JP2002222751A - アライメント装置および組立て装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 貼り合わせるチップ同士の位置合わせを簡単
に高精度で行えるアライメント装置を提供する。 【解決手段】 直線Ｎの上に配置されたチップ８０およ
び８１の各々の画像を第１の光路６１および第２の光路
６２を介してアライメント装置１０のビームスプリッタ
２１に導き、第１の光路６１からのＳ偏光の第１の画像
は反射面２２で第３の光路６３の方向に反射し、第２の
光路６２からのＳ偏光の第２の画像は反射面２２で第４
の光路６４の方向に反射し、１／４波長板２３ａおよび
ミラー２３ｂによってＰ偏光にして反射面２２を透過し
て第３の光路６３に導き、第３の光路６３に第１および
第２の画像を重ねて出力する。これにより、重ね合わせ
るチップ８０および８１の面８０ａおよび８１ａの画像
を重ねて見ることができるので、直接的に位置合わせで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のチップを組
み合わせる際に、互いの位置合わせをするアライメント
装置および組立て装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体回路が搭載されたチップ同士を対
向して貼り合わせたり、リードフレームあるいはパッケ
ージにチップを搭載したり、それらをプリント基板に搭
載する際には、チップあるいはパッケージなどが所望の
位置に高精度で搭載されるように、相互の位置合わせ
（アライメント）を行ってから貼り付けなどの組立て作
業が行われる。

【０００３】図５に、アライメントを行う装置の一例を
示してある。このアライメント装置９０はチップ同士を
貼り合わせる場合を例に説明しているが、パッケージや
プリント基板とチップなどを貼り合わせる場合も同様で
ある。このアライメント装置９０は、直交する２つの反
射面９２ａおよび９２ｂを備えた直角プリズム９２と、
これらの反射面９２ａおよび９２ｂからの画像を同時に
得ることができる撮影レンズ（カメラレンズ）９８およ
びＣＣＤ等を用いたカメラ９９とが破線で示す直線Ｃに
沿って配置されている。したがって、直交プリズム９２
を交点として直線Ｃに直交する方向（本図では、直線
Ｎ）に延びた第１の光路７１および第２の光路７２から
の画像を、直交プリズム９２で直角に曲げ、直線Ｃに沿
って平行した光路７３および７４を通してカメラ９９に
導くことができる。このため、第１の光路７１の方向に
アライメントする第１のチップ８０と、それを保持する
保持台８７とを設け、第２の光路７２の方向に第２のチ
ップ８１と、それを保持する保持台８８とを設けること
により、これら第１および第２のチップ８０および８１
の位置合わせを行い精度良く貼り合わせることができ
る。

【０００４】具体的には、カメラ９９で得られた２つの
チップ８０および８１の画像をモニター９７に出力して
位置合わせする。このため、モニター９７に表示される
撮像素子面９６には、予め、アライメントすべき平面座
標の原点位置と座標軸ＸＹの校正作業がなされたマーク
が表示されており、それにあわせて各々のチップ８０お
よび８１の位置を調整することになる。たとえば、図６
に示してあるように、中心線Ｋを境に左右にそれぞれの
チップ８０および８１が表示され、校正されたアライメ
ント補助線Ｌなども同時に表示される。したがって、各
々のチップ８０および８１に設けられたアライメントマ
ーク８０Ｍおよび８１Ｍが、相互にあるいはアライメン
ト補助線などに対して所定の位置になるように各々のチ
ップ保持台８７および８８の位置あるいは角度などを調
整する。

【０００５】そして、２つのチップ８０および８１のア
ライメント作業が終了すると、アライメント装置９０を
チップ保持台８７および８８が移動する直線Ｎ上から取
り外し、その後、双方のチップ８０およびチップ８１が
接合するように双方あるいは一方のチップ保持台を移動
する。このようにして、２つのチップ８０および８１を
所望の位置で貼り合せることができる。この際、移動ス
テージの移動方向と直線Ｎが平行に保たれることは言う
までもない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このア
ライメント装置９０を用いた方法では、図６に示したよ
うに、貼り合せる２つのチップ８０および８１のアライ
メントマーク８０Ｍおよび８１Ｍをモニター９７の画面
９６の上に表示し、予め校正された補助線などを用いて
相対的に位置合わせするものである。すなわち、オペレ
ータがマニュアル操作により目視で、２つのチップ８０
および８１が所望の位置にあることを判断し、アライメ
ントが一致していることを判断する際に、作業者の熟練
度、誤認等の不確実さの入り込む余地がある。また、校
正された補助線などのマークの校正精度にアライメント
の精度が大きく依存する。したがって、アライメント作
業において、人為的なミスが生じ易く、それを回避する
ためには、熟練したオペレータが必要となり、効率良く
作業を行うことができない。また、アライメント作業を
自動化することは難しい。さらに、アライメント装置な
どをセットするときに補助線などを校正する作業を省く
ことができない。また、その校正された位置にアライメ
ントされる対象のチップなどを設置する必要があり、そ
の時点でも誤差が発生する可能性がある。

【０００７】そこで、本発明においては、作業者の熟練
度、誤認等の不確実さの入り込む余地がなく、自動化が
可能なアライメント装置を提供することを目的としてい
る。また、位置合わせ用の補助線などの校正が必要な補
助的なマークを用いなくてもチップ同士あるいは、チッ
プとその他の部材の位置合わせを確実に高精度で行うこ
とができるアライメント装置を提供することを目的とし
ている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このため、本発明のアラ
イメント装置では、空間的に離れて配置された２つの対
向する面を同一の光軸上に重ねて出力できる光学素子を
設けることで、２つの画像を直接的に重ねて表示し、ア
ライメントの一致を判断できるようにしている。すなわ
ち、本発明のアライメント装置は、直線上に配置され、
対向する方向から入射された第１および第２の画像をそ
れぞれ導くことができる第１および第２の光路と、第１
および第２の光路に直交する第３の光路と、この第３の
光路に第１の画像と第２の画像を重ねて導く光学手段と
を有する。

【０００９】第１の画像と第２の画像を重ねて表示する
ことにより、第１および第２の画像を相対的に見比べて
位置合わせをする必要はなくなる。たとえば、第１の画
像の表示されたマークと、第２の画像の表示されたマー
クとを重ねるように直接的な、あるいは、絶対的な位置
合わせをすることが可能となる。さらに、相互のマーク
の位置決めをするために校正された補助線などは不要と
なり、校正された位置に予めチップなどを搭載する手間
も要らない。したがって、本発明のアライメント装置で
あれば、作業者の熟練度、誤認等の不確実さの入り込む
余地がなく、さらにアライメント作業を自動化すること
も可能となる。そして、校正などの作業も不要であり、
アライメント作業を大幅に簡略化できる。

【００１０】さらに、本発明のアライメント装置は、ア
ライメントする対象となる一方の物体を透過して他の物
体を見て、第１あるいは第２の画像を重ねて表示する方
式ではない。このため、重ね合わせる対象物の一方が透
過性のものである必要はなく、また、対象物の一方に透
過性のマークを設けるといった制限は一切不要であり、
重ね合わせる対象物の双方をそのままの状態で、直接的
に重ね合わせて表示することができる。

【００１１】したがって、第３の光路に第１および第２
の画像が重なり合った画像を取得可能な画像素子を配置
することにより、重なり合った画像をモニターなどに表
示して、マークあるいはその他の特定の部分が合致する
ようにマニュアルで位置合わせすることができ、熟練し
たオペレータでなくても高精度でミス無く位置合わせす
ることができる。さらに、その重なり合った画像をコン
ピュータなどの情報処理装置によって画像処理すること
により、マークあるいはその他の特定の部分が重なるよ
うに自動的に位置合わせすることも可能であり、アライ
メントする作業を自動化することも可能となる。

【００１２】したがって、本発明のアライメント装置を
用い、このアライメント装置の第１の光路の延長方向に
チップなどの第１の対象物を保持可能な第１の保持手段
を設け、第２の光路の延長方向に第２の対象物を保持可
能な第２の保持手段を設けた組立て装置を提供すること
が可能である。そして、アライメントが終了した後に、
第１および第２の保持手段が移動する経路に対しアライ
メント装置を抜き差し可能とし、第１の保持手段および
／または第２の保持手段を第１および／または第２の光
路の方向に直線的に動かすことにより第１および第２の
対象物を所望の位置で貼り合わせることができる。

【００１３】第３の光路に第１の画像と第２の画像を重
ねて導く光学手段としては、偏光ビームスプリッタを採
用できる。偏光ビームスプリッタを採用した場合は、第
１の画像を第３の光路に反射する反射面を設けると共
に、この反射面で第３の光路の逆方向に反射された第２
の画像を第３の光路に反射する第４の光路を設け、この
第４の光路には１／４波長板を設置する。照明光による
対象物からの反射光を偏光板により第１の偏光となった
第１および第２の画像は、第１の画像が反射面で第３の
光路に出力されると共に、第２の画像は第４の光路を通
過する際に第２の偏光となり、反射面を透過し第３の光
路に出力される。このように光学手段により、第１およ
び第２の光路から入射される光束を、直交する第３の光
路に光軸が揃うように出力することができるので、第３
の光路に第１および第２の画像が重なり合った画像が出
力される。

【００１４】さらに、第３の光路に第１の画像と第２の
画像を重ねて導く光学手段としては、ダイクロイックプ
リズムも採用可能である。ダイクロイックプリズムに、
第１の色の第１の画像を第３の光路に反射する第１の反
射面と、第２の色の第２の画像を第３の光路に反射する
第２の反射面とを設けることにより、異なった色の第１
の画像と第２の画像を第３の光路に重ねて導くことがで
きる。さらに、第１の画像と第２の画像が異なる色で表
示されるので、第１および第２の対象物のどちらを表示
しているかが判別しやすくなり、位置調整がさらに容易
になる。第１の光路と第２の光路とから異なった色の画
像を得るために、第１の光路の方向にある対象物に第１
の色の光を照射する第１の光源と、第２の光路の方向に
ある対象物に第２の色の光を照射する第２の光源とを設
けることも有効である。

【００１５】さらに、ダイクロイックプリズムを介して
第３の光路の方向に第３の色の第３の画像を透過させ
て、第１および第２の画像に第３の画像を重ねて出力す
ることができる。したがって、第３の画像として格子模
様（升目）を表示することが可能であり、この格子を位
置合わせのガイドとして利用することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について説明する。図１に、本発明に係
るアライメント装置１０と、それを用いた組立て装置１
の概要を示してある。本例の組立て装置１は、第１のチ
ップ８０を保持する第１の保持台８７と、これに対向す
る位置（図の右側）に、第２のチップ８１を保持する第
２の保持台８８とを備えている。これらの保持台８７お
よび８８は、第１および第２のチップ８０および８１を
直線Ｎに沿って、直線的に動かし貼り合わせられること
ができるようになっている。そして、保持台８７および
８８の間に、直方体状のハウジング９１に収納されたア
ライメント装置１０が設置されており、保持台８７およ
び８８を直線Ｎに沿って直線的に移動する際は、その移
動経路からアライメント装置１０を取り除けるようにな
っている。

【００１７】本例のアライメント装置１０は、直線Ｎに
沿って第１の保持台８７に取り付けられた第１のチップ
８０の第１の画像を取得可能な第１の光路６１と、直線
Ｎに沿って第２の保持台８８に取り付けられた第２のチ
ップ８１の第２の画像を取得可能な第２の光路６２とを
備えている。さらに、これら第１および第２の画像を直
線Ｎと直交する直線Ｃに沿って延びた第３の光路６３
と、この第３の光路６３の方向に重ねて導くことが可能
な光学素子２１を備えている。そして、光学素子２１に
より第３の光路６３に出力された画像はカメラレンズ９
８を介して撮像素子９９に集光され、電気信号に変換さ
れてモニター９７の画面９６に表示される。

【００１８】本例の光学素子２１は、偏光ビームスプリ
ッタ（ＰＢＳ素子）であり、第１の光路６１からの第１
の偏光の光、たとえばＳ偏光の光を、第１の光路６１に
直交する第３の光路６３の方向に反射する反射面２２を
備えている。さらに、直線Ｃに沿った第３の光路６３と
対峙する第４の光路６４の方向には、１／４波長板(π
／２位相差フィルム)２３ａとミラー２３ｂが貼り付け
られている。このため、第２の光路６２からのＳ偏光の
光は、反射面２２によって第４の光路６４の方向に反射
された後、１／４波長板２３ａを通ってミラー２３ｂに
より反射され、１／４波長板２３ａを通って反射面２２
に到達する。そして、Ｓ偏光の光は１／４波長板２３ａ
を２回通過することによりＰ偏光になるので、反射面２
２を透過し、第３の光路６３の方向に出力される。この
ため、直線Ｎの方向から入力された光は、直線Ｃの方向
に光軸が一致するように重ねて出力される。

【００１９】したがって、本例のアライメント装置１０
によると、第１の保持台８７に保持されたチップ８０の
面８０ａの第１の画像は、第１の光路６１の上の適当な
位置、たとえば、ハウジング９１の内部あるいは窓に設
置されたＳ偏光板２５ａを介してＰＢＳ２１に導かれ、
第３の光路６３に出力される。一方、第２の保持台８８
に保持されたチップ８１の面８１ａの第２の画像は、第
２の光路６２の上の適当な位置、たとえば、ハウジング
９１の内部あるいは窓に設置されたＳ偏光板２５ｂを介
してＰＢＳ２１に導かれ、第４の光路６４に出力された
後、Ｐ偏光に変換されて第３の光路６３に出力される。
この結果、２つのチップ８０および８１の対向する面８
０ａおよび８１ａを示す第１および第２の画像は直線Ｃ
を軸として、重ね合わされた状態でカメラレンズ９８に
導かれ、重なった映像として撮像素子９９を介してモニ
ター９７の画面９６に表示される。

【００２０】したがって、図２に示すように、画面９６
には、チップ面８０ａを示す第１の画像と、チップ面８
１ａを示す第２の画像が重なって表示され、各チップ面
８０ａおよび８１ａに予め付されているアライメントマ
ーク８０Ｍおよび８１Ｍも重なって表示される。このた
め、これらのマーク８０Ｍおよび８１Ｍを一致させるこ
とにより、直線Ｎの上に位置する２つのチップ８０およ
び８１の相対的な角度と偏差（偏芯）などを揃えること
ができる。したがって、第１の保持台８７と第２の保持
台８８を直線Ｎに沿って相対的に移動することにより、
チップ８０および８１を所定の位置で貼り合わせること
ができる。

【００２１】このように、本例のアライメント装置１０
では、画面９６に２つのチップ面８０ａおよび８１ａを
重ね合わせて表示することができる。このため、補助線
などを用いなくても作業者は、２つのチップ面８０ａお
よび８１ａの相対的な位置をアライメントマークを重ね
合わせることで直接的にセットすることが可能であり、
熟練度、誤認等の不確実さを排除することができ、人為
的なミスの発生を防止できる。さらに、画面９６に２つ
のチップ面８０ａおよび８１ａを重ね合わせて表示でき
るので、重なり合う面の向きおよび位置を直に一致させ
ることが可能となる。このため、チップ８０および８１
を各々の保持台８７および８８の所定の位置に、所定の
向きで精度良く予め装着する必要はなく、画面９６でマ
ーク８０Ｍおよび８１Ｍの位置を合わせるだけでアライ
メント作業を終了させることができる。そして、このア
ライメントマーク８０Ｍおよび８１Ｍを合わせる作業は
撮像素子９９からの画像をコンピュータなどの情報処理
装置に導くことにより自動化することも可能である。

【００２２】また、本例のアライメント装置１０では、
２つのチップ面８０ａおよび８１ａの画像を光学的に重
ね合わせて表示している。このため、実際にアライメン
トマークが透過して見えるようにチップ同士を重ね合わ
せたり、他方のアライメントマークが透過して見えるよ
うに、チップの構造や性質を限定する必要はなく、どの
ようなチップあるいはパッケージ、さらには配線基板な
どであっても位置合わせを簡単に、そして確実に行うこ
とができる。

【００２３】また、本例の組立て装置１では、アライメ
ント装置１０のＰＢＳ素子２１を両チップ８０および８
１の中点位置に、すなわち、第１および第２の光路６１
および６２の長さが等しい位置に挿入するように設定す
ることも可能である。しかしながら、上述したように第
２の光路６２から入力される光は第４の光路６４を経て
から第３の光路６３に出力されるために光路差が生じ、
レンズ９８による倍率や収差性能が異なる可能性があ
る。したがって、光路差をキャンセルできるように、偏
光ＰＢＳ素子２１の一辺の長さの半分だけ、第２の光路
６２を利用する右側のチップ８１に寄った位置にＰＢＳ
素子２１が位置するようにアライメント装置１０をセッ
トし、左側の第１の光路６１が右側の第２の光路６２よ
りも長くなるようにしている。

【００２４】図３に、第３の光路６３に第１および第２
の画像を重ねて出力する光学素子としてダイクロイック
プリズム３１を用いたアライメント装置１０と、それを
用いた組立て装置１を示してある。本例の組立て装置１
も上記と同様に、直線Ｎに沿って移動可能な第１の保持
台８７および第２の保持台８８を有し、これらの間に抜
き差し可能なアライメント装置１０が設置されている。
そして、直線Ｎに沿った第１の光路６１からの第１の画
像と、第２の光路６２からの第２の画像とを、直線Ｎに
直交する直線Ｃの方向に延びた第３の光路６３の方向に
重ねて出力するように、ダイクロイックプリズム３１が
配置され、第３の光路６３に設置されたレンズ９８およ
び撮像素子９９によって重ねられた画像がモニター９７
の表示画面９６に出力される。

【００２５】このため、本例のダイクロイックプリズム
３１には、第１の光路６１から入射される赤色Ｒの画像
を第３の光路６３に反射する反射面３２Ｒと、第２の光
路６２から入射される青色Ｂの画像を第３の光路６３に
反射する反射面３２Ｂとが設けられている。そして、第
１の光路６１には、赤色光をチップ面８０ａに照射する
照明用のＬＥＤ１７Ｒと、台形状の像反転プリズム４１
とが配置されており、チップ面８０ａの赤色の第１の画
像がダイクロイックプリズム３１の反射面３２Ｒにより
第３の光路６３に導かれる。一方、第２の光路６２に
は、青色光をチップ面８１ａに照射する照明用のＬＥＤ
１７Ｂと、像反転プリズム４１との光路差を補正するガ
ラス（補正素子）４２が配置されており、チップ面８１
ａの青色の第２の画像がダイクロイックプリズム３１の
反射面３２Ｂにより第３の光路６３に導かれる。

【００２６】したがって、本例のアライメント装置１０
においても、貼り合わせようとする２つのチップ８０お
よび８１の対向した面８０ａおよび８１ａの第１および
第２の画像が重ねられた画像を、カメラレンズ９８およ
び撮像素子９９を介して取り込み、モニター９７の画面
９６に表示することができる。このため、上記のアライ
メント装置と同様に、各々のチップ面８０ａおよび８１
ａのアライメントマーク８０Ｍおよび８１Ｍを直に重ね
合わせることにより位置合わせを行うことができる。さ
らに、本例では、アライメントマーク８０Ｍが赤色で表
示され、アライメントマーク８１Ｍが青色で表示される
ので、いずれのチップの画像であるかが色で判別でき
る。したがって、位置合わせするために動かそうとする
方のチップを容易に判別することができ、より位置合わ
せし易い画面表示を得ることができる。

【００２７】また、図４のように、アライメント装置１
０の第１の光路６１および第２の光路６２の途中にリレ
ーレンズ４６および４７をそれぞれ設け、各リレーレン
ズ４６および４７による途中の結像面の共役面を取り込
むようにしても良い。図４に示したアライメント装置１
０においては、さらに、第３の光路６３と対峙する第４
の光路６４の方向のリレーレンズ４６および４７の結像
面に対応する位置に、升目を表示するチャート４８を設
置し、これを照射する緑色のＬＥＤ１７Ｇを設置してあ
る。このため、カメラレンズ９８を通して、撮像素子９
９により、チップ面８０ａおよび８１ａを重ね合わせた
画像に、さらに、チャート４８を重ね合わせた画像を得
ることが可能であり、それらが重なり合った画像を画面
９６に表示することができる。このような画像を表示す
ることにより、アライメントマーク８０Ｍおよび８１Ｍ
を位置合わせする際に微調整が定量的にやり易くなる。

【００２８】これらのアライメント装置１０および組立
て装置１により説明したように、空間的に離れて配置さ
れた２つのチップ８０および８１の面８０ａおよび８１
ａの画像を第３の光路に重ね合わせて出力することによ
り、これらの画像を１つの画像に合成して表示し、アラ
イメント状態を判断することができる。このため、直接
的で直感的なアライメント作業が可能となり、誤認によ
るミスを防止し、作業速度を向上することができ、組立
て作業全体の効率を向上することができる。また、モニ
ター画面を半分づつに分割しないので視認性も向上する
というメリットも得られる。さらに、アライメントマー
クを直に合わせるという作業により位置合わせが可能な
ので、画像処理によって自動化することも可能となる。

【００２９】なお、上記のダイクロイックプリズムを用
いた例では、第１および第２の光路から入射する色の光
を赤色および青色にセットしてあるが、それぞれの光路
から入射する色の光はダイクロイックプリズムで区別し
て処理できる色であれば良く、赤色および青色に限定さ
れるものではない。たとえば、第１の光路から緑色の画
像を入力し、第２の光路から赤色の画像を入力するなど
の変形が可能である。また、リレーレンズはビームスプ
リッタを用いた例でも採用することが可能である。さら
に、アライメントおよび組立ての対象物はチップ同士に
限定されることはなく、チップとそれを保持するパッケ
ージ、パッケージと実装用の配線基板などであっても良
い。そして、本発明のアライメント装置では上述したよ
うに光学的にそれらの画像を合成しているので、アライ
メント作業の対象物が透過性でなくても、貼り合わせる
部分を重ね合わせて表示し直接的にアライメントの状況
を確認することができる。

【００３０】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のアライ
メント装置および組立て装置では、第１および第２の光
路から得られる画像を第３の光路に重ねて出力できるの
で、貼り合せる２つの面を実際に重ね合わせる状態で、
アライメント状態を判断できる。このため、直感的なア
ライメント作業ができ、信頼性の高いアライメント装
置、およびそれを用いた組立て装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るアライメント装置および組立て装
置の概略構成を示す図である。

【図２】図１に示したアライメント装置により得られる
モニター画面を示す図である。

【図３】本発明のアライメント装置および組立て装置の
異なる例を示す図である。

【図４】本発明のアライメント装置および組立て装置の
さらに異なる例を示す図である。

【図５】従来のアライメント装置および組立て装置の概
略構成を示す図である。

【図６】図５に示すアライメント装置のモニター画面を
示す図である。

【符号の説明】

１ 組立て装置 １０、９０ アライメント装置 １７Ｒ 赤色のＬＥＤ １７Ｂ 青色のＬＥＤ １７Ｇ 緑色のＬＥＤ ２１ ビームスプリッタ ２２ 反射面 ２３ａ １／４波長板、２３ｂ ミラー ３１ ダイクロイックプリズム ３２ 反射面 ４１ 像反転プリズム、４２ 補正素子（ガラス） ４６、４７ リレーレンズ ４８ チャート ６１ 第１の光路 ６２ 第２の光路 ６３ 第３の光路 ６４ 第４の光路 ８０ 第１のチップ、８０ａ 対向面 ８１ 第２のチップ、８１ａ 対向面 ８０Ｍ 第１のチップのアライメントマーク ８１Ｍ 第２のチップのアライメントマーク ８７、８８ チップの保持台 ９６ 画面 ９７ モニター ９８ カメラレンズ ９９ 撮像素子

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直線上に配置され、対向する方向から入
   射された第１および第２の画像をそれぞれ導くことがで
   きる第１および第２の光路と、 前記第１および第２の光路に直交する第３の光路と、 この第３の光路に前記第１の画像と前記第２の画像を重
   ねて導く光学手段とを有するアライメント装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記光学手段は、前
   記第１の画像を前記第３の光路に反射する反射面を備え
   た偏光ビームスプリッタであり、さらに、この反射面で
   前記第３の光路の逆方向に反射された前記第２の画像を
   前記第３の光路に反射する第４の光路を有し、この第４
   の光路には１／４波長板が設置されているアライメント
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１において、前記光学手段は、ダ
   イクロイックプリズムであり、このダイクロイックプリ
   ズムは、第１の色の前記第１の画像を前記第３の光路に
   反射する第１の反射面と、 第２の色の前記第２の画像を前記第３の光路に反射する
   第２の反射面とを備えているアライメント装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、前記第１の光路の方
   向に前記第１の色の光を照射する第１の光源と、 前記第２の光路の方向に前記第２の色の光を照射する第
   ２の光源とを有するアライメント装置。
5. 【請求項５】 請求項３において、前記ダイクロイック
   プリズムは、前記第３の光路の方向に第３の色の第３の
   画像を透過するアライメント装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、前記第３の画像は格
   子模様であるアライメント装置。
7. 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかにおいて、
   前記第３の光路に前記第１および第２の画像が重なり合
   った画像を取得可能な画像素子アレイが配置されている
   アライメント装置。
8. 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれかに記載のア
   ライメント装置と、前記第１の光路の延長方向に第１の
   対象物を保持可能な第１の保持手段と、前記第２の光路
   の延長方向に第２の対象物を保持可能な第２の保持手段
   とを有し、 前記第１の保持手段および／または前記第２の保持手段
   を前記第１および／または第２の光路の方向に直線的に
   動かして前記第１および第２の対象物を貼り合わせ可能
   な組立て装置であって、 前記アライメント装置が、前記第１および第２の保持手
   段が移動する経路に対し抜き差し可能である組立て装
   置。