CN108480261A - 一种电子元件机械清洗装置 - Google Patents
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools, brushes, or analogous members
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
Abstract
本发明公开了一种电子元件机械清洗装置，涉及微电子清洗设备技术领域，包括承载装置和清洗装置，清洗装置包括外壳，外壳下端外表面左右两侧对称设有支撑板，外壳中部设有清洗组件，承载装置包括承载底座，承载底座内设有夹持组件，外壳中部设有圆柱形凹槽，圆柱形凹槽底部设有动力装置，动力装置包括电机，电机设于圆柱形凹槽底部，电机的伸出端设有圆形擦片，擦片下表面设有擦刷。本装置可以快速对电子元件上、下两个表面的微粒、灰尘或残胶进行清洗，并且通过本装置的开合，自动完成对电子元件的翻转，这种方法简单快捷，大大提高了工作效率。
Description
一种电子元件机械清洗装置
技术领域
[0001]本发明涉及微电子清洗设备技术领域，具体为一种电子元件机械清洗装置。
背景技术
[0002]微电子产品在生产加工过程中会因各种因素的影响导致产品受到污染。一般情况 下，这些污染物会通过物理吸附或化学吸附等方式存留在产品表面，对产品的质量和使用 寿命会造成严重的影响。例如，在生产硅片时，一些污染物的离子或粒子会存留在硅片表面 或氧化膜中。这主要是因为生产加工过程中，硅片的化学键受到了破坏，加剧了污染物的吸 附力度。这种情况给硅片的清洗工作带来了很大的难度。目前，我国使用的微电子清洗手段 主要有两种，即干法清洗和湿法清洗。
[0003] 机械清洗法属于湿法清洗，具有较强的限制性，在清洗电子元件表面残渣或颗粒 时具有较强的实效性，这种清洗方法在国外得到了广泛应用。按照性质来划分，机械清洗分 为手工清洗和机械清洗两种。其中，手工清洗法的成本比较低，由清洗人员用镊子夹取带有 有机溶液的棉球，对硅片表面带有污染物的地方进行清洗，从而达到清洗的效果，但这种清 洗方法加大了硅片表面划伤的可能，会影响电子元件的质量。而机械清洗法则是采用的是 高压擦片机和机械擦刷机等机械，可以有效清洗电子元件上的污染物，相比于手工清洗法 来说，机械清洗法对电子元件造成损伤的可能性较小，通用的机械擦刷机无法自动完成对 电子元件正、反两面同时清洗，当需要清洗电子元件另一面时，需要取下电子元件重新放 置，这一过程可能造成电子元件表面重新附着灰尘，而且这一操作过程比较浪费时间。
发明内容
[0004] 本发明目的在于提供一种电子元件机械清洗装置，以解决上述背景技术中提出的 问题。
[0005] 一种电子元件机械清洗装置，包括承载装置和清洗装置，所述清洗装置包括外壳， 所述外壳下端外表面左右两侧对称设有支撑板，所述外壳中部设有清洗组件，所述承载装 置包括承载底座，所述承载底座内设有夹持组件。
[0006] 优选的，所述外壳中部设有圆柱形凹槽，所述圆柱形凹槽底部设有动力装置，所述 动力装置包括电机，所述电机设于圆柱形凹槽底部，所述电机的伸出端设有圆形擦片，所述 擦片下表面设有擦刷。
[0007] 优选的，所述承载底座中部设有半圆柱凹槽，所述半圆柱凹槽左右两端设有转动 槽，所述承载底座外表面左右对称设有推动组件，所述推动组件与支撑板配合连接，所述半 圆柱凹槽内转动连接有夹持组件。
[0008] 优选的，所述夹持组件包括U型板和卡板，所述U型板两端设有卡槽，所述卡板两端 对称设有卡杆，所述卡杆与卡槽滑动连接，所述卡槽上部设有紧固螺栓。
[0009] 优选的，所述U型板左右两端中部对称设有转动轴，所述转动轴与U型板焊接，所述 转动轴上设有翻转组件。
[0010] 优选的，所述翻转组件包括转动板一和转动板二，所述转动板一设于左端转动轴 中部，且与左端的转动槽转动连接，转动板二设于右端转动轴中部，且与右端的转动槽转动 连接，所述转动板一和转动板二外侧均对称设有四分之一齿轮且与相对应的转动槽转动连 接，所述外壳下表面中心对称设有齿条，所述齿条与转动槽滑动连接且与四分之一齿轮配 合。
[0011] 优选的，所述转动板一和转动板二外侧的四分之一齿轮对应位置夹角成90度设 置。
[0012] 优选的，所述擦刷为软羊毛刷。
[0013] 本发明的有益效果为:本发明结构简单，操作方便，本装置可以快速对电子元件 上、下两个表面的微粒、灰尘或残胶进行清洗，并且通过本装置的开合，自动完成对电子元 件的翻转，这种方法简单快捷，大大提高了工作效率。在使用本装置时，首先将卡板拉出后， 然后将电子元件卡入u型板中，推动卡板，卡杆在卡槽中滑动，保证了卡板不会出现错位，当 卡板将电子元件卡紧后，转动紧固螺栓将卡杆固定，防止卡板自由移动，将电子元件固定好 后，启动电机，电机带动擦片上的软羊毛刷对电子元件表面进行清洁，由于转动板一和转动 板二均与转动轴固接，转动板一和转动板二上的四分之一齿轮与齿条配合，当齿条不发生 移动的时候，U型板不会发生转动，所以当外壳不发生上下移动，齿条不会发生移动，U型板 也不会发生转动，保证了清洗装置在对电子元件清洗过程中，电子元件不会发生转动导致 电子元件表面受力不均。当齿条发生移动时，带动四分之一齿轮发生转动，由于转动板一和 转动板二上的四分之一齿轮对应位置成90度设置，所以可以保证夹持组件会随着齿条的移 动而发生转动，
[0014] 当需要对电子元件进行翻转时，启动推动组件，当推动组件将外壳顶起时，齿条向 上移动如图5中（a)所示，转动板一上的四分之一齿轮与齿条配合，带动夹持组件逆时针转 动90度，继续向上移动齿条时如图5中〇))所示，没有四分之一齿轮与齿条配合，故夹持组件 不会发生转动，此时推动组件复位，将外壳向下拉，齿条向下移动如图6中（c)所示，直到外 壳下表面与承载底座上表面配合，如图转动板二上的四分之一齿轮与齿条配合，带动夹持 组件逆时针转动90度，完成夹持组件的翻转，继续向下移动齿条时如图6中(d)所示，没有四 分之一齿轮与齿条配合，故夹持组件不会发生转动。当外壳与承载底座贴合后，启动电机对 电子元件的另一面进行清洗，当电子元件表面附着有过多颗粒或灰尘时，可向半圆柱凹槽 内添加溶剂，清洗装置可以配合溶剂对电子元件表面进行清洗，更加干净彻底。
附图说明
[0015] 图1为本发明所述的一种电子元件机械清洗装置主结构图。
[0016]图2为图1中沿A-A方向剖视图。
[0017]图3为本发明所述的一种电子元件机械清洗装置中承载装置俯剖视图。
[0018]图4为本发明所述的一种电子元件机械清洗装置中夹持组件结构图。
[0019]图5为齿条向上移动的运动简图。
[0020]图6为齿条向下移动的运动简图。
[0021] 其中：1、清洗装置；11、外壳;12、齿条;13、电机;14、擦片；15、支撑板；16、圆柱形凹 槽;2、承载装置;21、半圆柱凹槽;22、推动组件;23、转动槽;3、夹持组件;31、U型板;32、卡 板;33、卡槽;34、卡杆;35、紧固螺栓;4、翻转组件;41、转动轴;42、转动板一;43、转动板二。
具体实施方式
[0022]下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施 例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通 技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范 围。
[0023]如图1至图5所示，一种电子元件机械清洗装置，包括承载装置2和清洗装置1，所述 清洗装置1包括外壳11，所述外壳11下端外表面左右两侧对称设有支撑板15，所述外壳11中 部设有清洗组件，所述承载装置2包括承载底座，所述承载底座内设有夹持组件3。
[0024]在本实施例中，所述外壳11中部设有圆柱形凹槽16,所述圆柱形凹槽16底部设有 动力装置，所述动力装置包括电机13，所述电机13设于圆柱形凹槽16底部，所述电机13的伸 出端设有圆形擦片14，所述擦片14下表面设有擦刷。
[0025]在本实施例中，所述承载底座中部设有半圆柱凹槽21，所述半圆柱凹槽21左右两 端设有转动槽23，所述承载底座外表面左右对称设有推动组件22，所述推动组件22与支撑 板15配合连接，所述半圆柱凹槽21内转动连接有夹持组件3。
[0026]在本实施例中，所述夹持组件包括U型板31和卡板32,所述U型板31两端设有卡槽 33，所述卡板32两端对称设有卡杆32，所述卡杆32与卡槽33滑动连接，所述卡槽33上部设有 紧固螺栓35。
[0027] 在本实施例中，所述U型板31左右两端中部对称设有转动轴41，所述转动轴41与U 型板31焊接，所述转动轴41上设有翻转组件4。
[0028] 在本实施例中，所述翻转组件4包括转动板一42和转动板二43,所述转动板一42设 于左端转动轴41中部，且与左端的转动槽23转动连接，转动板二43设于右端转动轴41中部， 且与右端的转动槽23转动连接，所述转动板一 42和转动板二43外侧均对称设有四分之一齿 轮且与相对应的转动槽23转动连接，所述外壳11下表面中心对称设有齿条12,所述齿条12 与转动槽23滑动连接且与四分之一齿轮配合。
[0029]在本实施例中，所述转动板一42和转动板二43外侧的四分之一齿轮对应位置夹角 成90度设置。
[0030] 在本实施例中，所述擦刷为软羊毛刷。
[0031]具体工作原理及步骤:本发明结构简单，操作方便，本装置可以快速对电子元件 上、下两个表面的微粒、灰尘或残胶进行清洗，并且通过本装置的开合，自动完成对电子元 件的翻转，这种方法简单快捷，大大提高了工作效率。在使用本装置时，首先将卡板32拉出 后，然后将电子元件卡入U型板31中，推动卡板32,卡杆34在卡槽33中滑动，保证了卡板32不 会出现错位，当卡板32将电子元件卡紧后，转动紧固螺栓35将卡杆34固定，防止卡板32自由 移动，将电子元件固定好后，启动电机13,电机13带动擦片14上的软羊毛刷对电子元件表面 进行清洁，由于转动板一42和转动板二43均与转动轴41固接，转动板一42和转动板二43上 的四分之一齿轮与齿条12配合，当齿条12不发生移动的时候，U型板31不会发生转动，所以 当外壳11不发生上下移动，齿条12不会发生移动，U型板31也不会发生转动，保证了清洗装 置1在对电子元件清洗过程中，电子元件不会发生转动导致电子元件表面受力不均。当齿条 12发生移动时，带动四分之一齿轮发生转动，由于转动板一42和转动板二43上的四分之一 齿轮对应位置成90度设置，所以可以保证夹持组件3会随着齿条12的移动而发生转动，
[0032]当需要对电子元件进行翻转时，启动推动组件22,当推动组件22将外壳11顶起时， 齿条12向上移动如图5中（a)所示，转动板一42上的四分之一齿轮与齿条12配合，带动夹持 组件3逆时针转动90度，继续向上移动齿条12时如图5中（b)所示，没有四分之一齿轮与齿条 12配合，故夹持组件3不会发生转动，此时推动组件22复位，将外壳11向下拉，齿条12向下移 动如图6中（c)所示，直到外壳11下表面与承载底座上表面配合，如图转动板二43上的四分 之一齿轮与齿条12配合，带动夹持组件3逆时针转动90度，完成夹持组件3的翻转，继续向下 移动齿条12时如图6中（d)所示，没有四分之一齿轮与齿条12配合，故夹持组件3不会发生转 动。当外壳11与承载底座贴合后，启动电机13对电子元件的另一面进行清洗，当电子元件表 面附着有过多颗粒或灰尘时，可向半圆柱凹槽21内添加溶剂，清洗装置1可以配合溶剂对电 子元件表面进行清洗，更加干净彻底。
[0033] 本发明并不局限于上述实施例，在本发明公开的技术方案的基础上，本领域的技 术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一 些简单修改、等同变化与修饰，均属于本发明技术方案的范围。
Claims (8)
1. 一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，包括承载装置(2)和清洗装置（1)，所述清 洗装置⑴包括外壳（id，所述外壳（id下端外表面左右两侧对称设有支撑板a5)，所述外 壳(11)中部设有清洗组件，所述承载装置(2)包括承载底座，所述承载底座内设有夹持组件 ⑶。
2. 根据权利要求1所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述外壳（11)中部 设有圆柱形凹槽（16)，所述圆柱形凹槽（16)底部设有动力装置，所述动力装置包括电机 (13)，所述电机(13)设于圆柱形凹槽(16)底部，所述电机(13)的伸出端设有圆形擦片（14)， 所述擦片（14)下表面设有擦刷。
3. 根据权利要求1所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述承载底座中部 设有半圆柱凹槽(21)，所述半圆柱凹槽(21)左右两端设有转动槽(23)，所述承载底座外表 面左右对称设有推动组件（22)，所述推动组件(22)与支撑板（15)配合连接，所述半圆柱凹 槽(21)内转动连接有夹持组件(3)。
4. 根据权利要求3所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述夹持组件（）包 括U型板(31)和卡板(32)，所述U型板C31)两端设有卡槽(3¾，所述卡板(32)两端对称设有 卡杆(32)，所述卡杆(32)与卡槽(33)滑动连接，所述卡槽(3¾上部设有紧固螺栓(3¾。
5. 根据权利要求4所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述U型板(31)左 右两端中部对称设有转动轴(41)，所述转动轴(41)与U型板(31)焊接，所述转动轴(41)上设 有翻转组件⑷。
6. 根据权利要求5所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述翻转组件(4) 包括转动板一 (42)和转动板二(4¾，所述转动板一 (42)设于左端转动轴(41)中部，且与左 端的转动槽（23)转动连接，转动板二(43)设于右端转动轴(41)中部，且与右端的转动槽 (23)转动连接，所述转动板一 (4¾和转动板二(4¾外侧均对称设有四分之一齿轮且与相对 应的转动槽(23)转动连接，所述外壳（11)下表面中心对称设有齿条（12)，所述齿条（12)与 转动槽(23)滑动连接且与四分之一齿轮配合。
7. 根据权利要求5所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述转动板一 (42) 和转动板二(43)外侧的四分之一齿轮对应位置夹角成9〇度设置。
8. 根据权利要求2所述的一种电子元件机械清洗装置，其特征在于，所述擦刷为软羊毛 刷。
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