CN108593982A - 针卡固定圈旋转升降机构 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的是提供一种针卡固定圈旋转升降机构。一种针卡固定圈旋转升降机构，包括：旋转升降盘，设有套在旋转升降盘外的通孔的基座，若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，设于基座和旋转升降盘外侧围之间的斜楔形旋转升降机构，旋转升降驱动装置；径向定位器沿旋转升降盘圆周分布。该旋转升降驱动装置通过一个旋转升降驱动装置驱动旋转升降盘的旋转和升降，升降结构紧凑占用空间较小，旋转升降盘转动和升降同步进行，更换针卡效率较高；若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，使旋转升降盘转动定心精度高且轴向升降平稳。

Description

针卡固定圈旋转升降机构
技术领域
本发明涉及集成电路测试领域，尤其是一种针卡固定圈旋转升降机构。
背景技术
集成电路行业发展迅速，对晶圆测试设备的功能也提出了更高要求；通过具有自动取放更换安装在针卡固定圈上的针卡的晶圆测试设备对晶圆进行测试能提高测试效率；更换针卡时需要通过升降装置经升降平台顶升针卡固定圈，且通过转动装置转动针卡固定圈；传统的实现针卡固定圈升降的升降装置和实现针卡固定圈转动的转动装置分别设置，升降平台顶升针卡固定圈和针卡固定圈转动分步进行，存在结构不够紧凑占用空间较大，更换针卡效率较低的不足，因此，设计一种结构紧凑占用空间较小，更换针卡效率较高的针卡固定圈旋转升降机构，成为亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是为了克服目前的实现针卡固定圈升降的升降装置和实现针卡固定圈转动的转动装置分别设置，升降平台顶升针卡固定圈和针卡固定圈转动分步进行，存在结构不够紧凑占用空间较大，更换针卡效率较低的不足，提供一种结构紧凑占用空间较小，更换针卡效率较高的针卡固定圈旋转升降机构。
本发明的具体技术方案是：
一种针卡固定圈旋转升降机构，包括：旋转升降盘，设有套在旋转升降盘外的通孔的基座，若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，设于基座和旋转升降盘外侧围之间的斜楔形旋转升降机构，旋转升降驱动装置；径向定位器沿旋转升降盘圆周分布。所述的针卡固定圈旋转升降机构使用时，旋转升降驱动装置经斜楔形旋转升降机构带动旋转升降盘转动，且同时实现旋转升降盘的升降；使与旋转升降盘连接的针卡固定圈旋转上升实现针卡更换，或使针卡固定圈旋转下降复位。该旋转升降驱动装置通过一个旋转升降驱动装置驱动旋转升降盘的旋转和升降，升降结构紧凑占用空间较小，旋转升降盘转动和升降同步进行，更换针卡效率较高；若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，使旋转升降盘转动定心精度高且轴向升降平稳。
作为优选，所述的斜楔形旋转升降机构包括：设于通孔上端且与通孔同轴的环槽，若干个沿旋转升降盘圆周分布的斜楔形旋转升降组件；斜楔形旋转升降组件包括：设有倾斜长孔且与环槽下侧边连接的导向块，升降凸轮导向轴承；升降凸轮导向轴承的连接螺杆与旋转升降盘连接；倾斜长孔的长度方向为环槽的周向；倾斜长孔一端与环槽下侧边的距离大于倾斜长孔另一端与环槽下侧边的距离；升降凸轮导向轴承的导向轴承位于倾斜长孔中且导向轴承的直径与倾斜长孔的宽度适配。斜楔形旋转升降机构通过斜楔形旋转升降组件的导向块设有的倾斜长孔与升降凸轮导向轴承配合，实现旋转升降盘的旋转和升降，结构简单实用。
作为优选，所述的导向块包括：上导向块和下导向块；倾斜长孔由上导向块和下导向块合围构成。利于制作和安装。
作为优选，所述的旋转升降驱动装置包括：与基座下端连接的安装座，分别与安装座连接的直线导轨和步进电机，与安装座枢接的丝杆螺母，与丝杆螺母的螺母连接的移动块，与直线导轨的滑块连接且与移动块枢接的连接板，设有位于外端的竖向滑槽和位于下端的连接沉孔的驱动块，与旋转升降盘下端连接的驱动板，周向拨动凸轮导向轴承和竖向限位凸轮导向轴承；步进电机的输出轴与丝杆螺母的丝杆一端连接；周向拨动凸轮导向轴承的连接螺杆与连接板连接，周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承与连接沉孔适配，且周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承装在连接沉孔中；竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承的直径与竖向滑槽的宽度适配，且竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承位于竖向滑槽中。旋转升降驱动装置的连接板与直线导轨的滑块连接且与移动块枢接、周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承装在连接沉孔中、竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承位于竖向滑槽中，使既能驱动旋转升降盘同步实现旋转和升降，且又不产生干涉。
作为优选，所述的旋转升降驱动装置还包括：设于移动块上端的连接轴，向心关节轴承；连接轴通过向心关节轴承与连接板枢接。利于制作和安装。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该旋转升降驱动装置通过一个旋转升降驱动装置驱动旋转升降盘的旋转和升降，升降结构紧凑占用空间较小，旋转升降盘转动和升降同步进行，更换针卡效率较高；若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，使旋转升降盘转动定心精度高且轴向升降平稳。斜楔形旋转升降机构通过斜楔形旋转升降组件的导向块设有的倾斜长孔与升降凸轮导向轴承配合，实现旋转升降盘的旋转和升降，结构简单实用。导向块包括上导向块和下导向块；倾斜长孔由上导向块和下导向块合围构成，利于制作和安装。旋转升降驱动装置的连接板与直线导轨的滑块连接且与移动块枢接、周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承装在连接沉孔中、竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承位于竖向滑槽中，使既能驱动旋转升降盘同步实现旋转和升降，且又不产生干涉。连接轴通过向心关节轴承与连接板枢接，利于制作和安装。
附图说明
图1是本发明的一种结构示意图；
图2是图1的A向视图；
图3是图1的B-B剖视图；
图4是斜楔形旋转升降组件的结构示意图。
图中：旋转升降盘1、通孔2、基座3、限位轮4、径向定位器5、环槽6、倾斜长孔7、升降凸轮导向轴承8、上导向块9、下导向块10、安装座11、直线导轨12、步进电机13、丝杆螺母14、移动块15、连接板16、竖向滑槽17、连接沉孔18、驱动块19、驱动板20、周向拨动凸轮导向轴承21、竖向限位凸轮导向轴承22、连接轴23、向心关节轴承24。
具体实施方式
下面结合附图所示对本发明进行进一步描述。
如附图1、附图2、附图3、附图4所示：一种针卡固定圈旋转升降机构，包括：旋转升降盘1，设有套在旋转升降盘1外的通孔2的基座3，六个设有与通孔2侧围接触的限位轮4且与旋转升降盘1下端螺接的径向定位器5，设于基座3和旋转升降盘1外侧围之间的斜楔形旋转升降机构，旋转升降驱动装置；径向定位器5沿旋转升降盘1圆周均布。
所述的斜楔形旋转升降机构包括：设于通孔2上端且与通孔2同轴的环槽6，六个沿旋转升降盘1圆周均布的斜楔形旋转升降组件；斜楔形旋转升降组件包括：设有倾斜长孔7且与环槽6下侧边螺接的导向块，升降凸轮导向轴承8；升降凸轮导向轴承8的连接螺杆与旋转升降盘1螺接；倾斜长孔7的长度方向为环槽6的周向；倾斜长孔7一端与环槽6下侧边的距离大于倾斜长孔7另一端与环槽6下侧边的距离；升降凸轮导向轴承8的导向轴承位于倾斜长孔7中且导向轴承的直径与倾斜长孔7的宽度间隙配合。
所述的导向块包括：上导向块9和下导向块10；倾斜长孔7由上导向块9和下导向块10合围构成。
所述的旋转升降驱动装置包括：与基座3下端螺接的安装座11，分别与安装座11螺接的直线导轨12和步进电机13，与安装座11通过轴承枢接的丝杆螺母14，与丝杆螺母14的螺母螺接的移动块15，与直线导轨12的滑块螺接且与移动块15枢接的连接板16，设有位于外端的竖向滑槽17和位于下端的连接沉孔18的驱动块19，与旋转升降盘1下端螺接的驱动板20，周向拨动凸轮导向轴承21和竖向限位凸轮导向轴承22；步进电机13的输出轴与丝杆螺母14的丝杆一端键连接；周向拨动凸轮导向轴承21的连接螺杆与连接板16螺接，周向拨动凸轮导向轴承21的导向轴承与连接沉孔18过渡配合，且周向拨动凸轮导向轴承21的导向轴承装在连接沉孔18中；竖向限位凸轮导向轴承22的导向轴承的直径与竖向滑槽17的宽度间隙配合，且竖向限位凸轮导向轴承22的导向轴承位于竖向滑槽17中。
本实施例中，所述的旋转升降驱动装置还包括：设于移动块15上端的连接轴23，向心关节轴承24；连接轴23通过向心关节轴承24与连接板16枢接。
所述的针卡固定圈旋转升降机构使用时，旋转升降驱动装置的步进电机13带动丝杆螺母14的丝杆转动，丝杆螺母14的螺母经移动块15、向心关节轴承24带动连接板16沿直线导轨12作直线运动，连接板16经周向拨动凸轮导向轴承21、驱动块19、竖向限位凸轮导向轴承22、驱动板20带动旋转升降盘1转动，且由于竖向限位凸轮导向轴承22的导向轴承位于竖向滑槽17中，且升降凸轮导向轴承8的导向轴承位于倾斜长孔7中，旋转升降盘1在转动的同时实现升降；使与旋转升降盘1连接的针卡固定圈旋转上升实现针卡更换，或使针卡固定圈旋转下降复位。
本发明的有益效果是：该旋转升降驱动装置通过一个旋转升降驱动装置驱动旋转升降盘的旋转和升降，升降结构紧凑占用空间较小，旋转升降盘转动和升降同步进行，更换针卡效率较高；若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，使旋转升降盘转动定心精度高且轴向升降平稳。斜楔形旋转升降机构通过斜楔形旋转升降组件的导向块设有的倾斜长孔与升降凸轮导向轴承配合，实现旋转升降盘的旋转和升降，结构简单实用。导向块包括上导向块和下导向块；倾斜长孔由上导向块和下导向块合围构成，利于制作和安装。旋转升降驱动装置的连接板与直线导轨的滑块连接且与移动块枢接、周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承装在连接沉孔中、竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承位于竖向滑槽中，使既能驱动旋转升降盘同步实现旋转和升降，且又不产生干涉。连接轴通过向心关节轴承与连接板枢接，利于制作和安装。
除上述实施例外，在本发明的权利要求书及说明书所公开的范围内，本发明的技术特征或技术数据可以进行重新选择及组合，从而构成新的实施例，这些都是本领域技术人员无需进行创造性劳动即可实现的，因此这些本发明没有详细描述的实施例也应视为本发明的具体实施例而在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种针卡固定圈旋转升降机构，包括：旋转升降盘，其特征是，所述的针卡固定圈升降机构还包括：设有套在旋转升降盘外的通孔的基座，若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，设于基座和旋转升降盘外侧围之间的斜楔形旋转升降机构，旋转升降驱动装置；径向定位器沿旋转升降盘圆周分布。
2.根据权利要求1所述的针卡固定圈旋转升降机构，其特征是：所述的斜楔形旋转升降机构包括：设于通孔上端且与通孔同轴的环槽，若干个沿旋转升降盘圆周分布的斜楔形旋转升降组件；斜楔形旋转升降组件包括：设有倾斜长孔且与环槽下侧边连接的导向块，升降凸轮导向轴承；升降凸轮导向轴承的连接螺杆与旋转升降盘连接；倾斜长孔的长度方向为环槽的周向；倾斜长孔一端与环槽下侧边的距离大于倾斜长孔另一端与环槽下侧边的距离；升降凸轮导向轴承的导向轴承位于倾斜长孔中且导向轴承的直径与倾斜长孔的宽度适配。
3.根据权利要求2所述的针卡固定圈旋转升降机构，其特征是：所述的导向块包括：上导向块和下导向块；倾斜长孔由上导向块和下导向块合围构成。
4.根据权利要求1或2或3所述的针卡固定圈旋转升降机构，其特征是：所述的旋转升降驱动装置包括：与基座下端连接的安装座，分别与安装座连接的直线导轨和步进电机，与安装座枢接的丝杆螺母，与丝杆螺母的螺母连接的移动块，与直线导轨的滑块连接且与移动块枢接的连接板，设有位于外端的竖向滑槽和位于下端的连接沉孔的驱动块，与旋转升降盘下端连接的驱动板，周向拨动凸轮导向轴承和竖向限位凸轮导向轴承；步进电机的输出轴与丝杆螺母的丝杆一端连接；周向拨动凸轮导向轴承的连接螺杆与连接板连接，周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承与连接沉孔适配，且周向拨动凸轮导向轴承的导向轴承装在连接沉孔中；竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承的直径与竖向滑槽的宽度适配，且竖向限位凸轮导向轴承的导向轴承位于竖向滑槽中。
5.根据权利要求4所述的针卡固定圈旋转升降机构，其特征是：所述的旋转升降驱动装置还包括：设于移动块上端的连接轴，向心关节轴承；连接轴通过向心关节轴承与连接板枢接。
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