CN108549167A - 烘烤装置及烘烤方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种烘烤装置及烘烤方法。所述烘烤装置的烘烤单元在腔体下方的加热层下方设置冷却介质管道，冷却介质管道的进口设有阀门，与此同时对应加热层设置温度传感器，并设置与阀门及温度传感器均电性连接的控制模块，当温度传感器感测到加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时，表示需要对加热层及腔体进行降温，此时控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供装置提供的冷却介质通入冷却介质管道内，将加热层及腔体内的热量带出，使加热层及腔体内的温度迅速降低，从而实现烘烤温度调整效率的提高，有效地提高生产产能。
Description
技术领域
本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种烘烤装置及烘烤方法。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶体管(TFT，Thin FilmTransistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动芯片与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
现有技术中，当需要在特定膜层上形成图案时，一般会进行黄光制程。所谓黄光制程，是指通过在特定膜层表面涂覆光阻材料，对光阻材料进行曝光显影制程，以曝光显影后留下的光阻材料为遮挡对该特定膜层进行蚀刻最终在该特定膜层上获得永久性图案的过程。黄光制程中涉及到利用烘烤装置(bake)进行烘烤的制程，具体包括设置在对光阻材料进行曝光前的用于使原本呈液态的光阻初步固化的预烘烤(Pre-bake)制程，以及设置在对光阻材料进行显影后的用于使经过显影后的光阻完全固化的后烘烤(Post-bake)制程。对于不同的液晶显示装置产品，因制程的需要，对于同一种光阻的烘烤的需求温度有时是不同的，例如有的产品的预烘烤温度是110℃，有的产品的预烘烤温度是90℃，而对于不同的光阻，烘烤的需求温度不同的现象更加常见。现有的烘烤装置从低温升高至高温所需时间很短，然而如果要从高温降低至低温则需要很长的时间(每降低10℃约需要30min)，这使得在切换不同的待烘烤的产品时，如果烘烤的需求温度变低，则需要花费较多的时间去等待烘烤装置降温，降温效率较低，严重影响了制程的速度，降低了产能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种烘烤装置，可以快速降温，能够有效地提高生产产能。
本发明的另一目的在于提供一种烘烤方法，能够有效地提高生产产能。
为实现上述目的，本发明首先提供一种烘烤装置，包括至少一个烘烤单元、控制模块及冷却介质提供模块；
每一烘烤单元均包括腔体、设于腔体下方的加热层、设于加热层下方的冷却介质管道及对应加热层设置的温度传感器；所述冷却介质管道具有进口及出口，所述冷却介质管道的进口设有一阀门；所述冷却介质提供模块与冷却介质管道的进口与出口均连接；所述阀门与控制模块电性连接；所述温度传感器与控制模块电性连接；
所述腔体用于放置待烘烤的产品；
所述加热层用于对腔体进行加热；
所述冷却介质提供模块用于向冷却介质管道的进口通入冷却介质并接收从冷却液介质管道的出口流出的冷却介质；
所述温度传感器用于感测加热层的温度并传输至控制模块；
所述控制模块用于在加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门传输降温信号控制阀门开启，在加热层的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时控制阀门关闭。
所述腔体的上表面设有开口，所述烘烤单元还包括设于腔体上方且覆盖所述开口的盖板。
所述加热层包括多块间隔排列的加热板。
所述冷却介质提供模块提供的冷却介质为工艺冷却水、冷却气体或冷却油。
所述冷却介质管道所在平面与加热层平行。
所述冷却介质管道在加热层所在平面的正投影呈“S”字型、“M”字型或螺旋状。
所述烘烤装置包括两个烘烤单元；所述两个烘烤单元由上至下依次设置。
所述烘烤装置还包括冷却板，所冷却板位于两个烘烤单元的下方。
本发明还提供一种烘烤方法，采用上述的烘烤装置；
当加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供模块向冷却介质管道内通入冷却介质，加热层及腔体内的温度下降；
当加热层的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块控制阀门关闭。
本发明的有益效果：本发明提供的一种烘烤装置的烘烤单元在腔体下方的加热层下方设置冷却介质管道，冷却介质管道的进口设有阀门，与此同时对应加热层设置温度传感器，并设置与阀门及温度传感器均电性连接的控制模块，当温度传感器感测到加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时，表示需要对加热层及腔体进行降温，此时控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供模块提供的冷却介质通入冷却介质管道内，将加热层及腔体内的热量带出，使加热层及腔体内的温度迅速降低，从而实现烘烤温度调整效率的提高，有效地提高生产产能。本发明提供的一种烘烤方法能够有效地提高生产产能。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的烘烤装置的第一实施例的结构示意图；
图2为本发明的烘烤装置的加热层的仰视示意图；
图3为本发明的烘烤装置的加热层与冷却介质管道的一实施例的仰视示意图；
图4为本发明的烘烤装置的加热层与冷却介质管道的另一实施例的仰视示意图；
图5为本发明的烘烤装置的加热层与冷却介质管道的又一实施例的仰视示意图；
图6为本发明的烘烤装置的腔体与盖板的剖视示意图；
图7为本发明的烘烤装置的第二实施例的结构示意图；
图8为本发明的烘烤方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
本发明提供一种烘烤装置，可以应用于液晶显示面板制作过程的黄光制程中对光阻材料进行烘烤，当然，该烘烤装置也可以应用于现有的显示装置制作领域中需要进行烘烤的其他制程中。
请参阅图1，本发明的烘烤装置的第一实施例包括两个烘烤单元10、控制模块20及冷却介质提供模块30。
每一烘烤单元10均包括腔体11、设于腔体11下方的加热层12、设于加热层12下方的冷却介质管道13及对应加热层12设置的温度传感器14。所述冷却介质管道13具有进口131及出口132，所述冷却介质管道13的进口131设有一阀门133。所述冷却介质提供模块30与冷却介质管道13的进口131与出口132均连接。所述阀门133与控制模块20电性连接。所述温度传感器14与控制模块20电性连接。
所述腔体11用于放置待烘烤的产品。所述加热层12用于对腔体11进行加热，从而对放置在腔体11内的待烘烤的产品进行烘烤制程。所述冷却介质提供模块30用于向冷却介质管道13的进口131通入冷却介质并接收从冷却液介质管道13的出口132流出的冷却介质。所述温度传感器14用于感测加热层12的温度并传输至控制模块20。
所述控制模块20用于在加热层12的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门133传输降温信号控制阀门133开启，在加热层12的温度等于需求烘烤温度时控制阀门133关闭。
具体地，在本发明的第一实施例中，所述两个烘烤单元10由上至下依次设置。本发明的第一实施例为进行后烘烤制程的烘烤装置。
具体地，请参阅图6，所述腔体11的上表面设有开口111，在进行烘烤时，待烘烤的产品通过该开口111放入腔体11内。
进一步地，请参阅图1及图6，所述烘烤单元10还包括设于腔体11上方且覆盖所述开口111的盖板15，该盖板15的设置是为了在烘烤制程之中防止热量从腔体11内散出，并且防止外部环境污染腔体11内的待烘烤的产品。
具体地，请参阅图1及图2，在本发明的第一实施例中，所述加热层12包括多块间隔排列的加热板121。当然，在本发明的其他实施例中，所述加热层12也可采用一整块加热板的结构，这并不会影响本发明的实现。
具体地，所述冷却介质提供模块30提供的冷却介质可以为任意现有技术中用于进行冷却的介质，例如，该冷却介质可以为工艺冷却水(PCW)、冷却气体或冷却油等等。
优选地，请参阅图1，所述冷却介质管道13所在平面与加热层12平行。
具体地，所述冷却介质管道13在加热层12所在平面的正投影的形状可以根据具体地生产需求进行设计，能够满足当有冷却介质流过冷却介质管道13时，其能够对加热层12上各个位置进行均匀的散热即可。优选地，请参阅图1及图3，在本发明的第一实施例中，所述冷却介质管道13在加热层12所在平面的正投影呈“S”字型，或者请参阅图4，所述冷却介质管道13在加热层12所在平面的正投影也可呈“M”字型，或者请参阅图5，所述冷却介质管道13在加热层12所在平面的正投影也可为螺旋状。
具体地，所述烘烤装置还包括用于安装各个烘烤单元10的支架(未图示)。
具体地，请参阅图7，为本发明的烘烤装置的第二实施例，该第二实施例与上述第一实施例的区别在于，所述烘烤装置还包括冷却板40，所冷却板40位于两个烘烤单元10的下方。所述第二实施例为进行预烘烤制程的烘烤装置，由于预烘烤制程后紧接着要进行曝光显影制程，因此设置该冷却板40用于放置预烘烤结束后的产品使其温度降低以便于进行后续的制程。其余均与第一实施例相同，在此不再赘述。
需要说明的是，利用本发明的烘烤装置进行烘烤制程时，当烘烤装置已经对一在先的产品进行了烘烤制程，且该在先的产品对应的需求烘烤温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时，此时加热层12及腔体11内的温度均高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，此时为了进行烘烤制程，需要对加热层12及腔体11进行降温，温度传感器14感测加热层12的温度并传输至控制模块20，控制模块20侦测到此时加热层12的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，向阀门133传输降温信号控制阀门133开启，冷却介质提供模块30向冷却介质管道13的进口131通入冷却介质，冷却介质流经该冷却介质管道13后经出口132流出至冷却介质提供模块30，冷却介质的流动带走了加热层12及腔体11内的热量，使加热层12及腔体11内的温度迅速的降低，直至温度传感器14感测的加热层12的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，此时控制模块20控制阀门133关闭，使加热层12及腔体11内的温度不再下降，以便于后续利用待烘烤的产品对应的需求烘烤温度对待烘烤的产品进行烘烤，通过这种方式，相对于现有技术，无需等待较长的时间即能实现加热层12及腔体11的降温，有效地提高了烘烤温度调整的效率，有效地提高生产产能。
请参阅图8，基于同一发明构思，本发明还提供一种烘烤方法，采用上述的烘烤装置。在此不再对烘烤装置的结构进行重复描述。
该烘烤方法包括如下步骤：
步骤S1、当该烘烤装置已经对一在先的产品进行了烘烤，且该在先的产品对应的需求烘烤温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，也即当加热层12的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块20向阀门133传输降温信号控制阀门133开启，冷却介质提供模块30向冷却介质管道13内通入冷却介质，具体为冷却介质提供模块30向冷却介质管道13的进口131通入冷却介质，冷却介质流经该冷却介质管道13后经出口132流出至冷却介质提供模块30，冷却介质的流动带走了加热层12及腔体11内的热量，使加热层12及腔体11内的温度迅速的降低。相对于现有技术，无需等待较长的时间即能实现加热层12及腔体11的降温，有效地提高了烘烤温度调整的效率，有效地提高生产产能。
步骤S2、当加热层12的温度下降至与待烘烤的产品对应的需求烘烤温度相等时，控制模块20控制阀门133关闭使加热层12及腔体11内的温度不再下降。
具体地，在步骤S2之后可进行将待烘烤的产品放入腔体11内，加热层12对腔体11进行加热的步骤，以待烘烤的产品对应的需求烘烤温度对待烘烤的产品进行烘烤，保证了烘烤的可靠性。
综上所述，本发明的烘烤装置的烘烤单元在腔体下方的加热层下方设置冷却介质管道，冷却介质管道的进口设有阀门，与此同时对应加热层设置温度传感器，并设置与阀门及温度传感器均电性连接的控制模块，当温度传感器感测到加热层的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时，表示需要对加热层及腔体进行降温，此时控制模块向阀门传输降温信号控制阀门开启，冷却介质提供模块提供的冷却介质通入冷却介质管道内，将加热层及腔体内的热量带出，使加热层及腔体内的温度迅速降低，从而实现烘烤温度调整效率的提高，有效地提高生产产能。本发明的烘烤方法能够有效地提高生产产能。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种烘烤装置，其特征在于，包括至少一个烘烤单元(10)、控制模块(20)及冷却介质提供模块(30)；
每一烘烤单元(10)均包括腔体(11)、设于腔体(11)下方的加热层(12)、设于加热层(12)下方的冷却介质管道(13)及对应加热层(12)设置的温度传感器(14)；所述冷却介质管道(13)具有进口(131)及出口(132)，所述冷却介质管道(13)的进口(131)设有一阀门(133)；所述冷却介质提供模块(30)与冷却介质管道(13)的进口(131)与出口(132)均连接；所述阀门(133)与控制模块(20)电性连接；所述温度传感器(14)与控制模块(20)电性连接；
所述腔体(11)用于放置待烘烤的产品；
所述加热层(12)用于对腔体(11)进行加热；
所述冷却介质提供模块(30)用于向冷却介质管道(13)的进口(131)通入冷却介质并接收从冷却液介质管道(13)的出口(132)流出的冷却介质；
所述温度传感器(14)用于感测加热层(12)的温度并传输至控制模块(20)；
所述控制模块(20)用于在加热层(12)的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时向阀门(133)传输降温信号控制阀门(133)开启，在加热层(12)的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度时控制阀门(133)关闭。
2.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述腔体(11)的上表面设有开口(111)，所述烘烤单元(10)还包括设于腔体(11)上方且覆盖所述开口(111)的盖板(15)。
3.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述加热层(12)包括多块间隔排列的加热板(121)。
4.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述冷却介质提供模块(30)提供的冷却介质为工艺冷却水、冷却气体或冷却油。
5.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述冷却介质管道(13)所在平面与加热层(12)平行。
6.如权利要求5所述的烘烤装置，其特征在于，所述冷却介质管道(13)在加热层(12)所在平面的正投影呈“S”字型、“M”字型或螺旋状。
7.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置包括两个烘烤单元(10)；所述两个烘烤单元(10)由上至下依次设置。
8.如权利要求7所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括冷却板(40)，所冷却板(40)位于两个烘烤单元(10)的下方。
9.一种烘烤方法，其特征在于，采用如权利要求1-8任一项所述的烘烤装置；
当加热层(12)的温度高于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块(20)向阀门(133)传输降温信号控制阀门(133)开启，冷却介质提供模块(30)向冷却介质管道(13)内通入冷却介质，加热层(12)及腔体(11)内的温度下降；
当加热层(12)的温度等于待烘烤的产品对应的需求烘烤温度，控制模块(20)控制阀门(133)关闭。
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