CN108592777A - 可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置 - Google Patents
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Abstract
本发明可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。本发明可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻值变化情况，适应金属化薄膜规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。
Description
技术领域
本发明涉及金属化薄膜金属镀层测厚仪，特别是涉及一种可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置。
背景技术
金属化薄膜是薄膜电容器生产制造的重要材料，将高纯度金属（如AL，ZN）在高真空状态下熔化、蒸发、沉淀到介质基膜上，在介质基膜表面形成一层极薄的金属镀层后的薄膜就是金属化薄膜；金属镀层厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标，金属化薄膜上的金属镀层厚度很小极难测量，通常用方块电阻来表示金属镀层的厚度，单位正方形面积的电阻值称为方阻（即方块电阻，用Ω/□表示）；在镀膜过程中，如果不能实时了解整个膜面镀层的均匀性，及时调整生产工艺，就会影响镀膜的质量，但是方阻在线监视，无法采取接触方式测量，通常采用表征方阻特性的光密度检测方式，不与金属化薄膜上的金属镀层接触；现有的金属化薄膜方阻在线监视装置一般包括安装在真空蒸镀室内的测控主机、安装在真空蒸镀室外的人机界面、以及用于电连接真空蒸镀室内外的真空电极法兰；测控主机一般包含机架、固设在机架垂直面的控制器、固设在机架水平面的至少一对光源发射头、光源接收头；人机界面固设在蒸镀室外的控制盒操作面，用于显示所有测试点数据的实时监控；真空电极法兰固设在蒸镀室侧壁孔上，用于完成真空蒸镀室内侧的测控主机供电与外侧的人机界面通讯的电连接，且不影响真空蒸镀室内的真空度；然而金属化薄膜规格多样化，即整个膜幅面镀层带数量不一样，采取这种固定位置在线监视方式，势必会导致部分镀层带区域无法监测。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，测控主机可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻值变化情况，适应金属化薄膜规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。
技术方案
为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰；所述的测控主机的机架固设在丝杆滑台的滑座上，所述的丝杆滑台由步进电机驱动；所述的人机界面控制盒上设有控制测控主机沿金属化薄膜膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮、右移操作按钮；所述的真空电极法兰上设有供步进电机驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极。
进一步的，所述测控主机的机架呈长框架结构，与金属化薄膜膜幅面呈垂直设置，用于安装光源发射头及光源接收头，所述金属化薄膜膜幅面位于光源发射头与光源接收头之间的框架内。
进一步的，所述丝杆滑台通过连杆水平固定在蒸镀室侧壁上。
进一步的，所述真空电极法兰包含有4针电极，分别用于电连接步进电机的A+、A-、B+、B-相线。
进一步的，所述步进电机的A+、A -、B+、B-相线输入端通过接插母头分别插入真空电极法兰真空蒸镀室内侧的针电极上，由真空电极法兰针电极电连接至真空蒸镀室外侧，再分别通过接插母头插入真空电极法兰真空蒸镀室外侧的针电极上，将步进电机的 A+、A-、B+、B-相线电连接至步进电机驱动器的输出端子上。
优选的，所述的丝杆滑台有效行程为200mm，丝杆滑台带动测控主机沿金属化薄膜膜幅面垂直横向水平左、右移动，可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻。
优选的，所述测控主机的机架内长为1100mm左右，可确保蒸镀最宽900mm膜幅时，测控主机处在丝杆滑台中心点垂直横向水平左右移动100mm时机架不碰触金属化薄膜膜幅侧端。
优选的，所述测控主机的光源发射头、光源接收头间隙为20mm左右，在线测控及移动时不影响测试灵敏度又不损伤金属化薄膜膜幅面。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：
测控主机可随丝杆滑台沿金属化薄膜膜幅面垂直面横向水平移动，整个膜幅面镀层带区域均可实施镀层方阻在线监测，操作人员可了解整个膜幅面所涵盖的镀层方阻变化情况，适应金属化薄膜规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明主视图。
图3为本发明测控主机俯视图。
图中：1测控主机，2人机界面控制盒，3真空电极法兰，4侧壁，5金属化薄膜，6丝杆滑台，7步进电机，8滑座，9连杆，11机架，12光源发射头，13光源接收头，21左移操作按钮，22右移操作按钮，31针电极。
具体实施方式
如图1-3所示，本发明可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上，所述的丝杆滑台(6)由步进电机(7)驱动；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。
所述测控主机(1)的机架(11)呈长框架结构，与金属化薄膜(5)膜幅面呈垂直设置，用于安装光源发射头(12)及光源接收头(13)，所述金属化薄膜(5)膜幅面位于光源发射头(12)与光源接收头(13)之间的框架内。
所述丝杆滑台(6)通过连杆(9)水平固定在蒸镀室侧壁(4)上。
所述真空电极法兰(3)包含有4针电极(31)，分别用于电连接步进电机(7)的A+、A-、B+、B-相线。
所述步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线输入端通过接插母头分别插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室内侧的针电极(31)上，由真空电极法兰(3) 针电极(31)电连接至真空蒸镀室外侧，再分别通过接插母头插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室外侧的针电极(31)上，将步进电机(7)的 A+、A -、B+、B-相线电连接至步进电机驱动器的输出端子上。
所述的丝杆滑台(6)有效行程为200mm，丝杆滑台(6)带动测控主机(1) 沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平左、右移动，可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻。
所述测控主机(1)的机架(11)内长为1100mm左右，可确保蒸镀最宽900mm膜幅时，测控主机(1)处在丝杆滑台(6)中心点垂直横向水平左右移动100mm时机架(11)不碰触金属化薄膜(5)膜幅侧端。
所述测控主机(1)的光源发射头(12)、光源接收头(13)间隙为20mm左右，在线测控及移动时不影响测试灵敏度又不损伤金属化薄膜(5)膜幅面。
本发明在线工作时，操作人员可根据金属化薄膜(5)膜幅面镀层带蒸镀情况，按下人机界面控制盒(2)上左移操作按钮(21)或右移操作按钮(22)，移动测控主机(1)，使测控主机(1)上的光源发射头(12)、光源接收头(13)对准相应的镀层带实施方阻在线监测，测控主机(1)可监测整个膜幅面所涵盖的镀层带，适应金属化薄膜(5)规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。
Claims (8)
1.可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；其特征在于所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上，所述的丝杆滑台(6)由步进电机(7)驱动；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。
2.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的机架(11)呈长框架结构，与金属化薄膜(5)膜幅面呈垂直设置，用于安装光源发射头(12)及光源接收头(13)，所述金属化薄膜(5)膜幅面位于光源发射头(12)与光源接收头(13)之间的框架内。
3.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述丝杆滑台(6)通过连杆(9)水平固定在蒸镀室侧壁(4)上。
4.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述真空电极法兰(3)包含有4针电极(31)，分别用于电连接步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线。
5.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线输入端通过接插母头分别插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室内侧的针电极(31)上，由真空电极法兰(3) 针电极(31)电连接至真空蒸镀室外侧，再分别通过接插母头插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室外侧的针电极(31)上，将步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线电连接至步进电机驱动器的输出端子上。
6.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述丝杆滑台(6)有效行程为200mm。
7.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的机架(11)内长为1100mm左右。
8.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的光源发射头(12)、光源接收头(13)间隙为20mm左右。
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