CN108486541A - 传热辊 - Google Patents

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刘鹏
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Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd
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Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本申请公开了一种传热辊，包括圆柱形的外层，所述外层内套设有内层，所述外层和内层之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层内壁设置根据本申请实施例提供的技术方案，通过在传热辊的内层和外层之间增设石墨层，通过石墨层进行的热传递效果更好，并且热量均匀扩散，能够使得传热辊表面温度均匀。

Description

传热辊
技术领域
本公开一般涉及真空装备领域，尤其涉及传热辊。
背景技术
磁控溅射镀膜时基材所需的温度必须由传热辊提供。现有技术传热辊内部夹层中通入热媒，由隔挡物进行导流，由于隔挡物的存在及流动过程中热量损失导致传热辊表面温度不均匀，进而导致基材温度不均匀，最终使成膜后膜层各区域质量存在差异。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种传热辊。
一方面，提供一种传热辊，包括圆柱形的外层，所述外层内套设有内层，其特征在于，所述外层和内层之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层内壁设置。
优选的，所述固体导热层为石墨层。
优选的，所述石墨层包括多块相互拼接的石墨板。
优选的，所述石墨层的拼接方式为卡接或者螺栓连接或者键连接。
优选的，所述石墨层为一体成型的圆管状结构。
优选的，所述外层一端设有热媒入口，另一端设有热媒出口，所述热媒入口与所述热媒出口设置在所述传热辊轴线上；所述内层为圆柱形，且两端封闭设置。
优选的，所述固体导热层与所述内层之间设有第一导流道，所述第一导流道为螺旋状，且环绕所述内层设置。
优选的，所述固体导热层与所述内层之间均匀设有螺旋状排列的第一隔档板，所述第一隔档板一端与所述固体导热层接触，所述第一隔档板另一端与所述内层接触，螺旋状排列的所述第一隔档板之间形成第一流道。
优选的，所述第一隔档板宽度为0.5cm。
优选的，所述外层端部与所述内层端部之间设有螺旋状的第二导流道，所述第二导流道一端与所述热媒入口连通，另一端与所述第一导流道连通。
优选的，所述外层外表面抛光粗糙度<0.8μm。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过在传热辊的内层和外层之间增设石墨层，通过石墨层进行的热传递效果更好，并且热量均匀扩散，能够使得传热辊表面温度均匀。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实施例中传热辊结构示意图；
图2为图1的左视图；
图3为本实施例中传热辊设置第一流道局部剖视图；
图4为本实施例中传热辊设置第二流道结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
请参考图1和图2，本实施例提供一种传热辊，包括圆柱形的外层1，所述外层1内套设有内层2，所述外层1和内层2之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层1内壁设置。
通过在传热辊的内层和外层之间增设固体导热层，通过固体导热层实现该传热辊更好的热传递效果。
进一步的，所述固体导热层为石墨层3。本实施例中采用石墨层作为固体导热层，石墨具有更好的热传递效果，并且热量均匀扩散，能够使得传热辊表面温度均匀。
进一步的，所述石墨层3包括多块相互拼接的石墨板。本实施例中的石墨板可以有多种形式进行制备，当传热辊尺寸较大时可以将多块石墨板进行拼接形成石墨层，这样可以节约石墨层存放的空间便于储存和运输。
进一步的，所述石墨层3的拼接方式为卡接或者螺栓连接或者键连接。多块石墨板进行连接的方式可以有多种，根据实际生产的需求或者工艺的需求进行选择。
进一步的，所述石墨层3为一体成型的圆管状结构。若制备的传热辊尺寸较小，此时可以采用一体成型结构的石墨层，采用一体成型的结构石墨层对热量的传导效果更好，效率更高，热量扩散更均匀。
本实施例中优选的将石墨层的厚度控制为5-10mm，能够实现较好的热传递，同时石墨层紧贴外层设置，石墨层与外层之间的间隙尽可能的小，才可实现较好的热传递效果，同时将石墨层和外层通过一定方式进行固定，放置石墨层在传热辊内转动。
进一步的，所述外层1一端设有热媒入口5，另一端设有热媒出口6，所述热媒入口5与所述热媒出口6设置在所述传热辊轴线上；所述内层2为圆柱形，且两端封闭设置。为了实现热量的传递，本实施例中的传热辊内通过热媒，热媒作为热的载体在该传热辊中流动将热量传递至传热辊的外层，本实施例中优选液体热媒进行热传递，流动的热媒将热量传递至传热辊表面，其中外层一端为入口另一端为出口，内层封闭，使得热媒在外层和内层之间的夹层内流动；同时将热媒入口和出口设置在轴线上，传热辊转动的时候不会影响热媒的进出。
进一步的，所述固体导热层与所述内层2之间设有第一导流道8，所述第一导流道8为螺旋状，且环绕所述内层2设置。如图3所示，设置在固体导热层与内层之间的第一流道对流经的热媒进行路径规划，使得热媒在夹层内均匀的流动，热量也能均匀的传递给固体导热层，即石墨层，通过石墨层进一步的传递给传热辊的外层。
进一步的，所述固体导热层与所述内层2之间均匀设有螺旋状排列的第一隔档板4，所述第一隔档板4一端与所述固体导热层接触，所述第一隔档板4另一端与所述内层2接触，螺旋状排列的所述第一隔档板4之间形成第一流道8。如图3所示，本实施例中在石墨层和内层之间还设有螺旋状的第一隔档板，通过该隔档板的结构形成第一流道使得热媒在夹层内均匀流动。
进一步的，所述第一隔档板4宽度为0.5cm。本实施例中第一隔档板除了分流热媒之外还需要对石墨层进行支撑，因此设定一定宽度的隔档板能够有效的对石墨层进行支撑，保证该传热辊的强度。
进一步的，所述外层1端部与所述内层2端部之间设有螺旋状的第二导流道9，所述第二导流道9一端与所述热媒入口5连通，另一端与所述第一导流道8连通。如图4所示，在外层与内层的端部之间形成第二流道，热媒从热媒入口进入或者从热媒出口流出时均经过该第二流道，实现对热媒流经路径的规划，使得热媒的热量能够均匀的传递至外层。
形成第二流道9的方式有多种，本实施例中优选的在外层1端部与所述内层2端部之间设螺旋状排列的第二隔档板7，所述第二隔档板7一端与所述外层1端部接触，所述第二隔档板7另一端与所述内层2端部接触，所述第二隔档板7之间形成第二流道，所述第一流道8与所述第二流道9相互连通。两个流道相互连通供热媒经过流动进行热传递，使得热媒从入口进入时即进行分流，保证热量均匀传递。
进一步的，所述外层1外表面抛光粗糙度<0.8μm。传热辊在使用的时候需要与基材进行接触，为了避免破坏基材，外层结构的外表面需要进行抛光处理形成抛光层。
本实施例增设石墨层，通过石墨层进行的热传递效果更好，并且热量均匀扩散，能够使得传热辊表面温度均匀。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (11)

1.一种传热辊，包括圆柱形的外层，所述外层内套设有内层，其特征在于，所述外层和内层之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层内壁设置。
2.根据权利要求1所述的传热辊，其特征在于，所述固体导热层为石墨层。
3.根据权利要求2所述的传热辊，其特征在于，所述石墨层包括多块相互拼接的石墨板。
4.根据权利要求3所述的传热辊，其特征在于，所述石墨层的拼接方式为卡接或者螺栓连接或者键连接。
5.根据权利要求2所述的传热辊，其特征在于，所述石墨层为一体成型的圆管状结构。
6.根据权利要求1-5任一所述的传热辊，其特征在于，所述外层一端设有热媒入口，另一端设有热媒出口，所述热媒入口与所述热媒出口设置在所述传热辊轴线上；
所述内层为圆柱形，且两端封闭设置。
7.根据权利要求6所述的传热辊，其特征在于，所述固体导热层与所述内层之间设有第一导流道，所述第一导流道为螺旋状，且环绕所述内层设置。
8.根据权利要求7所述的传热辊，其特征在于，所述固体导热层与所述内层之间均匀设有螺旋状排列的第一隔档板，所述第一隔档板一端与所述固体导热层接触，所述第一隔档板另一端与所述内层接触，螺旋状排列的所述第一隔档板之间形成第一流道。
9.根据权利要求8所述的传热辊，其特征在于，所述第一隔档板宽度为0.5cm。
10.根据权利要求7所述的传热辊，其特征在于，所述外层端部与所述内层端部之间设有螺旋状的第二导流道，所述第二导流道一端与所述热媒入口连通，另一端与所述第一导流道连通。
11.根据权利要求1-5任一所述的传热辊，其特征在于，所述外层外表面抛光粗糙度<0.8μm。
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