CN108269755B - 掩膜版组件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种掩膜版，包括掩膜承载框和固定连接于掩膜承载框的掩膜，所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板包括朝向第二支撑板的第一连接面，所述第二支撑板包括朝向第一连接面的第二连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和第二连接面，所述第一连接面和第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。本发明还提供一种掩膜版组件，用于对位贴合玻璃基板和掩膜，包括上述掩膜版和基台，所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针，所述掩膜版位于多个所述第二顶针上，多个所述第一顶针以支撑所述玻璃基板且使玻璃基板位于掩膜版正下方，所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使玻璃基板与掩膜对位。

Description

掩膜版组件
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜版组件。
背景技术
随着时代的发展，消费者对显示面板的质量要求越加严苛，人们开始追求更宽的显示视角、更短的响应时间以及更加轻薄的自身重量。正是在人们的需求不断提高的形势下，有机发光二极管面板(AMOLED，Active-Matrix Organic Light Emitting Diode)以其自发光、广视角、广色域以及反应时间短等优点受到了国内外显示领域技术人员的青睐。
在AMOLED的制备过程中，往往需要采用等离子体化学沉积法(PECVD，PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition)在衬底基板上成膜以形成缓冲层、栅极绝缘层、介电层、钝化层以及薄膜封装层等。当对AMOLED进行薄膜封装时，需要使用掩膜版对沉膜区域进行限制。要使得掩膜版的开口区域与设计的沉膜区域完全吻合，目前比较成熟的对位系统都是采用十字标记对位，即在玻璃和掩膜版上都有相应的标记，标记的对位效果即可反应玻璃与掩膜版的对位精准程度，而这种对位系统需要在下电极穿孔，并安装监控系统，这不仅要求足够的空间，机台的成本也相应提高，难以在小型的实验机台上实现。目前的小型机台上，普遍采用物理对位系统，即采用定位销来实现对位，然而，这种对位机构的对位精度不够，极易产生沉膜偏移现象。
发明内容
本发明的目的在于提供一种掩膜版，提高沉膜时的对位精度，减少沉膜偏移现象。
本发明还提供一种掩膜版组件，用于使玻璃基板和掩膜版准确对位贴合。
本发明所述掩膜版，包括掩膜承载框和固定连接于所述掩膜承载框的掩膜，所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板包括朝向所述第二支撑板的第一连接面，所述第二支撑板包括朝向所述第一连接面的第二连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和所述第二连接面，并且所述第一连接面和所述第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。
其中，所述掩膜包括相对设置的第一端和第二端，所述掩膜的第一端固定连接于所述第一连接面，所述掩膜的第二端固定连接于所述第二连接面。
其中，所述支撑件包括连接所述第一支撑板和所述第二支撑板的第三支撑板和第四支撑板，所述第三支撑板包括朝向所述第四支撑板的第三连接面，所述第四支撑板包括朝向所述第三连接面的第四连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第三连接面和所述第四连接面，并且所述第三连接面和所述第四连接面与所述掩膜的夹角为钝角。
其中，所述掩膜包括连接所述第一端和所述第二端的第三端和第四端，所述第三端与所述第四端相对设置，所述掩膜的第三端固定连接于所述第三连接面，所述掩膜的第四端固定连接于所述第四连接面。
其中，所述第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板和第四支撑板一体成型。
其中，所述掩膜承载框和所述掩膜由金属材料制成。
本发明所述掩膜版组件，用于对位贴合玻璃基板和掩膜，包括上述掩膜版、玻璃基板和基台，所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针，所述掩膜版位于多个所述第二顶针上，多个所述第一顶针用于支撑所述玻璃基板且使所述玻璃基板位于所述掩膜版正下方，所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使所述玻璃基板与所述掩膜对位。
其中，所述第一顶针和所述第二顶针可伸缩地设置于所述基台表面。
其中，所述掩膜版组件包括上电极和下电极，所述上电极位于所述掩膜版远离所述玻璃基板的一侧，所述下电极位于所述玻璃基板远离所述掩膜版的一侧，所述上电极和所述下电极均与所述玻璃基板正对，用于向所述玻璃基板表面沉膜。
其中，所述基台表面设有多个间隔排列的支撑柱，多个所述支撑柱用于支撑所述掩膜版。
其中，所述支撑柱可伸缩地设置于所述基台的表面。
本发明所述掩膜版及掩膜版组件将掩膜承载框中支撑板的连接面与掩膜之间的夹角设计为钝角，当掩膜版组件中的第二顶针缩回基台表面时，所述掩膜与玻璃基板贴合的过程中，所述支撑板的连接面可将玻璃基板推移到准确位置，使掩膜与玻璃基板精确对位，减少后续制程中沉膜偏移现象的产生。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的掩膜版结构的示意图。
图2是图1所示掩膜版中掩膜结构的示意图。
图3是图1所示掩膜版中掩膜承载框结构的俯视图。
图4是本发明的掩膜版组件结构的示意图。
图5是图4所示掩膜版组件中第一顶针结构的剖面图。
图6是图4所示掩膜版组件中第二顶针结构的剖面图。
图7是图4所示掩膜版组件中支撑柱结构的剖面图。
图8是图4所示掩膜版组件中掩膜版与玻璃基板贴合后的剖面图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明较佳实施例提供一种掩膜版，用于沉膜过程中对玻璃基板的沉膜区域进行限制。所述掩膜版100包括掩膜承载框10和固定连接于所述掩膜承载框的掩膜20，所述掩膜承载框10包括相对设置的第一支撑板11和第二支撑板12，所述第一支撑板11包括朝向第二支撑板12的第一连接面111，所述第二支撑板12包括朝向所述第一连接面111的第二连接面121，所述掩膜20呈夹角连接于所述第一连接面111和所述第二连接面121，并且所述第一连接面111和所述第二连接面121与所述掩膜20的夹角为钝角。
本发明所述掩膜版将掩膜与掩膜承载框的支撑板之间的夹角设计为钝角，在掩膜版与玻璃基板对位的过程中，由于所述支撑板的斜边作用，可以对玻璃基板的位置进行校准，从而可以减小沉膜偏移的现象，提高对位精度。
请参阅图2，所述掩膜承载框10包括连接所述第一支撑板11和所述第二支撑板12的第三支撑板13和第四支撑板14，所述第三支撑板13与所述第四支撑板相对设置，所述第三支撑板13包括朝向所述第四支撑板14的第三连接面，所述第四支撑板14包括朝向所述第三连接面13的第四连接面，所述掩膜20呈夹角连接于所述第三连接面和所述第四连接面，并且所述第三连接面和所述第四连接面与所述掩膜20的夹角为钝角。本实施例中，所述掩膜承载框10由金属材料制成，所述第一支撑板11、所述第二支撑板12、所述第三支撑板13和所述第四支撑板14采用金属材料一体成型，一体成型的掩膜承载框10具有更稳定的结构。所述掩膜承载框10在水平面的投影为“回”字型，由第一支撑板11、第二支撑板12、第三支撑板13和第四支撑板14构成，四块支撑板围成所述掩膜承载框10的开口15，所述开口15的尺寸与玻璃基板的尺寸相同，且略小于掩膜20的尺寸，使得掩膜20能够更方便地固定在所述掩膜承载框20上，且在玻璃基板的整个表面上限制沉膜区域。进一步的，四块支撑板为相同的结构，所述第一支撑板11和第二支撑板12对称分布于所述掩膜20的左右两端，所述第三支撑板和所述第四支撑板14对称分布于所述掩膜20的前后两端。可以理解的是，在本发明的其他实施例中，每块支撑板的尺寸可以相同，也可以不同。
所述掩膜20固定连接于所述掩膜承载框10上。具体的，所述掩膜20固定连接于构成所述掩膜承载框10的四块支撑板上。请参阅图3，所述掩膜20包括蒸镀区域21(图中虚线围成的区域)和围绕所述蒸镀区域21的固定区域22。所述固定区域22包括相对设置的第一端221和第二端222、连接所述第一端221和所述第二端222的第三端223和第四端224，所述第三端223和所述第四端224相对设置。所述掩膜20通过所述固定区域22固定连接于所述掩膜承载框10上。所述掩膜20的第一端221固定连接于所述第一连接面111上，所述掩膜20的第二端222固定连接于所述第二连接面121上，所述掩膜20的第三端223固定连接于所述第三连接面上，所述掩膜20的第四端固定连接于所述第四连接面上，以使所述掩膜20展开形成平面结构。本实施例中，所述掩膜20由金属材料制成，所述掩膜20通过所述固定区域22焊接固定于所述掩膜承载框10上。
请参阅图4，本发明还提供一种掩膜版组件，用于实现掩膜20与玻璃基板110的精确对位贴合。所述掩膜版组件200包括上述掩膜版100和基台120。所述基台120表面设置有多个间隔排列的第一顶针121和第二顶针122，多个所述第一顶针121用于支撑所述玻璃基板110且使所述玻璃基板110位于所述掩膜版100正下方，所述掩膜版100位于多个所述第二顶针122上，所述掩膜版100的第一连接面111和第二连接面121用于推使所述玻璃基板110与所述掩膜20对位。
多个所述第一顶针121和多个所述第二顶针122可伸缩地设置于所述基台120的表面。本实施例中，多个所述第一顶针121的大小形状一致，所述第一顶针121结构的剖面图如图5。所述第一顶针121包括第一部分121a和位于第一部分121a上方的第二部分121b，所述第一部分121a和第二部分121b均为圆柱体结构，所述第二部分121b的圆柱体直径大于所述第一部分121a的圆柱体直径，所述第二部分121b支撑于玻璃基板110的底面。所述第二顶针122的顶点位置高于所述第一顶针121的顶点位置，所述第二顶针122支撑所述掩膜版100中的支撑板底部。多个所述第二顶针122的大小形状一致，所述第二顶针122结构的剖面图如图6所示。所述第二顶针122包括顶针122a、中间柱122b和连接柱122c，所述连接柱122c连接所述中间柱122b与所述基台120，所述中间柱122b连接所述顶针122a与所述连接柱122c，所述顶针122a为圆锥体结构，所述圆锥体结构的顶端支撑于所述掩膜版100中支撑板的底部。此外，所述基台120表面还设有多个间隔排列的支撑柱123，多个所述支撑柱123辅助所述第二顶针122支撑所述掩膜版100。具体的，所述支撑柱123可伸缩地设置于所述基台120的表面，用于支撑所述掩膜版100中四个支撑板形成的四个顶点，所述支撑柱123的剖面图如图7所示。所述支撑柱123包括第一支撑柱123a和第二支撑柱123b，所述第二支撑柱123b连接所述第一支撑柱123a与所述基台120，所述第一支撑柱123a抵持于所述掩膜版100中四个顶点的底部。所述第一顶针121、第二顶针122和支撑柱123均由高分子材料制成。
本实施例中，所述掩膜版组件200包括上电极(图未示)和下电极130，所述上电极位于所述掩膜版100远离所述玻璃基板110的一侧，所述下电极130位于所述玻璃基板110远离所述掩膜版100的一侧，所述上电极与所述下电极130均与所述玻璃基板110正对，用于向所述玻璃基板110表面沉膜。本实施例中，所述下电极130位于所述基台120的表面且与所述玻璃基板110正对，方便后续制程中与所述上电极配合直接对玻璃基板110的表面进行化学沉积。
当利用本发明所述掩膜版组件对玻璃基板的沉膜区域进行限制时，将玻璃基板放置于第一顶针上，对玻璃基板进行初步定位，再将掩膜版中掩膜承载框放置于第二顶针上，在第二顶针缩回基台的过程中，掩膜版因重力作用向下与玻璃基板贴合，若玻璃基板在第一顶针上的位置有所偏移，由于掩膜版中掩膜承载框中支撑板的连接面与掩膜的钝角设计，可以将玻璃基板调整至预定位置，当玻璃基板与掩膜板中的掩膜贴合后，第一顶针缩回基台中，从而实现玻璃基板与掩膜的准确贴合。本发明所述掩膜版组件提高了玻璃基板与掩膜的对准精度，从而减少后续沉膜制程中的沉膜偏移现象，提高了生产效率。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种掩膜版组件，用于对位贴合玻璃基板和掩膜，其特征在于，包括掩膜版和基台，
所述掩膜版包括掩膜承载框和固定连接于所述掩膜承载框的掩膜，所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板包括朝向所述第二支撑板的第一连接面，所述第二支撑板包括朝向所述第一连接面的第二连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和所述第二连接面，并且所述第一连接面和所述第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角；
所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针，所述掩膜版位于多个所述第二顶针上，多个所述第一顶针用于支撑所述玻璃基板且使所述玻璃基板位于所述掩膜版正下方，所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使所述玻璃基板与所述掩膜对位。
2.如权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜包括相对设置的第一端和第二端，所述掩膜的第一端固定连接于所述第一连接面，所述掩膜的第二端固定连接于所述第二连接面。
3.如权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜承载框包括连接所述第一支撑板和所述第二支撑板的第三支撑板和第四支撑板，所述第三支撑板与所述第四支撑板相对设置，所述第三支撑板包括朝向所述第四支撑板的第三连接面，所述第四支撑板包括朝向所述第三连接面的第四连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第三连接面和所述第四连接面，并且所述第三连接面和所述第四连接面与所述掩膜的夹角为钝角。
4.如权利要求3所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜包括连接所述第一端和所述第二端的第三端和第四端，所述第三端与所述第四端相对设置，所述掩膜的第三端固定连接于所述第三连接面，所述掩膜的第四端固定连接于所述第四连接面。
5.如权利要求4所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一支撑板、所述第二支撑板、所述第三支撑板和所述第四支撑板一体成型。
6.如权利要求1-5中任一项所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一顶针和所述第二顶针可伸缩地设置于所述基台表面。
7.如权利要求1-5中任一项所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版组件包括上电极和下电极，所述上电极位于所述掩膜版远离所述玻璃基板的一侧，所述下电极位于所述玻璃基板远离所述掩膜版的一侧，所述上电极和所述下电极均与所述玻璃基板正对，用于向所述玻璃基板表面沉膜。
8.如权利要求1-5中任一项所述的掩膜版组件，其特征在于，所述基台表面设有多个间隔排列的支撑柱，多个所述支撑柱用于支撑所述掩膜版。
9.如权利要求8所述的掩膜版组件，其特征在于，所述支撑柱可伸缩地设置于所述基台表面。
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