CN108627039A - 一种氧化铝陶瓷板式脉动热管及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种氧化铝陶瓷板式脉动热管及其制备方法。本发明板体内部设有弯曲槽道阵列，板体表面设有充液口，所述充液口与所述弯曲槽道阵列相连，脉动热管材质为烧结的氧化铝陶瓷，整体致密不泄露。制备方法包括：模压工艺，将氧化铝陶瓷粉末和模压内芯整体压制成脉动热管素胚；冷等静压工艺，对素胚进行加压压制；多步烧结工艺，得到脉动热管的成型品；充液工艺，将工质充入内部弯曲槽道阵列中。本发明制备的氧化铝陶瓷脉动热管，相比于传统的金属热管，具有重量轻、电绝缘性能高、化学稳定性高、耐高温，且热膨胀系数、高频损耗小、具备较高的热导率，同时成本低廉，运行稳定，解决了电器系统、电路板散热的问题。
Description
技术领域
本发明涉及换热及制冷技术领域，尤其涉及一种氧化铝陶瓷板式脉动热管及其制备方法。
背景技术
随着电子科技的不断发展，芯片集成化、小型化已经成为发展的趋势，小尺寸、高功率的微电子器件产生较高的热量聚集影响设备的稳定性和安全性。然而作为承载大量高热流半导体元件的基板多为低导热系数的PCB板，其材质为玻璃纤维环氧树脂(FR-4)，导热系数约为0.35W/m·k。因此现阶段电器系统的散热瓶颈多发生在将热量传导至电路板的环节，电路基板的选择成为了散热的关键。
脉动热管作为新型高效换热技术，充分利用了气液相变所带来的极高换热系数，能够将电子器件产生的热量快速传递出去，是解决散热问题的有效途径。目前生产和研究中的脉动热管大部分是金属脉动热管，如铜材脉动热管和铝材脉动热管等。金属脉动热管由于其不具备电绝缘性能，无法直接用于电路板的散热，难以发挥脉动热管的散热优势。
发明内容
根据上述提出的技术问题，而提供一种成本低廉、导热率良好的氧化铝陶瓷材质的板式脉动热管及其制备方法。本发明采用的技术手段如下：
一种氧化铝陶瓷板式脉动热管，所述脉动热管为一体成型的板式密封结构，所述脉动热管整体材质为致密烧结的氧化铝陶瓷，所述脉动热管板体内部设有弯曲槽道阵列，板体表面设有充液口，所述充液口与所述弯曲槽道阵列相连。
一种氧化铝陶瓷板式脉动热管的制备方法，包括如下步骤：
S1、模压工艺：将模压内芯掩埋在模具腔体内的氧化铝陶瓷粉末中间，通过对氧化铝陶瓷粉末和模压内芯共同加压，将其压制成脉动热管素坯；
S2、冷等静压工艺：通过金属板夹紧所述脉动热管素胚，通过橡塑材料将其整体密封形成密封体，将所述密封体放置在冷等静压仪器内进行加压压制；
S3、多步烧结工艺：将冷等静压后的坯体在预烧结温度下预烧，将模压内芯和粘结剂分解并排除坯体，然后升温至烧结温度，并保温一定时间后随炉冷却；
S4、充液工艺：将板式脉动热管中的内部弯曲槽道阵列充入预设质量的工质，将充液口密封。
进一步地，所述弯曲槽道阵列是由模压内芯在高温烧结时蒸发、分解后形成的空腔。
进一步地，所述模压内芯的横截面为根据实际需要确定的预设的形状，弯数为根据实际需要确定预设数值，模压内芯本体为预设的开环式或闭环式结构。
进一步地，所述模压内芯的材质为石蜡。
进一步地，所述充液口在步骤S2中的冷等静压素坯上加工形成。
进一步地，所述充液口在步骤S3烧结成型后的瓷体上加工形成。
进一步地，所述步骤S4充液工艺具体为：通过真空泵抽出连接在充液口的充液管中的空气，打开充液管支路上的阀门，通过负压将工质从支路吸入所述内部弯曲槽道阵列中。
进一步地，所述工质可以为水、丙酮、酒精、氟代烃类单相液体或者多相混合液体、纳米流体。
进一步地，模压工艺的参数为：压力80-150MPa/cm2,冷等静压工艺的参数为150-300MPa，所述多步烧结工艺的参数为：预烧结温度100℃～500℃，预烧结时间为6h～10h,烧结温度1400℃～1800℃，烧结时间为1.5～2.5h。
本发明具有以下优点：
1、本发明制备的氧化铝陶瓷脉动热管，相比于传统的金属脉动热管，具有重量轻、电绝缘性能高、化学稳定性高、耐高温。
2、本发明制备的氧化铝陶瓷脉动热管具备与集成电路更匹配的热膨胀系数、高频损耗小、更高的热导率，可以作为传统FR-4电路板以及陶瓷电路板的替代，是大规模集成电路的优异的封装材料，具有广阔的应用前景。
3、本发明所采用的氧化铝脉动热管成本低廉，运行稳定，解决了电器系统、电路板散热的问题。
基于上述理由本发明可在换热及制冷技术领域广泛推广。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例脉动热管内部弯曲槽道阵列示意图。
图2为本发明实施例脉动热管主视图。
图3为本发明实施例脉动热管侧视图。
图4为本发明实施例模压内芯结构示意图。
图5为本发明模压工艺示意图。
图6为本发明冷等静压工艺示意图。
图7为本发明多步烧结工艺曲线图。
图8为本发明真空充液工艺装置示意图。
图中：1、弯曲槽道阵列；2、充液口；3、模压内芯；4、氧化铝陶瓷粉末；5、脉动热管素胚；6、金属板；7、橡塑材料；8、阀门Ⅰ；9、阀门Ⅱ。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1～3所示，一种氧化铝陶瓷板式脉动热管，板体内部设有弯曲槽道阵列1，板体表面设有充液口2，所述充液口2与所述弯曲槽道阵列1相连，脉动热管整体材质为致密烧结的氧化铝陶瓷。弯曲槽道内充有工质，自上而下分为：冷凝段、绝热段和蒸发段。
一种氧化铝陶瓷板式脉动热管的制备方法，
首先，铸造法制备模压内芯3，具体包括：将石蜡加热至熔点形成石蜡溶液，浇注至具有所需形状的模具中，石蜡冷却后，脱模即可得到石蜡模压内芯。
机械加工法：利用数控铣床在石蜡板上进行铣削加工，铣出所需石蜡模压内芯的形状。
如图5所示，S1、模压工艺：将模压内芯3掩埋在模具腔体内的氧化铝陶瓷粉末4中间，通过对氧化铝陶瓷粉末4和模压内芯3共同加压，将其压制成脉动热管素坯5；
如图6所示，S2、冷等静压工艺：通过金属板6夹紧脉动热管素胚5，通过橡塑材料7将其整体密封形成密封体，将所述密封体放置在冷等静压仪器内进行加压压制；
S3、多步烧结工艺：将冷等静压后的坯体在预设的第一温度下预烧，将模压内芯3和粘结剂分解并排除坯体，然后升温至预设的烧结温度，并保温一定时间后随炉冷却；
S4、充液工艺：将板式脉动热管中的内部弯曲槽道阵列1充入预设质量的工质，将充液口2密封。所述工质可以为水、丙酮、酒精、氟代烃类单相液体或者多相混合液体、纳米流体。
所述内部弯曲槽道阵列1是由模压内芯3在高温烧结时蒸发、分解后形成的空腔。
所述模压内芯3的横截面为根据实际需要确定的预设的形状，可以是正方形、矩形、圆形等。弯数为根据实际需要确定预设数值，模压内芯3本体为预设的开环式或闭环式结构。
所述模压内芯的3材质可采用石蜡或其他在高温下易于挥发或在空气中分解无残留的有机物。
所述充液口2在步骤S2中的冷等静压素坯上加工形成或在步骤S3烧结成型后的瓷体上加工形成。
所述步骤S4充液工艺具体为：通过真空泵抽连接在充液口的充液管中的空气，打开充液管支路上的阀门，通过负压将工质从支路吸入所述内部弯曲槽道阵列中。
模压工艺的参数为：压力80-150MPa/cm2,冷等静压工艺的参数为150-300MPa，所述多步烧结工艺的参数为：预烧结温度100℃～500℃，预烧结时间为6h～10h,烧结温度1400℃～1800℃，烧结时间为1.5～2.5h。
实施例1
将如图4所示的模压内芯3掩埋在氧化铝陶瓷粉末4中间，通过对模压内芯3施压，将模具腔体内的氧化铝陶瓷粉末4压制成脉动热管素胚5；本实施例中采用的氧化铝粉体为500nm粒径、99.99％纯度的微纳米级粉末，通过球磨混入助烧剂MgO，后加入2.5wt％粘结剂PVA。氧化铝粉末分两次放入模具中，以保证模压内芯3位于模具中间位置，模压的压力为100MPa/cm2。
用相同尺寸的两个金属薄板6夹紧脉动热管素胚5，通过橡塑材料7包套进行包裹和密封，将其整体密封形成密封体，将所述密封体放置在冷等静压仪器内进行加压压制；本实施例中采用的为2.5mm厚的不锈钢薄板，冷等静压工艺采用46#耐磨液压油，压力设置为200Mpa。
将冷等静压后的坯体在低温下预烧，将模压内芯3以及粘结剂分解排除坯体，然后升温至烧结温度，并保温一定时间后随炉冷却。本实施例中烧结制度如图7所示，具体为：150度保温2小时，250度保温5小时，400度保温1小时，1600度保温2小时。
如图8所示，首先用真空泵排空所有管路内空气，关闭阀门8，打开阀门9，利用管内负压将烧杯中工质吸入脉动热管中，将脉动热管内充满工质。关闭阀门9，打开阀门8，根据所需充液率将一定质量的工质排出脉动热管，最后将充液口密封。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种氧化铝陶瓷板式脉动热管，其特征在于，所述脉动热管为一体成型的板式密封结构，所述脉动热管整体材质为致密烧结的氧化铝陶瓷，所述脉动热管板体内部设有弯曲槽道阵列，板体表面设有充液口，所述充液口与所述弯曲槽道阵列相连。
2.一种氧化铝陶瓷板式脉动热管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、模压工艺：将模压内芯掩埋在模具腔体内的氧化铝陶瓷粉末中间，通过对氧化铝陶瓷粉末和模压内芯共同加压，将其压制成脉动热管素坯；
S2、冷等静压工艺：通过金属板夹紧所述脉动热管素胚，通过橡塑材料将其整体密封形成密封体，将所述密封体放置在冷等静压仪器内进行加压压制；
S3、多步烧结工艺：将冷等静压后的坯体在预烧结温度下预烧，将模压内芯和粘结剂分解并排除坯体，然后升温至烧结温度，并保温一定时间后随炉冷却；
S4、充液工艺：将板式脉动热管中的弯曲槽道阵列充入预设质量的工质，将充液口密封。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述弯曲槽道阵列是由模压内芯在高温烧结时蒸发、分解后形成的空腔。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述模压内芯的横截面为根据实际需要确定的预设的形状，弯数为根据实际需要确定预设数值，模压内芯本体为预设的开环式或闭环式结构。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述模压内芯的材质为石蜡。
6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述充液口在步骤S2中的冷等静压素坯上加工形成。
7.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述充液口在步骤S3烧结成型后的瓷体上加工形成。
8.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S4充液工艺具体为：通过真空泵抽出连接在充液口的充液管中的空气，打开充液管支路上的阀门，通过负压将工质从支路吸入所述弯曲槽道阵列中。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述工质为水、丙酮、酒精、氟代烃类单相液体或者多相混合液体、纳米流体。
10.根据权利要求2-9任意一项所述的制备方法，其特征在于，模压工艺的参数为：压力80-150MPa/cm2,冷等静压工艺的参数为150-300MPa，所述多步烧结工艺的参数为：预烧结温度100℃～500℃，预烧结时间为6h～10h,烧结温度1400℃～1800℃，烧结时间为1.5～2.5h。
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