CN202599816U - 一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪 - Google Patents
一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪：包括轨道以及设置于轨道上的可以移动的横梁，椭偏仪的检测系统设置于横梁上。本实用新型所述在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪采用横梁与轨道组成的H型结构的轨道运动系统代替现有椭偏仪的底座，利用轨道运动系统可以将椭偏仪的检测系统设置于真空腔室内，由于横梁可以移动，使检测范围覆盖玻璃基板表面的所有有效区域，因此，无需取出腔室内的玻璃基板，就可对玻璃基板上蒸镀的有机材料进行检测，省时省力，提高了检测效率，同时，相比在大气环境下进行的检测，腔室内真空环境中的检测不受水、氧气的影响，因而使检测结果更加接近实际值，提高了检测的准确度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪，主要应用于真空腔室内或惰性气体环境下检测玻璃基板表面的有机膜层结构。
背景技术
目前一般采用椭偏仪对有机膜层的结构进行检测，椭偏仪包括底座、载物台以及检测系统，检测系统主要包括光源、起偏器、检偏器、光电倍增管以及接口电路，接口电路与计算机相连实现检测结果的自动处理与输出。
由于玻璃基板的面积较大，检测中需要移动玻璃基板以配合椭偏仪，因此，在玻璃基板上蒸镀完有机材料后，需要将镀好的玻璃基板从真空腔室内取出进行检测，费时费力，降低了检测效率，同时，在大气环境中，有机材料对水、氧气非常敏感，检测结果容易受到大气环境的影响而偏离实际值，落到玻璃基板表面的颗粒也是影响检测结果的因素之一。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪。
为了达到以上目的，本实用新型采取了以下技术方案：
包括轨道以及设置于轨道上的可以移动的横梁，椭偏仪的检测系统设置于横梁上。
所述轨道上设置有用于驱动横梁的线性马达，线性马达与马达控制器相连。
本实用新型所述在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪采用横梁与轨道组成的H型结构的轨道运动系统代替现有椭偏仪的底座，利用轨道运动系统可以将椭偏仪的检测系统设置于真空腔室内，由于横梁可以移动，使检测范围覆盖玻璃基板表面的所有有效区域，因此，无需取出腔室内的玻璃基板，就可对玻璃基板上蒸镀的有机材料进行检测，省时省力，提高了检测效率，同时，相比在大气环境下进行的检测，腔室内真空环境中的检测不受水、氧气的影响，因而使检测结果更加接近实际值，提高了检测的准确度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图，图中：1轨道，2横梁，3检测系统，4线性马达，5马达控制器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
参见图1，本实用新型包括轨道1以及设置于轨道1上的可以移动的横梁2，椭偏仪的检测系统3设置于横梁2上，所述轨道1上设置有用于驱动横梁2的线性马达4，线性马达4与马达控制器5相连，可以在腔室外对横梁的运动进行远程控制。
实施例
该椭偏仪包括互成一定角度的偏振光入射镜头和偏振光反射镜头，以及承载和控制两个镜头的轨道运动系统。轨道运动系统包含与两个镜头相连的横梁、横梁运动的轨道、线性马达以及马达控制系统，轨道运动系统使得两个镜头能够以对称位置进行运动。
两个镜头都朝上，以便于在腔室内直接检测面朝下的玻璃基板表面的有机膜层。入射的光线经过起偏器(入射镜头)后，变成有偏振方向的偏振光，在经过玻璃基板表面的有机膜层反射和折射后，被反射镜头接收，再经过反射镜头内的偏振片感知其相位和振幅发生的变化，进而反映出偏振光在多层有机膜表面的反射过程，通过对比已建模的数据库从而得出有机膜层结构和各层厚度。
本实用新型能够直接检测有机膜层的结构和厚度，避免了将蒸镀完有机膜的玻璃基板取出进行检测，从而消除了有机膜层短暂接触大气对基板特性和有机膜层结构的影响，并能有效的提高产品的品质。
Claims (2)
1.一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪，其特征在于：包括轨道(1)以及设置于轨道(1)上的可以移动的横梁(2)，椭偏仪的检测系统(3)设置于横梁(2)上。
2.根据权利要求1所述一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪，其特征在于：所述轨道(1)上设置有用于驱动横梁(2)的线性马达(4)，线性马达(4)与马达控制器(5)相连。
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| CN 201220169282 CN202599816U (zh) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | 一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪 |
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| CN (1) | CN202599816U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108592777A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-09-28 | 钱立文 | 可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置 |
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2012
- 2012-04-19 CN CN 201220169282 patent/CN202599816U/zh not_active Expired - Fee Related
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