CN1083134C - 光学拾取装置物镜光轴的实时调整装置和方法 - Google Patents

Abstract

利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的装置包括观察光源图象的第一光路部分和进行实时干涉测量的第二光路部分。该装置还包括：位于第二光路部分的投影镜和滤光片之间的分光镜；接收分光镜的反射光的光电接收器单元，后者包括两组各自至少四个在与物镜的工作台的XY坐标系对应的xy坐标系的四个象限内对称分布的、分别用来接收零级干涉图象和一级干涉圆环在四个象限的光线的光电接收器组；伺服传动机构；位置误差信号产生电路；以及计算装置。

Description

光学拾取装置物镜光轴的实时调整装置和方法

本发明涉及光学系统的调整装置和方法，更具体地说，涉及在制造光盘录放设备的光学拾取装置(OP)过程中利用实时干涉测量来精确地调整其物镜光轴的装置和方法。

图1为所述光学拾取装置的光学系统的示意图。从激光二极管(LD)101发射的光束经光栅102、被分光镜103部分反射、经物镜104会聚在光盘105上形成光点。投射在光盘105上的光点被光盘反射、再经过物镜104、分光镜103、一部分光会聚在光电二极管(PD)106上。在高密度光盘的情况下，物镜104必须把所述光束会聚成很小的光点射在光盘105上。为此，要求物镜104的光轴与光学拾取装置(OP)的光轴重合或者允许在容限范围内的偏离(此容限一般为0.3°～0.4°)。否则，会聚的光点会因象差而产生畸变，使得读出的信息失真，从而破坏重放信息的质量。

通常，实现物镜104与OP光学系统的光轴重合的调整装置称为空间调整机或3D(3维)机。图2是说明传统的3D机的原理的示意图。从OP的物镜104出射的光束入射到3D机的测量物镜201上。从测量物镜201出射的光束入射在第一反射镜202上，反射后进入构成干涉仪的双三棱镜203。从双三棱镜203射出两路光线。所述两路光线中的一路干涉光经过投影镜204的放大、滤光片205的衰减后被小视野电荷耦合器摄象机206摄象。摄象机206把干涉条纹图象数据送到图象信号处理器213处理，由下述公式给出表示OP物镜104的倾斜度的值： $\mathrm{RAD}=\frac{(I_A+I_B)-(I_D+I_C)}{I_A+I_B+I_C+I_D}\×100\%--\left(1\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(I_A+I_D)-(I_B+I_C)}{I_A+I_B+I_C+I_D}\×100\%--\left(2\right)$ 其中：RAD代表物镜104绕工作台(下面将解释)XY坐标系X轴

的倾斜度；

TAN代表物镜104绕工作台XY坐标系Y轴的倾斜度；

I_A、I_B、I_C、I_D分别代表光强值(下面将解释)。

图3是摄象机206摄制的干涉条纹图象的示意图，其中标号301代表零级干涉图象，标号302代表1级干涉圆环，A、B、C和D分别是代表1级干涉圆环在与物镜所放置的工作台的XY座标系对应的xy平面的四个象限中的部分。所述两路光线中的另一路一次反射光投射在第二反射镜207上，经第二反射镜207的反射后投射在投影屏幕208上，形成入射光图象。此入射光图象经标准镜头209被大视野摄象机210摄象，并被显示在显示器211(II)上，供操作人员观察。

调整时，把OP的物镜放在一个其位置(沿X轴和/Y轴)及倾斜度(绕X轴和/或Y轴)均可调的光学微动平台(工作台，未示出)上。通过沿X和/或Y轴的调节，使所述干涉图象的中心位于显示器上的规定的区域，即，有效区。踩动脚踏开关214，图象处理单元213将摄象机206摄入的当前图象锁定，并将此图象的视频信号送显示器显示。同时，图象处理单元213将1级干涉圆环按图3所示的方式分割，并根据A、B、C、D各部分的光强值、按照公式(1)和(2)计算出倾斜度(RAD值和TAN值)。将计算结果同时显示出来。操作人员据此判断对物镜绕X轴和/或绕Y轴的调整的方向及调整量。再次踩动脚踏开关，图象由锁定状态切换至正常状态。然后重复上述测量和调整步骤，直至RAD值和TAN值达到规定的范围。

上述方法的缺点之一是：操作人员调整OP的物镜104时，RAD值和TAN值并未实时地显示出来，而必须先把调整后的图象锁定，经过图象信号处理器计算后，才显示出RAD值和TAN值。在大批量生产光学拾取装置(OP)的过程中，这将影响生产效率。同时，对调整方向和程度的判断难以掌握，也影响产品质量。

本发明的目的是克服上述非实时干涉测量调整系统的缺点，提出完整的实时干涉测量调整装置和方法。

根据本发明的第一方面，提供一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的装置，该装置包括：用来将来自所述光学拾取装置的光线投射到投影屏幕上的第一反射镜、双三棱镜和第二反射镜；将投影屏幕上的图象摄入显示器上的第一摄象机；将经双三棱镜、投影镜和滤光片射出的光线的干涉图象摄入显示器上的第二摄象机；以及控制所述物镜绕X轴和Y轴的倾斜度的工作台；其中，所述利用实时干涉测量来调整光学拾整取装置的物镜光轴的装置还包括：位于投影镜和滤光片之间、用于部分反射来自光学拾取装置的光线的分光镜；用来接收来自分光镜的反射光的光电接收器单元，该光电接收器单元包括：一组至少四个在与物镜的工作台的XY坐标系对应的xy坐标系的四个象限内对称分布的、用来接收一级干涉圆环在四个象限的光线的光电接收器以及至少四个与上述光电接收器同心地设置在xy平面内、并且在四个象限内对称分布的、用来接收零级干涉图象的另一组光电接收器；用来承载和移动光电接收器单元的伺服传动机构；用来产生位置误差信号的电路，该位置误差信号用来驱动伺服传动机构；以及计算装置，用来根据接收一级干涉圆环的光线的光电接收器的输出电信号并按照预定的公式计算物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜度。

对所述接收一级干涉圆环的光线的光电接收器的输出的电信号进行计算的预定公式为： $\mathrm{RAD}=\frac{(V_A+V_B)-(V_D+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%--\left(3\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(V_A+V_D)-(V_B+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%--\left(4\right)$

其中：RAD代表物镜绕X轴的倾斜度；

      TAN代表物镜绕Y轴的倾斜度；

      V_A、V_B、V_C、V_D代表四个在与物镜的工作台的XY坐

      标系对应的Xy坐标系的四个象限内的光电接收器的输出

      电信号。

所述光电接收器还可以是光电二极管。

根据本发明的第一方面，提供一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的方法，其中，在与放置所述物镜的工作台的X轴和Y轴构成的XY平面对应的光电接收器组平面上，把从所述物镜射出的光线产生的一级干涉圆环按四个象限分成四个部分，并相应地调整工作台上物镜相对于光源的位置以及物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜，使得上述四个部分的光强值满足预定的条件，该方法还包括以下步骤：判断光电接收器组的中心的坐标值是否超出规定的范围；在光电接收器平面上把零级干涉图象也分成至少四个均等的部分；在获得与一级干涉圆环的四个部分对应的光电接收器的一组至少四个部分的输出电信号之前，分别测出与零级干涉图象的四个部分对应的光电接收器的另一组至少四个部分的输出电信号；使与所述零级干涉图象的四个部分对应的光电接收器的另一组至少四个部分的输出电信号满足预定的要求；分别测出与一级干涉圆环四个部分对应的光电接收器的一组至少四个部分的输出电信号；根据与一级干涉圆环对应的光电接收器的一组至少四个部分的输出电信号，相应地调整物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜度，直到与一级干涉圆环的四个部分对应的光电接收器的一组至少四个部分的输出电信号满足预定的条件。

与零级干涉图象的四个部分对应的光电接收器的另一组至少四个部分的输出电信号所满足的要求是输出电信号之间的差异在相应电路灵敏度范围内为零值。

使与一级干涉圆环的四个部分对应的光电接收器的一组至少四个部分的输出电信号满足的预定条件为：

RAD≤30％和TAN≤40％，

其中： $\mathrm{RAD}=\frac{(V_A+V_B)-(V_D+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%---\left(3\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(V_A+V_D)-(V_D+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%--\left(4\right)$

RAD代表物镜绕X轴的倾斜度，

TAN代表物镜绕Y轴的倾斜度，

V_A—第一象限的光电接收器A的输出电信号，

V_B—第四象限的光电接收器B的输出电信号，

V_C—第三象限的光电接收器C的输出电信号，

V_D—第二象限的光电接收器D的输出电信号。

根据本发明的第二方面，提供一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的方法，其中，在与放置所述物镜的工作台的X轴和Y轴构成的XY平面对应的干涉图象平面上，把经过物镜的光线产生的一级干涉圆环按四个象限分成四个相等的部分，分别测出这四个部分的光强值，并相应地调整工作台上物镜相对于光源的位置以及物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜度，使得这四个部分的光强值满足预定的条件；上述方法还包括以下步骤：计算零级干涉图象的中心坐标值；把该中心坐标值与预定值比较，判断所述中心是否处在所要求的区域内；当中心处在预定的区域内时，根据一级干涉圆环的四个部分的光强值，相应地调整物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜度，直到一级干涉圆环的四个部分的光强值满足预定的条件。

上述一级干涉圆环的四个部分的光强值所满足的预定条件是：

RAN≤30％和TAN≤40％，

其中： $\mathrm{RAD}=\frac{(I_A+I_B)-(I_D+I_C)}{I_A+I_B+I_C+I_D}\×100\%--\left(1\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(I_A+I_D)-(I_B+I_C)}{I_A+I_B+I_C+I_C}\×100\%--\left(2\right)$

RAD代表物镜绕X轴的倾斜度，

TAN代表物镜绕Y轴的倾斜度，

I_A—第一象限的光强值，

I_B—第四象限的光强值，

I_C—第三象限的光强值，

I_D—第二象限的光强值。

图1是光学拾取装置(OP)的光路的示意图；

图2是说明已有技术3D机的原理的示意图；

图3是已有技术的方法中使用的干涉条纹及其分割的示意图；

图4是说明根据本发明第一实施例的利用光电接收单元进行实时干涉测量调整的装置的示意图；

图5A是图4的实施例中使用的光电接收单元的顶视图；

图5B是图4的实施例中使用的光电接收单元的侧视图，图中显示用于承载和移动光电接收器组的伺服传动机构；

图6是根据本发明第一实施例的利用光电接收单元的实时干涉测量调整方法的流程图；

图7是说明根据本发明第二实施例的利用数字图象处理技术的实时干涉测量调整方案中使用的装置的示意图；

图8是根据本发明第二实施例的利用数字图象处理技术的实时干涉测量调整方法的流程图。

下面将结合附图详细描述本发明的实施例。

图4是说明根据本发明第一实施例的利用光电接收单元进行实时干涉测量调整的装置的示意图。与已有技术的装置相似，进入3D机的光线在双三棱镜203中分成两路。用于测量的第一路光线通过双三棱镜203构成的干涉仪而产生相干光线入射到投影镜204上。该光线在标号为401的分光镜上又分成两路：一路到达光电接收单元402；另一路到达滤光片(衰减片)205和摄象机206。如图5A所示，光电接收单元402包括两组至少四等分分割的光电接收器A、B、C、D和A’、B’、C’、D’。光电接收器A’、B’、C’和D’用来接收零级干涉图象。光电接收器A、B、C和D用来接收一级干涉图象，由此进行RAD值和TAN值的测量。下面将详细描述接收零级干涉图象和对零级干涉图象中心寻迹、以及RAD值和TAN值测量的操作过程及相关电路。

光电接收器A’、B’、C’和D’接收来自分光镜401的光线的零级干涉图象，产生相应的电信号。把公式(3)和(4)中的V_A、V_B、V_C和V_D分别用所述电信号V_A’、V_B’、V_C’和V_D代入，可以算出E_x和E_y值，它们分别代表零级干涉图象中心相对于光电接收器组中心在x轴方向和y轴方向的偏离。图4中模拟加法器406-409以及模拟减法器410和411用于进行所述E_x和E_y值的计算，并且把代表所述偏离的输出信号，即位置误差信号输入到驱动放大器412、413。经驱动放大器412和413放大的位置误差信号驱动以下装置：(1)x方向伺服线图C₁、C₂、C₃和C₄；(2)y方向伺服线图C₅、C₆；和(3)x方向伺服电动机502；(4)y方向伺服电动机506，使所述零级干涉图象中心与所述光电接收器组中心重合，即，完成零级干涉图象中心寻迹的操作。

图5A和5B分别是所述光电接收器单元402的顶视和侧视图。

首先参考图5B，图中示出的伺服传动机构包括：用来承载光电接收器的两个框架，分别用标号501和504表示；x轴和y轴的伺服电动机，分别用标号502和506表示；用来移动框架501和504的传动齿条，分别用标号503和505表示。接着参考图5A，图中示出所述光电接收器组及其相关的电路元件，它们包括：用于电气连接的连接器CNI和CN2；x方向伺服线圈C₁～C₄，总的用标号508表示；y方向伺服线圈C₅、C₆，总的用标号509表示；x方向和y方向伺服用磁铁，分别用标号511和512表示；二维可动弹性缓冲臂A₁和A₂，它们用来支撑所述光电接收器，并可在较小的电磁力矩作用下沿x和/或y方向作伺服运动(精确伺服)；光电接收器组，总的用标号513表示，它包括两组各自至少四等分分割的光电接收器组合，即，A、B、C、D和A’、B’、C’、D’；光电接收器A、B、C和D用来测量RAD值和TAN值，它们分别处于与工作台的XY坐标系对应的xy坐标系的四个象限内，并且组成具有旋转对称结构的一个光电接收器组；光电接收器A’、B’、C’和D’用来接收零级干涉图象，它们也分别处于xy坐标系的四个象限内，并且组成具有旋转对称结构的另一个光电接收器组；所述两个光电接收器组必须严格同心，但可以绕其共同的中心相对地旋转一定角度。

再参考图4，在完成零级干涉图象中心寻迹之后，进行RAD值和TAN值的测量。此处与先有技术一样，RAD值代表物镜104绕X值的倾斜度，TAN值代表物镜104绕Y轴的倾斜度。光电接收器A、B、C和D分别接收一级干涉圆环在四个象限的光线，并输出模拟电信号。该输出模拟电信号经取样保持电路405和模/数转换器404变成数字信号。计算机403根据该数字信号V_A、V_B、V_C和V_D，利用公式(3)和(4)算出RAD值和TAN值，并送显示器显示。操作员将据此确定对所述物镜绕X轴和/或Y轴的调整方向(顺时针或逆时针)和程度，直到RAD值和TAN值小于预定值，例如，RAD≤30％，TAN≤40％，从而实现使所述物镜的光轴与所述光学拾取装置的光轴重合或者接近重合的目的。

图6是根据本发明的第一实施例利用光电接收单元的实时干涉测量调整方法的流程图。首先，在步骤602，判断光电接收器组中心坐标是否超出规格。若超出，在步骤603，将光电接收器组中心复位。在步骤604，显示超范围信息。若不超出，在步骤605，检查光电接收器平面是否有干涉条纹。若没有，则返回步骤602。若有，在步骤606，进行零级干涉图象中心寻迹。在步骤607，判断零级干涉图象中心是否与光电接收器组中心重合。若不重合，程序进行到步骤608，判断零级干涉图象中心是否在捕捉区，即，零级干涉条纹是否至少覆盖光电接收器组A’、B’、C’和D’中的一个；若在捕捉区，则程序返回步骤606；若不在捕捉区，则程序返回步骤601。如果在步骤607中，零级干涉图象中心与光电接收器组中心重合，则程序进到步骤609，进行RAD值和TAN值计算。在步骤610，把计算得到的RAD值和TAN值与当前值比较，判断是否有：ΔRAD≥δ_r和ΔTAN≥δ_t，例如，取δ_r＝0.1％和δ_t＝0.1％；若没有，程序返回步骤608。若ΔRAD≥δ_r和ΔTAN≥δ_t成立，则在步骤611，把新值作为当前RAD值和TAN值。在步骤612，将新值送显示。在步骤613，检查零级干涉图象中心是否在捕捉区；若在，则程序返回步骤606；若不在，则程序返回步骤601。

图7是说明本发明的第二实施例利用数字图象处理技术的实时干涉测量调整的装置的示意图。如图中所示，除了将图象信号处理(VSP)部分701～704更改为高速图象处理系统，例如高速数字信号处理器(DSP)或以Pentium为核心的图象处理系统外，其余结构与先有技术的系统的结构一样。

图8是本发明的第二实施例利用数字图象处理技术的实时干涉测量调整方法的流程图。首先，在步骤801，把干涉图象的光强度数字化。在步骤802，把数字化后的光强度数据存入缓冲存储器。在步骤803，进行零级干涉图象中心坐标计算。在步骤804，判断零级干涉图象中心是否在有效区内。若不在，在步骤805，将所述中心不在有效区的信息送显示，程序返回步骤803。若在步骤803所述中心已在有效区内，程序进到步骤806，计算RAD值和TAN值。在步骤807，把计算的RAD值和TAN值与当前值比较，判断是否有：ΔRAD≥δ_r和ΔTAN≥δ_t，此处，例如取δ_r＝0.1％，δ_t＝0.1％。若没有，程序返回步骤803。若ΔRAD≥δ_r和ΔTAN≥δ_t成立，则在步骤808，将新值作为当前的RAD值和TAN值。在步骤809，将当前RAD值和TAN值送显示。程序返回步骤803。

采用本发明的实时干涉测量调整装置和方法，能够将每个光学拾取装置(OP)的调整时间从大约33-35秒减少到大约15-18秒，从而大大提高了生产效率。

以上实施例只是用于说明本发明，而不能作为对本发明的限制。本发明不仅适用于光学拾取装置生产过程中光学系统的调整，而且适当于生产过程中需要利用实时干涉测量调整操作的任何光学元件的光路调整。

Claims (9)

1.一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的装置，该装置包括：用于将来自所述光学拾取装置的光线投射到投影屏幕(208)上的第一反射镜(202)、双三棱镜(203)和第二反射镜(207)；将所述投影屏幕上的图象摄入显示器(211(II))上的第一摄象机(210)；将经所述双三棱镜(203)、投影镜(204)和滤光片(205)射出光线的干涉图象摄入显示器(211(I))上的第二摄象机(206)；以及，控制所述物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜度的工作台，其特征在于还包括：

位于所述投影镜(204)和所述滤光片(205)之间、用于部分反射来自所述光学拾取装置的光线的分光镜(401)；

用于接收来自分光镜(401)的反射光的光电接收器单元(402)，所述光电接收器单元包括：一组至少四个在与所述物镜(104)的所述工作台的XY坐标系的对应的xy坐标系的四个象限内对称分布的、用来接收一级干涉圆环在四个象限的光线的光电接收器(A、B、C、D)；以及至少四个与所述光电接收器(A、B、C、D)同心地设置在所述xy平面的、并在四个象限内对称分布的、用来接收零级干涉图象的另一组光电接收器(A’、B’、C’、D’)；

用来承载和移动所述光电接收单元(402)的伺服传动机构；

用来产生位置误差信号的电路，所述位置误差信号用来驱动所述伺服传动机构；以及

计算装置，用来根据接收所述一级干涉圆环的光线的所述光电接收器(A、B，C、D)的输出电信号并按照预定的公式计算所述物镜绕所述X轴和/或Y轴的倾斜度。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：对所述接收一级干涉圆环的光线的光电接收器的输出的电信号进行计算的预定公式为： $\mathrm{RAD}=\frac{(V_A+V_B)-(V_D+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%--\left(3\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(V_A+V_D)-(V_B+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%---\left(4\right)$

其中：

RAD代表物镜绕X轴的倾斜度，

TAN代表物镜绕Y轴的倾斜度，

V_A一第一象限的光电接收器A的输出电信号，

V_B一第四象限的光电接收器B的输出电信号，

V_C一第三象限的光电接收器C的输出电信号，

V_D一第二象限的光电接收器D的输出电信号。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述光电接收器为光电二极管。

4.一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的方法，其中，在与放置所述物镜的工作台的X轴和Y轴构成的XY平面对应的光电接收器平面上，把从所述物镜射出的光线产生的一级干涉圆环按四个象限分成四个部分，并相应地调整所述工作台上所述物镜相对于光源的位置以及所述物镜绕所述X轴和/或Y轴的倾斜度，使得所述四个部分的光强值满足预定的条件，其特征在于该方法包括以下步骤：

判断光电接收器组中心的坐标值是否超出规定的范围(602)；

在所述光电接收器平面上把零级干涉图象也分成至少四个均等的部分(606)；

在获得与所述一级干涉圆环的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述一组至少四个部分(A、B、C、D)的输出电信号之前，分别测出与所述零级干涉图象的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述另一组至少四个部分(A’、B’、C’、D’)的输出电信号(606)；

使与所述零级干涉图象的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述另一组至少四个部分(A’、B’、C’、D’)的输出电信号满足预定的要求(607)；

分别测出与所述一级干涉圆环的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述一组至少四个部分(A、B、C、D)的输出电信号(609)；

根据与所述一级干涉圆环的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述一组至少四个部分(A、B、C、D)的输出电信号，相应地调整所述物镜绕所述X轴和/或Y轴的倾斜度，直到与所述一级干涉圆环的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述一组至少四个部分(A、B、C、D)的输出电信号满足所述预定的条件(610-612)。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：与所述零级干涉图象的四个部分对应的所述光电接收器的所述另一组至少四个部分(A’、B’、C’、D’)的输出电信号所满足的要求是所述输出电信号之间的差异在相关电路灵敏度范围内为零值。

6.如权利要求4或5所述的方法，其特征在于：使与所述一级干涉圆环的所述四个部分对应的所述光电接收器的所述一组至少四个部分(A、B、C、D)的输出电信号满足的预定条件为：

RAD≤30％和TAN≤40％，

其中： $\mathrm{RAD}=\frac{(V_A+V_B)-(V_D+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%---\left(3\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(V_A+V_D)-(V_B+V_C)}{V_A+V_B+V_C+V_D}\×100\%---\left(4\right)$

RAD代表物镜绕X轴的倾斜度，

TAN代表物镜绕Y轴的倾斜度，

V_A—第一象限的光电接收器A的输出电信号，

V_B—第四象限的光电接收器B的输出电信号，

V_C一第三象限的光电接收器C的输出电信号，

V_D—第二象限的光电接收器D的输出电信号。

7.一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的方法，其中，在与放置所述物镜的工作台的X轴和Y轴构成的XY平面对应的干涉图象平面上，把经过所述物镜的光线产生的一级干涉圆环按四个象限分成四个相等的部分，分别测出所述四个部分的光强值，并相应地调整所述工作平面上所述物镜相对于光源的位置以及所述物镜绕所述X轴和/或Y轴的倾斜度，使得所述四个部分的光强值满足预定的条件，其特征在于：

计算零级干涉图象的中心坐标值(801-803)；

把所述中心坐标值与预定值比较，判断所述中心是否处在所要求的区域内(804)；

当所述中心处在预定的区域内时，根据所述一级干涉圆环的所述四个部分的光强值，相应地调整所述物镜绕所述X轴和/或Y轴的倾斜度，直到所述一级干涉圆环的所述四个部分的光强值满足预定的条件(806-809)。

8.如权利要求7的所述方法，其特征在于：所述一级干涉圆环的所述四个部分的光强值所满足的预定条件为：

RAD≤30％和TAN≤40％，

其中： $\mathrm{RAD}=\frac{(I_A+I_B)-(I_D+I_C)}{I_A+I_B+I_C+I_D}\×100\%--\left(1\right)$ $\mathrm{TAN}=\frac{(I_A+I_D)-(I_B+I_C)}{I_A+I_B+I_C+I_D}\×100\%--\left(2\right)$

RAD代表物镜绕X轴的倾斜度，

TAN代表物镜绕Y轴的倾斜度，

I_A—第一象限的光强值，

I_B—第四象限的光强值，

I_C—第三象限的光强值，

I_D—第二象限的光强值。

9.如权利要求7或8所述的方法，其特征在于：对所述一级干涉圆环的所述四个部分的光强值所满足的所述预定的条件的计算是采用快速图象处理技术实现的。

Images