CN108663779A - 两路光路的光学镜头 - Google Patents

两路光路的光学镜头 Download PDF

Info

Publication number
CN108663779A
CN108663779A CN201810840584.1A CN201810840584A CN108663779A CN 108663779 A CN108663779 A CN 108663779A CN 201810840584 A CN201810840584 A CN 201810840584A CN 108663779 A CN108663779 A CN 108663779A
Authority
CN
China
Prior art keywords
object lens
lens
transfer unit
light path
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810840584.1A
Other languages
English (en)
Inventor
贺云波
王波
刘青山
刘凤玲
陈桪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangdong Ada Intelligent Equipment Co Ltd
Original Assignee
Guangdong Ada Intelligent Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangdong Ada Intelligent Equipment Co Ltd filed Critical Guangdong Ada Intelligent Equipment Co Ltd
Priority to CN201810840584.1A priority Critical patent/CN108663779A/zh
Publication of CN108663779A publication Critical patent/CN108663779A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0095Relay lenses or rod lenses
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B15/00Special procedures for taking photographs; Apparatus therefor
    • G03B15/02Illuminating scene
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/55Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

本发明涉及一种两路光路的光学镜头,包括第一物镜、第二物镜和CCD相机,第一物镜与第二物镜相对设置,第一物镜能够与焊头吸嘴上的晶圆对应,第二物镜能够与焊点对应,第一物镜与CCD相机之间设有第一光路传递单元,用于将第一物镜所成的物象传递至CCD相机,第二物件与CCD相机之间设有第二光路传递单元,用于将第二物镜所成的物象传递至CCD相机,CCD相机能够分别获得第一光路传递单元传递的物象和第二光路传递单元传递的物象。两路光路的光学镜头的一次位移即可完成两个物象的获取过程,提高了获取两个物象的效率,从而大大提高了晶圆位置和焊点位置识别对比的时间,进而提高了识别对比的效率。

Description

两路光路的光学镜头
技术领域
本发明涉及光学领域,特别是涉及一种两路光路的光学镜头。
背景技术
基于半导体行业加工精度较高的特点,在倒装之后固晶的过程中,需要对焊头吸嘴所吸取晶圆的位置和焊点位置进行较准确的定位,以达到较高的焊接质量。若晶圆位置相对于焊点位置存在偏移,则需要通过调整焊头吸嘴补偿,以满足焊接质量要求。在半导体行业,一般通过相机对晶圆位置和焊点位置进行识别,以保障获得较好的封装效果。但是一般的相机对晶圆位置和焊点位置识别对比的效率较低。
发明内容
基于此,有必要提供一种两路光路的光学镜头,以较高效率实现晶圆位置与焊点位置的识别对比。
一种两路光路的光学镜头,包括第一物镜、第二物镜和CCD相机,所述第一物镜与所述第二物镜相对设置,所述第一物镜能够与焊头吸嘴上的晶圆对应,所述第二物镜能够与焊点对应,所述第一物镜与所述CCD相机之间设有第一光路传递单元,用于将所述第一物镜所成的物象传递至所述CCD相机,所述第二物件与所述CCD相机之间设有第二光路传递单元,用于将所述第二物镜所成的物象传递至所述CCD相机,所述CCD相机能够分别获得所述第一光路传递单元传递的物象和所述第二光路传递单元传递的物象。
上述方案提供了一种两路光路的光学镜头,当两路光路的光学镜头移动到焊头吸嘴与焊点之间后,所述第一物镜能够获取晶圆对应的物象,所述第二物镜能够获取焊点对应的物象。所述第一物镜获取的物象通过第一光路传递单元传递至CCD相机,所述第二物镜获取的物象能够通过第二光路传递单元传递至CCD相机。两路光路的光学镜头的一次位移即可完成两个物象的获取过程,提高了获取两个物象的效率。CCD相机分别接收以上两个物象后,将相关数据信息传递给控制单元,控制单元将两个物象进行对比,判断所述晶圆与焊点位置是否对应准确,若晶圆与焊点位置存在偏差则控制焊头吸嘴移动补偿,从而提高焊接质量和封装效果。通过缩减获取两个物象的时间,从而大大提高了晶圆位置和焊点位置识别对比的时间,进而提高了识别对比的效率。
在其中一个实施例中,所述第一物镜的中心与所述第二物镜的中心位于同一竖直轴线上,所述第一光路传递单元和所述第二光路传递单元分别位于所述竖直轴线的两侧,所述第一物镜与所述第二物镜之间设有直角棱镜,所述直角棱镜能够将所述第一物镜获取的物象反射至所述第一光路传递单元,且也能够将所述第二物镜获取的物象反射至所述第二光路传递单元。
在其中一个实施例中,所述第一光路传递单元和所述第二光路传递单元共用一个第一双胶合凸透镜,所述第一双胶合凸透镜与所述CCD相机对应设置,所述第一光路传递单元传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜后传递至所述CCD相机,所述第二光路传递单元传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜后传递至所述CCD相机。
在其中一个实施例中,所述两路光路的光学透镜还包括第一光源和第二光源,所述第一光源与所述第一物镜之间设有第一入射光传递单元,用于将所述第一光源发射的光线传递至所述第一物镜,所述第二光源与所述第二物镜之间设有第二入射光传递单元,用于将所述第二光源发射的光线传递至所述第二物镜,当需要获取焊头吸嘴上晶圆对应的物象时,所述第一光源通电,所述第二光源断电,当需要获取焊点对应的物象时,所述第二光源通电,所述第一光源断电。
在其中一个实施例中,所述第一入射光传递单元包括第一菲涅尔透镜、第一反射镜和第二双胶合凸透镜,所述第一菲涅尔透镜、第一反射镜和第二双胶合凸透镜从所述第一光源到第一物镜的方向上依次设置,所述第一光源发射的光线能够通过所述第一菲涅尔透镜后被所述第一反射镜反射,通过所述第二双胶合凸透镜后到达所述第一物镜。
在其中一个实施例中,所述第一光路传递单元包括第一分光镜和第一物象反射镜,所述第一分光镜设置在所述第一菲涅尔透镜和第一反射镜之间,经过所述第一菲涅尔透镜聚焦的光线能够穿过所述第一分光镜后被所述第一反射镜反射,所述第一物镜获取的物象通过所述第二双胶合凸透镜后,依次被所述第一反射镜、第一分光镜和第一物象反射镜反射传递至所述CCD相机。
在其中一个实施例中,所述第二入射光传递单元包括第二菲涅尔透镜、第二反射镜和第三双胶合凸透镜,所述第二菲涅尔透镜、第二反射镜和第三双胶合凸透镜从所述第二光源到第二物镜的方向上依次设置,所述第二光源发射的光线能够通过所述第二菲涅尔透镜后被所述第二反射镜反射,通过所述第三双胶合凸透镜后到达所述第二物镜。
在其中一个实施例中,所述第二光路传递单元包括第二分光镜和第二物象反射镜,所述第二分光镜设置在所述第二菲涅尔透镜和第二反射镜之间,经过所述第二菲涅尔透镜聚焦的光线能够穿过所述第二分光镜后被所述第二反射镜反射,所述第二物镜获取的物象通过所述第三双胶合凸透镜后,依次被所述第二反射镜、第二分光镜和第二物象反射镜反射传递至所述CCD相机。
在其中一个实施例中,所述两路光路的光学透镜还包括主镜体组件,所述主镜体组件中挖设有与所述第一光路传递单元匹配的第一通道,所述第一物镜安装在所述第一通道的入口,所述主镜体组件中挖设有与所述第二光路传递单元匹配的第二通道,所述第二物镜安装在所述第二通道的入口,所述第一通道和所述第二通道通公用一个输出段,所述第一双胶合凸透镜安装在所述输出段,所述输出段的出口与所述CCD相机对应,所述主镜体组件中挖设有与所述第一入射光传递单元匹配的第三通道,所述第一光源安装在所述第三通道的入口,所述主镜体组件中挖设有与第二入射光传递单元匹配的第四通道,所述第二光源安装在所述第四通道的入口。
在其中一个实施例中,所述第一通道中靠近所述第一光源的一段为第一输入段,所述第二通道中靠近所述第二光源的一段为第二输入段,所述主镜体组件包括主镜体本体,所述第一输入段、输出段和第二输入段均在所述主镜体本体中形成,所述第一输入段、输出段和第二输入段平行设置,所述第一输入段和第二输入段分别位于所述输出段的两侧。
附图说明
图1为本实施例所述两路光路的光学镜头的结构示意图;
图2为本实施例所述两路光路的光学镜头另一视角的结构示意图;
图3为本实施例所述两路光路的光学镜头光路传播的原理图;
图4为本实施例所述主镜体本体的结构示意图;
图5为本实施例所述的主镜体本体另一视角的结构示意图;
图6为本实施例所述两路光路的光学镜头中直角棱镜部分光路传播原理图。
附图标记说明:
10、两路光路的光学镜头,11、第一物镜,12、第二物镜,13、CCD相机,14、第一光路传递单元,141、第一分光镜,142、第一物象反射镜,15、第二光路传递单元,151、第二分光镜,152、第二物象反射镜,16、直角棱镜,17、第一双胶合凸透镜,18、第一光源,181、第一入射光传递单元,1811、第一菲涅尔透镜,1812、第一反射镜,1813、第二双胶合凸透镜,19、第二光源,191、第二入射光传递单元,1911、第二菲涅尔透镜,1912、第二反射镜,1913、第三双胶合凸透镜,20、主镜体组件,21、主镜体本体,211、输出段,212、第一输入段,213、第二输入段,22、第一转角固定件,23、第二转角固定件,24、物象反射镜固定件,25、侧灯固定件。
具体实施方式
如图1和图2所示,在一个实施例中提供了一种两路光路的光学镜头10,包括第一物镜11、第二物镜12和CCD相机13,所述第一物镜11与所述第二物镜12相对设置,所述第一物镜11能够与焊头吸嘴上的晶圆对应,所述第二物镜12能够与焊点对应,如图3所示,所述第一物镜11与所述CCD相机13之间设有第一光路传递单元14,用于将所述第一物镜11所成的物象传递至所述CCD相机13,所述第二物件与所述CCD相机13之间设有第二光路传递单元15,用于将所述第二物镜12所成的物象传递至所述CCD相机13,所述CCD相机13能够分别获得所述第一光路传递单元14传递的物象和所述第二光路传递单元15传递的物象。
上述方案提供了一种两路光路的光学镜头10,如图3所示,当两路光路的光学镜头10移动到焊头吸嘴与焊点之间后,所述第一物镜11能够获取晶圆对应的物象,所述第二物镜12能够获取焊点对应的物象。所述第一物镜11获取的物象通过第一光路传递单元14传递至CCD相机13,所述第二物镜12获取的物象能够通过第二光路传递单元15传递至CCD相机13。两路光路的光学镜头10的一次位移即可完成两个物象的获取过程,提高了获取两个物象的效率。CCD相机13分别接收以上两个物象后,将相关数据信息传递给控制单元,控制单元将两个物象进行对比,判断所述晶圆与焊点位置是否对应准确,若晶圆与焊点位置存在偏差则控制焊头吸嘴移动补偿,从而提高焊接质量和封装效果。通过缩减获取两个物象的时间,从而大大提高了晶圆位置和焊点位置识别对比的时间,进而提高了识别对比的效率。
具体地,如图3所示,基于所述两路光路的光学镜头10采用的是一个CCD相机13接收两个物象,因此在物象获取的过程中,两个物象需要分别传递至所述CCD相机13,以便分辨此时获取的物象信息是晶圆还是焊点的位置信息。为使得两个物象能够分别传递至所述CCD相机13,可以通过采用遮挡切换元件,当需要采集晶圆位置信息时,利用遮挡切换元件将焊点对应的物象进行遮挡,使得只有晶圆对应的物象传递至所述CCD相机13;当需要采集焊点位置信息时,遮挡切换元件切换,将晶圆对应的物象进行遮挡,使得只有焊点对应的物象传递至所述CCD相机13。可选地,也可以通过分别控制与第一物镜11对应的光源和与第二物镜12对应的光源,当需要采集晶圆位置信息时,所述第一物镜11对应的光源通电发光,所述第二物镜12对应的光源处于断电状态,使得只有第一物镜11能够获取晶圆对应的物象;当需要采集焊点的位置信息时,所述第二物镜12对应的光源通电发光,所述第一物镜11对应的光源处于断电状态,使得只有第二物镜12能够获取焊点对应的物象。
当CCD相机13分别获取两个物象后,控制单元需要将两个物象对应的信息进行对比,判断晶圆和焊点的位置是否对应。为进一步简化控制单元的对比过程,在其中一个实施例中,如图1至图3所示,所述第一物镜11的中心与所述第二物镜12的中心位于同一竖直轴线上,所述第一光路传递单元14和所述第二光路传递单元15分别位于所述竖直轴线的两侧,如图6所示,所述第一物镜11与所述第二物镜12之间设有直角棱镜16,所述直角棱镜16能够将所述第一物镜11获取的物象反射至所述第一光路传递单元14,且也能够将所述第二物镜12获取的物象反射至所述第二光路传递单元15。
将所述第一物镜11的中心和所述第二物镜12的中心设置在同一竖直轴线上,从而使得控制单元在判断晶圆的位置与焊点的位置是否对应时,只需要将两个物象对应的信息进行重叠对比即可。若第一物镜11的中心与第二物镜12的中心不位于同一竖直轴线上,即两者之间存在偏移时,控制单元在获取两个物象信息后,需要将两个物象信息之间的偏移进行补偿,然后再对补偿后的数据进行对比,以此判断晶圆的位置与焊点的位置是否对应匹配。
而且,基于所述第一物镜11的中心与所述第二物镜12的中心位于同一竖直轴线上,为使得所述两路光路的光学镜头10结构更加紧凑,如图6所示,将所述第一光路传递单元14和所述第二光路传递单元15分别位于所述竖直轴线的两侧,进而在第一物镜11与第二物镜12之间设置所述直角棱镜16,将第一物镜11所成的像反射到所述第一光路传递单元14,将第二物镜12所成的像反射到所述第二光路传递单元15。
进一步地,为进一步简化结构,如图3所示,在一个实施例中,所述第一光路传递单元14和所述第二光路传递单元15共用一个第一双胶合凸透镜17,所述第一双胶合凸透镜17与所述CCD相机13对应设置,所述第一光路传递单元14传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜17后传递至所述CCD相机13,所述第二光路传递单元15传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜17后传递至所述CCD相机13。
进一步地,在一个实施例中,如图3所示,所述两路光路的光学透镜还包括第一光源18和第二光源19,所述第一光源18与所述第一物镜11之间设有第一入射光传递单元181,用于将所述第一光源18发射的光线传递至所述第一物镜11,所述第二光源19与所述第二物镜12之间设有第二入射光传递单元191,用于将所述第二光源19发射的光线传递至所述第二物镜12,当需要获取焊头吸嘴上晶圆对应的物象时,所述第一光源18通电,所述第二光源19断电,当需要获取焊点对应的物象时,所述第二光源19通电,所述第一光源18断电。
通过设置所述第一光源18和第二光源19,从而控制同一时刻只有晶圆对应的物象或者只有焊点对应的物象传输到所述CCD相机13。具体地,当需要获取晶圆对应的物象时,所述第一光源18通电,所述第二光源19断电,第一光源18发射的光线在第一入射光传递单元181中传播至所述第一物镜11,通过第一物镜11形成的物象再通过第一光路传递单元14传递到所述CCD相机13。当需要获取焊点对应的物象时,所述第二光源19通电,所述第一光源18断电,第二光源19发射的光线在第二入射光传递单元191中传播至所述第二物镜12,通过第二物镜12形成的物象再通过第二光路传递单元15传递到所述CCD相机13。
具体地,如图3和图6所示,在一个实施例中,所述第一入射光传递单元181包括第一菲涅尔透镜1811、第一反射镜1812和第二双胶合凸透镜18131813,所述第一菲涅尔透镜1811、第一反射镜1812和第二双胶合凸透镜18131813从所述第一光源18到第一物镜11的方向上依次设置,所述第一光源18发射的光线能够通过所述第一菲涅尔透镜1811后被所述第一反射镜1812反射,通过所述第二双胶合凸透镜1813后到达所述第一物镜11。所述第一入射光传递单元181也可以由其他光学透镜组成,只要能够将第一光源18发射的光线传递至所述第一物镜11则属于前述方案所述范围。
进一步地,在一个实施例中,如图3所示,所述第一光路传递单元14包括第一分光镜141和第一物象反射镜142,所述第一分光镜141设置在所述第一菲涅尔透镜1811和第一反射镜1812之间,经过所述第一菲涅尔透镜1811聚焦的光线能够穿过所述第一分光镜141后被所述第一反射镜1812反射,所述第一物镜11获取的物象通过所述第二双胶合凸透镜1813后,依次被所述第一反射镜1812、第一分光镜141和第一物象反射镜142反射传递至所述CCD相机13。
通过所述第一光路传递单元14和所述第一入射光传递单元181共用所述第一反射镜1812和所述第二双胶合凸透镜1813,使得整体的结构更加紧凑。第一光源18发射的光线能够依次通过第一菲涅尔透镜1811和第一分光镜141后被所述第一反射镜1812反射,经过所述第二双胶合凸透镜1813后到达所述第一物镜11。第一物镜11形成的像经过所述第二双胶合凸透镜1813后,依次被所述第一反射镜1812、第一分光镜141和第一物象反射镜142反射传递至所述CCD相机13。
进一步具体地,在一个实施例中,所述第二入射光传递单元191包括第二菲涅尔透镜1911、第二反射镜1912和第三双胶合凸透镜1913,所述第二菲涅尔透镜1911、第二反射镜1912和第三双胶合凸透镜1913从所述第二光源19到第二物镜12的方向上依次设置,所述第二光源19发射的光线能够通过所述第二菲涅尔透镜1911后被所述第二反射镜1912反射,通过所述第三双胶合凸透镜1913后到达所述第二物镜12。与所述第一入射光传递单元181的设置类似,通过所述第二菲涅尔透镜1911、第二反射镜1912和第三双胶合凸透镜1913来实现第二光源19所产生的光线的传导。也可采用其他光学透镜组合实现第二光源19所产生光线的传导,只要能够将第二光源19发射的光线传递到第二物镜12,则属于前述方案所述范围。
进一步地,在一个实施例中,如图3所示,所述第二光路传递单元15包括第二分光镜151和第二物象反射镜152,所述第二分光镜151设置在所述第二菲涅尔透镜1911和第二反射镜1912之间,经过所述第二菲涅尔透镜1911聚焦的光线能够穿过所述第二分光镜151后被所述第二反射镜1912反射,所述第二物镜12获取的物象通过所述第三双胶合凸透镜1913后,依次被所述第二反射镜1912、第二分光镜151和第二物象反射镜152反射传递至所述CCD相机13。
与所述第一光路传递单元14的设置同理,所述第二光路传递单元15与所述第二入射光传递单元191共用所述第二反射镜1912和第三双胶合凸透镜1913,使得整体的结构更加紧凑。
进一步地,在一个实施例中,如图1和图2所示,所述两路光路的光学透镜还包括主镜体组件20,所述主镜体组件20中挖设有与所述第一光路传递单元14匹配的第一通道,所述第一物镜11安装在所述第一通道的入口,所述主镜体组件20中挖设有与所述第二光路传递单元15匹配的第二通道,所述第二物镜12安装在所述第二通道的入口,所述第一通道和所述第二通道通公用一个输出段211,所述第一双胶合凸透镜17安装在所述输出段211,所述输出段211的出口与所述CCD相机13对应,所述主镜体组件20中挖设有与所述第一入射光传递单元181匹配的第三通道,所述第一光源18安装在所述第三通道的入口,所述主镜体组件20中挖设有与第二入射光传递单元191匹配的第四通道,所述第二光源19安装在所述第四通道的入口。
通过在所述主镜体组件20中设置所述第一通道、第二通道、第三通道和第四通道实现所述两路光路的光学镜头10中各个光路传输需要。将各个光学透镜设置在对应通道的对应位置,完成第一光路传递单元14、第二光路传递单元15、第一入射光传递单元181和第二入射光传递单元191的设置。基于所述第一光路传递单元14和第二光路传递单元15共用一个第一双胶合凸透镜17,因此,所述第一通道和第二通道共用一个输出段211,将第一双胶合凸透镜17安装在所述输出段211。也可通过其他支撑结构,将第一光路传递单元14、第二光路传递单元15、第一入射光传递单元181和第二入射光传递单元191所包含的各个光学透镜进行架设,只要能够实现对应光路的传输即属于前述方案所述范围。
进一步地,在一个实施例中,为使整体结构布局更加合理简洁,如图4和图5所示,所述第一通道靠近所述第一光源18的一段为第一输入段212,所述第二通道中靠近所述第二光源19的一段为第二输入段213,所述主镜体组件20包括主镜体本体21,所述第一输入段212、输出段211和第二输入段213均在所述主镜体本体21中形成,所述第一输入段212、输出段211和第二输入段213平行设置,所述第一输入段212和第二输入段213分别位于所述输出段211的两侧。
具体地,在一个实施例中,如图1和图2所示,当所述第一入射光传递单元181包括所述第一菲涅尔透镜1811、第一反射镜1812和第二双胶合凸透镜1813时,所述第一菲涅尔透镜1811安装在所述第一输入段212的出口,当所述第二入射光传递单元191包括第二菲涅尔透镜1911、第二反射镜1912和第三双胶合凸透镜1913时所述第二菲涅尔透镜1911安装在所述第二输入端的出口。
进一步地,在一个实施例中,如图1和图2所示,所述主镜体组件20还包括第一转角固定件22,第二转角固定件23、物象反射镜固定件24和两个侧灯固定件25,所述第一转角固定件22和第二转角固定件23相对设置,所述物象反射镜设置在所述第一转角固定件22和第二转角固定件23之间,两个侧灯固定件25相对设置,且均架设在第一转角固定件22和第二转角固定件23之间,在第一转角固定件22、第二转角固定件23、物象反射镜固定件24和两个侧灯固定件25之间围成了一个放置空间,所述直角棱镜16放置在所述放置空间中。
所述第一分光镜141、第一反射镜1812和第二双胶合凸透镜1813安装在所述第一转角固定件22中,所述第一转角固定件22中挖设有对应通道,使得所述第一分光镜141、第一反射镜1812和第二双胶合凸透镜1813能够实现对应光线的传导。所述第二分光镜151、第二反射镜1912和第三胶合凸透镜1913安装在所述第二转角固定件23中,所述第二转角固定件23中挖设有对应通道,使得所述第二分光镜151、第二反射镜1912和第三胶合凸透镜1913能够实现对应光线的传导。所述物像反射镜固定件24位于所述第一转角固定件22和第二转角固定件23之间,且挖设有用于放置所述第一物象反射镜142和第二物象反射镜152的V型凹槽,所述第一物象反射镜142安装在所述V型凹槽靠近第一转角固定件22的侧壁上,所述第二物象反射镜152安装在另一个侧壁上,所述物象反射镜固定件24中挖设有对应通道,供所述第一物象反射镜142和第二物象反射镜152的对应光路的传导。两个侧灯固定件25中均设有一对倾斜设置的侧灯,第一物镜11放置在一个侧灯固定件25上,第二物镜12放置在另一个侧灯固定件25上,第一物镜11与对应的侧灯之间设有隔热玻璃,第二物镜12与对应的侧灯之间也设有隔热玻璃。一对侧灯发射的光线能够穿过对应的隔热玻璃照射到所述第一物镜11或者第二物镜12上。所述第一物镜11形成的物象能够穿过对应的侧灯固定件25达到所述直角棱镜16,所述第二物镜12形成的物象也能够穿过对应的侧灯固定件25到达所述直角棱镜16。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种两路光路的光学镜头,其特征在于,包括第一物镜、第二物镜和CCD相机,所述第一物镜与所述第二物镜相对设置,所述第一物镜能够与焊头吸嘴上的晶圆对应,所述第二物镜能够与焊点对应,所述第一物镜与所述CCD相机之间设有第一光路传递单元,用于将所述第一物镜所成的物象传递至所述CCD相机,所述第二物件与所述CCD相机之间设有第二光路传递单元,用于将所述第二物镜所成的物象传递至所述CCD相机,所述CCD相机能够分别获得所述第一光路传递单元传递的物象和所述第二光路传递单元传递的物象。
2.根据权利要求1所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第一物镜的中心与所述第二物镜的中心位于同一竖直轴线上,所述第一光路传递单元和所述第二光路传递单元分别位于所述竖直轴线的两侧,所述第一物镜与所述第二物镜之间设有直角棱镜,所述直角棱镜能够将所述第一物镜获取的物象反射至所述第一光路传递单元,且也能够将所述第二物镜获取的物象反射至所述第二光路传递单元。
3.根据权利要求1所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第一光路传递单元和所述第二光路传递单元共用一个第一双胶合凸透镜,所述第一双胶合凸透镜与所述CCD相机对应设置,所述第一光路传递单元传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜后传递至所述CCD相机,所述第二光路传递单元传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜后传递至所述CCD相机。
4.根据权利要求1至3任一项所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,还包括第一光源和第二光源,所述第一光源与所述第一物镜之间设有第一入射光传递单元,用于将所述第一光源发射的光线传递至所述第一物镜,所述第二光源与所述第二物镜之间设有第二入射光传递单元,用于将所述第二光源发射的光线传递至所述第二物镜,当需要获取焊头吸嘴上晶圆对应的物象时,所述第一光源通电,所述第二光源断电,当需要获取焊点对应的物象时,所述第二光源通电,所述第一光源断电。
5.根据权利要求4所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第一入射光传递单元包括第一菲涅尔透镜、第一反射镜和第二双胶合凸透镜,所述第一菲涅尔透镜、第一反射镜和第二双胶合凸透镜从所述第一光源到第一物镜的方向上依次设置,所述第一光源发射的光线能够通过所述第一菲涅尔透镜后被所述第一反射镜反射,通过所述第二双胶合凸透镜后到达所述第一物镜。
6.根据权利要求5所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第一光路传递单元包括第一分光镜和第一物象反射镜,所述第一分光镜设置在所述第一菲涅尔透镜和第一反射镜之间,经过所述第一菲涅尔透镜聚焦的光线能够穿过所述第一分光镜后被所述第一反射镜反射,所述第一物镜获取的物象通过所述第二双胶合凸透镜后,依次被所述第一反射镜、第一分光镜和第一物象反射镜反射传递至所述CCD相机。
7.根据权利要求4所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第二入射光传递单元包括第二菲涅尔透镜、第二反射镜和第三双胶合凸透镜,所述第二菲涅尔透镜、第二反射镜和第三双胶合凸透镜从所述第二光源到第二物镜的方向上依次设置,所述第二光源发射的光线能够通过所述第二菲涅尔透镜后被所述第二反射镜反射,通过所述第三双胶合凸透镜后到达所述第二物镜。
8.根据权利要求7所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第二光路传递单元包括第二分光镜和第二物象反射镜,所述第二分光镜设置在所述第二菲涅尔透镜和第二反射镜之间,经过所述第二菲涅尔透镜聚焦的光线能够穿过所述第二分光镜后被所述第二反射镜反射,所述第二物镜获取的物象通过所述第三双胶合凸透镜后,依次被所述第二反射镜、第二分光镜和第二物象反射镜反射传递至所述CCD相机。
9.根据权利要求4所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,还包括主镜体组件,所述主镜体组件中挖设有与所述第一光路传递单元匹配的第一通道,所述第一物镜安装在所述第一通道的入口,所述主镜体组件中挖设有与所述第二光路传递单元匹配的第二通道,所述第二物镜安装在所述第二通道的入口,所述第一通道和所述第二通道通公用一个输出段,所述第一双胶合凸透镜安装在所述输出段,所述输出段的出口与所述CCD相机对应,所述主镜体组件中挖设有与所述第一入射光传递单元匹配的第三通道,所述第一光源安装在所述第三通道的入口,所述主镜体组件中挖设有与第二入射光传递单元匹配的第四通道,所述第二光源安装在所述第四通道的入口。
10.根据权利要求9所述的两路光路的光学镜头,其特征在于,所述第一通道中靠近所述第一光源的一段为第一输入段,所述第二通道中靠近所述第二光源的一段为第二输入段,所述主镜体组件包括主镜体本体,所述第一输入段、输出段和第二输入段均在所述主镜体本体中形成,所述第一输入段、输出段和第二输入段平行设置,所述第一输入段和第二输入段分别位于所述输出段的两侧。
CN201810840584.1A 2018-07-27 2018-07-27 两路光路的光学镜头 Pending CN108663779A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810840584.1A CN108663779A (zh) 2018-07-27 2018-07-27 两路光路的光学镜头

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810840584.1A CN108663779A (zh) 2018-07-27 2018-07-27 两路光路的光学镜头

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108663779A true CN108663779A (zh) 2018-10-16

Family

ID=63789546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810840584.1A Pending CN108663779A (zh) 2018-07-27 2018-07-27 两路光路的光学镜头

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108663779A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111723591B (zh) * 2020-05-22 2021-03-30 杭州长川科技股份有限公司 晶圆id读取装置
TWI734499B (zh) * 2020-05-28 2021-07-21 長庚大學 顯微鏡之結構

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4899921A (en) * 1988-10-28 1990-02-13 The American Optical Corporation Aligner bonder
JP2002222751A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Nitto Kogaku Kk アライメント装置および組立て装置
KR200327691Y1 (ko) * 2003-06-24 2003-09-26 박래복 홍채영상 획득장치
TW201423893A (zh) * 2012-12-07 2014-06-16 Cello Technology Co Ltd 鍵合設備潛望式正面對位方法
CN107664833A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种用于基片对准的机器视觉系统及对准装置
CN108172527A (zh) * 2017-12-28 2018-06-15 长春长光精密仪器集团有限公司 一种光学检测系统
CN208621821U (zh) * 2018-07-27 2019-03-19 广东阿达智能装备有限公司 两路光路的光学镜头
CN115799146A (zh) * 2023-01-30 2023-03-14 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 一种光学对位系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4899921A (en) * 1988-10-28 1990-02-13 The American Optical Corporation Aligner bonder
JP2002222751A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Nitto Kogaku Kk アライメント装置および組立て装置
KR200327691Y1 (ko) * 2003-06-24 2003-09-26 박래복 홍채영상 획득장치
TW201423893A (zh) * 2012-12-07 2014-06-16 Cello Technology Co Ltd 鍵合設備潛望式正面對位方法
CN107664833A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种用于基片对准的机器视觉系统及对准装置
CN108172527A (zh) * 2017-12-28 2018-06-15 长春长光精密仪器集团有限公司 一种光学检测系统
CN208621821U (zh) * 2018-07-27 2019-03-19 广东阿达智能装备有限公司 两路光路的光学镜头
CN115799146A (zh) * 2023-01-30 2023-03-14 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 一种光学对位系统

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111723591B (zh) * 2020-05-22 2021-03-30 杭州长川科技股份有限公司 晶圆id读取装置
TWI734499B (zh) * 2020-05-28 2021-07-21 長庚大學 顯微鏡之結構

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101680762B1 (ko) 3d 카메라용 빔스플리터 및 상기 빔스플리터를 채용한 3차원 영상 획득 장치
US9420245B2 (en) Auto-focusing projection system
CN101493637B (zh) 发射多色激光的投影仪及该投影仪的光轴调整方法
CN103529629B (zh) Dlp微型投影机
US20020186304A1 (en) Optical image pickup device and optical range finder
TWI486640B (zh) 立體投影裝置與應用其之顯示方法
CN108663779A (zh) 两路光路的光学镜头
CN203012334U (zh) 带红外光源的投影系统
US20100177315A1 (en) Alignment device and method for optical system
TW200405044A (en) Loss-less etendue-preserving light guides
CN208621821U (zh) 两路光路的光学镜头
JP2020064206A (ja) 投射型表示装置および偏光分離素子
CN106405825B (zh) 自适应激光远场功率密度控制装置
CN107121727A (zh) 光纤熔接机纤芯识别光学及成像系统
US9791770B1 (en) Light-source module
JPS58214121A (ja) 写真顕微鏡装置
JP6297292B2 (ja) 多重投影システム及びこれを用いた表示システム
WO2017193891A1 (zh) 一种镜头及拍摄装置
WO2019128096A1 (zh) 一种基于混合光源的互动投影装置
CN104136959A (zh) 立体射束分离器
CN109283775A (zh) 一种投影设备
CN208334704U (zh) 一种单镜头光纤熔接机
JPS59102202A (ja) レンズ系の光路分岐プリズム
CN106094448B (zh) 光刻系统
CN211857159U (zh) 成像光学装置和系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination