图像”。在步骤S250中最初显示的图像也可以是与基准时刻相关的图像。由此，提供表示半导体制造装置110的动作的第二动画。第二动画表示半导体制造装置110的过去的动作。
图3表示用于设定基准时刻的第一方法的流程图。
在步骤S310中，监视用计算机160将包含带的坐标图显示在显示器上，带表示在半导体制造装置110中产生的警报。监视用计算机160能够根据由PLC130接收的警报/处理数据来获取警报。该坐标图具有多个轴，其一个轴与时刻对应。另外，坐标图所包含的带的一方的端与警报的产生时刻对应，另一方的端与警报的复原时刻对应。之后对该坐标图的显示进行叙述。
在步骤S320中，监视用计算机160接收所显示的坐标图中的位置或带的选择。监视用计算机160在收到所显示的坐标图中的位置的选择的情况下，能够将与该位置对应的时刻设定为上述基准时刻。另外，监视用计算机160在收到带的选择的情况下，能够将与该带相关的时刻、例如该带所表示的警报的产生时刻或复原时刻设定为上述基准时刻。
图4表示用于设定基准时刻的第二方法的流程图。
在步骤S410中，监视用计算机160将半导体制造装置110中的处理的记录显示在显示器上。监视用计算机160能够根据由PLC130接收的警报/处理数据来获取处理的记录。之后将对该记录的显示进行叙述。
在步骤S420中，监视用计算机160接收所显示的记录中的处理的选择。监视用计算机160能够将与被选择的处理相关的时刻、例如该处理的开始时刻或结束时刻设定为上述基准时刻。
图5表示用于设定基准时刻的第三方法的流程图。
在步骤S510中，监视用计算机160将与半导体制造装置110相关的、包含带的甘特图显示在显示器上。甘特图具有多个轴，其一个轴与时刻对应。另外，甘特图包含表示设备所执行的处理的带，该带的一方的端与处理的开始时刻对应，另一方的端与处理的结束时刻对应。监视用计算机160能够根据由PLC130接收的警报/处理数据来获取设备所执行的处理。之后对该甘特图的显示进行叙述。
在步骤S520中，监视用计算机160接收所显示的甘特图中的位置或带的选择。监视用计算机160在收到了位置的选择的情况下，能够将与该位置对应的时刻设定为上述基准时刻。另外，监视用计算机160在收到了带的选择的情况下，能够将与该带相关的时刻、例如该带所表示的状态的开始时刻或结束时刻设定为上述基准时刻。
基准时刻的设定不限定于上述的三个方法，监视用计算机160也可以通过接收时刻的直接输入且将这样的时刻设定为基准时刻等任意其他手法来设定基准时刻。
图6表示用于控制动画、尤其是上述第二动画的播放的方法的流程图。
在步骤S610中，监视用计算机160将与播放、快进、逐帧播放、暂停、逐帧回放、快退以及回放中的一个以上对应的操控显示在显示器上。之后对该操控的显示进行叙述。
在步骤S620中，监视用计算机160接收所显示的操控的选择。
在步骤S630中，监视用计算机160对第二动画进行与被选择的操控对应的控制。
如上所述，通过将分别与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的一个以上的图像逐一显示在显示器上，从而提供第二动画，这些图像分别表示存储于保存用计算机150的存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的状态。
在收到与播放对应的操控的选择的情况下，关于第二动画的控制也可以是，按照与图像相关的时刻先来的顺序，以基准的规定间隔、例如在PLC130中获取设备110i的状态的间隔、更具体而言1秒的间隔，逐一显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之后的时刻相关的图像。
在收到与快进对应的操控的选择的情况下，关于第二动画的控制也可以是，按照与图像相关的时刻先来的顺序，以比基准的规定间隔短的间隔逐一显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之后的时刻相关的图像，或者，以基准的规定间隔每隔一或两个以上的图像地显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之后的时刻相关的图像。
在收到与逐帧播放对应的操控的选择的情况下，关于第二动画的控制也可以是显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之后的时刻相关的一个图像。与逐帧播放对应的操控也可以构成为，仅在持续显示某图像的状态下能够被选择，例如像后述那样地在刚收到与暂停对应的操控的选择之后。
在收到与暂停对应的操控的选择的情况下，关于第二动画的控制也可以是，不显示进一步的图像直到收到进一步的操控的选择，换言之，持续显示在最后显示出的图像。
与回放及快退对应的操控不是按照与图像相关的时刻先来的顺序，来显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之后的时刻相关的图像，而是按照与图像相关的时刻后到的顺序，来显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之前的时刻相关的图像，除此之外，与回放及快退对应的操控也可以分别和与播放及快进对应的操控相同。
与逐帧回放对应的操控也可以是，不是显示与在最后显示出的图像所相关的时刻之后的时刻相关的一个图像，而是显示与之前的时刻相关的一个图像，除此之外，和与逐帧播放对应的操控相同。
3PLC130生成的数据
3-1动画数据
如上所述，PLC130生成动画数据。动画数据是表示表示与某设备的状态相关的时刻的数据和包含表示该状态的数据在内的数据。“与状态相关的时刻”的例子有，传感器产生或发送用于获取该状态的信号的时刻、PLC130收到该信号的时刻、在PLC130中基于该信号获取状态的时刻、在PLC中生成与该状态对应的一组动画数据的时刻。此外，“时刻”包含“日期与时间”。动画数据的一组能够例如以以下的形式表示。
{t，s1，s2，…，sn}
在此，t是表示与某设备的状态相关的时刻的数据。s1，s2，…，sn分别是该状态的参数，是作为整体表示状态的数据。n是1以上的整数，且依存于用于表示该设备的状态的参数的数值。此外，动画数据也可以包含唯一地确定对应的设备的数据、例如设备编号。
3-2警报/处理数据
如上所述，PLC130生成警报/处理数据。警报/处理数据包含关于警报的数据和关于处理的数据。关于警报的数据包含表示警报的内容的数据和表示警报的产生时刻及复原时刻的数据。关于处理的数据包含表示处理的内容的数据和表示处理的开始时刻及结束时刻的数据。
4管理用计算机140生成的数据
如上所述，管理用计算机生成时刻表。时刻表是表示设备110i在某时刻应该进行的动作的数据。时刻表也可以在每个设备或每组设备生成。另外，关于一个设备或设备组，时刻表在规定的时刻重新生成。例如，在生成了一次时刻表之后，在管理用计算机140重新输入有关于制造的基板的信息的结果是，在不得不变更动作时间表时，重新作出考虑了关于该重新输入的关于制造的基板的信息后的时刻表。因此，时刻表能够包含用于从多个时刻表中确定该时刻表的信息、例如表示该时刻表的生成时刻的数据。
5保存用计算机150所存储的数据
如上所述，保存用计算机150从PLC130接收动画数据，并存储多组收到的动画数据。保存用计算机150能够以表的形式存储动画数据。例如，关于基板保持架输送装置的动画数据能够作为以下的表进行存储。
【表1】
在此，(1)～(7)及(1)的一行是为了说明方便而如上述记载的，因此也可以不包含于动画数据。s1的列与臂角度(°)对应，s2的列与机械手位置(0：后退、1：前进)对应，s3的列与闸门的开闭(0：闭、1：开)对应，s4的列与设置的基板的编号(0表示未设置基板)对应。此外，保存用计算机150能够在每个设备将动画数据存储为上述那样的表。
另外，如上所述，保存用计算机150从PLC130接收时刻表，且存储多组收到的时刻表。
6监视用计算机160显示的画面
6-1监视模式画面
图7表示用于提供上述的第一动画的画面即监视模式画面。710表示提供第一动画的部分。720表示提供半导体制造装置110的动作的模拟值的部分。730是用于切换显示模式的按钮，通过选择该按钮而向后述的重放模式画面过渡。
参照图8a～图8f对部分710进行详细叙述。图8a～8f分别表示不同时刻的、表示基板保持架输送装置的状态的图像。图8a～8f分别与在上面例示了的表的(2)～(7)行的状态对应。部分710由图8a～8f所示的，表示设备110i的状态的图像所表示的显示产生变化的部分和不变化的部分(背景)构成。即，部分710随着时间经过而更新表示设备110i的状态的图像所表示的部分，从而作为整体来提供表示半导体制造装置110的动作的动画。
此外，与设备110i的状态对应的图像及背景图像可以预先存储于监视用计算机160，也可以在显示之前的任意时刻，由监视用计算机160从其他计算机获取。
另外，监视用计算机160也可以是，从显示了与某时刻相关的图像(以下，在本文中称为“第一图像”。)开始到显示与下一时刻相关的图像(同上，称为“第二图像”。)为止，通过显示对第一图像和第二图像进行补充的一个以上的图像，从而提供更流畅的动画。或者，与某时刻相关的图像也可以是构成规定的长度的动态图像的1帧图像。在该情况下，能够通过播放包含1帧与某时刻相关的图像的动态图像，从而显示该图像。
关于部分720，721及722的列分别表示与“预湿(Prewet)”处理相关的第一设备及第二设备中的该处理的时间[s]。723及724的列分别表示与“预浸(Presoak)”处理相关的第一设备及第二设备中的该处理的时间[s]。725及726的列分别表示与“吹风(Blow)”处理相关的第一设备及第二设备中的该处理的时间[s]。727的行表示这些时间[s]的设定值，即，对应的处理所需要的预定时间。此外，设定值或预定时间为0是表示在该时刻不执行对应的处理或还未执行对应的处理。728的行表示从对应的处理开始的经过时间或直到对应的过处理束所需要的实际的时间。
在部分710或部分720中，也可以提供半导体制造装置110的动作的数字值(仅两个值)。或者，在通过按下部分710或部分720中的处理按钮(“Prewet”、“Presoak”、“Blow”)而显示的其他画面上，也可以显示与各处理相关的各个设备的数字值。图8g表示提供数字值的情况下的部分710或720的一例。图8g所示的表的第二列871从上方的行开始依次包含表示半导体制造装置110是否位于起始点、某阀是否打开、某传感器是否接通、某自动装置是否处于动作中的图像。参照图8h对这些图像进行详细叙述时，图8h所示的表的第一列881所示的图像是数字值为第一值时的例子，从上方的行开始依次是半导体制造装置110不在起始点时的图像、某阀关闭时的图像、某传感器断开时的图像、以及某自动装置未处于动作中时的图像(背景图像)的例子。图8h所示的表的第二列882所示的图像是数字值为第二值时的例子，从上方的行开始依次是半导体制造装置110位于起始点时的图像、某阀打开时的图像、某传感器接通时的图像、以及某自动装置处于动作中时的图像的例子。另外，作为表示部分710中的自动装置的状况的情况，也可以使在图8h的纵列882的最下段所示的“accessing(存取)”、“putting(放置)”的显示在自动装置的附近。
此外，在使用图像来提供模拟值及数字值的一方或双方时，作为动画的一部分，在部分710中也可以显示表示模拟值及数字值的一方或双方的图像。另外，提供的模拟值及数字值的一方或双方也可以是基于动画数据、警报/处理数据、时刻表、以及来自未说明的任意的计算机的任意的数据中的一个以上的。
6-2重放模式画面
图9表示用于提供上述的第二动画的画面即重放模式画面。910表示提供第二动画的部分，除了后述的点以外，与部分710相同。920表示提供半导体制造装置110的动作的模拟值的部分，除了后述的点以外，与部分720相同。930是用于切换显示模式的按钮，通过选择该按钮，而返回到监视模式画面。940a～940i表示用于控制第二动画的操控。操控940a、940b、940d，940e、940g以及940h分别是与动画的播放、暂停、快退、逐帧回放、逐帧播放以及快进对应的操控。操控940c是与动画的停止对应的操控，通过选择该操控，部分910及920中的显示返回到基准时刻。操控940f是用于直接输入时刻的操控。操控940i是用于设定快进及快退的速度的操控，例如，设定图像的显示间隔、未显示的图像的数量的操控。
部分910与部分710不同，与其说是随着时间经过，不如说是根据经由操控940a～940i的选择而前进、或后退、或停止的时刻(与后述的播放位置对应。以下相同。)，来更新显示表示设备110i的状态的图像的部分，从而提供作为整体表示半导体制造装置110的动作的动画。
部分920与部分720不同，与其说是随着时间经过，不如说是经由操控940a～940i的选择而前进、或后退、或停止的时刻，来显示半导体制造装置110的动作的模拟值(及数字值的一方或双方)，并更新该显示。
6-3警报履历的显示画面
监视用计算机160能够基于从PLC130收到的警报/处理数据来显示警报履历。
图10a表示表格形式下的警报履历。表的第一行是各列的标签，第二行以后的各行表示一个警报。1010示出表示警报的内容的多个列，特别是，第一列是每种警报的唯一值。1020示出表示警报的产生时刻的列，1030示出表示警报的复原时刻的列。监视用计算机160能够通过接收某行中的表示警报的产生时刻或复原时刻的列的选择，而将对应的警报的产生时刻或复原时刻设定为第二动画的基准时刻。
图10b表示坐标图形式下的警报履历。1040示出与时刻对应的坐标图的轴。轴1040的刻度是以某时刻为基准的相对经过时间。1050示出与警报的种类对应的坐标图的轴，轴1050的刻度是每种警报唯一的值。1060示出与一种警报对应的带，带的左端与警报的产生时刻对应，带的右端与警报的复原时刻对应。监视用计算机160能够通过接收坐标图中的位置的选择，而将与被选择的位置对应的时刻设定为动画的基准时刻。另外，监视用计算机160能够通过接收坐标图中的带的选择，而将与被选择的带对应的警报的产生时刻或复原时刻设定为动画的基准时刻。之后对1070进行叙述。
图10c表示坐标图形式下的一个设备的动作履历。由于特别便于用这样的图来显示产生警报的设备，因此，在本实施方式中，将设备的动作履历的显示包含于警报履历的显示。以下，用电机、例如自动装置的臂的前后驱动电机作为图10c所示的动作履历的设备来进行说明。图10c中的1040与图10b的上述内容相同。1080示出与相对于电机的转矩的额定值的比例对应的坐标图的轴，其单位是％，在未动作时设为0，在通常动作时设为100。1090示出相对于转矩的额定值的比例的时间图。监视用计算机160能够通过接收坐标图中的位置的选择，而将与被选择的位置对应的时刻设定为动画的基准时刻。另外，监视用计算机160能够通过接收坐标图中的图的奇点或其附近(构成为能够在监视用计算机160识别奇点的情况)的选择，而将与被选择的奇点的位置对应的时刻设定为动画的基准时刻。被选择的位置是否是奇点的附近，能够通过该位置与监视用计算机160所识别到的奇点的距离是否为0以上且规定的距离(单位任意)以下来判定。此外，奇点是能够推测为在设备产生了某些异常或开始产生某些异常的图上的点，之后对图10d～10g进行叙述。
另外，与重放模式画面同时地，管理用计算机160能够显示表格形式下的警报履历、坐标图形式下的警报履历以及坐标图形式下的一个设备的动作履历中的一个以上。图10b及10c的1070示出在重放模式画面中当前提供的第二动画的播放位置。在此，要注意的是，与播放位置1070对应的时刻，在刚刚设定基准时刻之后与该基准时刻一致，但是，由于播放位置因动画的提供而变化，但基准时刻若不设定则不变化，因此与播放位置1070对应的时刻和基准时刻基本上参照不同的时刻。
以下，对与重放模式画面同时地显示坐标图形式下的一个设备的动作履历的情况的具体例进行说明。图10d及10f是表示同一设备在不同播放位置1070处的动作履历的坐标图，图10e及10g分别表示图10d及10f所示的提供播放位置中的、重放模式画面的第二动画的部分910(图9)的一部分，在该一部分包含有表示该设备的状态的图像。1091示出奇点，图10d及10f所例示的奇点是相对于转矩的额定值的比例开始超过100％的点。该比例超过100％表示产生碰撞等某些故障而给电机带来过载的情况。
在播放位置1070是图10d所示的位置时，在同时显示的重放模式画面中，显示图10e所示的图像。此时，监视用计算机160接收坐标图中的曲线的奇点1091或其附近的选择，从而基准时刻设定为与奇点1091对应的时刻，并且播放位置1070移动到图10f所示的位置，同时在重放模式画面中，图10e所示的图像变化为图10g所示的图像。参照图10g所示的图像时，尽管自动装置的臂1092伸出，但是闸门1093关闭，因此，实际上，容易导致自动装置的臂与关闭闸门或将要关闭的闸门碰撞或卡住。
如此，与重放模式画面同时地，显示表格形式下的警报履历、坐标图形式下的警报履历以及坐标图形式下的一个设备的动作履历中的一个以上，从而能够在重放模式画面中迅速地再现，在警报履历(包含设备的动作履历)中应关注的任意时刻的半导体制造装置110的状态。
6-4处理履历的显示画面
监视用计算机160能够基于从PLC130收到的警报/处理数据来显示处理履历。
图11a表示表格形式下的处理履历(记录)。表的第一行是各列的标签，第二行以后的各行表示一个处理。1110示出表示处理的内容的多个列。1120示出表示处理的开始时刻的列，1130示出表示处理的结束时刻的列。监视用计算机160能够通过接收某行中的表示处理的开始时刻或结束时刻的列的选择，而将对应的处理的开始时刻或结束时刻设定为第二动画的基准时刻。
图11b表示甘特图形式下的处理履历。1140示出与时刻对应的甘特图的轴。1150示出与设备110i对应的甘特图的轴。1160(两端由纵线划分出的一个区域)示出与处理对应的带，一个带与一个处理对应。一个带的左端与处理的开始时刻对应，带的右端与处理的结束时刻对应。带1160能够包含表示处理的标签(例如，“后处理”)。监视用计算机160能够通过接收甘特图中的位置的选择，而将与被选择的位置对应的时刻设定为动画的基准时刻。另外，监视用计算机160能够通过接收甘特图中的带的选择，而将与被选择的带对应的处理的开始时刻或结束时刻设定为动画的基准时刻。
另外，与重放模式画面同时地，监视用计算机160能够显示表格形式或甘特图形式下的处理履历。图11b的1170示出在重放模式画面中当前提供的第二动画的播放位置。在此，要注意的是，与播放位置1170对应的时刻在刚刚设定基准时刻之后与该基准时刻一致。与重放模式画面同时地显示表格形式或甘特图形式下的处理履历，从而能够在重放模式画面中迅速地再现处理履历中应关注的任意时刻的半导体制造装置110的状态。
此外，监视用计算机160能够在甘特图形式下的处理履历包含时刻表。图11b的1180示出与时刻表对应的带。与时刻表对应的带的左端与某动作的开始时刻对应，带的右端与该动作的结束时刻对应。带1180能够包含表示该动作的标签(例如，“移动+收纳”)。监视用计算机160能够通过接收与时刻表对应的带的选择，而将与被选择的带对应的动作的开始时刻或结束时刻设定为动画的基准时刻。监视用计算机160能够要求保存用计算机150发送与想要显示的甘特图所包含的时间对应的、存储的时刻表。
7本发明的实施方式的系统的其他结构
图12表示本发明的实施方式的系统的其他结构。图中的模块表示系统的结构要素。连结图中的结构要素的直线表示结构要素间的信息的主要传递路径，由直线连结的两个结构要素中的至少一方能够向另一方传递信息。尤其是，实线表示能够用有线传递信息，虚线表示能够用无线传递信息。此外，存在由直线连结的两个结构要素中的至少一方经由其他结构要素或未图示的要素向另一方传递信息的情况。另外，没有排除未由直线连结的结构要素间的信息的传递的意图。要注意的是，图12所示的结构要素及直线与实际的结构要素的大小、配置、配线等无关系。
1210及1211分别表示包含一个以上的设备1210i及1211i的半导体制造装置。1220i及1221i分别表示用于获取设备1210i及1211i的状态的传感器。半导体制造装置1210及1211、设备1210i及1211i、传感器1220i及1221i也可以是与半导体制造装置110、设备110i、传感器120i相同或类似的部件。此外，半导体制造装置1210及1211可以是相同种类的半导体制造装置，也可以是不同种类的半导体制造装置。
1230及1231表示与PLC130类似的PLC。
1240、1250及1260分别表示与管理用计算机140、保存用计算机150以及监视用计算机160类似的计算机。
1235、1236、1245、1255及1265表示遵照任意规格的无线单元(TR)。TR1235、1236以及1245所遵照的规格能够是920MHz带的无线规格，TR1255及1265所遵照的规格能够是Wifi规格。一般地，920MHz带的无线的情况与2.4GHz带(Wifi规格中使用的频率带的一个)的无线的情况相比，能够确保通信距离更长，此外在低耗电这点有利。或者，在考虑与手机、智能手机、可穿戴终端的通信的情况下，作为无线单元(TR)，可考虑采用与红外线通信、基于ZigBee规格的通信、基于Bluetooth(注册商标)规格的通信、基于802.11规格的通信等中的一个以上对应的部件。根据图12所示的结构，不考虑配线，能够将半导体制造装置1210及1211、和管理用计算机1240及保存用计算机1250配置于分离的部位，因此在占地广的工厂内，也能够通过一组管理用计算机及保存用计算机来处理配置于彼此远离的场所的多个半体制造装置。另外，根据该结构，不考虑配线，能够将监视用计算机1260配置于远离工厂的事务所等。
作为其他变形实施方式，虽然是与图12大致相同的结构，但是，考虑代替图12的TR1235、1236以及1245，直接用例如LAN这样的配线使管理用计算机1240、保存用计算机1250、PLC1230、PLC1231之间彼此连接。在该情况下，能够使从半导体制造装置1210或/及1211的传感器获得的表示各设备的状态的信号数据适当、可靠性良好地保存于保存用计算机1250，此外，例如，与存在于远距离或设置于工厂的管理楼这样的场所的监视用计算机1260之间，能够仅使需要的数据以适当的时机、频率进行数据通信。
在本发明的实施方式中使用的“计算机”多数情况是固定型，但是也可以是可搬性的电子设备(信息设备终端)，例如，笔记本电脑、平板电脑、手机、智能手机、可穿戴终端。在该情况下，作为用户接口，能够使用可一体地组入该可穿戴终端这样的能够移动的电子设备的结构。另外，作为能够组入可穿戴终端这样的能够移动的电子设备的无线单元(TR)，能够采用与红外线通信、基于ZigBee规格的通信、基于Bluetooth(注册商标)规格的通信、基于802.11规格的通信等中的一个以上对应的通信。在这样地由能够移动的电子设备构成“计算机”的情况下，在操作员进行其他作业时，在定期的或不定期在某些时机监视半导体制造装置的运转状态的情况下，能够设为能够与之充分对应的系统。由此，没有操作员在设置位置为固定于工厂的一角的计算机的面前持续始终作业的必要性，因此能够使操作员的作业性大幅提高。
8关于“计算机”
最后，对本发明的“计算机”进行说明。图13表示计算机的硬件结构的一例。如图13所示，计算机1300主要具备处理器1310、主存储装置1320、辅助存储装置1330、用户接口1340、通信接口1350，它们经由包含地址总线、数据总线、控制母线等的总线1360而彼此连接。此外，在总线1360与各硬件资源之间也可能安装有适当接口电路(未图示)。
处理器1310进行计算机整体的控制。
主存储装置1320对处理器1310提供作业区域，例如是SRAM、DRAM等易失性存储器。
辅助存储装置1330是收纳作为软件的程序等、各种数据等的、例如硬盘驱动、闪存器等非易失性存储器。该程序可在任意时刻从辅助存储装置1330经由总线1360向主存储装置1320装载。
用户接口1340进行向使用者提供信息及从使用者接收信息的输入的一方或双方，例如是键盘、鼠标、显示器、触摸面板显示器、话筒、扬声器等。
通信接口1350与网络1360连接，经由网络1360接收、发送数据。通信接口1350和网络1360能够用有线或无线连接。通信接口1350也获取网络的信息、例如，Wifi的接入点的信息、通信载体的基地台的信息等。

Claims (10)

1.一种执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，该计算机程序在一个以上计算机中执行，其特征在于，所述方法包含如下步骤：
反复获取所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态的步骤；
每获取一次所述一个以上的设备的状态时，至少将表示所述状态的图像显示在显示器上，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画的步骤；
将所获取的所述一个以上的设备的状态、和与所述状态相关的时刻存储于存储器的步骤；
接收切换显示模式的输入的步骤；以及
在收到切换显示模式的输入之后，至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画的步骤，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态。
2.根据权利要求1所述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，其特征在于，所述方法还包含如下步骤：
将包含带的座标图显示在所述显示器的步骤，其中，该带表示在所述半导体制造装置中产生的警报，所述座标图的一个轴与时刻对应，所述带的一方的端与所述警报的产生时刻对应，所述带的另一方的端与所述警报的复原时刻对应；以及
接收所显示的座标图中的位置或带的选择的步骤，其中，将与被选择的所述位置对应的时刻、或者与被选择的所述带相关的所述产生时刻或所述复原时刻设定为所述基准时刻。
3.根据权利要求1或2所述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，其特征在于，所述方法还包含如下步骤：
将所述半导体制造装置中的处理的记录显示在所述显示器的步骤；以及
接收所显示的所述记录中的处理的选择的步骤，其中，将与被选择的所述处理相关的时刻设定为所述基准时刻。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，其特征在于，所述方法还包含如下步骤：
将与所述半导体制造装置相关的甘特图显示在所述显示器的步骤，其中，所述甘特图的一方的轴与时刻对应，所述甘特图包含带，该带表示所述半导体制造装置所包含的至少一个设备所执行的处理，所述带的一方的端与所述状态的开始时刻对应，所述带的另一方的端与所述状态的结束时刻对应；以及
接收所显示的所述甘特图中的位置或带的选择的步骤，其中，将与被选择的所述位置对应的时刻、或者与被选择的所述带相关的所述开始时刻或所述结束时刻设定为所述基准时刻。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，其特征在于，所述方法还包含如下步骤：
将与播放、快进、逐帧播放、暂停、逐帧回放、快退以及回放中的一个以上对应的操控显示在所述显示器的步骤；
接收所显示的所述操控的选择的步骤；以及
对所述半导体制造装置的所述第二动画进行与被选择的所述操控对应的控制的步骤。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序，其特征在于，
所述半导体制造装置是镀覆装置。
7.一种计算机可读存储介质，其特征在于，
该计算机可读存储介质存储权利要求1至6中的任一项所述的执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法的计算机程序。
8.一种控制与半导体制造装置相关的显示的方法，其特征在于，包含如下步骤：
反复获取所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态的步骤；
每获取一次所述一个以上的设备的状态时，至少将表示所述状态的图像显示在显示器上，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画的步骤；
将所获取的所述一个以上的设备的状态、和与所述状态相关的时刻存储于存储器的步骤；
接收切换显示模式的输入的步骤；以及
在收到切换显示模式的所述输入之后，至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画的步骤，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态。
9.一种进行与半导体制造装置相关的显示的系统，其特征在于，包含：
第一构件，该第一构件反复获取所述半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态；
第二构件，该第二构件存储所获取的所述一个以上的设备的状态和与所述状态相关的时刻；
第三构件，该第三构件提供表示所述半导体制造装置的动作的动画，
在显示模式是第一模式的情况下，每获取一次所述一个以上的设备的状态时，所述第三构件至少显示表示所述状态的图像，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第一动画，
在所述显示模式是第二模式的情况下，所述第三构件至少将一个以上的图像逐一显示在所述显示器，由此提供表示所述半导体制造装置的动作的第二动画，其中，所述一个以上的图像分别表示存储于所述第二构件的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的所述一个以上的设备的状态；以及
第四构件，该第四构件接收至少在所述第一模式与所述第二模式之间切换所述显示模式的输入。
10.根据权利要求9所述的进行与半导体制造装置相关的显示的系统，其特征在于，
所述第一构件存在多个，多个所述第一构件分别反复获取不同的半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态，多个所述第一构件、所述第二构件、所述第三构件以及第四构件之间的通信路径的至少一部分是无线的。
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