CN108363361B - 半导体机台运作流程动态显示系统、半导体机台运作流程动态显示方法及数字信息存储媒体 - Google Patents
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Abstract
本揭露实施例提供一种系统、方法及数字信息存储媒体，所述方法用以动态显示机台运作流程。所述方法包含：检索日志，所述日志记录机台的运作事项；解析所述机台的运作事项；将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中；检索所述机台的图形文件，所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置；和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。
Description
技术领域
本揭露实施例涉及半导体机台运作流程，且确切地说，涉及半导体机台运作流程动态显示系统、方法及数字信息存储媒体。
背景技术
在半导体产业中，制造半导体元件或半导体芯片通常需通过各种机台予以实现。这些机台在运作时会将运作事件记录于日志中，以便检视工艺中是否有异常发生。然而，不同的机台厂商所提供的日志格式非常不同且彼此并不兼容。此外，即便是同机台厂商，也会因机台的不同而有不同的日志格式。不同的日志格式使得日志的分析变得困难。又，日志因大多仅提供文字信息，用户难以了解与某事件相关的机台行为，例如到底是机台的哪一个或哪些运作单元在哪一段时间的哪一个作业或运作程序中发生延迟。目前虽有日志以甘特图(Gantt chart)来代表机台行为，但这种方式无法呈现机台的运作单元间彼此的互动关系。
发明内容
在一些实施例中，本揭露提供一种用以动态显示机台运作流程的方法。所述方法包含：检索日志，所述日志记录机台的运作事项；解析所述机台的运作事项；将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中；检索所述机台的图形文件，所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置；和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。
在一些实施例中，本揭露提供一种用以动态显示机台运作流程的系统。所述方法包含日志解析模块以及地图编辑模块。日志解析模块用以解析日志并以预定格式产生文字文件，所述日志记录机台的运作事项。地图编辑模块对应于所述文字文件，取得与所述日志相关的机台的图形文件，并使所述文字文件与所述图形文件于所述机台的运作期间的运作事件上相对应。
在一些实施例中，本揭露提供一种数字信息存储媒体。所述数字信息存储媒体存储机台运作流程动态显示的程序，并能够令装置执行如下操作：检索日志，所述日志记录机台的运作事项；解析所述机台的运作事项；将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中；检索所述机台的图形文件，所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置；和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。
上文已相当广泛地概述本揭露的技术特征，以使得下文的本揭露详细描述得以获得更好地了解。将下文描述构成本揭露的权利要求书标的物的其它技术特征。本揭露所属技术领域中具有通常知识者应了解，可相当容易地利用下文揭露的概念与特定实施例作为修改或设计其它结构或工艺而实现与本揭露相同的目的。本揭露所属技术领域中具有通常知识者还应了解，这类等效构造无法脱离随附权利要求书所界定的本揭露的精神和范围。
附图说明
下列图示并入说明书内容的一部分，以供阐述本揭露的各种实施例，进而清楚解释本揭露的技术原理。
为了使本揭露的叙述更加详尽与完备，可参照下列描述并配合下列图式，其中类似的元件符号代表类似的元件。然以下实施例中所述，仅用以说明本揭露，并非用以限制本揭露的范围。
图1为根据本揭露实施例的机台运作流程动态显示系统的功能框图。
图2为图1的日志解析模块的方法流程图。
图3为根据本揭露实施例的文字文件的示意图。
图4为图1的地图编辑模块的方法流程图。
图5为示范性机台图形文件的示意图。
图6为图1的地图编辑模块的方法示意图。
图7A、7B为图1的动画产生模块的示范性动画的示意图。
图8为根据本揭露实施例的机台运作流程动态显示的方法流程图。
在各个附图中相似的参考符号指示相似的元件。
具体实施方式
本揭露于图式中的一些实施例或一些实例都使用特定的语言文字进行描述。然而，应当可预期且可理解的是，本揭露的范围并不局限于此。本揭露所属技术领域中具有通常知识者可以在本实施例描述中考虑到任何变化和修饰，以及在此文件中做出对原理的任何更进一步应用。参考符号可能在整个本揭露的实施例中重复使用，但即使这些实施例共用相同的参考符号，并不一定是需要将一个实施例的特征应用于另一实施例中。此外，应当理解的是，当本揭露的一元件为“连接到”或“耦合到”另一元件时，此元件可以直接连接到或耦合到其它元件，或者是通过中间的元件连接或耦合。
图1为根据本揭露实施例的机台运作流程动态显示系统10的功能框图。
如图1所示，机台运作流程动态显示系统10(以下简称态显示模块)包含日志解析模块12、地图编辑模块15以及动画产生模块18。日志解析模块12解析日志14并产生文字文件30。地图编辑模块15对应于所述文字文件30，取得与所述日志14相关的机台的图形文件16，并使所述文字文件30与所述图形文件16于运作期间的运作事件上相对应。动画产生模块18基于所述相对应的文字文件30与图形文件16，产生动画文件70，以动态方式通过所述图形文件16呈现在所述运作期间内所述机台的各运作单元在时间序列下的运作事项。
相较于现有技术仅以文字信息的方式呈现日志中的运作事件，本揭露的动态显示系统10提供文字、图形、时间、事件相结合的信息呈现。因此，本揭露的动态显示系统10和方法使得用户易于了解与某事件相关的机台行为，例如容易判断出机台的哪一个或哪些运作单元在哪一段时间的哪一个作业或运作程序中发生延迟。
日志解析模块12、地图编辑模块15以及动画产生模块18将进一步参考下文的图式与实施例予以详述。
图2为图1的日志解析模块12的方法流程图。
如图2所示，同时参考图1，在方法流程图的操作步骤21中，日志解析模块12检索日志14，所述日志14记录机台的运作单元于运作期间的运作事项。所述机台具有多个运作单元，且在所述运作期间内，每一运作单元在某一运作时点都有与其作业或功能相关的运作事项。日志14可包含日志A、日志B或日志C中的一者。日志A、日志B与日志C可为不同机台厂商的日志，具有不同或互不兼容的格式。
在操作步骤23中，日志解析模块12解译所述日志14中与所述机台的运作单元相关的运作事项。在一实施例中，日志解析模块12利用关键字搜索日志14中的相关标的。例如，利用关键字PUX搜索日志14中与运作单元相关的运作事项、时间信息、晶片编号等。
在操作步骤25中，日志解析模块12分析与所述运作单元相关的运作事项的处理时间，例如所述运作单元于运作事项中处理某一晶片的起始时间与结束时间。在一实施例中，日志解析模块12包含分析引擎(未示出)用以决定机台的运作单元于其个别运作事项中所耗时间，并且基于所述所耗时间判断是否有异常，如果有异常就指出或标示出所述异常。
在操作步骤27中，日志解析模块12将所解译和分析的运作事项和处理时间以预定格式记录于文字文件30中。在一实施例中，在日志解析模块12完成日志14(例如日志A)的文字文件30后，按操作步骤21到27进行另一日志14(例如日志B)的解译与分析，并以所述预定格式记录于文字文件30中。因此，在日志解析模块12完成日志A、日志B与日志C的解析后，与原本格式不同或互不兼容的日志A、日志B与日志C相对应的文字文件30具有相同的格式。
图3为根据本揭露实施例的文字文件30的示意图。
如图3所示，示范性文字文件30记载机台的各运作单元于其个别运作事项中处理某一晶片或执行某一作业的起始时间与结束时间。确切地说，处理腔室PU1于T1到T2的期间处理(例如沉积、蚀刻、氧化等工艺)编号X24的晶片；处理腔室PU2于T3到T4期间执行清洁作业；而传送室于T5到T6期间打开。在此实施例中，为求简洁，文字文件30记载的运作单元仅包含处理腔室PU1、处理腔室PU2和传送室，而对应的事件分别为处理、清洁与破真空。文字文件30实际上可记载更多的运作单元，例如所述机台的所有运作单元，且所述运作单元可重复出现于不同时间点或不同处理事件中。此外，文字文件30还可包含其它字段以记载与运作事项相关的项目。举例来说，文字文件30可包含额外的字段以记载耗用时间或标注异常。
图4为图1的地图编辑模块15的方法流程图。
如图4所示，同时参考图1，在方法流程图的操作步骤41中，地图编辑模块15接收来自所述日志解析模块12的文字文件30。
在操作步骤43中，地图编辑模块15对应于文字文件30，检索与所述文字文件30相对应的机台的图形文件50，所述图形文件50与所述机台的所述运作单元的相对布置有关。图5为示范性机台图形文件50的示意图。参阅图5，图形文件50中所示为处理晶片W的相关工艺的机台58。机台58的运作单元包含传送端口(load port)51A、51B、51C，机器手臂R1、R2，传送室(load lock)531、532，以及处理腔室PU1、PU2、PU3、PU4、PU5。这些运作单元的功能已广为人知，在此不另详述。又，机台58仅为实例，其运作单元的数目、处理腔室的功能并不限于图5所示。
返回到图4，在操作步骤45中，地图编辑模块15使所述文字文件30中所述运作单元的处理时间和运作事项与所述图形文件50中所述运作单元的相对布置相对应。也就是说，通过地图编辑模块15，处理中的各晶片W在机台58的运作单元内于时间轴上的处理流程状态便能一一呈现，以使得动画产生模块18以动态方式呈现所述运作单元于所述运作时段中的个别运作事项。
图6为图1的地图编辑模块15的方法示意图。
如图6所示，地图编辑模块15对应于来自日志解析模块12的文字文件30，检索相对应的机台图形文件50，使文字文件30中各运作单元于其个别运作时间的处理运作对应于图形文件50中各运作单元的位置。举例来说，文字文件30以预定格式按时间顺序记载所有运作单元的运作，例如处理腔室PU1在T1到T2期间处理晶片X24，处理腔室PU2在T3到T4期间清洁，而处理腔室PU3则在T3到T4期间闲置。在通过地图编辑模块15将文字文件30与图形文件50相关联后，单一运作单元在连续时间内的运作即可表现于图形文件50中。例如处理腔室PU1在T1到T2期间处理晶片X24，之后于T7到T8期间清洁。
图7A、7B为图1的动画产生模块18的示范性动画的示意图。
动画产生模块18对应于来自地图编辑模块15的文字与图形相关联文件，产生动画文件70。如图7A所示，动画文件70包含第一显示区71，用以显示机台各运作单元的运作，第二显示区72，用以显示各运作单元的运作状态，以及播放区73。第二显示区72显示机台中有B1、B2、B3批次的晶片将受处理。在本实施例中，B1、B2、B3批次各有25片晶片，且所述机台正在处理B1批次，而B2、B3批次则待处理。又，在B1批次的晶片中，第一片晶片(如框726所示)已处理完成，第二至第七片晶片(如框727所示)为处理中，第八至第二十五片晶片(如框728所示)尚未处理。至于处理中的第二至第七片晶片则以圆圈加数字为代表呈现于第一显示区71中。确切地说，如第一显示区71所示，第二片晶片目前在传送室532，第三至第六片晶片目前分别位于处理腔室PU2、PU5、PU1、PU4，而第七片晶片则由机器手臂R2传送中。
第二显示区72还显示可调控播放快慢的播放速率722。此外，第二显示区72以条状图显示主要运作单元的处理时间分析724。条状图以百分比的方式展现运作单元例如处理(process)、清洁(clean)、传送(transfer)、闲置(idle)等的状态。例如在本实施例中，处理腔室PU1的闲置时间可能过长，而于第一显示区71中另加注记(如标注d25)以提醒用户注意并利于用户做机台运作状态分析。
播放区73包含播放键732、播放进程734、时刻显示736和音量控制738。在本实施例中，播放区73显示本机台在10倍速的播放速率722下第3秒22时的处理状态。播放区73还提供一般播放器的快转、回放、暂停、循环播放等功能，在此不另详述。
如图7B所示，播放区73显示本机台在10倍速的播放速率722下第7秒77时的处理状态。其中，B1批次的第一至第十一片晶片除第八片外都已处理完成，第十二至第十八片晶片为处理中，第十九至第二十五片晶片尚未处理。至于处理中的第十二至第十八片，如第一显示区71所示，第十二与第十八片晶片目前在由机器手臂R1传送中，第八与第十三片晶片目前在由机器手臂R2传送中，第十四至第十六片晶片目前分别位于处理腔室PU5、PU2、PU3，而第十七片晶片则在传送室531。
通过动画文件70的播放，使机台的各运作单元在时间序列下的运作事项以动态方式呈现。本揭露的视觉呈现方式提供了用户友好界面，便利用户检视机台运作流程和分析其中的时间延迟。
图8为根据本揭露实施例的机台运作流程动态显示的方法流程图。
如图8所示，在方法流程图的操作步骤802中，检索日志，所述日志记录机台的运作事项。
在操作步骤804中，解析所述机台的运作事项。
在操作步骤806中，将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中，所述预定格式与所述机台的运作单元及其处理时间有关。
在操作步骤808中，检索所述机台的图形文件，所述图形文件与所述机台的所述运作单元的相对布置有关。
在操作步骤810中，使文字文件中所述运作单元的处理时间和运作事项与所述图形文件中所述运作单元的相对布置相对应。
在操作步骤812中，产生动画文件以呈现所述运作单元于运作时段中的个别运作事项。
在操作步骤814中，存储所述动画文件。
本揭露进一步包括数字信息存储媒体，例如(但不限于)光盘，写有上述机台运作流程动态显示的程序，并能够令装置(例如电脑)执行上述如图8所示的步骤802到814。
本揭露进一步包括一种提供机台运作流程动态显示的方法且可供下载的软件，所述软件提供上述机台运作流程动态显示，例如(但不限于)可于网络上下载并执行上述步骤的应用软件。
本揭露的技术内容和技术特点已揭露如上，然而，本揭露所属技术领域中具有通常知识者应了解，在不悖离随附权利要求书所界定的本揭露精神和范围内，本揭露的教示和揭露可作种种的替换和修饰。
符号说明
10 机台运作流程动态显示系统
12 日志解析模块
14 日志
15 地图编辑模块
18 动画产生模块
21 方法步骤
23 方法步骤
25 方法步骤
27 方法步骤
30 文字文件
41 方法步骤
43 方法步骤
45 方法步骤
50 机台图形文件
51A 传送端口
51B 传送端口
51C 传送端口
58 机台
70 动画文件
71 第一显示区
72 第二显示区
73 播放区
531 传送室
532 传送室
722 播放速率
724 处理时间分析
726 晶片框
727 晶片框
728 晶片框
732 播放键
734 播放进程
736 时刻显示
738 音量控制
802 方法步骤
804 方法步骤
806 方法步骤
808 方法步骤
810 方法步骤
812 方法步骤
814 方法步骤
B1 批次晶片
B2 批次晶片
B3 批次晶片
PU1 处理腔室
PU2 处理腔室
PU3 处理腔室
PU4 处理腔室
PU5 处理腔室
R1 机器手臂
R2 机器手臂
W 晶片
Claims (7)
1.一种半导体机台运作流程动态显示方法，用以动态显示所述半导体机台运作流程，所述方法包含：
检索所述半导体机台的多个日志，所述多个日志记录所述半导体机台的多个运作单元的运作事项，且所述多个日志具有互不兼容的格式；
根据所述多个日志解析所述多个运作单元的运作事项；
将解析的所述多个运作单元的运作事项以预定格式存储于单一文字文件中，其中解析所述多个运作单元的运作事项的步骤包含：
通过关键字搜索所述多个日志以解析所述多个日志中与所述多个运作单元相关的运作事项；
依据所述单一文字文件取得所述多个运作单元的多个图形文件；
检索所述多个图形文件，所述多个图形文件包括所述多个运作单元的相对布置，其中所述多个运作单元包括多个处理腔室、多个传送端口、第一机械手臂、第二机械手臂以及晶片传送室；
使所述单一文字文件中所述运作事项与所述多个图形文件中所述运作单元相对应；以及
产生动画文件以呈现所述运作单元于运作时段中的个别运作事项，其中所述动画文件呈现所述多个处理腔室环绕所述第一机械手臂设置，所述晶片传送室设置于所述第一机械手臂和所述第二机械手臂之间，所述多个传送端口连接至所述第二机械手臂，所述动画文件还呈现所述多个处理腔室对晶片进行处理、清洁、传送或闲置的时间分析。
2.根据权利要求1所述的方法，其中解析所述多个运作单元的运作事项的步骤还包含：
分析与所述运作单元相关的运作事项的处理时间，包含：
决定所述运作单元于每一运作事项中所耗时间，并且基于所述所耗时间判断所述运作单元是否有异常，当有异常时指出所述运作单元。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述相对应的步骤包含：
使所述单一文字文件中所述运作单元的处理时间和运作事项与所述多个图形文件中所述运作单元的相对布置相对应。
4.一种半导体机台运作流程动态显示系统，用以动态显示所述半导体机台运作流程，所述系统包含：
日志解析模块，用以解析所述半导体机台的多个日志并以预定格式产生单一文字文件，所述多个日志记录所述半导体机台的多个运作单元的运作事项，且所述多个日志具有互不兼容的格式，其中所述日志解析模块包含：
分析引擎，用以决定所述多个运作单元于每一运作事项中所耗时间，并且基于所述所耗时间判断所述运作单元是否有异常，其中所述多个运作单元包括多个处理腔室、多个传送端口、第一机械手臂、第二机械手臂以及晶片传送室；
地图编辑模块，对应于所述单一文字文件，取得与所述多个日志相关的运作单元的多个图形文件，并使所述单一文字文件与所述多个图形文件于所述多个运作单元的运作期间的运作事件上相对应；以及
动画产生模块，基于相对应的所述单一文字文件与所述多个图形文件，产生动画文件，以动态方式通过所述多个图形文件呈现在所述运作期间所述多个机台的各运作单元在时间序列下的运作事项；
其中所述动画文件呈现所述多个处理腔室环绕所述第一机械手臂设置，所述晶片传送室设置于所述第一机械手臂和所述第二机械手臂之间，所述多个传送端口连接至所述第二机械手臂，所述动画文件还呈现所述多个处理腔室对晶片进行处理、清洁、传送或闲置的时间分析。
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述动画文件提供快转、回放、暂停、循环播放、播放速率控制中的至少一个功能。
6.根据权利要求4所述的系统，其中当所述分析引擎基于所述所耗时间判断所述运作单元有异常时，所述动画文件显示所述多个机台的至少一运作单元的处理时间异常。
7.一种数字信息存储媒体，其存储多个半导体工艺机台运作流程动态显示的程序，并能够令装置执行如下操作：
检索所述半导体工艺机台的多个日志，所述多个日志记录所述半导体工艺机台的多个运作单元处理半导体晶片时的运作事项，且所述多个日志具有互不兼容的格式，其中所述多个运作单元包括多个处理腔室、多个传送端口、第一机械手臂、第二机械手臂以及晶片传送室；
解析所述多个运作单元的所述运作事项；
将解析的所述运作事项以预定格式存储于单一文字文件中；
依据所述单一文字文件取得所述多个运作单元的多个图形文件；
检索所述多个运作单元的所述多个图形文件，所述多个图形文件包括所述多个运作单元的相对布置；和
使所述单一文字文件中所述运作事项与所述多个图形文件中所述运作单元相对应以产生动画文件，所述动画文件包括：
显示区，用于显示需处理的晶片批次、显示已处理晶片、处理中晶片以及待处理晶片的编号，并且，在所述多个图形文件上显示所述处理中晶片的位置，并且显示所述多个处理腔室环绕所述第一机械手臂设置，所述晶片传送室设置于所述第一机械手臂和所述第二机械手臂之间，所述多个传送端口连接至所述第二机械手臂，并且显示所述多个处理腔室对晶片进行处理、清洁、传送或闲置的时间分析。
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- 2017-01-26 CN CN201710057554.9A patent/CN108363361B/zh active Active
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