CN108226166A - 一种自动光学检测扫描方法 - Google Patents

Abstract

一种自动光学检测扫描方法，检测方法包括如下步骤：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。采用上述自动光学检测扫描方法，根据扫描设备的扫描条件和方向将多个支撑部分成N组支撑部，扫描过程中，所在扫描行/列的支撑PIN收缩以脱离待测板，相邻行/列的支撑PIN升起以支撑待测板，下一次扫描重复上述操作，以此交替完成整个扫描步骤，从根本上解决了扫描的图像在支撑PIN处存在的扫描盲区，及时且高效地将采集的图像反馈至各个岗位，便于后续改良和工艺的提升，从而提升产品的优良率。

Description

一种自动光学检测扫描方法

技术领域

本发明涉及平板扫描检测技术领域，特别是涉及一种自动光学检测扫描方法。

背景技术

随着平板显示器的发展，为了保证平板显示器的品质，需要对平板进行工艺监控，以避免平板上存在肉眼无法发现的缺陷，采用高精度的扫描方式和精确的算法，将各种各样的缺陷检出，反馈给各个岗位，帮助改良和提升工艺。

目前采用的检测缺陷的设备为AOI(Automatic Optic Inspection，自动光学检测)，自动光学检测需要人为设定检测区域，由TDI(Time Delay Integration，时间延时积分)相机扫描基板，将收集的图像转化为灰度值数字信号，依靠周期性对比的算法，将异常点位检出标记为缺陷，该扫描方式决定了基板上的检测区域必须具备一定的周期性，而机台的PIN支撑的基板部位由于高度与周边不同，从宏观上也能看出有一定的印记，这部分容易检出为假缺陷。Pin尽管也具有周期性，但其对应基板上的检测区域却不一定在该周期上具有重复性。

为了抹除支撑PIN部分的影响，目前自动光学检测设备对基板的检测，大都采用抹除这部分区域检测的方法，即标记为False Defect，则这部分成为了检测盲区。为了保持基板的水平，要求具有一定数量的PIN，数目就越多，检测盲区也就越多，越影响检测设备对工艺的监控。

发明内容

基于此，有必要提供一种消除支撑PIN形成的伪缺陷的自动光学检测扫描方法。

一种自动光学检测扫描方法，包括如下步骤：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。

在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部。

在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按列扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干列支撑部。

在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：根据扫描条件将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组。

在其中一个实施例中，每组支撑部包括至少二排支撑部，且各组支撑部中的各排支撑部相互间隔设置。

在其中一个实施例中，N为2。

在其中一个实施例中，所述分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，具体为：对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，然后每变换一次扫描方向则对下一组支撑部上方的待测板进行扫描，直至完成对全部组支撑部上方的待测板的扫描。

在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部之前，所述自动光学检测扫描方法还包括步骤：根据设备的扫描周期阵列分布多个所述支撑部。

在其中一个实施例中，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前同时或顺序收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后同时或顺序升起以与所述待测板相接触。

在其中一个实施例中，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部升起以与所述待测板相接触，以及驱动该组支撑部在扫描之后升起以与所述待测板相接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部收缩以与所述待测板脱离接触。

上述自动光学检测扫描方法以及采用上述扫描方法的扫描装置，进行第一次扫描时，所在扫描行/列的支撑PIN收缩，相邻行/列的支撑PIN升起，并支撑待测板，进行第二次扫描时，重复上次操作，以此交替完成整个扫描步骤。这样，当TDI相机扫描时，可以避免扫描到支撑PIN，从根本上解决由于支撑PIN形成的伪缺陷，使得扫描的图像在支撑PIN处不再有盲区，及时且高效地将采集的图像反馈至各个岗位，便于后续改良和工艺的提升，从而提升产品的优良率。

附图说明

图1为一实施方式的自动光学检测扫描方法的流程示意图；

图2为一实施方式的自动光学检测扫描方法的流程示意图；

图3为一实施方式的自动光学检测扫描方法的控制流程图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

例如，一种自动光学检测扫描方法，包括：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。

下面结合附图描述根据本发明实施例的自动光学检测扫描方法。

如图1所示，一实施例的自动光学检测扫描方法包括如下步骤：S110：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；S120：分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。下面对各步骤作出进一步说明。

S110：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部。

在一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部。使得所述支撑部的排列方向与扫描方向保持一致，其中，扫描方向与基台的运动方向相反，即基台从左端运动至右端，而扫描方向相对于所述基台为从右端运动至左端，分成的N组支撑部，每一组都是以行为方向组成的，与扫描设备的扫描方向相适应，便于扫描设备的扫描，在本实施例中，例如，N为2，即，将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成2组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部，例如S120中，第一次从左向右扫描，第二次从右向左扫描，使得扫描设备对待测板的检测只需要扫描2次即可完成；进一步地，第一次从左向右扫描时分别对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，驱动第一组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，第二次从右向左扫描时分别对第二组支撑部上方的待测板进行扫描，驱动第二组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。进一步地，第一次从左向右扫描时分别对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，驱动第一组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触，同时驱动与第一组支撑部相邻的第二组支撑部升起以与所述待测板相接触，即驱动第二组支撑部升起以与所述待测板相接触，一起到均一的支撑作用；并且，驱动第一组支撑部在扫描之后升起以与所述待测板相接触，同时驱动与第一组支撑部相邻的第二组支撑部收缩以与所述待测板脱离接触；第二次从右向左扫描时分别对第二组支撑部上方的待测板进行扫描，此时第二组支撑部已经收缩以与所述待测板脱离接触，且第一组支撑部已经升起以与所述待测板相接触，因此直接扫描即可，进一步地，在第二次从右向左扫描之后，继续驱动第二组支撑部在扫描之后升起以与所述待测板相接触；其余实施例以此类推。当待测板的面积过大时，需要根据实际情况将支撑部进行分组，即基台上具有多排支撑部行或者支撑列，其中以2排相邻的支撑部为分布周期均匀分布于基台上，即2排支撑部与下一周期内的2排支撑部之间可以设置有一定的距离，这样，可以避免设置过多的支撑部。

扫描设备在进行扫描操作之前，操作者将待测板放置于基台上，待测板的大小可根据自动光学检测设备的类型决定，适用于本方案中的待测基板的标准形状为730mm×920mm，其质量由待测板的厚度决定，例如，待测板的质量为0.3～0.8t；又如，待测板的质量为0.4～0.7t。

上述步骤之后需要将开启图像采集设备，即开启相机对待测板进行图像采集，本实施例中的相机包括TDI(Time Delay Integration，时间延时积分)相机，其中，支撑部的分布与TDI相机的图像采集周期相适应。

在另一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按列扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干列支撑部。使得所述支撑部的排列方向与扫描方向保持一致，其中，扫描方向与基台的运动方向相反，即基台从顶端运动至底端，而扫描方向相对于所述基台为从底端运动至顶端，分成的N组支撑部，每一组都是以列为方向组成的，与扫描设备的扫描方向相适应，便于扫描设备的扫描，在本实施例中，N为2。

在另一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：根据扫描条件将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组。其中，扫描条件包括多种限制条件，例如，所述扫描条件为扫描设备的扫描周期，使得扫描设备的扫描周期决定所述支撑部的分组情况；又如，所述扫描条件为基台的运动周期，这样，所述支撑部的组数可以根据基台的运动一次所用的时间决定，在本实施例中，N为2，支撑部的材质为不锈钢，即所述扫描设备的数量为两个，两个所述扫描设备彼此相邻；又如，N为3，即所述扫描设备的数量为两个，三个所述扫描设备彼此相邻，依次设置于待测板的上方位置。

将每一组支撑部作为一个单元组，为了节省扫描时间，可以适当增加扫描设备的数量，例如，扫描设备为多个TDI相机，其采用的扫描技术是通过帧转移器件中的一堆线阵像素与待成像物体的运动对准且与待成像物体的运动同步，随着图像从一行像素移向另一行，积分电荷也随着移动，用这种方式对运动物体进行连续的成像输出，在弱光时提供了比普通线扫面相机更高的分辨率，适用于弱光高速条件下的图像采集，尤其适用于大尺寸平板的高速扫描。

为了便于扫描设备的扫描，每组支撑部包括至少二排支撑部，且各组支撑部中的各排支撑部相互间隔设置。每一组支撑部之间间隔有固定排的间距，此间距中不设置有支撑部，节省后续扫描过程中的支撑部交替时间，减少了扫描的时间。根据各排的支撑部的形成方向的具体情况决定扫描方向，例如，当进行列扫描时，所述排为行，即每组支撑部包括至少二行支撑部；又如，当进行行扫描时，所述排为列，即每组支撑部包括至少二列支撑部。这样，当待测板放置于基台的角度不同时，使得每组支撑部上对应的待测区域以相对应的方向进行扫描，从而使得扫描设备可逐次对每组支撑部进行。

S120：分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。

在一实施例中，所述分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，具体为：对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，然后每变换一次扫描方向则对下一组支撑部上方的待测板进行扫描，直至完成对全部组支撑部上方的待测板的扫描。检测的区域为人为设定的，当扫描设备进行扫描时，其中，对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，即第一组支撑部对应待测板上的位置为初始化位置，也即，扫描设备的初始化位置为扫描位置起始位置，扫描设备的初始化位置可根据所需要的检测区域进行决定，例如，扫描设备的初始化位置为待测板的侧边边界位置，扫描设备从所述待测板的侧边边界位置逐行或列向所述待测板的另一侧边界位置移动，这样，可以将整个所述待测板的区域进行扫描；又如，扫描设备的初始化位置为待测板的中部位置，扫描设备从所述待测板的中部位置逐行或列向所述待测板的侧边界位置移动；又如，扫描设备的初始化位置为待测板的第一指定位置，扫描设备从所述待测板的第一指定位置逐行或列向所述待测板的第二指定位置移动，使得扫描设备对待测板的指定区域进行特定扫描，即完成了对人为设定的检测区域的图像采集，使得人为设定的检测区域的图像可以直接用于后续对缺陷的判断。

上述自动光学检测扫描方法，将多个所述支撑部分成多组支撑部，按照扫描设备的扫描方向，将多组支撑部进行必要分类，例如，将N组支撑部中的一半分为第一支撑部，另外一部分的支撑部分为第二支撑部，便于设置扫描设备的数量，只需要扫描指定次数即可完成全部扫描过程，有效地控制了扫描设备的设置，避免了扫描设备的重复扫描；支撑部的数量根据扫描设备的扫描周期决定，便于扫描设备对每一组支撑部所在行/列的扫描，避免了漏扫的情况；所述支撑部通过程序控制其收缩和升起，当扫描设备的扫描方向转变时，通过控制模块发送的指令使得相应行/列的支撑部做出对应的操作行为，便于支撑部将待测板稳定设置，避免了支撑部在进行交替时造成待测板的破损；支撑部的交替次数根据扫描设备的扫描次数以及支撑部的分布的密集程度决定，例如，扫描设备的扫描次数越少，支撑部的交替次数也越少；又如，支撑部的分布越密集，支撑部的交替次数也越少；通过扫描设备的扫描次数以及支撑部的分布的密集程度的设定，使得支撑部的交替次数得到有效控制，避免了过多的交替次数造成采集的待测板图像与实际图像存在较大差异。

请参阅图2，在一实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部之前，所述自动光学检测扫描方法还包括步骤S101：根据设备的扫描周期阵列分布多个所述支撑部。其中，所述设备包括扫描设备，扫描设备的扫描周期决定了每行/列方向上的支撑部的数量，即决定了在每一扫描设备的扫描周期内，扫描设备通过的支撑部的个数。

在一实施例中，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前同时或顺序收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后同时或顺序升起以与所述待测板相接触，扫描之前，扫描设备处在的与一组支撑部对应的待测板上方，此组支撑部可根据自动光学检测设备的型号，决定此组的支撑部收缩和升起的方式，本实施例中，采用的方式包括同时收缩和升起以及顺序依次收缩和升起，这样，使得用于支撑待测板的支撑部保持稳定，避免了待测板在支撑部交替过程中脱离，避免了待测板的损坏，提高了产品的良品率。

在一实施例中，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部升起以与所述待测板相接触，以及驱动该组支撑部在扫描之后升起以与所述待测板相接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部收缩以与所述待测板脱离接触。

为了更好地说明扫描设备的扫描过程中的控制指令，请参阅图3，扫描步骤包括：S210：驱动第一支撑部收缩，驱动第二支撑部升起；S220：驱动基台沿第一轨迹运动；S230：驱动基台至第二轨迹上；S240：驱动第一支撑部升起，驱动第二支撑部收缩；S250：驱动基台沿第二轨迹运动；S260：驱动基台至第三轨迹上；S270：驱动基台沿第三轨迹运动。其中，在步骤S210之前还包括如下步骤：S201：将待测板设置于基台；S202：驱动相机采集待测板的图像信息。其中，图1中的步骤S120包括图3中的步骤S210和步骤S240，即驱动该组支撑部在扫描之前收缩包括S210的驱动第一支撑部收缩和S240的驱动第二支撑部收缩；驱动该组支撑部在扫描之后升起包括S210的驱动第二支撑部升起和驱动第二支撑部收缩。

所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，其中N为2，即多个所述支撑部分别为第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部上对应的扫描轨迹为第一轨迹，所述第二支撑部上对应的扫描轨迹为第二轨迹，当前第二轨迹与下一组的第一轨迹之间设置有第三轨迹。当扫描设备处于第一支撑部上方时，驱动第一支撑部收缩，驱动第二支撑部升起，为了保证待测板的平稳性，所述第一支撑部和所述第二支撑部的上述操作需要一定的先后顺序，所述第二支撑部先升起至与所述待测板接触，即所述第二支撑部与所述待测板抵接，所述第一支撑部之后才脱离所述待测板，这样，使得待测板始终处于平稳状态，避免了支撑部交替过程中对待测板造成的破损。

驱动基台沿第一轨迹运动，相机对经过其下方的待测板进行指定区域扫描，例如，相机对当前第一轨迹对应的待测板区域扫描，在所述驱动基台沿第一轨迹运动之后，需要对基台的当前状态进行判定，即判断基台是否运动至扫描区域的端部，若否，则返回上一步骤；若是，则继续进行下一步操作。这样，可以根据基台的运动位置知晓是否第一轨迹上的扫描完成，除此之外，每当一轨迹的扫描完成后，都需要对基台的位置进行一次判定，例如，驱动基台沿第二轨迹运动之后，需要判断基台是否运动至扫描区域的端部，若否，则返回上一步骤；若是，则继续进行下一步操作；又如，驱动基台沿第三轨迹运动之后，需要判断基台是否运动至扫描区域的端部，若否，则返回上一步骤；若是，则继续进行下一步操作，避免了基台运动超出扫描范围。

在驱动基台沿第一轨迹运动之后，还需要对基台的侧边进行判定，即判定基台的侧边是否位于扫描区域的边界，若是，则结束进程；若否，则继续下一步操作。除此之外，每当一轨迹的扫描完成后，都需要对基台的侧边位置进行一次判定，例如，驱动基台沿第二轨迹运动之后，需要判定基台的侧边是否位于扫描区域的边界，若是，则结束进程；若否，则继续下一步操作；又如，驱动基台沿第三轨迹运动之后，需要判定基台的侧边是否位于扫描区域的边界，若是，则结束进程；若否，则继续下一步操作。这样，可以使得所述基台在每一次扫描完成之后判断是否完全扫描结束。

上述的判断可通过设置的程序完成，例如，设置多种不同的中断程序，其中包括判定基台是否运动至扫描区域的端部以及判定基台是否运动至扫描区域的侧边边界的两种定时中断程序。

在本实施例中，需要对第三轨迹上的扫描进行设置，由于所述第三轨迹对应处未设置有支撑部，当扫描设备扫描至第三轨迹上时，支撑部无需执行交替操作。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种自动光学检测扫描方法，其特征在于，包括如下步骤：

将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；

分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。

2.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部。

3.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按列扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干列支撑部。

4.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：根据扫描条件将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组。

5.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，每组支撑部包括至少二排支撑部，且各组支撑部中的各排支撑部相互间隔设置。

6.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，N为2。

7.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，具体为：对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，然后每变换一次扫描方向则对下一组支撑部上方的待测板进行扫描，直至完成对全部组支撑部上方的待测板的扫描。

8.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部之前，所述自动光学检测扫描方法还包括步骤：根据设备的扫描周期阵列分布多个所述支撑部。

9.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前同时或顺序收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后同时或顺序升起以与所述待测板相接触。

10.根据权利要求1至9中任一项所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部升起以与所述待测板相接触，以及驱动该组支撑部在扫描之后升起以与所述待测板相接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部收缩以与所述待测板脱离接触。