CN107946211A - 一种芯片加工系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种芯片加工系统，通过设置安全栅栏，并在所述安全栅栏上设置有检测模块，所述检测模块包括四个摄像头、多个红外传感器和警报器，所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上，所述多个红外传感器分布在安全栅栏上，通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控，当监测到有外来人或物接近安全栅栏时，将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业，所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停，从而提高芯片加工作业的安全性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种芯片加工系统。
背景技术
在现今的生活上，科技日新月益的进展之下,机械人手臂与有人类的手臂最大区别就在于灵活度与耐力度，也就是机械手的最大优势可以重复的做同一动作在机械正常情况下永远也不会觉得累，机械手的应用也将会越来越广泛。
半导体晶圆芯片的制造包括：从晶体上将半导体晶圆切割下来，接下来是许多连续的去除材料的加工步骤。这些加工步骤是为了获得尽可能光滑的表面、半导体晶圆的平行侧面以及提供具有倒圆棱边的半导体晶圆。通常考虑的去除材料的加工步骤包含：半导体晶圆的棱边倒圆、研磨或双面研磨、蚀刻及抛光。在半导体晶圆芯片的加工作业中，存在大量的重复性劳动，同时对于作业环境要求较高，将机械手应用于晶圆芯片的加工作业中是当今社会发展的趋势，同时还需要面对加工作业中的通用性问题和安全问题等。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种芯片加工系统。
本发明是以如下技术方案实现的：
一种芯片加工系统，包括长方形状的安全栅栏，所述安全栅栏上设置有检测模块，以及设置在安全栅栏内的搬运机械手、进料盒、加工平台和出料盒；所述检测模块、搬运机械手和所述加工平台均受控于控制装置；所述检测模块、搬运机械手和加工平台均与所述控制装置通信连接；
所述进料盒和所述出料盒分置于所述加工平台的旁边，所述进料盒、出料盒以及所述加工平台所在空间均为所述搬运机械手的工作空间；所述搬运机械手用于将进料盒中的待加工芯片取出放置于加工平台，并将加工平台加工后的成品芯片取出放置于出料盒。
进一步的，所述检测模块包括四个摄像头、多个红外传感器和警报器，所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上，所述多个红外传感器分布在安全栅栏上，通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控，当监测到有外来人或物接近安全栅栏时，将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业，所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停。
进一步的，所述搬运机械手包括升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器，所述升降平台包括一升降轴，所述大臂通过第一转动副与升降轴连接，所述中臂通过第二转动副与大臂连接，所述小臂通过第三转动副与中臂连接，所述末端执行器通过一移动副与小臂连接，所述末端执行器抓取代加工芯片，所述搬运机械手采用多个伺服电机的来驱动升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器运动。
所述加工平台用于对待加工芯片进行加工，所述加工平台上安装有固定架，所述固定架上安置一磨削刀具，所述磨削刀具在平行于所述固定架的平面内旋转，所述固定架上还设置一回转台，所述回转台上设置多个放置台，每个放置台上均能够放置一个待加工芯片；
所述搬运机械手中设置有机械手控制单元，所述机械手控制单元与所述控制装置通信连接，以使得所述搬运机械手受控于所述控制装置。
进一步的，所述末端执行器为吸盘。
本发明的有益效果是：
本发明提供一种芯片加工系统，通过设置安全栅栏，并在所述安全栅栏上设置有检测模块，所述检测模块包括四个摄像头、多个红外传感器和警报器，所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上，所述多个红外传感器分布在安全栅栏上，通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控，当监测到有外来人或物接近安全栅栏时，将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业，所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停，从而提高芯片加工作业的安全性。
附图说明
图1是本实施例提供的一种芯片加工系统整体示意图；
图2是本实施例提供的搬运机械手结构示意图；
图3是本实施例提供的回转台结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述。
一种芯片加工系统，如图1-3所示,包括长方形状的安全栅栏1，所述安全栅栏上设置有检测模块，以及设置在安全栅栏内的搬运机械手2、进料盒3、加工平台4和出料盒5；所述搬运机械手和所述加工平台均受控于控制装置100；所述检测模块、搬运机械手和加工平台均与所述控制装置通信连接；
所述进料盒和所述出料盒分置于所述加工平台的旁边，所述进料盒、出料盒以及所述加工平台所在空间均为所述搬运机械手的工作空间；所述搬运机械手用于将进料盒中的待加工芯片6取出放置于加工平台，并将加工平台加工后的成品芯片取出放置于出料盒。
进一步的，所述检测模块包括四个摄像头101、多个红外传感器102和警报器103，所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上，所述多个红外传感器分布在安全栅栏上，通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控，当监测到有外来人或物接近安全栅栏时，将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业，所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停。
进一步的，所述搬运机械手2包括升降平台11、大臂12、中臂13、小臂14和末端执行器15，所述升降平台11包括一升降轴16，所述大臂12通过第一转动副与升降轴61连接，所述中臂13通过第二转动副与大臂12连接，所述小臂14通过第三转动副与中臂13连接，所述末端执行器15通过一移动副与小臂14连接；所述末端执行器采用吸盘结构来抓取代加工芯片；所述搬运机械手采用多个伺服电机的来驱动升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器运动。
所述加工平台用于对待加工芯片进行加工，所述加工平台上安装有固定架7，所述固定架7上安置一磨削刀具8，所述磨削刀具8在平行于所述固定架的平面内旋转，所述固定架上还设置一回转台9，所述回转台9上设置多个放置台10，每个放置台上均能够放置一个待加工芯片；
所述搬运机械手中设置有机械手控制单元，所述机械手控制单元与所述控制装置通信连接，以使得所述搬运机械手受控于所述控制装置。
进一步的，所述末端执行器为吸盘。
所述回转台9顶部安置有滑槽91和滑块92，所述放置台10底端与滑块固定连接，所述放置台通过滑块沿滑槽而相对于所述回转台移动；
每个所述滑槽均沿所述回转台的径向方向设置，所述滑块靠近回转台中心的位置为第一工位，即滑块位于滑槽靠近回转台中心的一端，远离回转台中心的位置为第二工位，即滑块位于滑槽远离回转台中心的另一端；
所述回转台在第一工位和第二工位处分别设置第一重力传感器和第二重力传感器，所述第一重力传感器和第二重力传感器分别与所述控制装置通信连接；
当搬运机械手将代加工芯片放置在回转台上的放置台上，此时放置台位于第一工位，所述第一重力传感器感受到重力后向所述控制装置发出反馈信号，所述控制装置控制滑块运动，将带动放置台移动到第二工位；
进一步的，当第二工位处的第二重力传感器感受到重力后同样向所述控制装置发出反馈信号，所述控制装置控制加工平台的磨削刀具作业；
当加工完成后，所述控制装置控制滑块运动，从而带动放置台再移动到第一工位，同时回转台进行转动，从而将加工后的成品芯片转移出磨削刀具作业的范围，并将后续的代加工芯片转动到磨削刀具作业的范围内；
所述搬运机械手从第一工位获取加工后的成品芯片，将其取出放置于出料盒。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
Claims (4)
1.一种芯片加工系统，其特征在于：包括长方形状的安全栅栏，所述安全栅栏上设置有检测模块，以及设置在安全栅栏内的搬运机械手、进料盒、加工平台和出料盒；所述检测模块、搬运机械手和所述加工平台均受控于控制装置；所述检测模块、搬运机械手和加工平台均与所述控制装置通信连接；
所述进料盒和所述出料盒分置于所述加工平台的旁边，所述进料盒、出料盒以及所述加工平台所在空间均为所述搬运机械手的工作空间；所述搬运机械手用于将进料盒中的待加工芯片取出放置于加工平台，并将加工平台加工后的成品芯片取出放置于出料盒。
2.根据权利要求1所述的一种芯片加工系统，其特征在于：
所述检测模块包括四个摄像头、多个红外传感器和警报器，所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上，所述多个红外传感器分布在安全栅栏上，通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控，当监测到有外来人或物接近安全栅栏时，将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业，所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停。
3.根据权利要求1所述的一种芯片加工系统，其特征在于：
所述搬运机械手包括升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器，所述升降平台包括一升降轴，所述大臂通过第一转动副与升降轴连接，所述中臂通过第二转动副与大臂连接，所述小臂通过第三转动副与中臂连接，所述末端执行器通过一移动副与小臂连接，所述末端执行器抓取代加工芯片，所述搬运机械手采用多个伺服电机的来驱动升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器运动；
所述加工平台用于对待加工芯片进行加工，所述加工平台上安装有固定架，所述固定架上安置一磨削刀具，所述磨削刀具在平行于所述固定架的平面内旋转，所述固定架上还设置一回转台，所述回转台上设置多个放置台，每个放置台上均能够放置一个待加工芯片；
所述搬运机械手中设置有机械手控制单元，所述机械手控制单元与所述控制装置通信连接，以使得所述搬运机械手受控于所述控制装置。
4.根据权利要求3所述的一种芯片加工系统，其特征在于：所述末端执行器为吸盘。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711133223.5A CN107946211A (zh) | 2017-11-16 | 2017-11-16 | 一种芯片加工系统 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711133223.5A CN107946211A (zh) | 2017-11-16 | 2017-11-16 | 一种芯片加工系统 |
Publications (1)
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| CN107946211A true CN107946211A (zh) | 2018-04-20 |
Family
ID=61932397
Family Applications (1)
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| CN201711133223.5A Pending CN107946211A (zh) | 2017-11-16 | 2017-11-16 | 一种芯片加工系统 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN107946211A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108465233A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-08-31 | 珠海格力智能装备有限公司 | 人机对弈平台和人机对弈设备 |
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2017
- 2017-11-16 CN CN201711133223.5A patent/CN107946211A/zh active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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