CN108073892A - 指纹传感器及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

提出了一种指纹传感器及其制造方法。所述指纹传感器包括：有源区域，包括驱动电极和与所述驱动电极相交的感测电极；示踪区域，分别连接至所述驱动电极和所述感测电极；以及屏蔽层，分别设置在所述示踪区域上。

Description

指纹传感器及其制造方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2016年11月14日在韩国知识产权局递交的韩国专利申请No.10-2016-0151423的优先权，其全部公开内容通过引用合并于此。
技术领域
根据示例实施例的设备和方法涉及指纹传感器，更具体地涉及用于识别用户指纹的指纹传感器和制造所述指纹传感器的方法。
背景技术
通过使用独有的个人特性(例如指纹，声音，脸部，手或虹膜)的个人认证已逐渐增多。个人认证的功能已被用于银行设备，入口/出口控制设备，移动设备或笔记本电脑。近来，由于诸如智能电话等移动设备被广泛提供，因此采用用于个人认证的指纹识别来保护存储在智能电话中的信息。
随着指纹认证的准确性标准的提高，需要具有高分辨率和高灵敏度的指纹传感器。
发明内容
示例实施例可以至少解决上述问题和/或缺点以及以上未描述的其他缺点。此外，示例实施例不需要克服上述缺点，并且可以不解决任何一个上述问题。
示例实施例提供了一种指纹传感器和制造所述指纹传感器的方法。
根据示例实施例的一个方面，提出了一种指纹感器，包括：有源区域，包括驱动电极和与所述驱动电极相交的感测电极；示踪区域，分别连接至所述驱动电极和所述感测电极；以及屏蔽层，分别设置在所述示踪区域上。
所述示踪区域可以包括：第一示踪区域，包括分别连接至所述感测电极的布线作为所述感测电极的延伸部；以及第二示踪区域，包括分别连接至所述驱动电极的布线作为所述驱动电极的延伸部。
所述屏蔽层可以包括：第一屏蔽层，设置在所述第一示踪区域中的感测电极的延伸部上；以及第二屏蔽层，设置在所述第二示踪区域中的所述驱动电极的延伸部上。
所述屏蔽层可以包括透明导电金属氧化物。
所述驱动电极以包括金属材料。
所述感测电极可以包括透明导电金属氧化物。
所述感测电极可以通过所述有源区域边缘处的通孔连接至金属材料层。
所述屏蔽层中连接至所述感测电极的屏蔽层可以包括透明导电金属氧化物，并且所述感测电极和所述屏蔽层可以间隔开。
电容可以设置在所述驱动电极与所述感测电极交叉的区域。
在设置所述电容的相应区域处的每一个感测电极的宽度小于没有设置所述电容的相应区域处的每一个感测电极的宽度。
所述屏蔽层可以具有菱形形状或矩形形状。
所述感测电极和所述屏蔽层可以包括相同的透明导电金属氧化物。
根据另一个示例实施例的一个方面，提出了一种制造指纹传感器的方法，所述方法包括：通过对衬底上的金属材料层进行图案化在所述衬底上形成金属图案层，以形成驱动电极和焊盘；以及在所述衬底和所述金属图案层上形成绝缘材料层并对所述绝缘材料层进行图案化。所述方法还包括：通过对在图案化的绝缘材料层上形成的透明导电金属氧化物层进行图案化来在图案化的绝缘材料层上形成透明导电金属氧化物图案层，以形成感测电极和屏蔽层；以及通过在所述透明导电金属氧化物图案层上涂覆绝缘材料，在所述透明导电金属氧化物图案层上形成钝化层。
可以沿与所述驱动电极交叉的方向形成所述感测电极。
所述感测电极可以包括透明导电材料。
对所述绝缘材料层进行图案化可以包括对所述绝缘材料层的一部分进行刻蚀以暴露所述金属图案层的一部分。
所述透明导电金属氧化物层可以通过所述绝缘材料层的刻蚀部分形成在所述金属图案层的暴露部分上。
根据另一个示例实施例的一个方面，提出了一种指纹传感器，包括：驱动电极；与所述驱动电极交叉的感测电极；第一布线延伸部，分别与所述感测电极相连；第二布线延伸部，分别与所述驱动电极相连；第一屏蔽层，设置在所述第一布线延伸部上；以及第二屏蔽层，设置在所述第二布线延伸部上。
所述第一布线延伸部可以在所述感测电极的第一侧处分别连接至所述感测电极，以及所述指纹传感器还包括：第三布线延伸部，在所述感测电极的第二侧处分别连接至所述感测电极，所述第二侧与所述第一侧相对；以及第三屏蔽层，设置在所述第三布线延伸部上。
所述驱动电极和所述第二布线延伸部可以包括金属材料，以及所述感测电极、所述第一布线延伸部、所述第一屏蔽层、所述第二屏蔽层和所述第三屏蔽层可以包括透明导电金属氧化物。
附图说明
上述和/或其他方面将从结合附图对示例实施例的以下描述中变得清楚明白并且易于理解，其中：
图1是根据示例实施例的指纹传感器的示意性配置的平面图；
图2是根据示例实施例的图1的指纹传感器的区域A1的放大平面图；
图3是根据示例实施例的用户的指纹接触到图1的指纹传感器的表面上的截面图；
图4A和图4B是根据示例实施例的指纹传感器的示意性配置的平面图；
图5A、图5B、图5C和图5D是示出了根据示例实施例的制造图1的指纹传感器的方法的示意性截面图；以及
图6是示出了根据示例实施例的相对于图1的指纹传感器和没有屏蔽的指纹传感器的Rx增益的图像信号变化量的曲线图。
具体实施方式
下面参考附图更详细地描述示例实施例。
考虑到示例实施例的功能，本文使用的术语如本领域普通技术人员使用地那样，但可以根据技术意图、先例或新技术的公开而变化。此外，一些术语由申请人任意选择，并且在这种情况下术语的含义将在说明书的对应部分中详细描述。因此，说明书中使用的术语可以不是只由术语的名称限定，而是基于整个说明书的含义和内容来限定。
在示例实施例的描述中，应当理解的是当元件被称为连接到另一元件时，可以包括当元件直接连接到另一元件时以及当所述元件通过插入构成元件而间接连接到另一元件时的电连接。此外，可以理解的是当说明书中的部件“包括”或“包含”构件元件时，除非另有限定，否则不排除其他元件但还可以包括其他元件。此外在说明书中，术语“单元”或“模块”表示处理至少一个功能或操作的单元或模块，并且可以通过硬件、软件或硬件和软件的组合来实现。
还应当理解的是术语“包括”或“包含”不应该解释为必须包括说明书中描述的各种构成元件和各种操作，并且也可以不解释为可以不包括构成元件的部分或各种构成元件和各种操作，或者可以进一步包括附加的构成元件和操作。
示例实施例的描述不可以解释为限制权利的范围，并且本领域普通技术人员将从详细描述和示例实施例容易地推断的示例实施例将解释为包括在本公开中。
图1是根据示例实施例的指纹传感器100的示意性配置的平面图。
参考图1，指纹传感器100包括驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn(这里，n是整数)和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn。所述驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和所述感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以彼此交叉。所述驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn可以基于指纹传感器100的上表面沿第一方向(例如y方向)形成，并且所述感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以基于指纹传感器100的上表面沿着与第一方向相交的第二方向(例如x方向)形成。第一方向和第二方向可以是彼此垂直的方向。然而，第一方向和第二方向可以不必形成90度。
驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以分别形成为包括多个单独的电极线。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3..Rxn彼此交叉的区域是有源区域10或触摸板区域。
驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn彼此交叉的区域称作有源区域10。将有源区域10连接到读出IC的布线区域称作第一示踪区域11a和第二示踪区域11b。
第一示踪区域11a和第二示踪区域11b分别是从有源区域10的感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn和驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...延伸的区域。第一屏蔽层12和第二屏蔽层14分别形成在延伸的感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn和延伸的驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn上。在图1中，附图标记12表示在延伸的感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn上形成的第一屏蔽层12，并且附图标记14表示在延伸的驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn上形成的第二屏蔽层14。分别形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14的区域可以是第一示踪区域11a和第二示踪区域11b。
如果第一屏蔽层12和第二屏蔽层14没有形成在第一示踪区域11a和第二示踪区域11b上，用户的手指可以直接接触第一示踪区域11a和第二示踪区域11b的驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的延伸部，并且因此感测的指纹图像可能劣化。在根据示例实施例的指纹传感器100的情况下，分别在第一示踪区域11a和第二示踪区域11b上形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14，因此尽管用户的手指接触第一示踪区域11a和第二示踪区域11b，但是也可以减小对所感测的指纹图像质量的影响。
根据示例实施例的指纹传感器100的驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn可以包括诸如金属或金属合金等导电材料。例如，驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn可以包括Cu、Ag、Au、Pt、Al、W、Li、Ti、Ta或Pd。例如，感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn还可以包括导电材料，例如透明导电金属氧化物(TCMO)。例如，感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以包括氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)。然而，感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以在有源区域10中包括透明导电金属氧化物，并且可以在有源区域10之外的布线区域中包括金属或金属合金。
在第一示踪区域11a和第二示踪区域11b中，分别形成在感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn和驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn上的第一屏蔽层12和第二屏蔽层14可以包括透明导电金属氧化物。第一屏蔽层12和第二屏蔽层14可以包括用于在有源区域10中形成感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的相同材料，例如ITP或IZO。虽然第一屏蔽层12和第二屏蔽层14是使用用于在有源区域域10中形成感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的相同材料形成的，但是第一屏蔽层12和第二屏蔽层14可以与感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn电学地分离。
分别在感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn和驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn的延伸部上形成的第一屏蔽层12和第二屏蔽层14可以通过使用恒定偏压来连接，以减少用户的手指对所感测的指纹图像的质量的影响。同样，可以向第一屏蔽层12和第二屏蔽层14供应恒定的偏压，以使指纹传感器100对于指纹传感器100的环境变化不敏感，因此可以增加屏蔽效果。
图2是根据示例实施例的图1的指纹传感器100的区域A1的放大平面图。
参考图1和图2，在根据示例实施例的指纹传感器100的有源区域10中，互感电容C11和C12形成在驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn彼此交叉的区域上。可以在驱动电极Tx1和感测电极Rx1彼此交叉的部分之间形成绝缘层。驱动电极Tx1可以形成为没有宽度变化的线条形状。感测电极Rx1包括具有相对较大面积的菱形形状的第一图案区域22和24以及第一图案区域22和24之间的第二图案区域26。感测电极Rx1的第一图案区域22和24的宽度可以大于第二图案区域26的宽度。驱动电极Tx1可以通过在感测电极Rx1的第二图案区域26中与感测电极Rx1交叉而形成。
图3是示出了用户的指纹在根据示例实施例的图1的指纹传感器100的表面上的接触的截面图。
参考图1至图3，用户的指纹区域30包括脊区域32以及脊区域32之间的谷区域34，脊区域是比其它周围皮肤区域相对突出的皮肤区域。当指纹区域30的脊区域32接触指纹传感器100的有源区域10时，谷区域34可以不直接接触指纹传感器100的有源区域10，并且谷区域34可以与指纹传感器100的间隔开。在根据当前示例实施例的指纹传感器100中，将驱动信号S1从驱动器施加到沿第一方向形成的驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn。同样，感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn将具有与用户的指纹区域30有关的信息的电信号S2传输到信号测量器。
在根据当前示例实施例的指纹传感器100的有源区域10中，驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn彼此交叉的间隙d1(即互电容C11和C12之间的间隙d1)可以小于作为指纹区域30的突起区域的脊区域32之间的间隙D1。例如，间隙d1可以具有范围在间隙D1的1/10至1/4的尺寸。
图4A和图4B是根据示例实施例的指纹传感器100a和200的示意性配置的平面图。
参考图4A，指纹传感器100a包括驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn，并且驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以彼此交叉。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以沿彼此垂直的方向形成，并且分别可以包括多个单独的电极线。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn彼此交叉的区域是有源区域10或触摸板区域。
作为布线区域的第一示踪区域11a和第三示踪区域11c形成为将有源区域10连接到读出IC。第一示踪区域11a和第三示踪区域11c可以是从有源区域10的驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn延伸的区域。第一屏蔽层12和第三屏蔽层16分别形成在延伸的感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn和驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn上。第一屏蔽层12和第三屏蔽层16可以形成为各种形状以覆盖所有感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn。例如，在作为感测电极Rx Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的延伸部的第一示踪区域11a上形成的第一屏蔽层12可以形成为沿y方向延伸的矩形形状或板状。同样，在作为驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn的延伸部的第三示踪区域11c上形成的第三屏蔽层16可以形成为基于指纹传感器100a的上表面(即x-y平面)的多边形形状，例如菱形形状。
第三屏蔽层16也可以形成为与有源区域10中的感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的形状类似的多边形形状，例如菱形形状，因此可以减小可视性的变化。
参考图4B，指纹传感器200包括驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn可以形成为彼此交叉。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn分别可以包括多个单独的电极线。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn彼此交叉的区域是有源区域40或触摸板区域。
参考图4B，将有源区域40连接到读出IC的布线区域是示踪区域42、44和46。与图1和图4B不同，示踪区域44和46分别可以形成在感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的两侧上。
连接到图1的指纹传感器100或图4A的指纹传感器100a的感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的第一示踪区域11a形成在有源区域10的一侧上。然而，当前的示例实施例不限于此，并且示踪区域44和46分别可以形成在感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的两侧上。可以通过有源区域10的右侧上的示踪区域44形成第一感测电极Rx1和第三感测电极Rx3的延伸部的布线，以及可以通过在有源区域10的左侧上的示踪区域46形成第二感测电极Rx1和第n感测电极Rxn的延伸部的布线。也可以在示踪区域42、44和46上形成屏蔽层。屏蔽层可以具有覆盖驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的延伸部的形状。
图5A、图5B、图5C和图5D是示出了根据示例实施例的制造图1的指纹传感器100的方法的示意性截面图。
参考图1和图5A，在衬底50上形成金属层。随后，对金属层进行图案化以形成金属图案层51和焊盘51a，所述金属图案层用于形成连接驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的通孔的图案，所述焊盘用于接触诸如外部IC等外部设备。这里，驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn可以形成为包括延伸部。驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn可以包括诸如金属或金属合金(例如Cu、Ag、Au、Pt、Al、W、Li、Ti、Ta或Pd)等导电材料。
参考图1和图5B，绝缘层52形成在金属图案层51和焊盘51a上，所述金属图案层用于形成连接驱动电极Tx：Tx1、Tx2、Tx3、Tx4...Txn和感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的通孔触点的图案。可以通过对绝缘层52的一部分进行刻蚀来暴露金属图案层51的一部分。由绝缘层52暴露出的金属图案层51可以是在后续工艺中形成感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn时连接感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn的边缘的通孔触点区域。可以去除焊盘51a上的绝缘层52。绝缘层52可以包括绝缘材料，例如氧化硅、硅绝缘材料或在普通半导体工艺中使用的绝缘材料。
参考图1和图5C，将透明导电氧化物材料涂覆在衬底50、暴露的金属图案层51和绝缘层52上。然后，通过对透明导电氧化物材料进行图案化来形成导电氧化物图案层53和53a。形成导电氧化物图案层53和53a，以形成感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn。直接连接到金属图案层51的导电氧化物图案层53a可以通过连接到感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn，从感测电极Rx：Rx1、Rx2、Rx3...Rxn传输与用户的指纹信息有关的信号。同样，导电氧化物图案层53a也可以用作右侧区域的屏蔽层。
参考图1和图5D，通过在绝缘层52和导电氧化物图案层53和53a上涂覆绝缘材料来形成钝化层54。随后，通过对钝化层54进行刻蚀来暴露焊盘51a。钝化层54可以包括绝缘材料，例如氧化硅、硅绝缘材料或在普通半导体工艺中使用的绝缘材料。
图6是示出了根据示例实施例的图1的指纹传感器100和没有屏蔽的指纹传感器的相对于Rx增益的图像信号变化量的曲线图。
参考图1和图6，在第一示踪区域11a和第二示踪区域11b上分别形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14的情况(有屏蔽)与在第一示踪区域11a和第二示踪区域11b上不形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14的情况(无屏蔽)进行比较。在形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14(有屏蔽)的情况下，当用户的指纹接触和不接触第一示踪区域11a和第二示踪区域11b时从感测电极Rx测量的信号的Rx增益的图像信号变化量被测量为非常小。在没有形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14的情况下(无屏蔽)的情况下，当用户的指纹接触和不接触第一示踪区域11a和第二示踪区域11b时从感测电极Rx测量的信号的Rx增益的图像信号变化量与形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14的情况(有屏蔽)相比显著地高。
结果表明：当在指纹传感器100的第一示踪区域11a和第二示踪区域11b上分别形成第一屏蔽层12和第二屏蔽层14时，减小了噪声的产生，因此减小了测量的用户指纹图像的劣化。
根据当前示例实施例的指纹传感器可以应用于诸如平板PC、智能电话和笔记本等各种移动设备，并且还可以通过在移动设备的显示器区域上形成有源区域来在移动设备中使用该指纹传感器。
根据当前的示例实施例，由于在指纹传感器的示踪区域上的多个驱动电极的延伸部上以及感测电极的延伸部上形成屏蔽层，因此尽管用户的指纹触摸示踪区域，也减小了噪声的产生，并且因此降低了测量的用户指纹图像的劣化。
尽管已经参考本发明的示例实施例描述了指纹传感器和制造指纹传感器的方法，但本领域普通技术人员应当理解，在不脱离所附权利要求所限定的本发明构思的精神和范围的情况下，可以进行形式和细节上的多种改变。应当仅在描述的意义下而不是限制的目的来考虑示例实施例。因此，本发明构思的范围不是由本发明构思的详细描述而是由所附权利要求来限定，并且该范围内的所有差异均应被视为被包括在本发明构思中。

Claims (20)

1.一种指纹感器，包括：
有源区域，包括驱动电极和与所述驱动电极交叉的感测电极；
示踪区域，分别连接至所述驱动电极和所述感测电极；以及
屏蔽层，分别设置在所述示踪区域上。
2.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中所述示踪区域包括：
第一示踪区域，包括分别连接至所述感测电极的布线作为所述感测电极的延伸部；以及
第二示踪区域，包括分别连接至所述驱动电极的布线作为所述驱动电极的延伸部。
3.根据权利要求2所述的指纹传感器，其中所述屏蔽层包括：
第一屏蔽层，设置在所述第一示踪区域中的所述感测电极的延伸部上；以及
第二屏蔽层，设置在所述第二示踪区域中的所述驱动电极的延伸部上。
4.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中所述屏蔽层包括透明导电金属氧化物。
5.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中所述驱动电极包括金属材料。
6.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中所述感测电极包括透明导电金属氧化物。
7.根据权利要求6所述的指纹传感器，其中所述感测电极通过所述有源区域边缘处的通孔，连接至金属材料层。
8.根据权利要求6所述的指纹传感器，其中所述屏蔽层中连接至所述感测电极的屏蔽层包括透明导电金属氧化物，以及
所述感测电极和所述屏蔽层间隔开。
9.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中电容设置在所述驱动电极与所述感测电极交叉的区域。
10.根据权利要求9所述的指纹传感器，其中在设置电容的相应区域处的每一个感测电极的宽度小于没有设置电容的相应区域处的每一个感测电极的宽度。
11.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中所述屏蔽层具有菱形形状或矩形形状。
12.根据权利要求1所述的指纹传感器，其中所述感测电极和所述屏蔽层包括相同的透明导电金属氧化物。
13.一种制造指纹传感器的方法，所述方法包括：
通过对衬底上的金属材料层进行图案化，在所述衬底上形成金属图案层，以形成驱动电极和焊盘；
在所述衬底和所述金属图案层上形成绝缘材料层并对所述绝缘材料层进行图案化；
通过对在已图案化的绝缘材料层上形成的透明导电金属氧化物层进行图案化，在所述已图案化的绝缘材料层上形成透明导电金属氧化物图案层，以形成感测电极和屏蔽层；以及
通过在所述透明导电金属氧化物图案层上涂覆绝缘材料，在所述透明导电金属氧化物图案层上形成钝化层。
14.根据权利要求13所述的方法，其中沿与所述驱动单极交叉的方向形成所述感测电极。
15.根据权利要求13所述的方法，其中所述感测电极包括透明导电材料。
16.根据权利要求13所述的方法，其中对所述绝缘材料层进行图案化包括对所述绝缘材料层的一部分进行刻蚀以暴露所述金属图案层的一部分。
17.根据权利要求16所述的方法，其中所述透明导电金属氧化物层通过所述绝缘材料层的刻蚀部分形成在所述金属图案层的暴露部分上。
18.一种指纹感器，包括：
驱动电极；
与所述驱动电极交叉的感测电极；
第一布线延伸部，分别与所述感测电极相连；
第二布线延伸部，分别与所述驱动电极相连；
第一屏蔽层，设置在所述第一布线延伸部上；以及
第二屏蔽层，设置在所述第二布线延伸部上。
19.根据权利要求18所述的指纹传感器，其中所述第一布线延伸部在所述感测电极的第一侧处分别连接至所述感测电极，以及
所述指纹传感器还包括：
第三布线延伸部在所述感测电极的第二侧处分别连接至所述感测电极，所述第二侧与所述第一侧相对；以及
第三屏蔽层，设置在所述第三布线延伸部上。
20.根据权利要求19所述的指纹传感器，其中所述驱动电极和所述第二布线延伸部包括金属材料，以及
所述感测电极、所述第一布线延伸部、所述第一屏蔽层、所述第二屏蔽层和所述第三屏蔽层包括透明导电金属氧化物。
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