CN108031204A - 颗粒捕捉器及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种颗粒捕捉器，其由捕捉器壳体(1)、捕捉器盖(2)、导流器外壳(3)、导流器(4)以及滤芯(5)；所述导流器外壳(3)内设有导流器(4)，所述导流器(4)外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片，其导流器外壳，捕捉导流器，滤芯都装在捕捉器壳体里，然后盖上捕捉器盖，组成一个完整的密封的颗粒捕捉器整体，在捕捉器的盖上有气体的进气口和出气口，这样的设计主要是增加被抽出的含TMA(三甲基铝)气体在颗粒捕捉器内的时间，同时，对颗粒捕捉器内释放少量空气，使空气里的水分和被抽进来的TMA充分反应，生成氧化铝粉末颗粒，吸附在颗粒捕捉器的内壁上，减少对出气口的抽气的真空泵的污染。
Description
技术领域
本发明属于管式ALD设备，具体涉及一种尾气处理装置。
背景技术
颗粒捕捉器属于尾气处理装置，专利201310141393.3，公开了一种颗粒收集装置及尾气处理系统，该颗粒收集装置，包括管道本体和滤网；所述管道本体的下方为进气口，上方为出气口；所述滤网设置于所述管道本体的内部，并且罩住所述出气口。本发明用于对半导体刻蚀工艺中产生的尾气进行处理。
专利201510291216.2，公开了一种雾霾颗粒收集处理装置，其中静电旋风颗粒捕捉器总成包括静电旋风颗粒捕捉器总成进气口、外筒、内筒、颗粒收集器、静电旋风颗粒捕捉器总成出气口、芒刺电极和中心柱，所述的静电旋风颗粒捕捉器总成进气口与凝聚器出气口相连接，所述的内筒设置在外筒内一端与静电旋风颗粒捕捉器总成出气口相连接，所述的外筒内设置有中心柱，所述的中心柱的表面均匀设置有芒刺电极，所述的外筒底部设置有颗粒收集器。
上述现有技术的第一个专利下方为进气口，上方为出气口的形式，气体流道短，气体颗粒不能充分在收集装置中沉积；第二个专利中，采用电磁场对气体中含有的颗粒收集，主要是针对空气净化领域，与本专利适用的技术领域不同。
发明内容
鉴于以上技术问题，本发明要改善现有颗粒捕捉器的以下缺点：气体的流道短，效率低下；原设计拆卸不方便；维护时间间隔短；成本高。
本发明的颗粒捕捉器，由捕捉器壳体1、捕捉器盖2、导流器外壳3、导流器4以及滤芯5。
导流器外壳3、导流器4以及滤芯5放置在捕捉器壳体1内，捕捉器盖2盖在捕捉器壳体1上部，导流器外壳3及滤芯5从捕捉器盖2内伸出，捕捉器盖2连接颗粒捕捉器及机器设备。
导流器外壳3内设有导流器4，所述导流器4外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片，螺旋叶片的根部连接导流器4上；尾气由总进气口6进入导流器外壳3内，气体沿螺旋叶片行走，增加气体行程，让气氛中的三甲基铝和空气中的水分作充分完全反应；导流器4上设有供气体流过的规则的或者不规则的小孔，气体经过这些小孔流出，而生成的氧化铝粉末粘在导流器4的外侧。
导流器外壳3的底部也设有小孔，通过该小孔，气体从导流器4内溢出。
导流器外壳3与滤芯5并排放置，总进气口6设置在导流器外壳3的上部，总出气口7设置在滤芯5的上部。
导流器外壳3通过其底部上的小孔与滤芯5相连通。
卡钳将捕捉器盖2与导流器外壳3、滤芯5与机器连接，同时导流器外壳3与滤芯5通过脚底8固定，脚底8通过螺纹与捕捉器壳体1固定；松掉卡钳，转动底脚8，将底脚8上调约10mm,此时颗粒捕捉器底部的滚轮接触地面，捕捉器盖与壳体已经脱开，这样，方便地把捕捉器壳体连同导流器外壳、导流器、滤芯一起拖出清理。
进一步优选的技术方案，导流器4为焊有法兰的中空不锈钢管，不锈钢管上设有规则的小孔。
有益效果：
(1)气体的流道增长，增加氧化铝粉末沉积面积，提高过滤粉末效率。
(2)该设计拆卸方便，把卡钳松掉，就可把捕捉器壳体连同导流器外壳、导流器、滤芯一起拖出清理。
(3)维护时间短，每次维护时间只有以前的维护时间相比一半，提高效率。
(4)生产成本也比原来的低。
附图说明
图1是本发明机构的示意图。
具体实施方式
下面结合附图1对本发明的具体实施方式进行说明。
本发明的颗粒捕捉器，包括捕捉器壳体1、捕捉器盖2、导流器外壳3、导流器4，以及滤芯5。
整体的颗粒捕捉器是由上面的5项组成一密闭的整体，有进气口和出气口，其目的是从镀膜的真空腔体把未反应完全的含TMA气体抽到此颗粒捕捉器内，同时在颗粒捕捉器内放入微量的空气进出，把多余的TMA反应完，生成氧化铝粉末，收集在颗粒捕捉器内，该项技术方案目的就是让含多余的TMA气体在颗粒捕捉器内充分反应，以免影响后面的真空泵。导流器外壳3、导流器4以及滤芯5放置在捕捉器壳体1内，捕捉器盖2盖在捕捉器壳体1上部，导流器外壳3及滤芯5从捕捉器盖2内伸出，捕捉器盖2连接颗粒捕捉器及机器设备。
导流器外壳3内设有导流器4，导流器4为焊有法兰的中空不锈钢管，不锈钢管上设有规则的小孔，所述导流器4外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片，螺旋叶片的根部连接导流器4上；尾气由总进气口6进入导流器外壳3内，气体沿螺旋叶片行走，增加气体行程，让气氛中的三甲基铝和空气中的水分作充分完全反应；导流器4上设有供气体流过的规则的小孔，气体经过这些小孔流出，而生成的氧化铝粉末粘在导流器4的外侧。
导流器外壳3与滤芯5并排放置，总进气口6设置在导流器外壳3的上部，总出气口7设置在滤芯5的上部。
导流器外壳3通过其底部上的小孔与滤芯5相连通。
尾气的在颗粒捕捉器的流动过程如下：尾气由总进气口6进入导流器外壳3内，气体沿螺旋叶片行走，增加气体行程，让气氛中的三甲基铝和空气中的水分作充分完全反应；气体一部分由导流器4的外侧进入到导流器4内的中空的不锈钢管中，同时气体的一部分也在导流器4与导流器外壳3内流动，导流器4的中空不锈钢管上的小孔允许气体随意流入不锈钢管内，或者有不锈钢管内流出到导流器4与导流器外壳3内；气体流动越紊乱越有利于尾气中的三甲基铝的反应；最后气体由导流器外壳3的底部的小孔进入进入滤芯5中，生成的颗粒物粘附在滤芯5的外壁上，经滤芯5过滤的气体由总出气口7排出颗粒捕捉器。
颗粒捕捉器的拆卸如下：卡钳(图中未示出)将捕捉器盖2与导流器外壳3、滤芯5与机器连接，同时导流器外壳3与滤芯5通过脚底8固定，脚底8通过螺纹与捕捉器壳体1固定；松掉卡钳，转动底脚8，将其上调约10mm,此时颗粒捕捉器底部的滚轮接触地面，捕捉器盖与壳体已经脱开，这样，把捕捉器壳体连同导流器外壳、导流器、滤芯一起拖出清理。
Claims (8)
1.颗粒捕捉器，其特征在于：其包括捕捉器壳体(1)、捕捉器盖(2)、导流器外壳(3)、导流器(4)以及滤芯(5)；所述导流器外壳(3)内设有导流器(4)，所述导流器(4)外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片，导流器外壳(3上设有供气体流通的小孔。
2.根据权利要求1所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述导流器外壳(3)与滤芯(5)并排放置，总进气口(6)设置在导流器外壳(3)的上部，总出气口(7)设置在滤芯(5)的上部。
3.根据权利要求1或2所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述导流器(4)上设有供气体流通的小孔；所述导流器外壳(3)的底部设有供气体流通的小孔。
4.根据权利要求3所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述导流器(4)为焊有法兰的中空不锈钢管，不锈钢管上设有小孔，气体可经不锈钢管上的小孔由流入中空的不锈钢管内或由中空的不锈钢管内流出。
5.根据权利要求4所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述气体在导流器(4)内与空气中的水分反应生成氧化铝粉末，气体经由导流器外壳(3)底部的小孔流出，氧化铝粉沫粘附在滤芯(5)的外壁，气体从滤芯(5)上小孔内被抽出，由总出气口(7)排出。
6.根据权利要求4所述的颗粒捕捉器，其特征在于：捕捉器盖(2)设置在捕捉器壳体(1)上部，导流器外壳(3)及滤芯(5)从捕捉器盖(2)内伸出，捕捉器盖(2)连接颗粒捕捉器及机器设备。
7.根据权利要求4所述的颗粒捕捉器，其特征在于：底脚(8)通过螺纹连接在捕捉器壳体(1)的底部，松掉捕捉器盖与机器设备连接的卡钳，转动底脚(8)，将底脚(8)上调,此时颗粒捕捉器底部的滚轮接触地面，捕捉器盖与壳体脱开。
8.采用权利要求1所述的颗粒捕捉器的原子层沉积设备，其特征在于：原子层沉积设备的尾气出口连接颗粒捕捉器。
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