CN108325905A - 一种半导体生产用石英初步清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种清洗设备，尤其涉及一种半导体生产用石英初步清洗设备。本发明要解决的技术问题是提供一种节约水资源、可以全面快速清洗的半导体生产用石英初步清洗设备。本发明提供了这样一种半导体生产用石英初步清洗设备，包括有安装架、轮子、第一弹簧、框体、大网板、挡板、出水管、第一阀门、水箱、第一进水管、第一软管、喷头等；安装架底部安装有轮子，安装架内底部左侧和右侧均设有第一弹簧，第一弹簧顶端连接有框体，框体左右两壁内侧中部之间连接有大网板。本发明达到了节约水资源、可以全面快速清洗的效果，本发明通过喷头持续左右移动进行洒水与框体不断的上下抖动相配合，可以更加全面更加快速的对石英进行清洗。

Description

一种半导体生产用石英初步清洗设备

技术领域

本发明涉及一种清洗设备，尤其涉及一种半导体生产用石英初步清洗设备。

背景技术

电子元器件是电子元件和电小型的机器、仪器的组成部分，其本身常由若干零件构成，可以在同类产品中通用；常指电器、无线电、仪表等工业的某些零件，如电容、晶体管、游丝、发条等子器件的总称。常见的有二极管等。半导体是制作电子元器件的一种很重要的材质，而石英是制作半导体的重要材质，在使用石英制作半导体材料时，需要对石英进行清洗，这是一个需要非常认真的工作，因为石英是否干净，直接影响到半导体的质量，但是目前在清洗石英时，因为没有专门的设备来对其进行初步清洗，所以导致后续的清洗非常麻烦，而且浪费水资源也严重。

综上，目前需要研发一种节约水资源、可以全面快速清洗的半导体生产用石英初步清洗设备，来克服现有技术中出浪费水资源、石英后续清洗麻烦不干净的缺点。

发明内容

（1）要解决的技术问题

本发明为了克服现有技术中出浪费水资源、石英后续清洗麻烦不干净的缺点，本发明要解决的技术问题是提供一种节约水资源、可以全面快速清洗的半导体生产用石英初步清洗设备。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种半导体生产用石英初步清洗设备，包括有安装架、轮子、第一弹簧、框体、大网板、挡板、出水管、第一阀门、水箱、第一进水管、第一软管、喷头、电机、第一转轴、第一锥齿轮、轴承座、第二转轴、凸轮和第二锥齿轮，安装架底部安装有轮子，安装架内底部左侧和右侧均设有第一弹簧，第一弹簧顶端连接有框体，框体左右两壁内侧中部之间连接有大网板，大网板前后两侧连接在框体前后两壁内侧，框体下壁左侧设有出水管，出水管上设有第一阀门，框体左右两壁外侧下部设有挡板，安装架上壁中心开有通孔，安装架上壁外侧中部设有水箱，水箱左壁上部设有第一进水管，水箱下壁外侧中心设有喷头，喷头穿过通孔，喷头与水箱下壁左部之间连接有第一软管，安装架内底部右侧设有电机，电机顶部的输出轴上连接有第一转轴，第一转轴中部设有第一锥齿轮，安装架左壁内侧下部设有轴承座，轴承座内设有第二转轴，第二转轴右端连接有第二锥齿轮，第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合，第二转轴左部和右部均设有凸轮，凸轮分别在挡板下方。

优选地，还包括有第一滑轨、第一滑块、行程开关、第二弹簧、绕线轮和拉线，安装架上壁内侧中部设有第一滑轨，第一滑块在通孔下方，第一滑轨上滑动式连接有第一滑块，第一滑块底部与喷头顶部连接，第一滑块左侧与安装架左壁内侧上部之间连接有第二弹簧，第一滑轨前侧左右对称设有行程开关，行程开关位于第一滑块左右两侧，行程开关通过电路与电机连接，第一转轴上部设有绕线轮，绕线轮上绕有拉线，拉线左端连接在第一滑块右侧下方。

优选地，还包括有连杆、第二滑轨和第二滑块，安装架左壁内侧中部设有连杆，框体左壁外侧中部嵌有第二滑轨，第二滑轨上滑动式连接有第二滑块，第二滑块左侧与连杆右端连接。

优选地，还包括有安装板、水泵、第二软管、分隔板、第二进水管、第三软管和第二阀门，安装架左壁外侧下部设有安装板，安装板顶部安装有水泵，水泵上连接有第二软管，第二软管底端连接在出水管底端，第二软管顶端连接在水箱左壁上方，水箱右壁上部设有第二进水管，水箱上壁内侧中部与水箱下壁内侧中部之间连接有分隔板，分隔板前后两侧连接在水箱前后两壁内侧中部，水箱下壁右侧与喷头之间连接有第三软管，第三软管与第一软管上均设有第二阀门。

优选地，还包括有小网板，框体下壁内侧左方设有小网板，小网板在出水管上方。

工作原理：在需要使用该设备清洗石英时，用户将需要清洗的石英放入框体内，使得石英放置在大网板上，接着用户通过第一进水管向水箱内注入一定量的清水，水箱内的清水通过第一软管流向喷头，喷头将清水喷洒在大网板顶部的石英上，此时用户控制电机转动，带动第一转轴转动，进而带动第一锥齿轮转动，从而带动第二锥齿轮转动，使得第二转轴转动，带动凸轮转动，凸轮转动到与挡板底部接触时，推动挡板向上移动，带动框体向上移动，进而带动大网板及其上的石英向上移动，同时框体向上移动使得第一弹簧被拉伸，当凸轮转动使得凸轮的最远端离开挡板底部时，第一弹簧收缩，带动框体向下移动，进而带动大网板及其上的石英向下移动，如此反复，使得大网板及其上的石英反复的上下抖动，可以让喷头喷出的清水更好的对石英进行清洗。当大网板上的石英清洗完毕后，用户控制电机停止工作，然后将大网板上清洗完毕的石英取走，接着用户将第一阀门打开，框体内的清水通过出水管流出，当框体内的水全部流出后，用户将第一阀门关上。

因为还包括有第一滑轨、第一滑块、行程开关、第二弹簧、绕线轮和拉线，安装架上壁内侧中部设有第一滑轨，第一滑块在通孔下方，第一滑轨上滑动式连接有第一滑块，第一滑块底部与喷头顶部连接，第一滑块左侧与安装架左壁内侧上部之间连接有第二弹簧，第一滑轨前侧左右对称设有行程开关，行程开关位于第一滑块左右两侧，行程开关通过电路与电机连接，第一转轴上部设有绕线轮，绕线轮上绕有拉线，拉线左端连接在第一滑块右侧下方。所以在控制电机转动对石英进行清洗时，用户先控制电机逆时针转动，带动第一转轴逆时针转动，进而带动绕线轮逆时针转动将拉线绕起，通过拉线带动第一滑块及其上的喷头向右移动，使得第二弹簧被拉伸，也使得喷头向右进行洒水，当第一滑块向右移动到与右侧的行程开关接触时，行程开关控制电机顺时针转动，带动第一转轴顺时针转动，进而带动绕线轮顺时针转动将拉线放出，第二弹簧收缩带动第一滑块及其上的喷头向左移动，当第一滑块向左移动至与左侧的行程开关接触时，行程开关控制电机逆时针转动，如此反复，即可让喷头持续左右移动进行洒水，可以更加全面的对石英进行清洗。行程开关使得该设备的使用更加自动化，更好的帮助用户使用该设备。

因为还包括有连杆、第二滑轨和第二滑块，安装架左壁内侧中部设有连杆，框体左壁外侧中部嵌有第二滑轨，第二滑轨上滑动式连接有第二滑块，第二滑块左侧与连杆右端连接。所以第二滑轨和第二滑块可以让框体上下抖动时更加平稳，防止框体在上下抖动时框体斜掉。

因为还包括有安装板、水泵、第二软管、分隔板、第二进水管、第三软管和第二阀门，安装架左壁外侧下部设有安装板，安装板顶部安装有水泵，水泵上连接有第二软管，第二软管底端连接在出水管底端，第二软管顶端连接在水箱左壁上方，水箱右壁上部设有第二进水管，水箱上壁内侧中部与水箱下壁内侧中部之间连接有分隔板，分隔板前后两侧连接在水箱前后两壁内侧中部，水箱下壁右侧与喷头之间连接有第三软管，第三软管与第一软管上均设有第二阀门。所以在对石英进行清洗时，用户通过第一进水管和第二进水管向水箱内注入清水，用户先打开左侧的第二阀门，水箱内左侧的清水从第一软管流向喷头，对石英进行清洗，清洗后的水通过大网板进入框体下部，当框体内的水达到一定量时，用户将第一阀门打开并控制水泵工作，水泵通过第二软管将水抽回水箱左侧，如此就可以实现水资源的重复利用，当石英块清洗完毕时，用户先控制水泵停止工作，接着将第二软管与出水管分离，然后等待水箱左侧的水全部流出后，用户将左侧的第二阀门关上，接着用户打开右侧的第二阀门，水箱内右侧的清水通过第三软管流向喷头，喷头将水喷在大网板上的石英上，再次对石英进行清洗，当水箱内右部的水全部流出后，此时石英刚好清洗完毕，用户将右侧的第二阀门关上，然后用户等待框体内的水从出水管全部流出后，用户将第一阀门关上，接着将清洗完毕的石英取走。如此，利用水箱内左侧的水重复对石英进行清洗，最后通过水箱内右侧的水进行最后一次的冲洗，使得石英的清洗更加干净，同时也节约了用水。

因为还包括有小网板，框体下壁内侧左方设有小网板，小网板在出水管上方。所以小网板可以防止一些杂质进入水泵，保护水泵安全，提高水泵使用寿命。

（3）有益效果

本发明达到了节约水资源、可以全面快速清洗的效果，本发明通过喷头持续左右移动进行洒水与框体不断的上下抖动相配合，可以更加全面更加快速的对石英进行清洗，利用水箱内左侧的水重复对石英进行清洗，最后通过水箱内右侧的水进行最后一次的冲洗，使得石英的清洗更加干净，同时也节约了用水。

附图说明

图1为本发明的第一种主视结构示意图。

图2为本发明的第二种主视结构示意图。

图3为本发明的第三种主视结构示意图。

图4为本发明的第四种主视结构示意图。

图5为本发明的第五种主视结构示意图。

附图中的标记为：1-安装架，2-轮子，3-第一弹簧，4-框体，5-大网板，6-挡板，7-出水管，8-第一阀门，9-水箱，10-第一进水管，11-通孔，12-第一软管，13-喷头，14-电机，15-第一转轴，16-第一锥齿轮，17-轴承座，18-第二转轴，19-凸轮，20-第二锥齿轮，21-第一滑轨，22-第一滑块，23-行程开关，24-第二弹簧，25-绕线轮，26-拉线，27-连杆，28-第二滑轨，29-第二滑块，30-安装板，31-水泵，32-第二软管，33-分隔板，34-第二进水管，35-第三软管，36-第二阀门，37-小网板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。

实施例1

一种半导体生产用石英初步清洗设备，如图1-5所示，包括有安装架1、轮子2、第一弹簧3、框体4、大网板5、挡板6、出水管7、第一阀门8、水箱9、第一进水管10、第一软管12、喷头13、电机14、第一转轴15、第一锥齿轮16、轴承座17、第二转轴18、凸轮19和第二锥齿轮20，安装架1底部安装有轮子2，安装架1内底部左侧和右侧均设有第一弹簧3，第一弹簧3顶端连接有框体4，框体4左右两壁内侧中部之间连接有大网板5，大网板5前后两侧连接在框体4前后两壁内侧，框体4下壁左侧设有出水管7，出水管7上设有第一阀门8，框体4左右两壁外侧下部设有挡板6，安装架1上壁中心开有通孔11，安装架1上壁外侧中部设有水箱9，水箱9左壁上部设有第一进水管10，水箱9下壁外侧中心设有喷头13，喷头13穿过通孔11，喷头13与水箱9下壁左部之间连接有第一软管12，安装架1内底部右侧设有电机14，电机14顶部的输出轴上连接有第一转轴15，第一转轴15中部设有第一锥齿轮16，安装架1左壁内侧下部设有轴承座17，轴承座17内设有第二转轴18，第二转轴18右端连接有第二锥齿轮20，第二锥齿轮20与第一锥齿轮16啮合，第二转轴18左部和右部均设有凸轮19，凸轮19分别在挡板6下方。

实施例2

一种半导体生产用石英初步清洗设备，如图1-5所示，包括有安装架1、轮子2、第一弹簧3、框体4、大网板5、挡板6、出水管7、第一阀门8、水箱9、第一进水管10、第一软管12、喷头13、电机14、第一转轴15、第一锥齿轮16、轴承座17、第二转轴18、凸轮19和第二锥齿轮20，安装架1底部安装有轮子2，安装架1内底部左侧和右侧均设有第一弹簧3，第一弹簧3顶端连接有框体4，框体4左右两壁内侧中部之间连接有大网板5，大网板5前后两侧连接在框体4前后两壁内侧，框体4下壁左侧设有出水管7，出水管7上设有第一阀门8，框体4左右两壁外侧下部设有挡板6，安装架1上壁中心开有通孔11，安装架1上壁外侧中部设有水箱9，水箱9左壁上部设有第一进水管10，水箱9下壁外侧中心设有喷头13，喷头13穿过通孔11，喷头13与水箱9下壁左部之间连接有第一软管12，安装架1内底部右侧设有电机14，电机14顶部的输出轴上连接有第一转轴15，第一转轴15中部设有第一锥齿轮16，安装架1左壁内侧下部设有轴承座17，轴承座17内设有第二转轴18，第二转轴18右端连接有第二锥齿轮20，第二锥齿轮20与第一锥齿轮16啮合，第二转轴18左部和右部均设有凸轮19，凸轮19分别在挡板6下方。

还包括有第一滑轨21、第一滑块22、行程开关23、第二弹簧24、绕线轮25和拉线26，安装架1上壁内侧中部设有第一滑轨21，第一滑块22在通孔11下方，第一滑轨21上滑动式连接有第一滑块22，第一滑块22底部与喷头13顶部连接，第一滑块22左侧与安装架1左壁内侧上部之间连接有第二弹簧24，第一滑轨21前侧左右对称设有行程开关23，行程开关23位于第一滑块22左右两侧，行程开关23通过电路与电机14连接，第一转轴15上部设有绕线轮25，绕线轮25上绕有拉线26，拉线26左端连接在第一滑块22右侧下方。

实施例3

一种半导体生产用石英初步清洗设备，如图1-5所示，包括有安装架1、轮子2、第一弹簧3、框体4、大网板5、挡板6、出水管7、第一阀门8、水箱9、第一进水管10、第一软管12、喷头13、电机14、第一转轴15、第一锥齿轮16、轴承座17、第二转轴18、凸轮19和第二锥齿轮20，安装架1底部安装有轮子2，安装架1内底部左侧和右侧均设有第一弹簧3，第一弹簧3顶端连接有框体4，框体4左右两壁内侧中部之间连接有大网板5，大网板5前后两侧连接在框体4前后两壁内侧，框体4下壁左侧设有出水管7，出水管7上设有第一阀门8，框体4左右两壁外侧下部设有挡板6，安装架1上壁中心开有通孔11，安装架1上壁外侧中部设有水箱9，水箱9左壁上部设有第一进水管10，水箱9下壁外侧中心设有喷头13，喷头13穿过通孔11，喷头13与水箱9下壁左部之间连接有第一软管12，安装架1内底部右侧设有电机14，电机14顶部的输出轴上连接有第一转轴15，第一转轴15中部设有第一锥齿轮16，安装架1左壁内侧下部设有轴承座17，轴承座17内设有第二转轴18，第二转轴18右端连接有第二锥齿轮20，第二锥齿轮20与第一锥齿轮16啮合，第二转轴18左部和右部均设有凸轮19，凸轮19分别在挡板6下方。

还包括有第一滑轨21、第一滑块22、行程开关23、第二弹簧24、绕线轮25和拉线26，安装架1上壁内侧中部设有第一滑轨21，第一滑块22在通孔11下方，第一滑轨21上滑动式连接有第一滑块22，第一滑块22底部与喷头13顶部连接，第一滑块22左侧与安装架1左壁内侧上部之间连接有第二弹簧24，第一滑轨21前侧左右对称设有行程开关23，行程开关23位于第一滑块22左右两侧，行程开关23通过电路与电机14连接，第一转轴15上部设有绕线轮25，绕线轮25上绕有拉线26，拉线26左端连接在第一滑块22右侧下方。

还包括有连杆27、第二滑轨28和第二滑块29，安装架1左壁内侧中部设有连杆27，框体4左壁外侧中部嵌有第二滑轨28，第二滑轨28上滑动式连接有第二滑块29，第二滑块29左侧与连杆27右端连接。

实施例4

一种半导体生产用石英初步清洗设备，如图1-5所示，包括有安装架1、轮子2、第一弹簧3、框体4、大网板5、挡板6、出水管7、第一阀门8、水箱9、第一进水管10、第一软管12、喷头13、电机14、第一转轴15、第一锥齿轮16、轴承座17、第二转轴18、凸轮19和第二锥齿轮20，安装架1底部安装有轮子2，安装架1内底部左侧和右侧均设有第一弹簧3，第一弹簧3顶端连接有框体4，框体4左右两壁内侧中部之间连接有大网板5，大网板5前后两侧连接在框体4前后两壁内侧，框体4下壁左侧设有出水管7，出水管7上设有第一阀门8，框体4左右两壁外侧下部设有挡板6，安装架1上壁中心开有通孔11，安装架1上壁外侧中部设有水箱9，水箱9左壁上部设有第一进水管10，水箱9下壁外侧中心设有喷头13，喷头13穿过通孔11，喷头13与水箱9下壁左部之间连接有第一软管12，安装架1内底部右侧设有电机14，电机14顶部的输出轴上连接有第一转轴15，第一转轴15中部设有第一锥齿轮16，安装架1左壁内侧下部设有轴承座17，轴承座17内设有第二转轴18，第二转轴18右端连接有第二锥齿轮20，第二锥齿轮20与第一锥齿轮16啮合，第二转轴18左部和右部均设有凸轮19，凸轮19分别在挡板6下方。

还包括有第一滑轨21、第一滑块22、行程开关23、第二弹簧24、绕线轮25和拉线26，安装架1上壁内侧中部设有第一滑轨21，第一滑块22在通孔11下方，第一滑轨21上滑动式连接有第一滑块22，第一滑块22底部与喷头13顶部连接，第一滑块22左侧与安装架1左壁内侧上部之间连接有第二弹簧24，第一滑轨21前侧左右对称设有行程开关23，行程开关23位于第一滑块22左右两侧，行程开关23通过电路与电机14连接，第一转轴15上部设有绕线轮25，绕线轮25上绕有拉线26，拉线26左端连接在第一滑块22右侧下方。

还包括有连杆27、第二滑轨28和第二滑块29，安装架1左壁内侧中部设有连杆27，框体4左壁外侧中部嵌有第二滑轨28，第二滑轨28上滑动式连接有第二滑块29，第二滑块29左侧与连杆27右端连接。

还包括有安装板30、水泵31、第二软管32、分隔板33、第二进水管34、第三软管35和第二阀门36，安装架1左壁外侧下部设有安装板30，安装板30顶部安装有水泵31，水泵31上连接有第二软管32，第二软管32底端连接在出水管7底端，第二软管32顶端连接在水箱9左壁上方，水箱9右壁上部设有第二进水管34，水箱9上壁内侧中部与水箱9下壁内侧中部之间连接有分隔板33，分隔板33前后两侧连接在水箱9前后两壁内侧中部，水箱9下壁右侧与喷头13之间连接有第三软管35，第三软管35与第一软管12上均设有第二阀门36。

还包括有小网板37，框体4下壁内侧左方设有小网板37，小网板37在出水管7上方。

工作原理：在需要使用该设备清洗石英时，用户将需要清洗的石英放入框体4内，使得石英放置在大网板5上，接着用户通过第一进水管10向水箱9内注入一定量的清水，水箱9内的清水通过第一软管12流向喷头13，喷头13将清水喷洒在大网板5顶部的石英上，此时用户控制电机14转动，带动第一转轴15转动，进而带动第一锥齿轮16转动，从而带动第二锥齿轮20转动，使得第二转轴18转动，带动凸轮19转动，凸轮19转动到与挡板6底部接触时，推动挡板6向上移动，带动框体4向上移动，进而带动大网板5及其上的石英向上移动，同时框体4向上移动使得第一弹簧3被拉伸，当凸轮19转动使得凸轮19的最远端离开挡板6底部时，第一弹簧3收缩，带动框体4向下移动，进而带动大网板5及其上的石英向下移动，如此反复，使得大网板5及其上的石英反复的上下抖动，可以让喷头13喷出的清水更好的对石英进行清洗。当大网板5上的石英清洗完毕后，用户控制电机14停止工作，然后将大网板5上清洗完毕的石英取走，接着用户将第一阀门8打开，框体4内的清水通过出水管7流出，当框体4内的水全部流出后，用户将第一阀门8关上。

因为还包括有第一滑轨21、第一滑块22、行程开关23、第二弹簧24、绕线轮25和拉线26，安装架1上壁内侧中部设有第一滑轨21，第一滑块22在通孔11下方，第一滑轨21上滑动式连接有第一滑块22，第一滑块22底部与喷头13顶部连接，第一滑块22左侧与安装架1左壁内侧上部之间连接有第二弹簧24，第一滑轨21前侧左右对称设有行程开关23，行程开关23位于第一滑块22左右两侧，行程开关23通过电路与电机14连接，第一转轴15上部设有绕线轮25，绕线轮25上绕有拉线26，拉线26左端连接在第一滑块22右侧下方。所以在控制电机14转动对石英进行清洗时，用户先控制电机14逆时针转动，带动第一转轴15逆时针转动，进而带动绕线轮25逆时针转动将拉线26绕起，通过拉线26带动第一滑块22及其上的喷头13向右移动，使得第二弹簧24被拉伸，也使得喷头13向右进行洒水，当第一滑块22向右移动到与右侧的行程开关23接触时，行程开关23控制电机14顺时针转动，带动第一转轴15顺时针转动，进而带动绕线轮25顺时针转动将拉线26放出，第二弹簧24收缩带动第一滑块22及其上的喷头13向左移动，当第一滑块22向左移动至与左侧的行程开关23接触时，行程开关23控制电机14逆时针转动，如此反复，即可让喷头13持续左右移动进行洒水，可以更加全面的对石英进行清洗。行程开关23使得该设备的使用更加自动化，更好的帮助用户使用该设备。

因为还包括有连杆27、第二滑轨28和第二滑块29，安装架1左壁内侧中部设有连杆27，框体4左壁外侧中部嵌有第二滑轨28，第二滑轨28上滑动式连接有第二滑块29，第二滑块29左侧与连杆27右端连接。所以第二滑轨28和第二滑块29可以让框体4上下抖动时更加平稳，防止框体4在上下抖动时框体4斜掉。

因为还包括有安装板30、水泵31、第二软管32、分隔板33、第二进水管34、第三软管35和第二阀门36，安装架1左壁外侧下部设有安装板30，安装板30顶部安装有水泵31，水泵31上连接有第二软管32，第二软管32底端连接在出水管7底端，第二软管32顶端连接在水箱9左壁上方，水箱9右壁上部设有第二进水管34，水箱9上壁内侧中部与水箱9下壁内侧中部之间连接有分隔板33，分隔板33前后两侧连接在水箱9前后两壁内侧中部，水箱9下壁右侧与喷头13之间连接有第三软管35，第三软管35与第一软管12上均设有第二阀门36。所以在对石英进行清洗时，用户通过第一进水管10和第二进水管34向水箱9内注入清水，用户先打开左侧的第二阀门36，水箱9内左侧的清水从第一软管12流向喷头13，对石英进行清洗，清洗后的水通过大网板5进入框体4下部，当框体4内的水达到一定量时，用户将第一阀门8打开并控制水泵31工作，水泵31通过第二软管32将水抽回水箱9左侧，如此就可以实现水资源的重复利用，当石英块清洗完毕时，用户先控制水泵31停止工作，接着将第二软管32与出水管7分离，然后等待水箱9左侧的水全部流出后，用户将左侧的第二阀门36关上，接着用户打开右侧的第二阀门36，水箱9内右侧的清水通过第三软管35流向喷头13，喷头13将水喷在大网板5上的石英上，再次对石英进行清洗，当水箱9内右部的水全部流出后，此时石英刚好清洗完毕，用户将右侧的第二阀门36关上，然后用户等待框体4内的水从出水管7全部流出后，用户将第一阀门8关上，接着将清洗完毕的石英取走。如此，利用水箱9内左侧的水重复对石英进行清洗，最后通过水箱9内右侧的水进行最后一次的冲洗，使得石英的清洗更加干净，同时也节约了用水。

因为还包括有小网板37，框体4下壁内侧左方设有小网板37，小网板37在出水管7上方。所以小网板37可以防止一些杂质进入水泵31，保护水泵31安全，提高水泵31使用寿命。

以上所述实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (5)

1.一种半导体生产用石英初步清洗设备，其特征在于，包括有安装架（1）、轮子（2）、第一弹簧（3）、框体（4）、大网板（5）、挡板（6）、出水管（7）、第一阀门（8）、水箱（9）、第一进水管（10）、第一软管（12）、喷头（13）、电机（14）、第一转轴（15）、第一锥齿轮（16）、轴承座（17）、第二转轴（18）、凸轮（19）和第二锥齿轮（20），安装架（1）底部安装有轮子（2），安装架（1）内底部左侧和右侧均设有第一弹簧（3），第一弹簧（3）顶端连接有框体（4），框体（4）左右两壁内侧中部之间连接有大网板（5），大网板（5）前后两侧连接在框体（4）前后两壁内侧，框体（4）下壁左侧设有出水管（7），出水管（7）上设有第一阀门（8），框体（4）左右两壁外侧下部设有挡板（6），安装架（1）上壁中心开有通孔（11），安装架（1）上壁外侧中部设有水箱（9），水箱（9）左壁上部设有第一进水管（10），水箱（9）下壁外侧中心设有喷头（13），喷头（13）穿过通孔（11），喷头（13）与水箱（9）下壁左部之间连接有第一软管（12），安装架（1）内底部右侧设有电机（14），电机（14）顶部的输出轴上连接有第一转轴（15），第一转轴（15）中部设有第一锥齿轮（16），安装架（1）左壁内侧下部设有轴承座（17），轴承座（17）内设有第二转轴（18），第二转轴（18）右端连接有第二锥齿轮（20），第二锥齿轮（20）与第一锥齿轮（16）啮合，第二转轴（18）左部和右部均设有凸轮（19），凸轮（19）分别在挡板（6）下方。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备，其特征在于，还包括有第一滑轨（21）、第一滑块（22）、行程开关（23）、第二弹簧（24）、绕线轮（25）和拉线（26），安装架（1）上壁内侧中部设有第一滑轨（21），第一滑块（22）在通孔（11）下方，第一滑轨（21）上滑动式连接有第一滑块（22），第一滑块（22）底部与喷头（13）顶部连接，第一滑块（22）左侧与安装架（1）左壁内侧上部之间连接有第二弹簧（24），第一滑轨（21）前侧左右对称设有行程开关（23），行程开关（23）位于第一滑块（22）左右两侧，行程开关（23）通过电路与电机（14）连接，第一转轴（15）上部设有绕线轮（25），绕线轮（25）上绕有拉线（26），拉线（26）左端连接在第一滑块（22）右侧下方。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备，其特征在于，还包括有连杆（27）、第二滑轨（28）和第二滑块（29），安装架（1）左壁内侧中部设有连杆（27），框体（4）左壁外侧中部嵌有第二滑轨（28），第二滑轨（28）上滑动式连接有第二滑块（29），第二滑块（29）左侧与连杆（27）右端连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备，其特征在于，还包括有安装板（30）、水泵（31）、第二软管（32）、分隔板（33）、第二进水管（34）、第三软管（35）和第二阀门（36），安装架（1）左壁外侧下部设有安装板（30），安装板（30）顶部安装有水泵（31），水泵（31）上连接有第二软管（32），第二软管（32）底端连接在出水管（7）底端，第二软管（32）顶端连接在水箱（9）左壁上方，水箱（9）右壁上部设有第二进水管（34），水箱（9）上壁内侧中部与水箱（9）下壁内侧中部之间连接有分隔板（33），分隔板（33）前后两侧连接在水箱（9）前后两壁内侧中部，水箱（9）下壁右侧与喷头（13）之间连接有第三软管（35），第三软管（35）与第一软管（12）上均设有第二阀门（36）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备，其特征在于，还包括有小网板（37），框体（4）下壁内侧左方设有小网板（37），小网板（37）在出水管（7）上方。