CN108266640A - 气液管路混合控制装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种气液管路混合控制装置,包括集成板(10)和气动控制元件,所述气动控制元件安装于所述集成板(10),所述集成板(10)的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道(11)和至少一层气道(12),所述气动控制元件与所述气道(12)连通。本发明的气液管路混合控制装置将多数量多种类的气动控制元件集成在一个集成板上,节省了大量的空间。此外,集成板内置有恒温循环液通道和气道。使得根据使用的要求和流量的需要,气动控制元件连通使用气道;恒温循环液通道使得恒温循环液通过,可有效的控制整个集成板的温度,整个集成板的温度又会传递到气道,从而达到气体高效恒温的效果。
Description
技术领域
本发明涉及半导体生产技术领域,尤其涉及一种气液管路混合控制装置。
背景技术
随着高新科技的迅猛发展,半导体行业的生产制造水平也日渐提高,而气液管路控制及应用几乎是每个半导体设备上不可或缺的重要组成部分。
目前传统的气液管路布置方法多为简单外管路连接,金属管或塑料软管,再加上其中的阀、流量计等,占用空间比较庞大。现有的简单布置是将流量计、隔膜阀等元器件均固定在一个平板上,然后采用焊接的金属管连接,在此基础上如果想实现整个气路的温度控制,比较困难。目前传统的这种温控方法就是在每一根管路上缠绕加热丝,且包裹保温棉,最终会影响外观,且热损耗比较大。更重要的是,采用电热丝能够加热到某个温度,但并不能很快降温到某个温度,因此温控效果比较差,投入的成本也高,温控效率很低。
现有技术的半导体设备仪器尤其是检测仪器都需要占地面积,并且需要温度精确。因此,传统的管路方式很难满足实际的应用要求。
发明内容
本发明鉴于上述技术问题而提出,目的在于提供一种气液管路混合控制装置,按需要实现了气路布置特定的高度集中,且既可以满足气路的特定原理的功能,又可以实现整个集成板的高效温控。
本发明的气液管路混合控制装置包括集成板和气动控制元件,所述气动控制元件安装于所述集成板,所述集成板的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道和至少一层气道,所述气动控制元件与所述气道连通。本发明的气液管路混合控制装置在节省空间的同时,还能根据使用的要求和流量的需要,气动控制元件相互连通,保证气体的高效恒温。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述恒温循环液通道包括多个分液道,所述分液道的端口形成在所述集成板的侧面上,并垂直于所对应的所述集成板的侧面向所述集成板的内部延伸;所述气道包括多个分气道,所述分气道的端口形成在所述集成板的侧面上,并垂直于所对应的所述集成板的侧面向所述集成板的内部延伸。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述分液道的端口和所述分气道的端口分别安装有可拆卸的堵塞块,以形成闭合通路。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述集成板的板面上设有用于固定安装所述气动控制元件的气动元件安装孔,所述气道内设有通向所述集成板的板面的通孔,所述气动控制元件连通于所述通孔。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述气动控制元件包括流量计和/或隔膜阀,所述流量计和/或所述隔膜阀底部设有用于连通所述气道的进气孔和出气孔。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述集成板的内部包括沿厚度方向从下向上依次分层分布的恒温循环液通道、第一气道和第二气道,所述第一气道和所述第二气道在空间交错布置,所述流量计和/或所述隔膜阀安装在所述第一气道和所述第二气道的空间交错处。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述第一气道和所述第二气道相互连通。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述气动控制元件还包括单向阀、气路接头和焊接硬管,所述单向阀和所述气路接头固定于所述气动元件安装孔内,所述单向阀和所述气路接头通过所述焊接硬管连通。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述气动控制元件还包括液罐,在所述集成板的下板面形成有液罐安装孔,所述气路接头设置在所述液罐安装孔内,并延伸至所述液罐内。
在本发明的气液管路混合控制装置中,优选为,所述集成板设有通向所述气道的闭合通路的总进气口和总出气口,所述气动控制元件还包括内部设有气道的转接块,所述转接块连接于所述总出气口。
根据本发明的气液管路混合控制装置,通过将多数量多种类的气动控制元件集成在一个集成板上,从而节省了大量的空间。此外,由于集成板内置有恒温循环液通道和气道,因而使得能够根据使用的要求和流量的需要,将气动控制元件与气道连通使用。并且,恒温循环液通道的存在使得恒温循环液能够从中通过,从而可有效的控制整个集成板的温度,整个集成板的温度又会传递到气道,由此能够达到气体的高效恒温效果。
附图说明
图1是本发明的气液管路混合控制装置的俯视的立体图;
图2是本发明的气液管路混合控制装置的仰视的立体图;
图3是本发明的气液管路混合控制装置的剖面图;
图4是本发明的气液管路混合控制装置中集成板的正视图;
图5是本发明的气液管路混合控制装置中集成板的侧视图;
图6是本发明的气液管路混合控制装置中集成板的俯视图;
图7是图4的a-a向剖面图,示出了本发明的气液管路混合控制装置中的集成板的第一气道的剖面结构;
图8是图4的b-b向剖面图,示出了本发明的气液管路混合控制装置中的集成板的第二气道的剖面结构;
图9是图4的c-c向剖面图,示出了本发明的气液管路混合控制装置中的集成板的恒温循环液通道的剖面结构。
附图标记:
10~集成板;11~恒温循环液通道;111~分液道;12~气道;121~分气道;122~第一气道;123~第二气道;124~通孔;13~气动元件安装孔;14~液罐安装孔;15~总进气口;16~总出气口;17~循环液进出口;21~流量计;22~隔膜阀;23~单向阀;24~气路接头;25~焊接硬管;26~液罐;27~转接块;30~堵塞块。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“水平”、“竖直”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
图1至图9示出了本发明的气液管路混合控制装置的内部结构。如图1至图9所示,本发明的气液管路混合控制装置包括集成板10和气动控制元件,气动控制元件安装于集成板10,集成板10的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道11和至少一层气道12,气动控制元件与气道12连通。
本发明的气液管路混合控制装置通过将多数量多种类的气动控制元件集成在一个集成板10上,节省了大量的空间。此外,集成板10内置有恒温循环液通道11和气道12,可以根据使用的要求和流量的需要,将气动控制元件与气道12连通使用。恒温循环液通道11使得恒温循环液通过,从而可有效地控制整个集成板的温度,整个集成板10的温度又会传递到气道,从而达到气体高效恒温的效果。
本发明的气液管路混合控制装置中,气动控制元件的种类和数量可以根据实际使用要求进行增加或削减。图1是本发明的气液管路混合控制装置的俯视的立体图,图2是本发明的气液管路混合控制装置的仰视的立体图,图3是本发明的气液管路混合控制装置的剖面图。如图1~图3所示,作为本发明的一种实施方式,气液管路混合控制装置采用了两个流量计21、七个隔膜阀22、三个单向阀23,以达到相应的设计需求。在设计的需求不一样的情况下,设计气路走势及工作原理也会不同。相应地,用到的流量计21的数量可能会增多或减少。以此类推,隔膜阀22、单向阀23的数量也会变化。
图4是本发明的气液管路混合控制装置中集成板的正视图。图7是图4的a-a向剖面图,示出了本发明的气液管路混合控制装置中的集成板的第一气道的剖面结构。图8是图4的b-b向剖面图,示出了本发明的气液管路混合控制装置中的集成板的第二气道的剖面结构。图9是图4的c-c向剖面图,示出了本发明的气液管路混合控制装置中的集成板的恒温循环液通道的剖面结构。图6是本发明的气液管路混合控制装置中集成板的俯视图。如图4、图6~图9所示,本发明的气液管路混合控制装置中,恒温循环液通道11包括多个分液道111,分液道111的端口形成在集成板10的侧面上,并垂直于所对应的集成板10的侧面而向集成板10的内部延伸,气道12包括多个分气道121,分气道121的端口形成在集成板10的侧面上,并垂直于所对应的集成板10的侧面而向集成板10的内部延伸。分液道111和分气道121以深孔的方式形成。多个分液道111的中心轴线相互垂直,多个分气道121的中心轴线也相互垂直,以方便在集成板10内形成恒温循环液通道11和气道12。
为了形成闭合通路,分液道111的端口和分气道121的端口分别安装有可拆卸的堵塞块30,以封闭分液道111的端口和分气道121的端口。堵塞块30可以根据情况拆卸,以形成不同的闭合通路。堵塞块30例如可以为弹性塞。为了保证闭合通路的密闭性,优选为,分液道111的端口和分气道121的端口可以分别设有密封圈。恒温循环液通道11的循环液进出口17通常只设计一个进液口和一个出液口,以方便连接恒温液循环设备。
在本发明的气液管路混合控制装置中,集成板10的内部设计分为三层内孔道,即,沿厚度方向从下往上依次分层分布的恒温循环液通道11、第一气道122和第二气道123。优选为,上面两层的内孔道相互连通,即,第一气道122和第二气道123相互连通,以供各气动控制元件连通使用。根据使用的要求和流量的需要,第一气道122和第二气道123的直径会比较小。第三层内孔道是恒温循环液通道11。恒温循环液通过第三层内孔道,可有效地控制整个集成板10的温度,整个集成板10的温度又会传递到上两层的气道12,从而达到高效的气体恒温控制效果。
本发明的气液管路混合控制装置中,如图6所示,集成板10的板面上设有用于固定安装气动控制元件的气动元件安装孔13,气道12内设有通向集成板10的板面的通孔124,气动控制元件连通于通孔124。在本发明的优选实施方式中,气动元件安装孔13为螺纹孔,气动控制元件通过螺栓固定在集成板10的板面上。
本发明的气液管路混合控制装置中,气动控制元件可以包括流量计21和/或隔膜阀22,流量计21和/或隔膜阀22底部设有用于连通气道12的进气孔和出气孔。流量计21和/或隔膜阀22的进气孔和出气孔对应于连通于气道12的通孔124。优选为,第一气道122和第二气道123在空间交错布置,流量计21和/或隔膜阀22安装在第一气道122和第二气道123的空间交错处,以确保集成板10的强度。
本发明的气液管路混合控制装置中,如图1~图3所示,气动控制元件还可以包括单向阀23、气路接头24和焊接硬管25,单向阀23和气路接头24固定于气动元件安装孔13内,单向阀23和气路接头24通过焊接硬管25连通。以实现部分分气道121的单向流通。气动控制元件还可以包括液罐26,在集成板10的下板面形成有液罐安装孔14,气路接头24设置在液罐安装孔14内,并延伸至液罐26内。液罐安装孔14内留有凸起的气路接头24,气路接头24连接管子伸到液罐26里,使得气体通过液体后,饱含某种气体分子,然后再通过单向阀23输出,从而达到使用的目的。
本发明的气液管路混合控制装置中,如图1~图3所示,集成板10设有与气道12的闭合通路连通的总进气口15和总出气口16。气动控制元件还包括内部设有气道的转接块27。转接块27连接于总出气口16。可以根据实际需要,增加转接块27。转接块27可以内含通道,采用螺栓固定,通过压接密封圈的方式,与总出气口16连接,从而能够实现气体向指定方向喷出,并且能够实现空间上的自由转向。
综上所述,本发明的气液管路混合控制装置实现了气路布置的特定的高度集中,并且既可以满足气路的特定原理的功能,又可以实现整个集成板10的高效温控。因为是在集成板10内既通过气体又通过恒温循环液,恒温循环液通过温度控制机构可以高效地控制冷热的恒温循环液的温度,因此也能够高效地控制气路的温度。由此能够在保证热转换效率的情况下,简化设备,降低制造成本。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种气液管路混合控制装置,包括集成板(10)和气动控制元件,所述气动控制元件安装于所述集成板(10),其特征在于,
所述集成板(10)的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道(11)和至少一层气道(12),所述气动控制元件与所述气道(12)连通。
2.根据权利要求1所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述恒温循环液通道(11)包括多个分液道(111),所述分液道(111)的端口形成在所述集成板(10)的侧面上,并垂直于所对应的所述集成板(10)的侧面向所述集成板(10)的内部延伸;
所述气道(12)包括多个分气道(121),所述分气道(121)的端口形成在所述集成板(10)的侧面上,并垂直于所对应的所述集成板(10)的侧面向所述集成板(10)的内部延伸。
3.根据权利要求2所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述分液道(111)的端口和所述分气道(121)的端口分别安装有可拆卸的堵塞块(30),以形成闭合通路。
4.根据权利要求3所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述集成板(10)的板面上设有用于固定安装所述气动控制元件的气动元件安装孔(13),所述气道(12)内设有通向所述集成板(10)的板面的通孔(124),所述气动控制元件连通于所述通孔(124)。
5.根据权利要求4所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述气动控制元件包括流量计(21)和/或隔膜阀(22),所述流量计(21)和/或所述隔膜阀(22)底部设有用于连通所述气道(12)的进气孔和出气孔。
6.根据权利要求5所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述集成板(10)的内部包括沿厚度方向从下向上依次分层分布的恒温循环液通道(11)、第一气道(122)和第二气道(123),所述第一气道(122)和所述第二气道(123)在空间交错布置,所述流量计(21)和/或所述隔膜阀(22)安装在所述第一气道(122)和所述第二气道(123)的空间交错处。
7.根据权利要求6所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述第一气道(122)和所述第二气道(123)相互连通。
8.根据权利要求5~7中任意一项所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述气动控制元件还包括单向阀(23)、气路接头(24)和焊接硬管(25),所述单向阀(23)和所述气路接头(24)固定于所述气动元件安装孔(13)内,所述单向阀(23)和所述气路接头(24)通过所述焊接硬管(25)连通。
9.根据权利要求8所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述气动控制元件还包括液罐(26),在所述集成板(10)的下板面形成有液罐安装孔(14),所述气路接头(24)设置在所述液罐安装孔(14)内,并延伸至所述液罐(26)内。
10.根据权利要求9所述的气液管路混合控制装置,其特征在于,
所述集成板(10)设有通向所述气道(12)的闭合通路的总进气口(15)和总出气口(16),所述气动控制元件还包括内部设有气道的转接块(27),所述转接块(27)连接于所述总出气口(16)。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 221300 No.8, Liaohe West Road, Pizhou Economic Development Zone, Xuzhou City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Luwen Instrument Co.,Ltd. Address before: 221300 No.8, Liaohe West Road, Pizhou Economic Development Zone, Xuzhou City, Jiangsu Province Patentee before: JIANGSU LEUVEN INSTRUMMENTS Co.,Ltd. |
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CP03 | Change of name, title or address |