CN108441813A

CN108441813A - 一种掩膜安装组件和掩膜装置

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Publication number: CN108441813A
Application number: CN201810228988.5A
Authority: CN
Inventors: 徐鹏
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2018-03-20
Filing date: 2018-03-20
Publication date: 2018-08-24

Abstract

本发明提供一种掩膜安装组件和掩膜装置，所述掩膜安装组件包括边框和第一拉伸组件，第一拉伸组件可转动的设置在边框的第一侧，用于与掩膜板的第一边缘连接，且能够通过转动方式对掩膜板施加拉力以拉伸所述掩膜板，相应第一拉伸组可以在掩膜板所在的平面内对掩膜板进行拉伸，从而相比于利用焊点拉伸掩膜板的方式可以提高掩膜板的图案部的平整性，相应可以提高掩膜板图案部的PPA的合格率，进而可以降低显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。

Description

一种掩膜安装组件和掩膜装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜安装组件和掩膜装置。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板的制造过程中，通常利用FMM(Fine Metal Mask,高精度金属掩膜板)将有机发光材料蒸镀在背板的像素单元内。FMM的张网精度直接影响FMM图案部的PPA(Pixel Position Accuracy，像素开口的位置精度)的合格率，即直接影响FMM的图案部内的像素开口与背板上对应的像素单元之间的位置偏差，相应当FMM图案部的PPA的合格率较低时，OLED显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率较高。

现有FMM的张网过程中，利用机械手夹取FMM的两侧，并分别对FMM的两侧施加一定的拉力，以减小FMM的下垂量，相应减小FMM图案部的形变，即提高FMM图案部的PPA的合格率。当FMM图案部的PPA的合格率满足工艺要求时，将FMM的两侧焊接在边框上，以保持对FMM两侧的拉力，即保持FMM的图案部的PPA的合格率满足工艺要求。但是，FMM两侧焊点的位置相比于非焊点的位置更邻近边框，即FMM两侧的表面存在高低起伏，相应容易导致FMM图案部产生褶皱，从而容易降低FMM图案部的PPA的合格率，进而影响OLED显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供一种掩膜安装组件和掩膜装置，用以至少部分解决现有掩膜板容易产生褶皱的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种掩膜安装组件，包括边框，还包括第一拉伸组件，所述第一拉伸组件可转动的设置在所述边框的第一侧，用于与掩膜板的第一边缘连接，且能够通过转动方式对所述掩膜板施加拉力，以拉伸所述掩膜板。

优选的，所述第一拉伸组件包括圆柱形的第一滚轴，所述第一滚轴用于与所述掩膜板的第一边缘连接。

优选的，所述第一滚轴的表面设置有第一凹槽；所述第一拉伸组件还包括与所述第一凹槽相配合的第一固定块，所述第一固定块用于与所述掩膜板的第一边缘连接。

优选的，所述第一固定块沿所述掩膜板的第一边缘方向的长度大于或等于所述掩膜板的第一边缘的长度。

优选的，所述第一拉伸组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述第一滚轴的一端连接，用于驱动所述第一滚轴转动。

优选的，所述第一驱动装置包括步进电机。

优选的，所述掩膜安装组件还包括第二拉伸组件，所述第二拉伸组件可转动的设置在所述边框与所述第一侧相对的第二侧，用于与所述掩膜板的第二边缘连接，且能够通过转动方式对所述掩膜板施加拉力，以与所述第一拉伸组件相配合拉伸所述掩膜板。

本发明还提供一种掩膜装置，包括掩膜板和上述所述的掩膜安装组件，所述掩膜板的第一边缘与所述第一拉伸组件连接。

优选的，所述掩膜板的第一边缘为直线形。

优选的，所述掩膜板、所述第一拉伸组件和所述第二拉伸组件均为多个，各所述掩膜板分别与一个所述第一拉伸组件和一个所述第二拉伸组件相对应。

本发明具有以下有益效果：

附图说明

图1为本实施例提供的掩膜装置的俯视图；

图2为本实施例提供的掩膜装置的侧视图。

图例说明：

1、边框 11、第一侧 12、第二侧 13、开口 2、掩膜板

21、第一边缘 22、图案部 23、第二边缘 24、对位部

3、第一拉伸组件 31、第一滚轴 32、第一驱动装置

33、第一凹槽 34、第一固定块 4、第二拉伸组件

41、第二滚轴 42、第二驱动装置 43、第二凹槽 44、第二固定块

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的一种掩膜安装组件和掩膜装置进行详细描述。

本发明实施例提供一种掩膜安装组件，结合图1和图2所示，所述掩膜安装组件包括边框1和第一拉伸组件3，第一拉伸组件3可转动的设置在边框1的第一侧11，用于与掩膜板2的第一边缘21连接，且能够通过转动方式对掩膜板2施加拉力，以拉伸该掩膜板2。

具体的，本发明实施例提供的边框1具有口字形的开口13，在图1中，第一拉伸组件3设置于边框1的上侧，相应能够与掩膜板2的上侧边缘(即第一边缘21)连接，且能够通过转动方式在掩膜板2所在的平面内对掩膜板2的上侧边缘施加拉力，以拉伸该掩膜板2。当第一拉伸组件3拉伸掩膜板2时，可以减小掩膜板2由于自身重力导致的下垂量，相应可以减小掩膜板2图案部22的形变量，从而可以提高掩膜板2图案部22的PPA的合格率。

需要说明的是，本发明实施例是以第一拉伸组件3设置在边框1的上侧，以拉伸掩膜板2的上侧边缘为例进行说明的。当然，第一拉伸组件3设置在边框1的下侧，以拉伸掩膜板2的下侧边缘也是可行的。

本发明实施例提供的掩膜安装组件，通过在边框1的第一侧11设置可转动的第一拉伸组件3，第一拉伸组件3能够与掩膜板2的第一边缘21连接，且能够通过转动方式对掩膜板2的第一边缘21施加拉力以拉伸该掩膜板2，相应第一拉伸组3可以在掩膜板2所在的平面内对掩膜板2进行拉伸，从而相比于利用焊点拉伸掩膜板2的方式可以提高掩膜板2的图案部22的平整性，相应可以提高掩膜板2图案部22的PPA的合格率，进而可以降低显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。

以下结合图1和图2对第一拉伸组件3的结构进行详细的说明。

结合图1和图2所示，第一拉伸组件3可以包括圆柱形的第一滚轴31，第一滚轴31用于与掩膜板2的第一边缘21连接。

具体的，第一滚轴31与掩膜板2相切，相应第一滚轴31沿周向的表面与掩膜板2的第一边缘21连接。当第一滚轴31绕其中心轴转动时，第一滚轴31能够在掩膜板2所在的平面内向掩膜板2的第一边缘21施加拉力，相应可以通过调节第一滚轴31的转动角度，调节第一滚轴31对掩膜板2施加的拉力的大小。

在掩膜板2蒸镀过程中，由于蒸镀工艺的温度较高，相应当掩膜板2处于蒸镀环境中时，掩膜板2容易产生褶皱，从而影响掩膜板2图案部22的PPA的合格率。为解决由于蒸镀工艺的温度较高容易导致的掩膜板2图案部22的PPA的合格率较低的问题，可以对处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势进行测量，并在掩膜板2处于常温环境中时，根据所测量的处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势，调节第一滚轴31的转动角度以调节第一滚轴31对掩膜板2施加的拉力的大小，以使处于常温环境中掩膜板2图案部22的PPA偏差趋势与所测量的处于蒸镀环境中掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势相反，从而当掩膜板2处于蒸镀环境中时，可以减小处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势，进而可以提高处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的合格率，以降低显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。

需要说明的是，不同蒸镀工艺所对应的蒸镀温度也不同，相应处于不同蒸镀工艺中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势也不同，为提高处于不同蒸镀工艺中掩膜板2图案部22的PPA的合格率，可以对处于各蒸镀工艺中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势进行测量，并根据所测量的各蒸镀工艺中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势补偿处于常温环境中掩膜板2图案部22的PPA偏差趋势。

如图1所示，第一拉伸组件3还可以包括第一驱动装置32，第一驱动装置32与第一滚轴31的一端连接，用于驱动第一滚轴31转动。

具体的，第一驱动装置32可以包括步进电机，相应可以向第一驱动装置32施加脉冲电信号，第一驱动装置32可以根据该脉冲电信号的周期控制第一滚轴31转动的角度，以调节第一滚轴31对掩膜板2施加的拉力的大小。利用步进电机调节第一滚轴31对掩膜板2施加的拉力的大小的方法简单，便于操作，且调节对掩膜板2施加的拉力大小的精度较高。

为进一步提高调节对掩膜板2施加的拉力大小的精度，以及提高对掩膜板2拉伸的均匀性，可以向第一驱动装置32施加多个脉冲电信号，以使第一驱动装置32根据该多个脉冲电信号控制第一滚轴31进行多次转动。

需要说明的是，当第一驱动装置32未接收到脉冲电信号时，第一驱动装置32能够控制第一滚轴31保持当前状态，即控制第一滚轴31保持上次脉冲电信号之后对掩膜板2施加的拉力的大小。

还需要说明的是，可以利用控制器向第一驱动装置32施加脉冲电信号，其中，控制器可以为单片机或中央处理器。控制器能够控制脉冲电信号的个数、大小和周期。

结合图1和图2所示，第一滚轴31的表面可以设置有第一凹槽33，第一拉伸组件3还可以包括与第一凹槽33相配合的第一固定块34，第一固定块34用于与掩膜板2的第一边缘21连接。

具体的，第一固定块34既能够与第一凹槽33卡合连接，又能够与掩膜板2的第一边缘21连接。当第一滚轴31转动时，第一滚轴31能够带动第一固定块34转动，相应第一固定块34能够在掩膜板2所在的平面内向掩膜板2的第一边缘21施加拉力。

需要说明的是，本发明实施例是以第一滚轴31通过第一固定块34与掩膜板2的第一边缘21连接为例进行说明的。当然，本领域技术人员可知，任何可以将第一滚轴31与掩膜板2的第一边缘21连接的结构均在本发明实施例的保护范围之内。

优选的，第一固定块34沿掩膜板2的第一边缘21方向的长度L1大于或等于掩膜板2的第一边缘21的长度L2。这样，可以增加第一固定块34与掩膜板2第一边缘21相连接的位置，从而可以提高第一固定块34对掩膜板2整个第一边缘21施加的拉力的均匀性，相应可以更佳提高掩膜板2的平整性。

进一步的，结合图1和图2所示，所述的掩膜装置还可以包括第二拉伸组件4，第二拉伸组件4可转动的设置在边框1与第一侧11相对的第二侧12，用于与掩膜板2的第二边缘23连接，且能够通过转动方式对掩膜板2施加拉力，以与第一拉伸组件3相配合拉伸掩膜板2。

具体的，第二拉伸组件4设置于边框1的下侧，相应能够与掩膜板2的下侧边缘(即第二边缘23)连接，且能够通过转动方式在掩膜板2所在的平面内对掩膜板2的下侧边缘施加拉力。这样，第一拉伸组件3和第二拉伸组件4可以同时在掩膜板2所在的平面内拉伸该掩膜板2，相应可以更佳提高掩膜板的图案部的平整性，从而可以进一步提高掩膜板2图案部22的PPA的合格率。

需要说明的是，第二拉伸组件4的结构和构造与第一拉伸组件3的结构和构造相同，相应第二拉伸组件4包括第二滚轴41、第二驱动装置42和第二固定块44，且第二滚轴41上设置有第二凹槽43。

本发明实施例还提供一种掩膜装置，结合图1和图2所示，所述掩膜装置可以包括掩膜板2和上述所述的掩膜安装组件，掩膜板2的第一边缘21与第一拉伸组件3连接。

具体的，掩膜板2位于口字形开口13的上方，且上侧边缘(即第一边缘21)与第一拉伸组件3连接。其中，掩膜板2可以采用FMM。

本发明实施例提供的掩膜装置，利用掩膜安装组件在掩膜板2所在的平面内对掩膜板2的第一边缘21施加拉力以拉伸该掩膜板2，相应可相比于利用焊点拉伸掩膜板2的方式可以提高掩膜板2的图案部22的平整性，相应可以提高掩膜板2图案部22的PPA的合格率，进而可以降低显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。

如图1所示，本发明实施例是以第一固定块34沿掩膜板2的第一边缘21方向的长度L1等于掩膜板2的第一边缘21的长度L2为例进行说明的。

优选的，掩膜板2的第一边缘21为直线形，这样，第一固定块34能够与掩膜板2的第一边缘21完全连接，相应第一滚轴31可以通过第一固定块34对掩膜板2的整个第一边缘21进行拉伸，可以更佳提高第一滚轴31对掩膜板2各位置拉伸的均匀性，以更佳提高掩膜板2的平整性。

如图1所示，掩膜板2为多个，各掩膜板2相互拼接。

优选的，掩膜安装组件包括第一拉伸组件3和第二拉伸组件4，且第一拉伸组件3和第二拉伸组件4均为多个，各掩膜板2分别与一个第一拉伸组件3和一个第二拉伸组件4相对应。具体的，每个掩膜板2的第一边缘21连接对应的第一拉伸组件3，第二边缘23连接对应的第二拉伸组件4，这样，可以提高各掩膜板2图案部22的平整性，以提高各掩膜板2图案部22的PPA的合格率。

进一步的，如图1所示，掩膜板2邻近第一边缘21和邻近第二边缘23的位置设置有对位部24。具体的，在掩膜装置的张网过程中，可以通过对位部24确定掩膜板2的位置，以对掩膜板2的位置进行校正。这样，便于掩膜板2的第一边缘21与第一拉伸组件3连接，以及便于掩膜板2的第二边缘23与第二拉伸组件4连接。其中，对位部24可以为圆形孔。

需要说明的是，仅在掩膜板2邻近第一边缘21的位置，或者仅在掩膜板2邻近第二边缘23的位置设置对位部24也是可行的。

优选的，各掩膜板2上均设置有对位部24。这样，在掩膜装置的张网程中，可以对各掩膜板2的位置进行校正，以便于各掩膜板2与对应的第一拉伸组件3和对应的第二拉伸组件4连接。

为了清楚说明本发明实施例提供的技术方案，以下结合图1和图2对本发明实施例提供的掩膜装置的张网过程进行详细说明。该掩膜装置的张网过程包括以下步骤：

S1、将掩膜板2装载在边框1上，并利用对位部24校正该掩膜板2的位置。

S2、将第一固定块34与掩膜板2的第一边缘21连接，并将第一固定块34与第一凹槽33卡合连接；以及将第二固定块44与掩膜板2的第二边缘23连接，并将第二固定块44与第二凹槽43卡合连接。

S3、利用第一驱动装置32控制第一滚轴31转动的角度，以调节第一滚轴31对掩膜板2施加的拉力；以及利用第二驱动装置42控制第二滚轴41转动的角度，以调节第二滚轴41对掩膜板2施加的拉力。

S4、当掩膜板2图案部22的PPA满足工艺要求时，保持当前第一滚轴31和第二滚轴41对掩膜板2施加的拉力。

具体的，通常图案部22的PPA的偏差需要满足在±4um以内，可以利用图像采集单元(例如：CCD)对图案部22的PPA的偏差进行测量。当图案部22的PPA的偏差满足在±4um以内时，停止向第一驱动装置32和第二驱动装置42输入脉冲电信号，即保持当前第一滚轴31和第二滚轴41对掩膜板2施加的拉力。

需要说明的是，为解决由于蒸镀工艺的温度较高容易导致的掩膜板2图案部22的PPA的合格率较低的问题，所述掩膜装置的张网过程还可以包括：

对处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势进行测量，并根据所测量的处于蒸镀环境中掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势补偿处于常温环境中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势。

具体的，当掩膜板2处于常温环境中时，可以根据所测量的处于蒸镀环境中掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势，利用第一驱动装置32调节第一滚轴31对掩膜板2施加的拉力，以及利用第二驱动装置42调节第二滚轴41对掩膜板2施加的拉力，以使处于常温环境中掩膜板2图案部22的PPA偏差趋势与所测量的处于蒸镀环境中掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势相反，从而当掩膜板2处于蒸镀环境中时，可以减小处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的偏差趋势，进而可以提高处于蒸镀环境中的掩膜板2图案部22的PPA的合格率，以降低显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种掩膜安装组件，包括边框，其特征在于，还包括第一拉伸组件，所述第一拉伸组件可转动的设置在所述边框的第一侧，用于与掩膜板的第一边缘连接，且能够通过转动方式对所述掩膜板施加拉力，以拉伸所述掩膜板。

2.根据权利要求1所述的掩膜安装组件，其特征在于，所述第一拉伸组件包括圆柱形的第一滚轴，所述第一滚轴用于与所述掩膜板的第一边缘连接。

3.根据权利要求2所述的掩膜安装组件，其特征在于，所述第一滚轴的表面设置有第一凹槽；所述第一拉伸组件还包括与所述第一凹槽相配合的第一固定块，所述第一固定块用于与所述掩膜板的第一边缘连接。

4.根据权利要求3所述的掩膜安装组件，其特征在于，所述第一固定块沿所述掩膜板的第一边缘方向的长度大于或等于所述掩膜板的第一边缘的长度。

5.根据权利要求2所述的掩膜安装组件，其特征在于，所述第一拉伸组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述第一滚轴的一端连接，用于驱动所述第一滚轴转动。

6.根据权利要求5所述的掩膜安装组件，其特征在于，所述第一驱动装置包括步进电机。

7.根据权利要求1-6任一项所述的掩膜安装组件，其特征在于，还包括第二拉伸组件，所述第二拉伸组件可转动的设置在所述边框与所述第一侧相对的第二侧，用于与所述掩膜板的第二边缘连接，且能够通过转动方式对所述掩膜板施加拉力，以与所述第一拉伸组件相配合拉伸所述掩膜板。

8.一种掩膜装置，其特征在于，包括掩膜板和如权利要求1-7任一项所述的掩膜安装组件，所述掩膜板的第一边缘与所述第一拉伸组件连接。

9.根据权利要求8所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜板的第一边缘为直线形。

10.根据权利要求8所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜安装组件为权利要求7所述的掩膜安装组件；所述掩膜板、所述第一拉伸组件和所述第二拉伸组件均为多个，各所述掩膜板分别与一个所述第一拉伸组件和一个所述第二拉伸组件相对应。