CN108398016A - 一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉 - Google Patents

一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉 Download PDF

Info

Publication number
CN108398016A
CN108398016A CN201810092776.9A CN201810092776A CN108398016A CN 108398016 A CN108398016 A CN 108398016A CN 201810092776 A CN201810092776 A CN 201810092776A CN 108398016 A CN108398016 A CN 108398016A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sintering
heating element
insulated
horizontal
pipeline section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810092776.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108398016B (zh
Inventor
刘翔
孙涛
杨盛安
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunming University of Science and Technology
Original Assignee
Kunming University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunming University of Science and Technology filed Critical Kunming University of Science and Technology
Priority to CN201810092776.9A priority Critical patent/CN108398016B/zh
Publication of CN108398016A publication Critical patent/CN108398016A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108398016B publication Critical patent/CN108398016B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/0016Chamber type furnaces
    • F27B17/0041Chamber type furnaces specially adapted for burning bricks or pottery
    • F27B17/005Chamber type furnaces specially adapted for burning bricks or pottery with cylindrical chambers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/0016Chamber type furnaces
    • F27B17/0083Chamber type furnaces with means for circulating the atmosphere
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D11/00Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
    • F27D11/02Ohmic resistance heating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D19/00Arrangements of controlling devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/02Supplying steam, vapour, gases, or liquids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/02Supplying steam, vapour, gases, or liquids
    • F27D2007/023Conduits
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • F27D2007/063Special atmospheres, e.g. high pressure atmospheres
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • F27D2007/066Vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D19/00Arrangements of controlling devices
    • F27D2019/0003Monitoring the temperature or a characteristic of the charge and using it as a controlling value
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D19/00Arrangements of controlling devices
    • F27D2019/0028Regulation
    • F27D2019/0068Regulation involving a measured inflow of a particular gas in the enclosure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27MINDEXING SCHEME RELATING TO ASPECTS OF THE CHARGES OR FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS
    • F27M2001/00Composition, conformation or state of the charge
    • F27M2001/03Charges containing minerals
    • F27M2001/035China
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27MINDEXING SCHEME RELATING TO ASPECTS OF THE CHARGES OR FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS
    • F27M2003/00Type of treatment of the charge
    • F27M2003/04Sintering

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

本发明涉及一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,属于电子陶瓷设备技术领域。该烧结炉包括承重台Ⅰ、承重台Ⅱ、保护框架Ⅰ、保护框架Ⅱ、氧气瓶、氮气瓶、烧结管道、支撑肋板、支撑架、滑动烧结系统、监测腔体、真空泵机。本发明的多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉可提高镧钙锰氧陶瓷烧结效率;精确控制进气量和出气量;提高镧钙锰氧陶瓷烧结的致密度,使陶瓷性能更加优良;烧结管段固定,整个加热箱体可以沿烧结管自由移动。

Description

一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉
技术领域
本发明涉及一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,属于电子陶瓷技术领域。
背景技术
超巨磁电阻(CMR)效应的发现使得镧钙锰氧陶瓷成为凝聚态物理领域的研究热点之一。由于CMR效应及其强关联的金属-绝缘体转变温度(Tp)和电阻温度系数(TCR)在制备近室温磁电子器件、超巨磁电阻测辐射热仪(Bolometer)、红外探测器等器件中具有潜在的应用价值,因此,这类材料的制备成为最近几年凝聚态物理领域的研究热点之一,并吸引了越来越多科研工作者的关注。提高其实用性能成为了主攻课题之一。在制备过程中烧结炉是决定样品性能的关键设备。目前的烧结炉结构单一,效率低下,且气体流量无法得到精确控制,烧结氛围极不稳定,气源利用率极低;同时各烧结过程不够灵活组合,无法提高工艺效率,使得镧钙锰氧陶瓷量产化无法得到实现。
发明内容
本发明针对现有技术存在的问题,提供一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,本发明可提高镧钙锰氧陶瓷烧结效率;精确控制进气量和出气量;提高镧钙锰氧陶瓷烧结的致密度,使陶瓷性能更加优良;烧结管段固定,整个加热箱体可以沿烧结管自由移动。
本发明为解决其技术问题而采用的技术方案是:
一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,包括承重台Ⅰ1、承重台Ⅱ、保护框架Ⅰ2、保护框架Ⅱ、氧气瓶3、氮气瓶4、烧结管道、支撑肋板11、支撑架29、滑动烧结系统、监测腔体28、真空泵机36,承重台Ⅰ1、承重台Ⅱ设置在地面,保护框架Ⅰ2固定设置在承重台Ⅰ1顶端,氧气瓶3竖直设置在保护框架Ⅰ2内,保护框架Ⅱ固定设置在承重台Ⅱ顶端,氮气瓶4竖直设置在保护框架Ⅱ内,支撑肋板11设置在承重台Ⅰ1一侧的地面上,烧结管道设置在支撑肋板11顶端且烧结管道与地面平行,氧气瓶3的氧气出口端通过气管Ⅱ与烧结管道连通,氮气瓶4的氮气出口端通过气管Ⅰ7与烧结管道连通,滑动烧结系统设置在地面,烧结管道穿过滑动烧结系统,支撑架29竖直设置在地面上且靠近烧结管道的另一端,监测腔体28设置支撑架29顶端,监测腔体28的进口端与烧结管道连通,监测腔体28的出口端并排设置有真空管34、排气管31,真空管34与真空泵机36连通;
监测腔体28顶端设置有数显监测仪2802,数显监测仪2802的感应探头2801穿过监测腔体28顶壁往下延伸至监测腔体28中部;
进一步地,所述氧气瓶3的氧气出口端设置有气阀Ⅱ,气阀Ⅱ的气体出口端设置有双节式气体调压器Ⅱ且双节式气体调压器Ⅱ与气阀Ⅱ连通,双节式气体调压器Ⅱ的气体出口端设置有气管Ⅱ且气管Ⅱ与双节式气体调压器Ⅱ连通;
进一步地,所述氮气瓶4的氮气出口端设置有气阀Ⅰ5,气阀Ⅰ5的气体出口端设置有双节式气体调压器Ⅰ6且双节式气体调压器Ⅰ6与气阀Ⅰ5连通,双节式气体调压器Ⅰ6的气体出口端设置有气管Ⅰ7且气管Ⅰ7与双节式气体调压器Ⅰ6连通;
进一步地,所述烧结管道包括2个以上宝塔阀口8、进料法兰盘10、漏斗管段12、烧结管段13、螺旋开槽1301、载物台1302、粉体舟1303、靶材舟1304、水平密封管段26、水平节点旋钮2601、水平隔热台2602、水平隔板2603、竖直密封管段27、竖直节点旋钮2701、竖直隔热台2702、竖直隔板2703,漏斗管段12、烧结管段13、水平密封管段26、竖直密封管段27、监测腔体28依次连通,
漏斗管段12的进气端与进料法兰盘10连接,宝塔阀口8设置在进料法兰盘10上且宝塔阀口8的出气端与漏斗管段12的进气端连通,宝塔阀口8的末端设置有阀口密封盖9,宝塔阀口8的进气端与气管Ⅰ7或气管Ⅱ连通;
螺旋开槽1301均匀设置在烧结管段13的内壁且螺旋开槽1301在烧结管段13内周向设置,载物台1302均匀设置在烧结管段13内的底部,粉体舟1303和靶材舟1304间隔放置在相邻的载物台1302上且第一个粉体舟1303靠近漏斗管段12;
水平隔热台Ⅰ2602、水平隔热台Ⅱ对称设置在水平密封管段26外壁的中部,水平隔板2603设置在水平密封管段26内且与水平隔热台Ⅰ2602的垂直中线位置相对应,水平隔板2603的中心设置有水平通孔,水平节点旋钮Ⅰ2601设置在水平隔热台Ⅰ2602外侧,水平节点旋钮Ⅱ设置在水平隔热台Ⅱ外侧,水平旋转轴穿过水平节点旋钮Ⅰ2601、水平隔热台Ⅰ2602、水平密封管段26、水平隔板2603的水平通孔、水平隔热台Ⅱ、水平节点旋钮Ⅱ,水平隔板2603的水平通孔与水平旋转轴的尺寸相匹配;
竖直隔热台Ⅰ2702、竖直隔热台Ⅱ对称设置在竖直密封管段27外壁的下端和上端,竖直隔板2703设置在竖直密封管段27内且与竖直隔热台Ⅰ2702的垂直中线位置相对应,竖直隔板2703的中心设置有竖直通孔,竖直节点旋钮Ⅰ2701设置在竖直隔热台Ⅰ2702外侧,竖直节点旋钮Ⅱ设置在竖直隔热台Ⅱ外侧,竖直旋转轴穿过竖直节点旋钮Ⅰ2701、竖直隔热台Ⅰ2702、竖直密封管段27、竖直隔板2703的竖直通孔、竖直隔热台Ⅱ、竖直节点旋钮Ⅱ,竖直隔板2703的竖直通孔与竖直旋转轴的尺寸相匹配;
进一步地,所述滑动烧结系统包括滑轨24、上箱体20、下箱体17、配电箱21、加热槽Ⅰ14、加热槽Ⅱ、低温区加热元件Ⅰ1401、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅰ1402、高温区加热元件Ⅱ、隔热断层Ⅰ1403、隔热断层Ⅱ、热电偶Ⅰ15、热电偶Ⅱ、隔热层Ⅰ16、隔热层Ⅱ、液压推杆18、铰轴19、滚轮23、抵板25,滑轨24设置在烧结管道的烧结管段13一侧且滑轨24与烧结管道平行,滑轨24两端固定设置有抵板25,配电箱21的底端均匀设置有滚轮23,滚轮23设置在滑轨24上且滚轮23与滑轨24滚动嵌合,下箱体17设置在配电箱21顶端,上箱体20通过铰轴19与下箱体17的顶端一侧连接且上箱体20可绕铰轴19转动,液压推杆18的两端分别设置在上箱体20和下箱体17同一侧的外壁上,隔热层Ⅰ16设置在下箱体17内,隔热层Ⅰ16内设置有上部开口的加热槽Ⅰ14,隔热层Ⅱ设置在上箱体20内,隔热层Ⅱ内设置有下部开口的加热槽Ⅱ,加热槽Ⅰ14、加热槽Ⅱ配合形成圆柱形加热腔体,烧结管道设置在圆柱形加热腔体内,隔热断层Ⅰ1403设置在加热槽Ⅰ14的中部,低温区加热元件Ⅰ1401、高温区加热元件Ⅰ1402设置在加热槽Ⅰ14内壁,低温区加热元件Ⅰ1401、高温区加热元件Ⅰ1402分别位于隔热断层Ⅰ1403的两侧且低温区加热元件Ⅰ1401靠近烧结管道的漏斗管段12,隔热断层Ⅱ设置在加热槽Ⅱ的中部,低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅱ设置在加热槽Ⅱ内壁,低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅱ分别位于隔热断层Ⅱ的两侧且低温区加热元件Ⅱ靠近烧结管道的漏斗管段12,热电偶Ⅰ15的探头设置在低温区加热元件Ⅰ1401中部,热电偶Ⅱ的探头设置在高温区加热元件Ⅰ1402中部,低温区加热元件Ⅰ1401、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅰ1402、高温区加热元件Ⅱ、热电偶Ⅰ15、热电偶Ⅱ与配电箱21电连接;
进一步地,所述液压推杆为电动液压推杆,配电箱21的控制面板22设置在配电箱21外壳的前端,加热槽Ⅰ14、加热槽Ⅱ均为泡沫状三氧化二铝加热槽,低温区加热元件Ⅰ1401、低温区加热元件Ⅱ为硅碳棒,高温区加热元件Ⅰ1402、高温区加热元件Ⅱ为硅钼棒,上箱体20上还设置有把手;
进一步地,所述监测腔体28的出口端设置有出料法兰30,真空管34、排气管31的一端均固定在出料法兰30上,真空管34、排气管31与监测腔体28的出口端连通,真空管34上设置有管阀旋钮35,排气管31通过支撑台架32支撑在地面;
进一步地,所述双节式气体调压器Ⅱ上设置有粗调旋钮Ⅱ、细调旋钮Ⅱ、粗调流量表头Ⅱ、细调流量表头Ⅱ;
进一步地,所述双节式气体调压器Ⅰ6上设置有粗调旋钮Ⅰ、细调旋钮Ⅰ、粗调流量表头Ⅰ、细调流量表头Ⅰ;
进一步地,所述水平隔板2603、竖直隔板2703均为零温度系数材料隔板。
本发明的有益效果:
(1)本发明的镧钙锰氧陶瓷烧结炉高度集成化,可大幅提高镧钙锰氧陶瓷生产效率;
(2)本发明镧钙锰氧陶瓷烧结炉的气体系统可精准控制进出气量,同时提高环境氛围控制力,提高气源利用率;
(3)本发明的镧钙锰氧陶瓷烧结炉可进行多元气氛烧结,提高产品生产范围和性能;
(4)本发明镧钙锰氧陶瓷烧结炉可提高镧钙锰氧陶瓷烧结的致密度,使陶瓷性能更加优良;
(5)本发明镧钙锰氧陶瓷烧结炉的烧结管段固定,整个加热箱体可以沿烧结管自由移动,使烧结管段自由切换,各烧结过程能够自由组合。
附图说明
图1为实施例1多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉的结构示意图;
图2为实施例1的承重台Ⅰ、承重台Ⅱ、保护框架Ⅰ、保护框架Ⅱ、氧气瓶、氮气瓶的装配示意图;
图3为实施例1的承重台Ⅰ、保护框架Ⅰ装配示意图;
图4为实施例1双节流量减压阀结构示意图;
图5为实施例1烧结管道与滑动烧结系统装配结构示意图;
图6为实施例1烧结管道结构示意图;
图7为实施例1烧结管道的剖面图;
图8为实施例1载物台和靶材舟组合示意图;
图9为实施例1载物台和粉体舟组合示意图;
图10为实施例1漏斗管段与烧结管段的透视图;
图11为实施例1水平密封管段、竖直密封管段和监测腔等组合透视图;
图12为实施例1滑动烧结系统结构示意图;
图13为实施例1下箱体结构示意图;
图14为实施例1滑轨、配电箱装配示意图;
图15为实施例1真空泵机、出料法兰、出气管装配结构示意图;
图16为实施例1的出料法兰、出气管、支撑台架和流量计组合示意图;
图17为实施例1的出料法兰、真空管、管阀旋钮、真空泵机组合示意图。
其中:1-承重台Ⅰ、2-栏框Ⅰ、3-氧气瓶、4-氮气瓶、5-气阀Ⅰ、6-双节式气体调压器Ⅰ、7-气管Ⅰ、8-宝塔阀口、9-阀口密封盖、10-进料法兰盘、11-支撑肋板、12-漏斗管段、13-烧结管段、1301-螺旋开槽、1302-载物台、1303-粉体舟、1304-靶材舟、14-加热槽Ⅰ、1401-低温区加热元件Ⅰ、1402-高温区加热元件Ⅰ、1403-隔热断层Ⅰ、15-热电偶Ⅰ、16-隔热层Ⅰ、17-下箱体、18-液压推杆、19-铰轴、20-上箱体、21-配电箱、22-控制面板、23-滚轮组、24-滑轨、25-抵板、26-水平密封管段、2601-水平节点旋钮Ⅰ、2602-水平隔热台Ⅰ、2603-水平隔板、27-竖直密封管段、2701-竖直节点旋钮Ⅰ、2702-竖直隔热台Ⅰ、2703-竖直隔板、28-监测腔、2801-感应探头、2802-数显监测台、29-支撑架、30-出料法兰盘、31-出气管、32-支撑台架、33-流量计、34-真空管、35-管阀旋钮、36-真空泵机。
具体实施方式
下面结合具体实施方式,对本发明作进一步说明。
实施例1:如图1~17所示,一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,包括承重台Ⅰ1、承重台Ⅱ、保护框架Ⅰ2、保护框架Ⅱ、氧气瓶3、氮气瓶4、烧结管道、支撑肋板11、支撑架29、滑动烧结系统、监测腔体28、真空泵机36,承重台Ⅰ1、承重台Ⅱ设置在地面,保护框架Ⅰ2固定设置在承重台Ⅰ1顶端,氧气瓶3竖直设置在保护框架Ⅰ2内,保护框架Ⅱ固定设置在承重台Ⅱ顶端,氮气瓶4竖直设置在保护框架Ⅱ内,支撑肋板11设置在承重台Ⅰ1一侧的地面上,烧结管道设置在支撑肋板11顶端且烧结管道与地面平行,氧气瓶3的氧气出口端通过气管Ⅱ与烧结管道连通,氮气瓶4的氮气出口端通过气管Ⅰ7与烧结管道连通,滑动烧结系统设置在地面,烧结管道穿过滑动烧结系统,支撑架29竖直设置在地面上且靠近烧结管道的另一端,监测腔体28设置支撑架29顶端,监测腔体28的进口端与烧结管道连通,监测腔体28的出口端并排设置有真空管34、排气管31,真空管34与真空泵机36连通;
监测腔体28顶端设置有数显监测仪2802,数显监测仪2802的感应探头2801穿过监测腔体28顶壁往下延伸至监测腔体28中部。
本实施例氧气瓶3的氧气出口端设置有气阀Ⅱ,气阀Ⅱ的气体出口端设置有双节式气体调压器Ⅱ且双节式气体调压器Ⅱ与气阀Ⅱ连通,双节式气体调压器Ⅱ的气体出口端设置有气管Ⅱ且气管Ⅱ与双节式气体调压器Ⅱ连通。
本实施例氮气瓶4的氮气出口端设置有气阀Ⅰ5,气阀Ⅰ5的气体出口端设置有双节式气体调压器Ⅰ6且双节式气体调压器Ⅰ6与气阀Ⅰ5连通,双节式气体调压器Ⅰ6的气体出口端设置有气管Ⅰ7且气管Ⅰ7与双节式气体调压器Ⅰ6连通。
本实施例烧结管道包括2个以上宝塔阀口8、进料法兰盘10、漏斗管段12、烧结管段13、螺旋开槽1301、载物台1302、粉体舟1303、靶材舟1304、水平密封管段26、水平节点旋钮2601、水平隔热台2602、水平隔板2603、竖直密封管段27、竖直节点旋钮2701、竖直隔热台2702、竖直隔板2703,漏斗管段12、烧结管段13、水平密封管段26、竖直密封管段27、监测腔体28依次连通,
漏斗管段12的进气端与进料法兰盘10连接,宝塔阀口8设置在进料法兰盘10上且宝塔阀口8的出气端与漏斗管段12的进气端连通,宝塔阀口8的末端设置有阀口密封盖9,宝塔阀口8的进气端与气管Ⅰ7或气管Ⅱ连通;
螺旋开槽1301均匀设置在烧结管段13的内壁且螺旋开槽1301在烧结管段13内周向设置,载物台1302均匀设置在烧结管段13内的底部,粉体舟1303和靶材舟1304间隔放置在相邻的载物台1302上且第一个粉体舟1303靠近漏斗管段12;
水平隔热台Ⅰ2602、水平隔热台Ⅱ对称设置在水平密封管段26外壁的中部,水平隔板2603设置在水平密封管段26内且与水平隔热台Ⅰ2602的垂直中线位置相对应,水平隔板2603的中心设置有水平通孔,水平节点旋钮Ⅰ2601设置在水平隔热台Ⅰ2602外侧,水平节点旋钮Ⅱ设置在水平隔热台Ⅱ外侧,水平旋转轴穿过水平节点旋钮Ⅰ2601、水平隔热台Ⅰ2602、水平密封管段26、水平隔板2603的水平通孔、水平隔热台Ⅱ、水平节点旋钮Ⅱ,水平隔板2603的水平通孔与水平旋转轴的尺寸相匹配;
竖直隔热台Ⅰ2702、竖直隔热台Ⅱ对称设置在竖直密封管段27外壁的下端和上端,竖直隔板2703设置在竖直密封管段27内且与竖直隔热台Ⅰ2702的垂直中线位置相对应,竖直隔板2703的中心设置有竖直通孔,竖直节点旋钮Ⅰ2701设置在竖直隔热台Ⅰ2702外侧,竖直节点旋钮Ⅱ设置在竖直隔热台Ⅱ外侧,竖直旋转轴穿过竖直节点旋钮Ⅰ2701、竖直隔热台Ⅰ2702、竖直密封管段27、竖直隔板2703的竖直通孔、竖直隔热台Ⅱ、竖直节点旋钮Ⅱ,竖直隔板2703的竖直通孔与竖直旋转轴的尺寸相匹配。
本实施例滑动烧结系统包括滑轨24、上箱体20、下箱体17、配电箱21、加热槽Ⅰ14、加热槽Ⅱ、低温区加热元件Ⅰ1401、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅰ1402、高温区加热元件Ⅱ、隔热断层Ⅰ1403、隔热断层Ⅱ、热电偶Ⅰ15、热电偶Ⅱ、隔热层Ⅰ16、隔热层Ⅱ、液压推杆18、铰轴19、滚轮23、抵板25,滑轨24设置在烧结管道的烧结管段13一侧且滑轨24与烧结管道平行,滑轨24两端固定设置有抵板25,配电箱21的底端均匀设置有滚轮23,滚轮23设置在滑轨24上且滚轮23与滑轨24滚动嵌合,下箱体17设置在配电箱21顶端,上箱体20通过铰轴19与下箱体17的顶端一侧连接且上箱体20可绕铰轴19转动,液压推杆18的两端分别设置在上箱体20和下箱体17同一侧的外壁上,隔热层Ⅰ16设置在下箱体17内,隔热层Ⅰ16内设置有上部开口的加热槽Ⅰ14,隔热层Ⅱ设置在上箱体20内,隔热层Ⅱ内设置有下部开口的加热槽Ⅱ,加热槽Ⅰ14、加热槽Ⅱ配合形成圆柱形加热腔体,烧结管道设置在圆柱形加热腔体内,隔热断层Ⅰ1403设置在加热槽Ⅰ14的中部,低温区加热元件Ⅰ1401、高温区加热元件Ⅰ1402设置在加热槽Ⅰ14内壁,低温区加热元件Ⅰ1401、高温区加热元件Ⅰ1402分别位于隔热断层Ⅰ1403的两侧且低温区加热元件Ⅰ1401靠近烧结管道的漏斗管段12,隔热断层Ⅱ设置在加热槽Ⅱ的中部,低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅱ设置在加热槽Ⅱ内壁,低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅱ分别位于隔热断层Ⅱ的两侧且低温区加热元件Ⅱ靠近烧结管道的漏斗管段12,热电偶Ⅰ15的探头设置在低温区加热元件Ⅰ1401中部,热电偶Ⅱ的探头设置在高温区加热元件Ⅰ1402中部,低温区加热元件Ⅰ1401、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅰ1402、高温区加热元件Ⅱ、热电偶Ⅰ15、热电偶Ⅱ与配电箱21电连接。
本实施例液压推杆为电动液压推杆,配电箱21的控制面板22设置在配电箱21外壳的前端,加热槽Ⅰ14、加热槽Ⅱ均为泡沫状三氧化二铝加热槽,低温区加热元件Ⅰ1401、低温区加热元件Ⅱ为硅碳棒,高温区加热元件Ⅰ1402、高温区加热元件Ⅱ为硅钼棒,上箱体20上还设置有把手。
本实施例监测腔体28的出口端设置有出料法兰30,真空管34、排气管31的一端均固定在出料法兰30上,真空管34、排气管31与监测腔体28的出口端连通,真空管34上设置有管阀旋钮35,排气管31通过支撑台架32支撑在地面。
本实施例双节式气体调压器Ⅱ上设置有粗调旋钮Ⅱ、细调旋钮Ⅱ、粗调流量表头Ⅱ、细调流量表头Ⅱ。
本实施例双节式气体调压器Ⅰ6上设置有粗调旋钮Ⅰ、细调旋钮Ⅰ、粗调流量表头Ⅰ、细调流量表头Ⅰ。
本实施例水平隔板2603、竖直隔板2703均为零温度系数材料隔板。
本发明在工作时:
拧开进料法兰盘10,将镧钙锰氧陶瓷粉体、块材分别放入粉体舟1303、靶材舟1304,锁紧进料法兰盘10,通过真空管34、管阀旋钮35、真空泵机36对整体系统进行抽真空操作。当达到所需的真空度参数后,通过气阀5Ⅰ、气阀Ⅱ和双节式气体调压器6Ⅰ、气体调压器Ⅱ将氧气瓶3和氮气瓶4内的气体按需通入管段内,同时亦通过出气管31、流量计33进行尾气排放和泄压控制,以控制烧结气氛的稳定性,其中氧气氛围是为了提高样品烧结操作质量,氮气氛围是为了达到控压的目的,其中管段控压作业需要通过水平密封管段26、水平节点旋钮2601Ⅰ、水平节点旋钮Ⅱ、水平隔板2603、竖直密封管段27、竖直节点旋钮2701Ⅰ、竖直节点旋钮Ⅱ、竖直隔板2703等部件同步协作。宝塔阀口8、阀口密封盖9能保证同时多元进气和混合气氛平衡的操作。通过监测腔28、感应探头2801、数显监测台2802达到实时监控的目的。当气体进入管段时漏斗管段12的形状可保证气体初步集中混合,烧结管段1201上的螺旋开槽、1202可保证烧结中的气体在流动中均匀混合。通过液压推杆18、铰轴19将上箱体20与下箱体17合拢可形成密封烧结空间,其中隔热层16Ⅰ、隔热层Ⅱ可保证热损耗最低,低温区加热元件1302Ⅰ、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件1303Ⅰ、高温区加热元件Ⅱ、隔热断层Ⅰ1403、隔热断层Ⅱ组合可保证形成稳定的双温区,通过配电箱21和控制面板22进行参数设置,滚轮组23、滑轨24、抵板25能保证烧结系统对管段的任意区域进行移动包裹,达到烧结流程化的目的,例如移动烧结炉箱体至粉体舟1303所在位置,对镧钙锰氧陶瓷粉体进行预烧。粉体预烧完后将烧结炉箱体移动至靶材舟1304,将程序设置为高温段的烧结程序,对镧钙锰氧陶瓷块材进行终烧。整个烧结过程中可同时通入氧气、氮气,对样品进行富氧、加压烧结。
上面结合附图对本发明的具体实施例作了详细说明,但是本发明并不限于上述实施例,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (10)

1.一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:包括承重台Ⅰ(1)、承重台Ⅱ、保护框架Ⅰ(2)、保护框架Ⅱ、氧气瓶(3)、氮气瓶(4)、烧结管道、支撑肋板(11)、支撑架(29)、滑动烧结系统、监测腔体(28)、真空泵机(36),承重台Ⅰ(1)、承重台Ⅱ设置在地面,保护框架Ⅰ(2)固定设置在承重台Ⅰ(1)顶端,氧气瓶(3)竖直设置在保护框架Ⅰ(2)内,保护框架Ⅱ固定设置在承重台Ⅱ顶端,氮气瓶(4)竖直设置在保护框架Ⅱ内,支撑肋板(11)设置在承重台Ⅰ(1)一侧的地面上,烧结管道设置在支撑肋板(11)顶端且烧结管道与地面平行,氧气瓶(3)的氧气出口端通过气管Ⅱ与烧结管道连通,氮气瓶(4)的氮气出口端通过气管Ⅰ(7)与烧结管道连通,滑动烧结系统设置在地面,烧结管道穿过滑动烧结系统,支撑架(29)竖直设置在地面上且靠近烧结管道的另一端,监测腔体(28)设置支撑架(29)顶端,监测腔体(28)的进口端与烧结管道连通,监测腔体(28)的出口端并排设置有真空管(34)、排气管(31),真空管(34)与真空泵机(36)连通;
监测腔体(28)顶端设置有数显监测仪(2802),数显监测仪(2802)的感应探头(2801)穿过监测腔体(28)顶壁往下延伸至监测腔体(28)中部。
2.根据权利要求1所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:氧气瓶(3)的氧气出口端设置有气阀Ⅱ,气阀Ⅱ的气体出口端设置有双节式气体调压器Ⅱ且双节式气体调压器Ⅱ与气阀Ⅱ连通,双节式气体调压器Ⅱ的气体出口端设置有气管Ⅱ且气管Ⅱ与双节式气体调压器Ⅱ连通。
3.根据权利要求1所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:氮气瓶(4)的氮气出口端设置有气阀Ⅰ(5),气阀Ⅰ(5)的气体出口端设置有双节式气体调压器Ⅰ(6)且双节式气体调压器Ⅰ(6)与气阀Ⅰ(5)连通,双节式气体调压器Ⅰ(6)的气体出口端设置有气管Ⅰ(7)且气管Ⅰ(7)与双节式气体调压器Ⅰ(6)连通。
4.根据权利要求1所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:烧结管道包括2个以上宝塔阀口(8)、进料法兰盘(10)、漏斗管段(12)、烧结管段(13)、螺旋开槽(1301)、载物台(1302)、粉体舟(1303)、靶材舟(1304)、水平密封管段(26)、水平节点旋钮(2601)、水平隔热台(2602)、水平隔板(2603)、竖直密封管段(27)、竖直节点旋钮(2701)、竖直隔热台(2702)、竖直隔板(2703),漏斗管段(12)、烧结管段(13)、水平密封管段(26)、竖直密封管段(27)、监测腔体(28)依次连通,
漏斗管段(12)的进气端与进料法兰盘(10)连接,宝塔阀口(8)设置在进料法兰盘(10)上且宝塔阀口(8)的出气端与漏斗管段(12)的进气端连通,宝塔阀口(8)的末端设置有阀口密封盖(9),宝塔阀口(8)的进气端与气管Ⅰ(7)或气管Ⅱ连通;
螺旋开槽(1301)均匀设置在烧结管段(13)的内壁且螺旋开槽(1301)在烧结管段(13)内周向设置,载物台(1302)均匀设置在烧结管段(13)内的底部,粉体舟(1303)和靶材舟(1304)间隔放置在相邻的载物台(1302)上且第一个粉体舟(1303)靠近漏斗管段(12);
水平隔热台Ⅰ(2602)、水平隔热台Ⅱ对称设置在水平密封管段(26)外壁的中部,水平隔板(2603)设置在水平密封管段(26)内且与水平隔热台Ⅰ(2602)的垂直中线位置相对应,水平隔板(2603)的中心设置有水平通孔,水平节点旋钮Ⅰ(2601)设置在水平隔热台Ⅰ(2602)外侧,水平节点旋钮Ⅱ设置在水平隔热台Ⅱ外侧,水平旋转轴穿过水平节点旋钮Ⅰ(2601)、水平隔热台Ⅰ(2602)、水平密封管段(26)、水平隔板(2603)的水平通孔、水平隔热台Ⅱ、水平节点旋钮Ⅱ,水平隔板(2603)的水平通孔与水平旋转轴的尺寸相匹配;
竖直隔热台Ⅰ(2702)、竖直隔热台Ⅱ对称设置在竖直密封管段(27)外壁的下端和上端,竖直隔板(2703)设置在竖直密封管段(27)内且与竖直隔热台Ⅰ(2702)的垂直中线位置相对应,竖直隔板(2703)的中心设置有竖直通孔,竖直节点旋钮Ⅰ(2701)设置在竖直隔热台Ⅰ(2702)外侧,竖直节点旋钮Ⅱ设置在竖直隔热台Ⅱ外侧,竖直旋转轴穿过竖直节点旋钮Ⅰ(2701)、竖直隔热台Ⅰ(2702)、竖直密封管段(27)、竖直隔板(2703)的竖直通孔、竖直隔热台Ⅱ、竖直节点旋钮Ⅱ,竖直隔板(2703)的竖直通孔与竖直旋转轴的尺寸相匹配。
5.根据权利要求4所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:滑动烧结系统包括滑轨(24)、上箱体(20)、下箱体(17)、配电箱(21)、加热槽Ⅰ(14)、加热槽Ⅱ、低温区加热元件Ⅰ(1401)、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅰ(1402)、高温区加热元件Ⅱ、隔热断层Ⅰ(1403)、隔热断层Ⅱ、热电偶Ⅰ(15)、热电偶Ⅱ、隔热层Ⅰ(16)、隔热层Ⅱ、液压推杆(18)、铰轴(19)、滚轮(23)、抵板(25),滑轨(24)设置在烧结管道的烧结管段(13)一侧且滑轨(24)与烧结管道平行,滑轨(24)两端固定设置有抵板(25),配电箱(21)的底端均匀设置有滚轮(23),滚轮(23)设置在滑轨(24)上且滚轮(23)与滑轨(24)滚动嵌合,下箱体(17)设置在配电箱(21)顶端,上箱体(20)通过铰轴(19)与下箱体(17)的顶端一侧连接且上箱体(20)可绕铰轴(19)转动,液压推杆(18)的两端分别设置在上箱体(20)和下箱体(17)同一侧的外壁上,隔热层Ⅰ(16)设置在下箱体(17)内,隔热层Ⅰ(16)内设置有上部开口的加热槽Ⅰ(14),隔热层Ⅱ设置在上箱体(20)内,隔热层Ⅱ内设置有下部开口的加热槽Ⅱ,加热槽Ⅰ(14)、加热槽Ⅱ配合形成圆柱形加热腔体,烧结管道设置在圆柱形加热腔体内,隔热断层Ⅰ(1403)设置在加热槽Ⅰ(14)的中部,低温区加热元件Ⅰ(1401)、高温区加热元件Ⅰ(1402)设置在加热槽Ⅰ(14)内壁,低温区加热元件Ⅰ(1401)、高温区加热元件Ⅰ(1402)分别位于隔热断层Ⅰ(1403)的两侧且低温区加热元件Ⅰ(1401)靠近烧结管道的漏斗管段(12),隔热断层Ⅱ设置在加热槽Ⅱ的中部,低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅱ设置在加热槽Ⅱ内壁,低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅱ分别位于隔热断层Ⅱ的两侧且低温区加热元件Ⅱ靠近烧结管道的漏斗管段(12),热电偶Ⅰ(15)的探头设置在低温区加热元件Ⅰ(1401)中部,热电偶Ⅱ的探头设置在高温区加热元件Ⅰ(1402)中部,低温区加热元件Ⅰ(1401)、低温区加热元件Ⅱ、高温区加热元件Ⅰ(1402)、高温区加热元件Ⅱ、热电偶Ⅰ(15)、热电偶Ⅱ与配电箱(21)电连接。
6.根据权利要求5所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:液压推杆为电动液压推杆,配电箱(21)的控制面板(22)设置在配电箱(21)外壳的前端,加热槽Ⅰ(14)、加热槽Ⅱ均为泡沫状三氧化二铝加热槽,低温区加热元件Ⅰ(1401)、低温区加热元件Ⅱ为硅碳棒,高温区加热元件Ⅰ(1402)、高温区加热元件Ⅱ为硅钼棒,上箱体(20)上还设置有把手。
7.根据权利要求1所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:监测腔体(28)的出口端设置有出料法兰(30),真空管(34)、排气管(31)的一端均固定在出料法兰(30)上,真空管(34)、排气管(31)与监测腔体(28)的出口端连通,真空管(34)上设置有管阀旋钮(35),排气管(31)通过支撑台架(32)支撑在地面。
8.根据权利要求2所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:双节式气体调压器Ⅱ上设置有粗调旋钮Ⅱ、细调旋钮Ⅱ、粗调流量表头Ⅱ、细调流量表头Ⅱ。
9.根据权利要求3所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:双节式气体调压器Ⅰ(6)上设置有粗调旋钮Ⅰ、细调旋钮Ⅰ、粗调流量表头Ⅰ、细调流量表头Ⅰ。
10.根据权利要求4所述多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉,其特征在于:水平隔板(2603)、竖直隔板(2703)均为零温度系数材料隔板。
CN201810092776.9A 2018-01-31 2018-01-31 一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉 Active CN108398016B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810092776.9A CN108398016B (zh) 2018-01-31 2018-01-31 一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810092776.9A CN108398016B (zh) 2018-01-31 2018-01-31 一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108398016A true CN108398016A (zh) 2018-08-14
CN108398016B CN108398016B (zh) 2019-12-03

Family

ID=63095170

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810092776.9A Active CN108398016B (zh) 2018-01-31 2018-01-31 一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108398016B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109765088A (zh) * 2019-01-23 2019-05-17 李明霞 一种半导体材料制备设备
CN114264424A (zh) * 2021-11-15 2022-04-01 江苏永鼎股份有限公司 一种预制棒烧结炉密封性测试工装及测试方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1804108A (zh) * 2006-01-18 2006-07-19 北京工业大学 镧钙锰氧薄膜的制备方法
CN202757438U (zh) * 2012-08-13 2013-02-27 合肥荣业新材料设备有限公司 双管可移动低温真空气氛管式炉
CN203256118U (zh) * 2013-05-09 2013-10-30 广州森纳士仪器有限公司 一种封闭式玻璃烧结装置及闭式玻璃烧结系统
CN205980781U (zh) * 2016-08-22 2017-02-22 江阴市美特机械有限公司 一种粉末冶金环保烧结炉
CN107588664A (zh) * 2017-07-18 2018-01-16 广州博塑科学仪器有限公司 一种电缆烧结炉

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1804108A (zh) * 2006-01-18 2006-07-19 北京工业大学 镧钙锰氧薄膜的制备方法
CN202757438U (zh) * 2012-08-13 2013-02-27 合肥荣业新材料设备有限公司 双管可移动低温真空气氛管式炉
CN203256118U (zh) * 2013-05-09 2013-10-30 广州森纳士仪器有限公司 一种封闭式玻璃烧结装置及闭式玻璃烧结系统
CN205980781U (zh) * 2016-08-22 2017-02-22 江阴市美特机械有限公司 一种粉末冶金环保烧结炉
CN107588664A (zh) * 2017-07-18 2018-01-16 广州博塑科学仪器有限公司 一种电缆烧结炉

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109765088A (zh) * 2019-01-23 2019-05-17 李明霞 一种半导体材料制备设备
CN109765088B (zh) * 2019-01-23 2021-05-25 托特半导体(山东)有限公司 一种半导体材料制备设备
CN114264424A (zh) * 2021-11-15 2022-04-01 江苏永鼎股份有限公司 一种预制棒烧结炉密封性测试工装及测试方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108398016B (zh) 2019-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108398016B (zh) 一种多功能镧钙锰氧陶瓷烧结炉
CN106918542B (zh) 热冷冲击下煤体渗透率测试装置及测试方法
CN102426149A (zh) 一种用于土壤水热耦合试验的系统
CN201731727U (zh) 实验型饱水木质文物冷冻干燥机
CN104689734B (zh) 用于高空飞行大气环境温度模拟实验的气体混合装置
CN108871883A (zh) 一种静态箱通量观测装置及采气方法
CN201837599U (zh) 高温鼓风干燥箱
CN212620104U (zh) 一种辊棒式双气氛电加热烧结箱式炉
CN204346806U (zh) 用于高空飞行大气环境温度模拟实验的气体混合装置
CN206040871U (zh) 一种锂离子电池烘烤注液装置
CN109269562A (zh) 一种铀浓缩厂供料用加热蒸发装置
CN206919562U (zh) 一种全循环式热风烘干箱
CN213924470U (zh) 一种可调节温度和炉压的节能玻璃窑炉
CN109374492A (zh) 隔膜透气度测试系统及测试方法
CN206192105U (zh) 一种用于光伏太阳能电池硅片的烧结炉
CN2690373Y (zh) 真空高温连续式微晶石墨提纯生产设备
CN208475959U (zh) 一种实现四区域控温的真空烧结炉
CN202101855U (zh) 燃气轮机试验台
CN208872094U (zh) 一种管式热处理装置
CN205079584U (zh) 一种低温喷雾干燥设备
CN114754584A (zh) 一种超高温真空烧结炉的气氛控制装置
CN207067094U (zh) 一种便携式混合云室
CN209097037U (zh) 加热笼和卫星太空环境模拟设备
CN207287832U (zh) 用于玻璃防霉液喷液装置的分层加热运行机构
CN207611300U (zh) 一种基于多因素耦合的数控环境模拟箱

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant