TW201827967A

TW201827967A - 半導體機台運作流程動態顯示系統及方法

Info

Publication number: TW201827967A
Application number: TW106103363A
Authority: TW
Inventors: 楊凱珽; 柯力仁; 沈香吟
Original assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司
Priority date: 2017-01-26
Filing date: 2017-01-26
Publication date: 2018-08-01
Also published as: TWI679508B

Abstract

本揭露提供一種方法，用以動態顯示機台運作流程。該方法包括：擷取一日誌，該日誌記錄一機台之運作事項；解析該機台之運作事項；將解析之機台運作事項以一預定格式儲存於一文字檔案中；擷取該機台之一圖形檔案，其包含該機台之運作單元之相對配置；以及使該文字檔案中該等運作事項與該圖形檔案中該等運作單元相對應。

Description

半導體機台運作流程動態顯示系統及方法

本揭露有關於半導體機台運作流程，而詳言之係有關於半導體機台運作流程動態顯示系統及方法。

在半導體產業中，製造半導體元件或半導體晶片通常需透過各種機台予以實現。這些機台在運作時會將運作事件記錄於日誌中，以俾檢視是否製程中有異常發生。然而，不同之機台廠商所提供之日誌其格式大異其趣且彼此並不相容。此外，即便是同一機台廠商，也會因機台之不同而有不同之日誌格式。不同的日誌格式使得日誌之分析變得困難。又，日誌因大多僅提供文字資訊，使用者難以瞭解與某事件相關之機台行為，例如到底是機台的哪一個或哪些運作單元在哪一段時間的哪一個作業或運作程序中發生延遲。目前雖有日誌以甘特圖(Gantt chart)來代表機台行為，但此種方式無法呈現機台之運作單元間彼此之互動關係。

在一些實施例當中，本揭露提供一種用以動態顯示機台運作流程之方法。該方法包括：擷取一日誌，該日誌記錄一機台之運作事項；解析該機台之運作事項；將解析之機台運作事項以一預定格式儲存於一文字檔案中；擷取該機台之一圖形檔案，其包含該機台之運作單元之相對配置；以及使該文字檔案中該等運作事項與該圖形檔案中該等運作單元相對應。在一些實施例之中，本揭露提供一種用以動態顯示機台運作流程之系統。該方法包括一日誌解析模組以及一地圖編輯模組。日誌解析模組用以解析一日誌並以一預定格式產生一文字檔案，該日誌記錄一機台之運作事項。地圖編輯模組因應於該文字檔案，取得與該日誌相關之機台之一圖形檔案，並使該文字檔案與該圖形檔案於該機台之一運作期間之運作事件上相對應。在一些實施例當中，本揭露提供一種數位資訊儲存媒介。該數位資訊儲存媒介儲存一機台運作流程動態顯示之程式，並能夠令一裝置執行如下操作: 擷取一日誌，該日誌記錄一機台之運作事項；解析該機台之運作事項；將解析之機台運作事項以一預定格式儲存於一文字檔案中；擷取該機台之一圖形檔案，其包含該機台之運作單元之相對配置；以及使該文字檔案中該等運作事項與該圖形檔案中該等運作單元相對應。上文已相當廣泛地概述本揭露之技術特徵，俾使下文之本揭露詳細描述得以獲得較佳瞭解。構成本揭露之申請專利範圍標的之其他技術特徵將描述於下文。本揭露所屬技術領域中具有通常知識者應瞭解，可相當容易地利用下文揭示之概念與特定實施例作為修改或設計其他結構或製程而實現與本揭露相同之目的。本揭露所屬技術領域中具有通常知識者亦應瞭解，這類等效建構無法脫離後附之申請專利範圍所界定之本揭露的精神和範圍。

本揭露於圖式中之一些實施例或一些範例皆使用特定的語言文字進行描述。然而，應當可預期且可理解的是本揭露的範圍並不局限於此。本揭露所涉及所屬技術領域中具有通常知識者，可以在本實施例描述中思慮到的任何變化及修飾，以及在此文件當中做出任何更進一步原理的應用。參考符號可能在整個本揭露的實施例中重複使用，但即使這些實施例共用相同的參考符號，並不一定是需要將一個實施例的特徵應用於另一實施例中。且應當理解的是，當本揭露之一元件係為“連接到”或“耦接到”另一元件時，此元件可以直接連接到或耦接到其他元件，或者是透過中間的元件連接或耦接。圖1為依據本揭露實施例之機台運作流程動態顯示系統10之功能方塊圖。如圖1所示，機台運作流程動態顯示系統10(以下簡稱態顯示模組)包括一日誌解析模組12、一地圖編輯模組15以及一動畫產生模組18。日誌解析模組12解析一日誌14並產生一文字檔案30。地圖編輯模組15因應於該文字檔案30，取得與該日誌14相關之機台的圖形檔案16，並使該文字檔案30與該圖形檔案16於一運作期間之運作事件上相對應。動畫產生模組18基於該相對應之文字檔案30與圖形檔案16，產生一動畫檔案70，以動態方式透過該圖形檔案16呈現在該運作期間內該機台之各運作單元在時間序列下之運作事項。相較於先前技術僅以文字資訊之方式呈現日誌中之運作事件，本揭露之動態顯示系統10提供文字、圖形、時間、事件相結合之資訊呈現。因此，本揭露之動態顯示系統10及方法使得使用者易於瞭解與某事件相關之機台行為，例如容易判斷出機台的哪一個或哪些運作單元在哪一段時間的哪一個作業或運作程序中發生延遲。日誌解析模組12、地圖編輯模組15以及動畫產生模組18將進一步參考下文之圖式與實施例予以詳述。圖2為圖1之日誌解析模組12之方法流程圖。如圖2所示，亦請參考圖1，在方法流程圖之操作步驟21中，日誌解析模組12擷取一日誌14，該日誌14記錄一機台之運作單元於一運作期間之運作事項。該機台具有多個運作單元，且在該運作期間內，每一運作單元在某一運作時點皆有與其作業或功能相關之運作事項。日誌14可包括日誌A、日誌B或日誌C其中之一。日誌A、日誌B與日誌C則可為不同機台廠商之日誌，具有不同或互不相容之格式。在操作步驟23中，日誌解析模組12解譯該日誌14中與該機台之一運作單元相關之運作事項。在一實施例中，日誌解析模組12利用關鍵字搜尋日誌14中之相關標的。例如，利用關鍵字PUX搜尋日誌14中與運作單元相關之運作事項、時間資訊、晶圓編號等。在操作步驟25中，日誌解析模組12分析與該運作單元相關之運作事項之處理時間，例如該運作單元於運作事項中處理某一晶圓之起始時間與結束時間。在一實施例中，日誌解析模組12包括一分析引擎(未予圖示)用以決定機台之運作單元於其個別運作事項中所耗時間，並且基於該所耗時間判斷是否有異常，若有異常則指出或標示出該項異常。在操作步驟27中，日誌解析模組12將所解譯與分析之運作事項與處理時間以一預定格式記錄於文字檔案30中。在一實施例中，當日誌解析模組12完成日誌14(例如日誌A)之文字檔案30後，按操作步驟21~27進行另一日誌14(例如日誌B)之解譯與分析，並以該預定格式記錄於一文字檔案30中。因此，當日誌解析模組12完成日誌A、日誌B與日誌C之解析後，原本格式不同或互不相容之日誌A、日誌B與日誌C其相對應之文字檔案30具有相同之格式。圖3為依據本揭露實施例之文字檔案30之示意圖。如圖3所示，範例性之文字檔案30記載機台之各運作單元於其個別運作事項中處理某一晶圓或執行某一作業之起始時間與結束時間。詳言之，處理腔室PU1於T1~T2之期間處理(例如沈積、蝕刻、氧化等製程)編號X24之晶圓；處理腔室PU2於T3~T4之期間執行潔淨之作業；而傳送室於T5~T6之期間被打開。在此實施例中，為求簡潔，文字檔案30記載之運作單元僅包括處理腔室PU1、處理腔室PU2與傳送室，而對應之事件分別為處理、潔淨與破真空。文字檔案30實際上可記載更多之運作單元，例如該機台之所有運作單元，且該等運作單元可重複出現於不同時間點或不同處理事件中。此外，文字檔案30亦可包括其他欄位以記載與運作事項相關之項目。舉例而言，文字檔案30可包括額外之欄位以記載耗用時間或標注異常。圖4為圖1之地圖編輯模組15之方法流程圖。如圖4所示，亦請參考圖1，在方法流程圖之操作步驟41中，地圖編輯模組15接收來自該日誌解析模組12之一文字檔案30。在操作步驟43中，地圖編輯模組15因應於文字檔案30，擷取與該文字檔案30相對應之機台之一圖形檔案50，該圖形檔案50與該機台之該等運作單元之相對配置有關。圖5為範例性之機台圖形檔案50之示意圖。請參閱圖5，圖形檔案50中所示為處理晶圓W之相關製程的機台58。機台58之運作單元包括傳送埠(load port)51A、51B、51C，機器手臂R1、R2，傳送室(load lock)531、532，以及處理腔室PU1、PU2、PU3、PU4、PU5。這些運作單元的功能以廣為人知，在此不另詳述。又，機台58僅為範例，其運作單元之數目、處理腔室之功能並不限於圖5所示。請回到圖4，在操作步驟45中，地圖編輯模組15使該文字檔案30中該等運作單元之處理時間及運作事項與該圖形檔案50中該等運作單元之相對配置相對應。亦即，透過地圖編輯模組15，處理中之各晶圓W在機台58之運作單元內於時間軸上之處理流程狀態便能一一呈現，俾使動畫產生模組18以一動態方式呈現該等運作單元於該運作時段中之個別運作事項。圖6為圖1之地圖編輯模組15之方法示意圖。如圖6所示，地圖編輯模組15因應於來自日誌解析模組12之文字檔案30，擷取相對應之機台圖形檔案50，使文字檔案30中各運作單元於其個別運作時間之處理運作對應至圖形檔案50中各運作單元之位置。舉例而言，文字檔案30以預定格式按時間順序記載所有運作單元之運作，例如處理腔室PU1在T1~T2期間處理晶圓X24，處理腔室PU2在T3~T4期間潔淨，而處理腔室PU3則在T3~T4期間閒置。經由地圖編輯模組15將文字檔案30與圖形檔案50相關連後，單一運作單元在連續時間內之運作即可表現於由圖形檔案50中。例如處理腔室PU1在T1~T2期間處理晶圓X24，之後於T7~T8期間潔淨。圖7A、7B為圖1之動畫產生模組18之範例性動畫之示意圖。動畫產生模組18因應於來自地圖編輯模組15之文字與圖形相關聯檔案，產生一動畫檔案70。如圖7A所示，動畫檔案70包括一第一顯示區71，用以顯示機台各運作單元之運作，一第二顯示區72，用以顯示各運作單元之運作狀態，以及一播放區73。第二顯示區72顯示機台中有B1、B2、B3批次之晶圓將受處理。在本實施例中，B1、B2、B3批次各有25片晶圓，且該機台正在處理B1批次，而B2、B3批次則待處理。又，在B1批次之晶圓中，第一片晶圓(如區塊726所示)已處理完成，第二至第七片晶圓(如區塊727所示)為處理中，第八至第二十五片晶圓(如區塊728所示)尚未處理。至於處理中之第二至第七片晶圓則以圓圈加數字為代表呈現於第一顯示區71中。詳言之，如第一顯示區71所示，第二片晶圓目前在傳送室532，第三至第六片晶圓目前分別位於處理腔室PU2、PU5、PU1、PU4，而第七片晶圓則由機器手臂R2傳送中。第二顯示區72亦顯示可調控播放快慢之播放速率722。此外，第二顯示區72以條狀圖顯示主要運作單元之處理時間分析724。條狀圖以百分比之方式展現運作單元諸如處理(process)、潔淨(clean)、傳送(transfer)、閒置(idle)等之狀態。例如在本實施例中，處理腔室PU1之閒置時間可能過長，而於第一顯示區71中另加註記(如標注d25)以提醒使用者注意並利於使用者做機台運作狀態分析。播放區73包括播放鍵732、播放進程734、時刻顯示736與音量控制738。在本實施例中，播放區73顯示本機台在10倍速之播放速率722下第3秒22時之處理狀態。播放區73亦提供一般播放器之快轉、回放、暫停、循環播放等功能，在此不另詳述。如圖7B所示，播放區73顯示本機台在10倍速之播放速率722下第7秒77時之處理狀態。其中，B1批次之第一至第十一片晶圓除第八片外皆已處理完成，第十二至第十八片晶圓為處理中，第十九至第二十五片晶圓尚未處理。至於處理中之第十二至第十八片，如第一顯示區71所示，第十二與第十八片晶圓目前在由機器手臂R1傳送中，第八與第十三片晶圓目前在由機器手臂R2傳送中，第十四至第十六片晶圓目前分別位於處理腔室PU5、PU2、PU3，而第十七片晶圓則在傳送室531。藉由動畫檔案70之播放，使機台之各運作單元在時間序列下之運作事項以動態方式呈現。本揭露之視覺呈現方式提供了使用者友善之介面，便利使用者檢視機台運作流程及分析其中之時間延遲。圖8為依據本揭露實施例之機台運作流程動態顯示之方法流程圖。如圖8所示，在方法流程圖之操作步驟802中，擷取一日誌，該日誌記錄一機台之運作事項。在操作步驟804中，解析該機台之運作事項。在操作步驟806中，將解析之機台運作事項以一預定格式儲存於一文字檔案中，該預定格式與該機台之運作單元及其處理時間有關。在操作步驟808中，擷取該機台之一圖形檔案，該圖形檔案與該機台之該等運作單元之相對配置有關。在操作步驟810中，使文字檔案中該等運作單元之處理時間及運作事項與該圖形檔案中該等運作單元之相對配置相對應。在操作步驟812中，產生一動畫檔案以呈現該等運作單元於一運作時段中之個別運作事項。在操作步驟814中，儲存該動畫檔案。本揭露更包含一種數位資訊儲存媒介，例如，但不限於一光碟片，寫有上述機台運作流程動態顯示之程式，並能夠令一裝置例如電腦執行上述如圖8所示之步驟802~814。本揭露更包含一種提供機台運作流程動態顯示之方法且可供下載的軟體，該軟體提供上述機台運作流程動態顯示，例如，但不限於可於網路上下載並執行上述步驟之應用軟體。本揭露之技術內容及技術特點已揭示如上，然而本揭露所屬技術領域中具有通常知識者應瞭解，在不悖離後附申請專利範圍所界定之本揭露精神和範圍內，本揭露之教示及揭示可作種種之替換及修飾。

10‧‧‧機台運作流程動態顯示系統
12‧‧‧日誌解析模組
14‧‧‧日誌
15‧‧‧地圖編輯模組
18‧‧‧動畫產生模組
21‧‧‧方法步驟
23‧‧‧方法步驟
25‧‧‧方法步驟
27‧‧‧方法步驟
30‧‧‧文字檔案
41‧‧‧方法步驟
43‧‧‧方法步驟
45‧‧‧方法步驟
50‧‧‧機台圖形檔案
51A‧‧‧傳送埠
51B‧‧‧傳送埠
51C‧‧‧傳送埠
58‧‧‧機台
70‧‧‧動畫檔案
71‧‧‧第一顯示區
72‧‧‧第二顯示區
73‧‧‧播放區
531‧‧‧傳送室
532‧‧‧傳送室
722‧‧‧播放速率
724‧‧‧處理時間分析
726‧‧‧晶圓區塊
727‧‧‧晶圓區塊
728‧‧‧晶圓區塊
732‧‧‧播放鍵
734‧‧‧播放進程
736‧‧‧時刻顯示
738‧‧‧音量控制
802‧‧‧方法步驟
804‧‧‧方法步驟
806‧‧‧方法步驟
808‧‧‧方法步驟
810‧‧‧方法步驟
812‧‧‧方法步驟
814‧‧‧方法步驟
B1‧‧‧批次晶圓
B2‧‧‧批次晶圓
B3‧‧‧批次晶圓
PU1‧‧‧處理腔室
PU2‧‧‧處理腔室
PU3‧‧‧處理腔室
PU4‧‧‧處理腔室
PU5‧‧‧處理腔室
R1‧‧‧機器手臂
R2‧‧‧機器手臂
W‧‧‧晶圓

下列圖示係併入說明書內容之一部分，以供闡述本揭露之各種實施例，進而清楚解釋本揭露之技術原理。為了使本揭露之敘述更加詳盡與完備，可參照下列描述並配合下列圖式，其中類似的元件符號代表類似的元件。然以下實施例中所述，僅用以說明本揭露，並非用以限制本揭露的範圍。圖1為依據本揭露實施例之機台運作流程動態顯示系統之功能方塊圖。圖2為圖1之日誌解析模組之方法流程圖。圖3為依據本揭露實施例之文字檔案之示意圖。圖4為圖1之地圖編輯模組之方法流程圖。圖5為範例性之機台圖形檔案之示意圖。圖6為圖1之地圖編輯模組之方法示意圖。圖7A、7B為圖1之動畫產生模組之範例性動畫之示意圖。圖8為依據本揭露實施例之機台運作流程動態顯示之方法流程圖。在各個附圖中相似的參考符號等同相似的元件。

Claims

一種方法，用以動態顯示機台運作流程，該方法包括：擷取一日誌，該日誌記錄一機台之運作事項；解析該機台之運作事項；將解析之機台運作事項以一預定格式儲存於一文字檔案中；擷取該機台之一圖形檔案，其包含該機台之運作單元之相對配置；以及使該文字檔案中該等運作事項與該圖形檔案中該等運作單元相對應。
根據請求項1所述之方法，其中解析該機台之運作事項之步驟包括：解譯該日誌中與該機台之一運作單元相關之運作事項；以及分析與該運作單元相關之運作事項之處理時間。
根據請求項2所述之方法，其中該相對應之步驟包括：使該文字檔案中該等運作單元之處理時間及運作事項與該圖形檔案中該等運作單元之相對配置相對應。
根據請求項1所述之方法，更包括：產生一動畫檔案以呈現該等運作單元於一運作時段中之個別運作事項。
一種系統，用以動態顯示機台運作流程，該系統包括：一日誌解析模組，用以解析一日誌並以一預定格式產生一文字檔案，該日誌記錄一機台之運作事項；以及一地圖編輯模組，因應於該文字檔案，取得與該日誌相關之機台之一圖形檔案，並使該文字檔案與該圖形檔案於該機台之一運作期間之運作事件上相對應。
根據請求項5所述之系統，更包括：一動畫產生模組，基於該相對應之文字檔案與圖形檔案，產生一動畫檔案，以動態方式透過該圖形檔案呈現在該運作期間內該機台之各運作單元在時間序列下之運作事項。
根據請求項6所述之系統，其中該動畫檔案提供快轉、回放、暫停、循環播放、播放速率控制之至少其中之一功能。
根據請求項6所述之系統，其中該動畫檔案顯示該機台之至少一運作單元之處理時間分析。
根據請求項11所述之系統，其中該動畫檔案顯示該機台之至少一運作單元之處理時間異常。
一種數位資訊儲存媒介，其儲存一機台運作流程動態顯示之程式，並能夠令一裝置執行如下操作: 擷取一日誌，該日誌記錄一機台之運作事項；解析該機台之運作事項；將解析之機台運作事項以一預定格式儲存於一文字檔案中；擷取該機台之一圖形檔案，其包含該機台之運作單元之相對配置；以及使該文字檔案中該等運作事項與該圖形檔案中該等運作單元相對應。