CN108486543A - 基板成膜机台及使用方法 - Google Patents

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CN108486543A CN201810175922.4A CN201810175922A CN108486543A CN 108486543 A CN108486543 A CN 108486543A CN 201810175922 A CN201810175922 A CN 201810175922A CN 108486543 A CN108486543 A CN 108486543A
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Chongqing HKC Optoelectronics Technology Co Ltd
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Abstract

本申请实施例公开了一种基板成膜机台及使用方法。该基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔；成膜腔室；中间腔室；第一泵组，第一泵组与第一基板承载进出腔相连；第二泵，第二泵与中间腔室相连；第三泵，第三泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连；至少一个备用泵，备用泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连，以在第三泵损坏的情况下，抽出成膜腔室以及第二基板承载进出腔内的空气；或者，备用泵与中间腔室相连，以在第二泵损坏的情况下，抽出中间腔室内的空气。本申请实施例提供的基板成膜机台，可以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。

Description

基板成膜机台及使用方法
技术领域
本申请实施例涉及显示面板制作技术，尤其涉及一种基板成膜机台及使用方法。
背景技术
随着科学技术的不断发展，电视、手机以及电脑等各种显示设备不断普及，并被广泛应用于住宅、商场、办公楼等各种需要进行信息显示的场所，为人们的生产和生活带来了便利。
现有的显示设备在制作过程中，为了使得显示面板具有较好的显示效果，阵列基板的成膜工艺往往需要在真空的环境中进行。而在实际制作过程中，用于完成阵列基板的成膜工艺的基板成膜机台往往包括多个与之匹配的泵，若某一个泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修。无疑这将影响基板成膜机台的生产效率。
发明内容
本申请提供一种基板成膜机台及使用方法，以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。
第一方面，本申请实施例提供了一种基板成膜机台，该基板成膜机台包括：
第一基板承载进出腔；
第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；
成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；
中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；
第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；
第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；
至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。
在另一个实施例中，该基板成膜机台中，所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。
在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第一控制开关、至少一个第二控制开关、至少一个第三控制开关、和至少一个第四控制开关；
所述第一控制开关一端与所述第二泵连接，另一端与所述中间腔室连接；
所述第二控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；
所述第三控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；
所述第四控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述中间腔室连接。
在又一个实施例中，该基板成膜机台中，所述第一泵组包括M个第一泵；
各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；
其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。
在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第五控制开关；
所述第五控制开关一端与复用为备用泵的所述第一泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。
在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第六控制开关；
所述第六控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。
第二方面，本申请实施例还提供了一种基板成膜机台，该基板成膜机台包括：
第一基板承载进出腔；
第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；
成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；
中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；
第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；
第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；
至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气；
所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气；
所述第一泵组包括M个第一泵；
各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；
其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。
第三方面，本申请实施例还提供了一种基板成膜机台的使用方法，所述基板成膜机台的使用方法适用于本申请任意实施例提供的基板成膜机台；
所述基板成膜机台的使用方法包括：
判断所述第二泵和所述第三泵是否损坏；
若所述第二泵损坏，控制与所述第二泵连接于同一所述中间腔室的备用泵开启；
若所述第三泵损坏，控制与所述第三泵连接于同一所述成膜腔室以及同一所述第二基板承载进出腔的备用泵开启。
在另一个实施例中，该基板成膜机台的使用方法中，所述判断所述第二泵和所述第三泵是否损坏之后，还包括：
若所述第二泵或所述第三泵损坏，发出报警信号。
在另一个实施例中，该基板成膜机台的使用方法中，所述若所述第二泵或所述第三泵损坏，发出报警信号，包括；
若所述第二泵损坏，发出第一报警信号，
若所述第三泵损坏，发出第二报警信号，所述第一报警信号和所述第二报警信号相异。
本申请实施例通过增设至少一个备用泵，并设置所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气，解决了现有的基板成膜机台中，若某一个泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修，影响基板成膜机台的生产效率的问题，实现了提高基板成膜机台的生产效率的目的。
附图说明
图1为范例性的一种基板成膜机台的结构示意图。；
图2为本申请实施例提供的一种基板成膜机台的结构示意图；
图3为本申请实施例提供的另一种基板成膜机台的结构示意图；
图4为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；
图5为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；
图6为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；
图7为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；
图8为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；
图9为本申请实施例提供的一种基板成膜机台的使用方法流程图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。
图1为现有的一种基板成膜机台的结构示意图。参见图1，该基板成膜机台包括：第一基板承载进出腔11、第二基板承载进出腔12、成膜腔室13、中间腔室14、第一泵组21、第二泵22以及第三泵23。第二基板承载进出腔12与第一基板承载进出腔11相连，成膜腔室13与第二基板承载进出腔12相连，中间腔室14与成膜腔室13相连，第一泵组21与第一基板承载进出腔11相连，以抽出第一基板承载进出腔11内的空气。第二泵22与中间腔室14相连，以抽出中间腔室14内的空气，第三泵23与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12相连，以抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气。
该基板成膜机台在进行成膜工艺时，若第二泵22损坏，第二泵22将无法将中间腔室14内的空气抽出，无法保证成膜工艺的真空环境。显然，这会使得所制作的阵列基板良品率下降。为了不影响阵列基板的良品率，需要停机，将损坏的第二泵22更换。显然这会影响基板成膜机台的生产效率。
类似地，该基板成膜机台在进行成膜工艺时，若第三泵23损坏，第三泵23将无法将成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气抽出，无法保证成膜工艺的真空环境。显然，这会使得所制作的阵列基板良品率下降。为了不影响阵列基板的良品率，需要停机，将损坏的第三泵23更换。显然这会影响基板成膜机台的生产效率。
图2为本申请提供的一种基板成膜机台的结构示意图。参见图2，该基板成膜机台包括：第一基板承载进出腔11、第二基板承载进出腔12、成膜腔室13、中间腔室14、第一泵组21、第二泵22、第三泵23以及至少一个备用泵24(图2中示例性地仅设置了一个备用泵24)。第二基板承载进出腔12与第一基板承载进出腔11相连，成膜腔室13与第二基板承载进出腔12相连，中间腔室14与成膜腔室13相连，第一泵组21与第一基板承载进出腔11相连，以抽出第一基板承载进出腔11内的空气。第二泵22与中间腔室14相连，以抽出中间腔室14内的空气，第三泵23与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12相连，以抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气。备用泵24与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12相连，以在第三泵23损坏的情况下，抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气。
本申请实施例通过增设至少一个备用泵24，并设置备用泵24与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12相连，以在第三泵23损坏的情况下，抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气，实质是，在第三泵23损坏时，利用备用泵24代替第三泵23工作。此时可以将损坏的第三泵23更换，这样在更换第三泵23的过程中，不需要停止基板成膜机台，解决了现有的基板成膜机台中，若第三泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修，影响基板成膜机台的生产效率的问题，实现了提高基板成膜机台的生产效率的目的。
图3为本申请提供的另一种基板成膜机台的结构示意图。与图2中提供的基板成膜机台相比，图3中提供的基板成膜机台中备用泵24的连接关系不同。参见图3，该备用泵24与中间腔室14相连，以在第二泵22损坏的情况下，抽出中间腔室14内的空气。本实施例通过增设至少一个备用泵24，并设置备用泵24与中间腔室14相连，以在第二泵22损坏的情况下，抽出中间腔室14内的空气，实质是，在第二泵22损坏时，利用备用泵24代替第二泵22工作。此时可以将损坏的第二泵22更换。这样在更换第二泵22的过程中，不需要停止基板成膜机台，解决了现有的基板成膜机台中，若第二泵22损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修，影响基板成膜机台的生产效率的问题，实现了提高基板成膜机台的生产效率的目的。
图4为本申请提供的又一种基板成膜机台的结构示意图。参见图4，该基板成膜机台包括两个备用泵，其中备用泵24-1与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12相连，以在第三泵23损坏的情况下，抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气。备用泵24-2与中间腔室14相连，以在第二泵22损坏的情况下，抽出中间腔室14内的空气。本实施例通过设置备用泵24-1与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12相连，且备用泵24-2与中间腔室14相连，解决了现有的基板成膜机台中，若第三泵23和/或第二泵22损坏时，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修，影响基板成膜机台的生产效率的问题，实现了提高基板成膜机台的生产效率的目的。
图5为本申请提供的又一种基板成膜机台的结构示意图。考虑到在实际使用过程中，第三泵和第二泵同时损坏的概率较低，在又一个实施例中，参见图5，设置备用泵24与中间腔室14、成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12均相连，以在第三泵23损坏的情况下，抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气；或者，在第二泵损22坏的情况下，抽出中间腔室14内的空气。这样可以有效减少备用泵24的设置数目，降低基板成膜机台的制作成本、减小基板成膜机台的尺寸。
图6为本申请提供的又一种基板成膜机台的结构示意图。参见图6，该基板成膜机台还包括：至少一个第一控制开关T1(图6中示例性地仅设置了一个第一控制开关T1)、至少一个第二控制开关T2(图6中示例性地仅设置了一个第二控制开关T2)、至少一个第三控制开关T3(图6中示例性地仅设置了一个第三控制开关T3)、和至少一个第四控制开关T4(图6中示例性地仅设置了一个第四控制开关T4)。第一控制开关T1一端与第二泵22连接，另一端与中间腔室14连接。第二控制开关T2一端与第三泵23连接，另一端与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12连接。第三控制开关T3一端与备用泵24连接，另一端与成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12连接。第四控制开关T4一端与备用泵24连接，另一端与中间腔室14连接。
在实际工作时，当第二泵22和第三泵23均可以正常工作时，第一控制开关T1和第二控制开关T2均开启，第三控制开关T3和第四控制开关T4均关闭；若第二泵22损坏，第一控制开关T1关闭，第四控制开关T4开启，第二控制开关T2开启，第三控制开关T3关闭；若第三泵23损坏，第二控制开关T2关闭，第三控制开关T3开启，第一控制开关T1开启，第四控制开关T4关闭。
通过在基板成膜机台中增设第一控制开关T1、第二控制开关T2、第三控制开关T3和第四控制开关T4，可以更加有效地控制备用泵24、第二泵22和第三泵23的工作状态，以使基板成膜机台处于最佳的工作状态，提高基板成膜机台的生产效率。
图7为本申请提供的又一种基板成膜机台的结构示意图。参见图7，该基板成膜机台中，第一泵组21包括M个第一泵211(示例性地，图7中M＝6)；各第一泵211均与第一基板承载进出腔11相连，以抽出第一基板承载进出腔11内的空气；第一泵组21中N个第一泵211复用为备用泵(示例性地，图7中N＝1)；其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。上述技术方案中，通过将第一泵组21中N个第一泵211复用为备用泵，不需要为基板成膜机台额外配置备用泵，可以在不影响基板成膜机台正常运转的前提下，减小基板成膜机台的体积。
继续参见图7，在又一个实施例中，该基板成膜机台还可以包括：至少一个第五控制开关T5(图7中示例性地仅包括一个第五控制开关T5)；第五控制开关T5一端与复用为备用泵的第一泵211连接，另一端与第一基板承载进出腔11相连。在实际工作时，当第二泵22和第三泵23均可以正常工作时，第一控制开关T1、第二控制开关T2和第五控制开关T5均开启，第三控制开关T3和第四控制开关T4均关闭，复用为备用泵的第一泵211用于抽出第一基板承载进出腔11内的空气；若第二泵22损坏，第五控制开关T5和第一控制开关T1关闭，第四控制开关T4开启，第二控制开关T2开启，第三控制开关T3关闭，复用为备用泵的第一泵211用于抽出中间腔室14内的空气；若第三泵23损坏，第五控制开关T5和第二控制开关T2关闭，第三控制开关T3开启，第一控制开关T1开启，第四控制开关T4关闭，复用为备用泵的第一泵211用于抽出成膜腔室13以及第二基板承载进出腔12内的空气。
图8为本申请提供的又一种基板成膜机台的结构示意图。参见图8，在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第六控制开关T6；第六控制开关T6一端与第三泵23连接，另一端与第一基板承载进出腔11相连。这样可以利用第三泵23和第一泵组21同时抽取第一基板承载进出腔11内的空气，缩减抽取第一基板承载进出腔11内的空气所需要的时间，提高基板成膜机台的生产效率。
本申请实施例还提供了一种基板成膜机台的使用方法，该基板成膜机台的使用方法适用于本申请上述实施例提供的基板成膜机台。图9为本申请实施例提供的一种基板成膜机台的使用方法流程图。参见图9，该基板成膜机台的使用方法包括：
S110、判断第二泵和第三泵是否损坏。
S120、若第二泵损坏，控制与第二泵连接于同一中间腔室的备用泵开启。
S130、若第三泵损坏，控制与第三泵连接于同一成膜腔室以及同一第二基板承载进出腔的备用泵开启。
本申请实施例通过设置若第二泵损坏，控制与第二泵损坏连接于同一中间腔室的备用泵开启，若第三泵损坏，控制与第三泵损坏连接于同一成膜腔室以及同一第二基板承载进出腔的备用泵开启，解决了现有的基板成膜机台中，若某一个泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修，影响基板成膜机台的生产效率的问题，实现了提高基板成膜机台的生产效率的目的。
需要说明的是，S120中，若第二泵损坏，可以设置基板成膜机台自动控制与第二泵损坏连接于同一中间腔室的备用泵开启，也可以由工作人员手动控制与第二泵损坏连接于同一中间腔室的备用泵开启。类似地，S130中，若第三泵损坏，可以设置基板成膜机台自动控制与第三泵损坏连接于同一成膜腔室以及同一第二基板承载进出腔的备用泵开启，也可以由工作人员手动控制与第三泵损坏连接于同一成膜腔室以及同一第二基板承载进出腔的备用泵开启。
在另一个实施例中，S110之后，还包括：若第二泵或第三泵损坏，发出报警信号。通过设置若第二泵或第三泵损坏，发出报警信号，可以使得在第二泵或第三泵损坏时，提醒工作人员进行处理，如更换损坏的第二泵或第三泵。
发出报警信号的方式有多种，在又一个实施例中，播放预先录制的报警声音或利用显示屏显示具有警示功能的图标等。
在又一个实施例中，若第二泵或第三泵损坏，发出报警信号，可以包括；若第二泵损坏，发出第一报警信号；若第三泵损坏，发出第二报警信号；第一报警信号和第二报警信号相异。通过设置第一报警信号和第二报警信号相异可以帮助工作人员快速定位哪个泵损坏了，提高工作人员修复基板成膜机台的效率。
注意，上述仅为本申请的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本申请不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本申请的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本申请进行了较为详细的说明，但是本申请不仅仅限于以上实施例，在不脱离本申请构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本申请的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种基板成膜机台，包括：
第一基板承载进出腔；
第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；
成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；
中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；
第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；
第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；
至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。
2.根据权利要求1所述的基板成膜机台，
所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。
3.根据权利要求2所述的基板成膜机台，还包括：至少一个第一控制开关、至少一个第二控制开关、至少一个第三控制开关、和至少一个第四控制开关；
所述第一控制开关一端与所述第二泵连接，另一端与所述中间腔室连接；
所述第二控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；
所述第三控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；
所述第四控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述中间腔室连接。
4.根据权利要求1所述的基板成膜机台，所述第一泵组包括M个第一泵；
各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；
其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。
5.根据权利要求4所述的基板成膜机台，还包括：至少一个第五控制开关；
所述第五控制开关一端与复用为备用泵的所述第一泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。
6.根据权利要求1所述的基板成膜机台，还包括：至少一个第六控制开关；
所述第六控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。
7.一种基板成膜机台，包括：
第一基板承载进出腔；
第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；
成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；
中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；
第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；
第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；
至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气；
所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气；
所述第一泵组包括M个第一泵；
各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；
所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；
其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。
8.一种基板成膜机台的使用方法，所述基板成膜机台的使用方法适用于权利要求1-6中任一所述的基板成膜机台；
所述基板成膜机台的使用方法包括：
判断所述第二泵和所述第三泵是否损坏；
若所述第二泵损坏，控制与所述第二泵连接于同一所述中间腔室的备用泵开启；
若所述第三泵损坏，控制与所述第三泵连接于同一所述成膜腔室以及同一所述第二基板承载进出腔的备用泵开启。
9.根据权利要求8所述的基板成膜机台的使用方法，所述判断所述第二泵和所述第三泵是否损坏之后，还包括：
若所述第二泵或所述第三泵损坏，发出报警信号。
10.根据权利要求9所述的基板成膜机台的使用方法，所述若所述第二泵或所述第三泵损坏，发出报警信号，包括；
若所述第二泵损坏，发出第一报警信号；
若所述第三泵损坏，发出第二报警信号，所述第一报警信号和所述第二报警信号相异。
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