CN108196433A - 激光光绘机 - Google Patents

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CN108196433A CN201810151672.0A CN201810151672A CN108196433A CN 108196433 A CN108196433 A CN 108196433A CN 201810151672 A CN201810151672 A CN 201810151672A CN 108196433 A CN108196433 A CN 108196433A
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Abstract

一种激光光绘机,包括机架和至少一个激光器,其特征在于还包括转轴、激光器安装架和工件定位平台;转轴可转动安装在机架上且为上下走向,激光器安装架与转轴下端连接,各激光器均安装在激光器安装架上,机架上设有能够驱动激光器安装架绕转轴旋转的旋转驱动机构;工件定位平台处于激光器安装架下方,机架上设有能够驱动工件定位平台沿水平方向移动的工件定位平台运动机构。本发明的激光光绘机不仅能够实现快速、高精度的绘制,激光聚焦后直接投影到工件的工作面上,聚焦准确且激光能量效率高,而且结构简单,制造成本低,易于维护,有利于推广应用。而且,本发明既适合柔性工件的光绘,又适合刚性工件的光绘。

Description

激光光绘机
技术领域
本发明涉及一种激光光绘机。
背景技术
激光光绘机(简称光绘机)用于在感光底片上绘制各种图形、图像、文字或符号。激光光绘机是用激光对感光底片进行扫描产生图形的,可用于印制电路板的制作,首先,将印制电路板的图面映像到一个存储阵列中,然后使激光束按照存储阵列中相应单元的值被打开或关闭,照射在感光底片上进行曝光,从而得到所需要的底片。
传统的激光光绘机主要有内圆筒式激光光绘机和外滚筒式激光光绘机两种。
内圆筒式激光光绘机工作时,感光底片由真空吸附在一圆桶状内壁上,激光器发射的激光束,经电子快门(激光束在电子快门控制下进行开启与闭合的动作)及光束强化器的光点选择口后,再由两块反射镜反射至高速旋转的斜置反射镜上,再反射到感光底片上进行曝光。
外滚筒式激光光绘机工作时,用强力真空泵将感光底片吸附在圆形滚筒外侧,滚筒快速旋转。为使感光底片牢固吸附在滚筒上,滚筒转速不能过高,否则感光底片将在高速旋转时被甩出,所以,外滚筒式激光光绘机的转速与内滚筒式激光光绘机的转速相比相很多,扫描曝光速度也相应降低。为解决这个问题,采用分光棱镜将激光束分解成多束(如32束),这样可在感光底片上一次曝光多个(如32个)像素,相当于将扫描速度提高了相应的倍数(如32倍)。
目前较先进的数字微镜成像系统,其成像元件为数字微镜器件,通常一个数字微镜器件中包含数量众多的微镜(例如每行包含7056个微镜, 排列成64行,微镜与微镜的间距约17 u m),微镜是控制光线开关的元件。光源发出的光束抵达凹面面向光束的环形反射器(称为第一反射器)后,被反射到另一个凸面面向光束的环形反射器(称为第二反射器),光束经第二反射器反射后为数字微镜器件所接收,通过投射镜的调制,再射到折叠镜上,来自折叠镜的光束被反射镜反射,最终到达记录鼓表面(相当于感光底片)。
上述内圆筒式激光光绘机、外滚筒式激光光绘机和数字微镜成像系统具有绘制速度快、绘制的底片精度高的优点,但是,由于需要用到精密的斜置反射镜、分光棱镜、数字微镜器件等价格昂贵的光学部件,因此价格极其昂贵,且维修困难,不易得到普及。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种激光光绘机,这种激光光绘机不仅能够实现快速、高精度的绘制,而且成本低,易于维护。采用的技术方案如下:
一种激光光绘机,包括机架和至少一个激光器,其特征在于还包括转轴、激光器安装架和工件定位平台;转轴可转动安装在机架上且为上下走向,激光器安装架与转轴下端连接,各激光器均安装在激光器安装架上,机架上设有能够驱动激光器安装架绕转轴旋转的旋转驱动机构;所述工件定位平台处于激光器安装架下方,机架上设有能够驱动工件定位平台沿水平方向移动的工件定位平台运动机构。
上述激光光绘机工作时,将工件(感光胶片,或具有感光层的工件(如具有感光层的印制电路板坯板))固定在工件定位平台上;然后启动激光光绘机,工件定位平台运动机构驱动工件定位平台及工件一起按设定的速度及路线在水平方向上移动,同时旋转驱动机构驱动转轴旋转并带动激光器安装架及各激光器绕转轴旋转,各激光器按设定的序列打开或关闭,激光器发射的激光照射在工件上进行曝光,工件上被激光照射到的位置形成曝光点,这样,工件定位平台及工件按设定的速度及路线完成移动后,即可在工件上绘制出所需的曝光图形(所有曝光点的总和构成该曝光图形)。以印制电路板为例,先将印制电路板的线路图面映像到一个存储阵列中(存储阵列包含需要曝光的点的坐标),然后使激光束按照存储阵列中相应单元的值打开或关闭,照射在具有感光层的印制电路板坯板上进行曝光,从而得到所需要的曝光图形;后续经常规的显影、铜层腐蚀后得到具有所需线路图形的印制电路板。通常,上述感光胶片或感光层只在特定波长的激光照射下会曝光,而环境照明光则采用波长与该激光差距较大的光。
上述激光器可实现快速的开关切换,实现激光束的瞬间通断,激光器与工件上需要曝光的位置对应时打开(此时激光器发射激光,在工件对应的位置上形成曝光点),激光器与工件上不需曝光的位置对应时关闭(此时激光器不发射激光)。激光器的开关可通过激光器驱动电路控制,激光器驱动电路可采用常规技术,在此不作详细描述。
上述激光器通常带有聚光装置,使激光器发出的激光束更为集中。
一种具体方案中,上述旋转驱动机构包括旋转驱动电机,旋转驱动电机固定安装在机架上,旋转驱动电机的动力输出轴与转轴传动连接。旋转驱动电机的动力输出轴可通过联轴器或离合器与转轴上端连接,也可通过其他传动机构与转轴上端连接。
通常,上述激光光绘机还包括用于检测转轴的转动角度的编码器,通过编码器检测转轴转过的角度,结合激光器与转轴旋转中心之间的距离,以获取激光器的位置坐标信息。编码器获取转轴的角度信息后反馈给激光光绘机的控制系统,控制系统即可根据该角度信息,结合激光器与转轴旋转中心之间的距离,获得激光器及其发射的激光束的位置坐标。上述编码器通常采用旋转编码器,如轴套型旋转编码器。编码器可直接检测转轴的转动角度;也可直接检测旋转驱动电机的动力输出轴的转动角度,结合旋转驱动电机的动力输出轴与转轴之间的传动比计算出转轴的转动角度(在旋转驱动电机的动力输出轴通过联轴器与转轴上端连接的情况下,旋转驱动电机的动力输出轴的转动角度等于转轴的转动角度)。
优选方案中,上述激光光绘机包括多个激光器,各激光器与转轴旋转中心之间的距离一致。更优选上述多个激光器沿转轴的周向均布。通过设置多个激光器,可进一步提高光绘速度。
优选方案中,上述机架上设有护罩,激光器安装架和激光器处在护罩的腔体中。护罩起到保护作用,可防止操作人员碰触到高速旋转的激光器安装架而受伤。
一种优选方案中,上述工件定位平台运动机构包括直线形导轨,直线形导轨设于机架上且沿水平方向设置,工件定位平台底部设有滑块,滑块与直线形导轨滑动配合,机架上设有能够驱动滑块及工件定位平台沿直线形导轨移动的平移机构。平移机构启动后,驱动滑块、工件定位平台及其上面的工件沿直线形导轨移动,工件在移动的过程中被扫描曝光。这种情况下,激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点。直线形导轨通常设有两个,工件定位平台底部设有分别与两个直线形导轨滑动配合的两个滑块(或两组滑块)。
一种具体方案中,上述平移机构包括伺服电机和滚珠丝杆,滚珠丝杆的螺杆可转动安装在机架上并且与直线形导轨相互平行,滚珠丝杆的螺母与工件定位平台连接,伺服电机安装在机架上,伺服电机的动力输出轴与滚珠丝杆的螺杆传动连接。另一种具体方案中,上述平移机构包括伺服电机、螺杆和螺母,伺服电机安装在机架上,螺杆可转动安装在机架上并且与伺服电机的动力输出轴传动连接,螺杆与直线形导轨相互平行,螺母安装在工件定位平台上并且与螺杆啮合。另一种具体方案中,上述平移机构包括直线电机,直线电机安装在机架上,直线电机的动力输出端与工件定位平台连接。
另一种优选方案中,上述工件定位平台运动机构包括第一直线形导轨、平移座和第二直线形导轨;第一直线形导轨设于机架上且沿水平方向设置,平移座底部设有第一滑块,第一滑块与第一直线形导轨滑动配合,机架上设有能够驱动第一滑块及平移座沿第一直线形导轨移动的第一平移机构;第二直线形导轨设于平移座上,第二直线形导轨沿水平方向设置并且与第一直线形导轨成一夹角,工件定位平台底部设有第二滑块,第二滑块与第二直线形导轨滑动配合,平移座上设有能够驱动第二滑块及工件定位平台沿第二直线形导轨移动的第二平移机构。更优选方案中,上述第二直线形导轨与第一直线形导轨相互垂直。激光光绘机工作时,可按下述两种方式之一控制工件定位平台及其上面的工件的移动:(1)首先,启动第一平移机构(此时第二平移机构暂停),驱动第一滑块、平移座、第二平移机构、工件定位平台及其上面的工件一起沿第一直线形导轨移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点);工件定位平台及其上面的工件完成沿第一直线形导轨的移动之后,第一平移机构暂停,启动第二平移机构,驱动工件定位平台及其上面的工件一起沿第二直线形导轨移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点),第二平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹与第一平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹交叉,形成网状排列的曝光点轨迹;或(2)先启动第二平移机构(此时第一平移机构暂停),驱动工件定位平台及其上面的工件一起沿第二直线形导轨移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点);工件定位平台及其上面的工件完成沿第二直线形导轨的移动之后,第二平移机构暂停,启动第一平移机构,驱动第一滑块、平移座、第二平移机构、工件定位平台及其上面的工件一起沿第一直线形导轨移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点);第一平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹与第二平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹交叉,形成网状排列的曝光点轨迹。采用第一平移机构、第二平移机构分两步驱动工件定位平台及其上面的工件移动,分两步对工件进行扫描光绘,既可确保扫描光绘具有较高的分辨率(可达到2-0.5微米级),又可使工件定位平台在两个方向上都可较快地平移,提高光绘速度。
一种具体方案中,上述第一平移机构包括第一伺服电机和第一滚珠丝杆,第一滚珠丝杆的螺杆可转动安装在机架上并且与第一直线形导轨相互平行,第一滚珠丝杆的螺母与平移座连接,第一伺服电机安装在机架上,第一伺服电机的动力输出轴与第一滚珠丝杆的螺杆传动连接。另一种具体方案中,上述第一平移机构包括第一伺服电机、第一螺杆和第一螺母,第一伺服电机安装在机架上,第一螺杆可转动安装在机架上并且与第一伺服电机的动力输出轴传动连接,第一螺杆与第一直线形导轨相互平行,第一螺母安装在平移座上并且与第一螺杆啮合。另一种具体方案中,上述第一平移机构包括第一直线电机,第一直线电机安装在机架上,第一直线电机的动力输出端与平移座连接。第一直线形导轨通常设有两个,平移座底部设有分别与两个第一直线形导轨滑动配合的两个第一滑块(或两组第一滑块)。
一种具体方案中,上述第二平移机构包括第二伺服电机和第二滚珠丝杆,第二滚珠丝杆的螺杆可转动安装在平移座上并且与第二直线形导轨相互平行,第二滚珠丝杆的螺母与工件定位平台连接,第二伺服电机安装在平移座上,第二伺服电机的动力输出轴与第二滚珠丝杆的螺杆传动连接。另一种具体方案中,上述第二平移机构包括第二伺服电机、第二螺杆和第二螺母,第二伺服电机安装在平移座上,第二螺杆可转动安装在平移座上并且与第二伺服电机的动力输出轴传动连接,第二螺杆与第二直线形导轨相互平行,第二螺母安装在工件定位平台上并且与第二螺杆啮合。另一种具体方案中,上述第二平移机构包括第二直线电机,第二直线电机安装在平移座上,第二直线电机的动力输出端与工件定位平台或第二滑块连接。第二直线形导轨通常设有两个,工件定位平台底部设有分别与两个第二直线形导轨滑动配合的两个第二滑块(或两组第二滑块)。
优选方案中,上述工件定位平台上设有能够将工件固定在工件定位平台上的工件定位装置。一种具体方案中,上述工件定位装置包括吸气罩和负压风机,吸气罩设于工件定位平台下方,吸气罩的腔体与负压风机的进气口连通,工件定位平台上设有多个与吸气罩的腔体连通的吸气孔,负压风机对吸气罩抽气时,能够在各吸气孔周围形成负压,将工件吸附在工件定位平台上。另一种具体方案中,上述工件定位装置包括设于工件定位平台上表面上的多个夹具,各夹具可分别夹持住工件的边沿部位,将工件的位置固定。另一种具体方案中,上述工件定位装置包括多个限位块,各限位块之间形成可放置工件的空间,放置好工件后,各限位块分别与工件边沿部位对应的位置接触,将工件的位置固定。
本发明的激光光绘机不仅能够实现快速、高精度的绘制,激光聚焦后直接投影到工件的工作面上,聚焦准确且激光能量效率高,而且结构简单,无需使用价格昂贵的斜置反射镜、分光棱镜、数字微镜器件等光学部件,制造成本低,易于维护,有利于推广应用。而且,本发明的激光光绘机进行光绘时,工件的工作面为平面,无需对工件进行弯曲,既适合柔性工件的光绘,又适合刚性工件的光绘。
附图说明
图1是本发明优选实施例1的结构示意图;
图2是图1的A-A剖视图;
图3是图1所示激光光绘机的立体图;
图4是本发明优选实施例2的结构示意图;
图5是图4的B-B剖视图;
图6是图4所示激光光绘机的立体图。
具体实施方式
实施例1
如图1-图3所示,这种激光光绘机包括机架1、转轴2、激光器安装架3、工件定位平台4和两个激光器5;转轴2可转动安装在机架1上且为上下走向(转轴2通过轴承17安装在机架1上),激光器安装架3与转轴2下端连接,各激光器5均安装在激光器安装架3上,机架1上设有能够驱动激光器安装架3绕转轴2旋转的旋转驱动机构;工件定位平台4处于激光器安装架3下方,机架1上设有能够驱动工件定位平台4沿水平方向移动的工件定位平台运动机构。
本实施例中,两激光器5与转轴2旋转中心之间的距离一致,且这两个激光器5沿转轴2的周向均布(两激光器5在转轴2的周向错开180度)。
激光器5可实现快速的开关切换,实现激光束的瞬间通断,激光器与工件上需要曝光的位置对应时打开(此时激光器发射激光,在工件对应的位置上形成曝光点),激光器与工件上不需曝光的位置对应时关闭(此时激光器不发射激光)。激光器5的开关可通过激光器驱动电路控制,激光器驱动电路可采用常规技术,在此不作详细描述。
旋转驱动机构包括旋转驱动电机6,旋转驱动电机6固定安装在机架1上,旋转驱动电机6的动力输出轴与转轴2传动连接(本实施例中旋转驱动电机6的动力输出轴通过联轴器与转轴2上端连接)。
上述激光光绘机还包括用于检测转轴2的转动角度的编码器8(本实施例中编码器8直接检测旋转驱动电机的动力输出轴的转动角度,旋转驱动电机的动力输出轴的转动角度等于转轴的转动角度),编码器8采用旋转编码器,如轴套型旋转编码器。
本实施例中,工件定位平台运动机构包括直线形导轨9,直线形导轨9设于机架1上且沿水平方向设置,工件定位平台4底部设有滑块10,滑块10与直线形导轨9滑动配合,机架1上设有能够驱动滑块10及工件定位平台4沿直线形导轨9移动的平移机构。直线形导轨9设有两个,工件定位平台4底部设有分别与两个直线形导轨9滑动配合的两个滑块10(或两组滑块10)。平移机构包括伺服电机11、螺杆12和螺母13,伺服电机11安装在机架1上,螺杆12可转动安装在机架1上并且与伺服电机11的动力输出轴传动连接,螺杆12与直线形导轨9相互平行,螺母13安装在工件定位平台4上并且与螺杆12啮合。伺服电机11的动力输出轴可通过联轴器或离合器与螺杆一端连接,也可通过其他传动机构与螺杆连接。
工件定位平台4上设有能够将工件固定在工件定位平台4上的工件定位装置。本实施例中,工件定位装置包括吸气罩14和负压风机(图中未画出负压风机),吸气罩14设于工件定位平台1下方,吸气罩14的腔体15与负压风机的进气口连通,工件定位平台4上设有多个与吸气罩14的腔体15连通的吸气孔16,负压风机对吸气罩14抽气时,能够在各吸气孔16周围形成负压,将工件吸附在工件定位平台4上。
机架1上还可设有护罩,激光器安装架和激光器处在护罩的腔体中,护罩起到保护作用,可防止操作人员碰触到高速旋转的激光器安装架而受伤。
下面简述一下本激光光绘机的工作原理:
工作时,将工件(感光胶片,或具有感光层的工件(如具有感光层的印制电路板坯板))固定在工件定位平台4上;然后启动激光光绘机,工件定位平台运动机构驱动工件定位平台4及工件一起按设定的速度及路线在水平方向上移动(平移机构启动后,驱动滑块10、工件定位平台4及其上面的工件沿直线形导轨9按设定的速度移动,工件在移动的过程中被扫描曝光),同时旋转驱动电机6驱动转轴2旋转并带动激光器安装架3及各激光器5绕转轴2旋转(通过编码器8检测转轴2转过的角度,结合激光器5与转轴2旋转中心之间的距离,以获取激光器5的位置坐标信息;编码器8获取转轴的角度信息后反馈给激光光绘机的控制系统,控制系统即可根据该角度信息,结合激光器5与转轴2旋转中心之间的距离,获得激光器5及其发射的激光束的位置坐标),各激光器5按设定的序列打开或关闭,激光器5发射的激光照射在工件上进行曝光,工件上被激光照射到的位置形成曝光点(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点),这样,工件定位平台4及工件按设定的速度及路线完成移动后,即可在工件上绘制出所需的曝光图形(所有曝光点的总和构成该曝光图形)。以印制电路板为例,先将印制电路板的线路图面映像到一个存储阵列中(存储阵列包含需要曝光的点的坐标),然后使激光束按照存储阵列中相应单元的值打开或关闭,照射在具有感光层的印制电路板坯板上进行曝光,从而得到所需要的曝光图形;后续经常规的显影、铜层腐蚀后得到具有所需线路图形的印制电路板。
其他具体实施方式中,上述平移机构也可包括伺服电机和滚珠丝杆,滚珠丝杆的螺杆可转动安装在机架上并且与直线形导轨相互平行,滚珠丝杆的螺母与工件定位平台连接,伺服电机安装在机架上,伺服电机的动力输出轴与滚珠丝杆的螺杆传动连接。上述平移机构也可包括直线电机,直线电机安装在机架上,直线电机的动力输出端与工件定位平台连接。
其他具体实施方式中,上述工件定位装置也可包括设于工件定位平台上表面上的多个夹具,各夹具可分别夹持住工件的边沿部位,将工件的位置固定。上述工件定位装置也可包括多个限位块,各限位块之间形成可放置工件的空间,放置好工件后,各限位块分别与工件边沿部位对应的位置接触,将工件的位置固定。
实施例2
如图4-图6所示,本实施例与实施例1的不同之处在于工件定位平台运动机构的结构不同,其余结构与实施例1相同。
本实施例中,工件定位平台运动机构包括第一直线形导轨18、平移座19和第二直线形导轨20;第一直线形导轨18设于机架1上且沿水平方向设置,平移座19底部设有第一滑块21,第一滑块21与第一直线形导轨18滑动配合,机架1上设有能够驱动第一滑块21及平移座19沿第一直线形导轨18移动的第一平移机构;第二直线形导轨20设于平移座19上,第二直线形导轨20沿水平方向设置并且与第一直线形导轨18成一夹角(本实施例中第二直线形导轨20与第一直线形导轨18相互垂直),工件定位平台14底部设有第二滑块22,第二滑块22与第二直线形导轨20滑动配合,平移座19上设有能够驱动第二滑块22及工件定位平台14沿第二直线形导轨20移动的第二平移机构。第一平移机构包括第一伺服电机23、第一螺杆24和第一螺母25,第一伺服电机23安装在机架1上,第一螺杆24可转动安装在机架1上并且与第一伺服电机23的动力输出轴传动连接,第一螺杆24与第一直线形导轨18相互平行,第一螺母25安装在平移座19上并且与第一螺杆24啮合。第二平移机构包括第二伺服电机26、第二螺杆27和第二螺母28,第二伺服电机26安装在平移座19上,第二螺杆27可转动安装在平移座19上并且与第二伺服电机26的动力输出轴传动连接,第二螺杆27与第二直线形导轨20相互平行,第二螺母28安装在工件定位平台14上并且与第二螺杆27啮合。第一伺服电机23的动力输出轴可通过联轴器或离合器与第一螺杆24一端连接,也可通过其他传动机构与第一螺杆连接。第二伺服电机26的动力输出轴可通过联轴器或离合器与第二螺杆27一端连接,也可通过其他传动机构与第二螺杆连接。
本实施例的激光光绘机工作时,可按下述两种方式之一控制工件定位平台14及其上面的工件的移动:
(1)首先,启动第一伺服电机23(此时第二伺服电机26暂停),第一伺服电机23通过第一螺杆24、第一螺母25驱动第一滑块21、平移座19、第二平移机构、工件定位平台14及其上面的工件一起沿第一直线形导轨18移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点);工件定位平台14及其上面的工件完成沿第一直线形导轨18的移动之后,第一伺服电机23暂停,启动第二伺服电机26,第二伺服电机26通过第二螺杆27、第二螺母28驱动工件定位平台14及其上面的工件一起沿第二直线形导轨20移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点),第二平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹与第一平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹交叉,形成网状排列的曝光点轨迹。
或(2)先启动第二伺服电机26(此时第一伺服电机23暂停),第二伺服电机26通过第二螺杆27、第二螺母28驱动工件定位平台14及其上面的工件一起沿第二直线形导轨20移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点);工件定位平台14及其上面的工件完成沿第二直线形导轨20的移动之后,第二伺服电机26暂停,启动第一伺服电机23,第一伺服电机23通过第一螺杆24、第一螺母25驱动第一滑块21、平移座19、第二平移机构、工件定位平台14及其上面的工件一起沿第一直线形导轨18移动,工件在移动的过程中被扫描曝光(激光器每绕转轴旋转一周,都会在工件上形成按近似弧形的轨迹排列的一行曝光点);第一平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹与第二平移机构驱动时形成的曝光点排列轨迹交叉,形成网状排列的曝光点轨迹。
其他具体实施方式中,第一平移机构也可包括第一伺服电机和第一滚珠丝杆,第一滚珠丝杆的螺杆可转动安装在机架上并且与第一直线形导轨相互平行,第一滚珠丝杆的螺母与平移座连接,第一伺服电机安装在机架上,第一伺服电机的动力输出轴与第一滚珠丝杆的螺杆传动连接。上述第一平移机构也可包括第一直线电机,第一直线电机安装在机架上,第一直线电机的动力输出端与平移座连接。第一直线形导轨通常设有两个,平移座底部设有分别与两个第一直线形导轨滑动配合的两个第一滑块(或两组第一滑块)。
其他具体实施方式中,第二平移机构也可包括第二伺服电机和第二滚珠丝杆,第二滚珠丝杆的螺杆可转动安装在平移座上并且与第二直线形导轨相互平行,第二滚珠丝杆的螺母与工件定位平台连接,第二伺服电机安装在平移座上,第二伺服电机的动力输出轴与第二滚珠丝杆的螺杆传动连接。上述第二平移机构也可包括第二直线电机,第二直线电机安装在平移座上,第二直线电机的动力输出端与工件定位平台或第二滑块连接。第二直线形导轨通常设有两个,工件定位平台底部设有分别与两个第二直线形导轨滑动配合的两个第二滑块(或两组第二滑块)。

Claims (10)

1.一种激光光绘机,包括机架和至少一个激光器,其特征在于还包括转轴、激光器安装架和工件定位平台;转轴可转动安装在机架上且为上下走向,激光器安装架与转轴下端连接,各激光器均安装在激光器安装架上,机架上设有能够驱动激光器安装架绕转轴旋转的旋转驱动机构;所述工件定位平台处于激光器安装架下方,机架上设有能够驱动工件定位平台沿水平方向移动的工件定位平台运动机构。
2.根据权利要求1所述的激光光绘机,其特征是:所述旋转驱动机构包括旋转驱动电机,旋转驱动电机固定安装在机架上,旋转驱动电机的动力输出轴与转轴传动连接。
3.根据权利要求1所述的激光光绘机,其特征是:所述激光光绘机还包括用于检测转轴的转动角度的编码器。
4.根据权利要求1所述的激光光绘机,其特征是:所述激光光绘机包括多个激光器,各激光器与转轴旋转中心之间的距离一致;所述多个激光器沿转轴的周向均布。
5.根据权利要求1所述的激光光绘机,其特征是:所述机架上设有护罩,激光器安装架和激光器处在护罩的腔体中。
6.根据权利要求1所述的激光光绘机,其特征是:所述工件定位平台上设有能够将工件固定在工件定位平台上的工件定位装置;工件定位装置包括吸气罩和负压风机,吸气罩设于工件定位平台下方,吸气罩的腔体与负压风机的进气口连通,工件定位平台上设有多个与吸气罩的腔体连通的吸气孔。
7.根据权利要求1-6任一项所述的激光光绘机,其特征是:所述工件定位平台运动机构包括直线形导轨,直线形导轨设于机架上且沿水平方向设置,工件定位平台底部设有滑块,滑块与直线形导轨滑动配合,机架上设有能够驱动滑块及工件定位平台沿直线形导轨移动的平移机构。
8.根据权利要求7所述的激光光绘机,其特征是:所述平移机构包括伺服电机、螺杆和螺母,伺服电机安装在机架上,螺杆可转动安装在机架上并且与伺服电机的动力输出轴传动连接,螺杆与直线形导轨相互平行,螺母安装在工件定位平台上并且与螺杆啮合。
9.根据权利要求1-6任一项所述的激光光绘机,其特征是:所述工件定位平台运动机构包括第一直线形导轨、平移座和第二直线形导轨;第一直线形导轨设于机架上且沿水平方向设置,平移座底部设有第一滑块,第一滑块与第一直线形导轨滑动配合,机架上设有能够驱动第一滑块及平移座沿第一直线形导轨移动的第一平移机构;第二直线形导轨设于平移座上,第二直线形导轨沿水平方向设置并且与第一直线形导轨成一夹角,工件定位平台底部设有第二滑块,第二滑块与第二直线形导轨滑动配合,平移座上设有能够驱动第二滑块及工件定位平台沿第二直线形导轨移动的第二平移机构。
10.根据权利要求9所述的激光光绘机,其特征是:所述第一平移机构包括第一伺服电机、第一螺杆和第一螺母,第一伺服电机安装在机架上,第一螺杆可转动安装在机架上并且与第一伺服电机的动力输出轴传动连接,第一螺杆与第一直线形导轨相互平行,第一螺母安装在平移座上并且与第一螺杆啮合;所述第二平移机构包括第二伺服电机、第二螺杆和第二螺母,第二伺服电机安装在平移座上,第二螺杆可转动安装在平移座上并且与第二伺服电机的动力输出轴传动连接,第二螺杆与第二直线形导轨相互平行,第二螺母安装在工件定位平台上并且与第二螺杆啮合。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07314166A (ja) * 1994-05-20 1995-12-05 Advantest Corp 光学系の位置決め装置
JPH09239578A (ja) * 1996-03-01 1997-09-16 Fanuc Ltd レーザ加工装置
CN102029471A (zh) * 2009-09-25 2011-04-27 阿杰·查米莱斯股份有限公司 激光加工机器
CN102848076A (zh) * 2011-06-29 2013-01-02 三星钻石工业股份有限公司 使用激光的工件加工装置
CN204346436U (zh) * 2015-01-05 2015-05-20 卢修元 一种工程测量放线装置
KR20160130024A (ko) * 2015-04-30 2016-11-10 (주)에이스이노테크 레이저 글래스 커팅장치
CN107650557A (zh) * 2017-10-11 2018-02-02 李宗祺 一种新型的激光绘图仪
CN207895227U (zh) * 2018-02-14 2018-09-21 温培彬 激光光绘机

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07314166A (ja) * 1994-05-20 1995-12-05 Advantest Corp 光学系の位置決め装置
JPH09239578A (ja) * 1996-03-01 1997-09-16 Fanuc Ltd レーザ加工装置
CN102029471A (zh) * 2009-09-25 2011-04-27 阿杰·查米莱斯股份有限公司 激光加工机器
CN102848076A (zh) * 2011-06-29 2013-01-02 三星钻石工业股份有限公司 使用激光的工件加工装置
CN204346436U (zh) * 2015-01-05 2015-05-20 卢修元 一种工程测量放线装置
KR20160130024A (ko) * 2015-04-30 2016-11-10 (주)에이스이노테크 레이저 글래스 커팅장치
CN107650557A (zh) * 2017-10-11 2018-02-02 李宗祺 一种新型的激光绘图仪
CN207895227U (zh) * 2018-02-14 2018-09-21 温培彬 激光光绘机

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