CN107904557A - 蒸镀坩埚和蒸镀装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，包括坩埚体和与坩埚体配合设置的坩埚盖，坩埚体顶端沿周向向外延伸设有延伸部，还包括多个螺栓，每个螺栓依次穿过坩埚盖和坩埚体的延伸部，螺栓底部螺接有垫块，垫块与延伸部顶止配合，延伸部设有第一止旋面，垫块上设有与第一止旋面配合的第二止旋面。根据本申请实施例提供的技术方案，通过螺栓和垫块对蒸镀坩埚的坩埚盖和坩埚体进行固定，一方面能够最大程度的压缩坩埚盖和坩埚体之间的缝隙，最大程度的实现坩埚盖和坩埚体之间的紧固，另一方面在蒸镀坩埚的使用过程中更加方便对蒸镀坩埚进行的进一步紧固，使用过程中不会发生材料泄漏等问题，从根本上节约了材料。
Description
技术领域
本公开一般涉及显示技术领域，尤其涉及蒸镀坩埚和蒸镀装置。
背景技术
显示装置的显示方式包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)、有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，和等离子显示等多种方式，其中OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括有源矩阵有机发光二级体面板和无源矩阵有机发光二极管。实现OLED显示时，使用低温多晶硅面板(Low TemperaturePoly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的方式已初步成熟。FMM模式是通过蒸镀方式将有机材料程度到LTPS背板上，利用FMM上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性蒸镀坩埚进行蒸镀。
现有的蒸镀坩埚在蒸镀过程中会出现因螺丝问题或者坩埚本身的问题，导致在材料蒸发过程中材料发生泄漏，从而导致膜层变差或者材料消耗异常，材料提前消耗完毕，产生生产中断的情况。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。
第一方面，提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚体和与所述坩埚体配合设置的坩埚盖，所述坩埚体顶端沿周向向外延伸设有延伸部，还包括多个螺栓，每个所述螺栓依次穿过所述坩埚盖和所述坩埚体的延伸部，所述螺栓底部螺接有垫块，所述垫块与所述延伸部顶止配合，所述延伸部设有第一止旋面，所述垫块上设有与所述第一止旋面配合的第二止旋面。
第二方面，提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀坩埚。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过螺栓和垫块对蒸镀坩埚的坩埚盖和坩埚体进行固定，一方面能够最大程度的压缩坩埚盖和坩埚体之间的缝隙，最大程度的实现坩埚盖和坩埚体之间的紧固，另一方面在蒸镀坩埚的使用过程中更加方便对蒸镀坩埚进行的进一步紧固，使用过程中不会发生材料泄漏等问题，从根本上节约了材料。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本申请一个实施例的蒸镀坩埚结构示意图；
图2为本申请另一实施例的蒸镀坩埚结构示意图；
图3为本申请实施例中坩埚盖俯视图；
图4为本申请实施例中坩埚盖主视图；
图5为本申请实施例中坩埚体主视图；
图6为本申请实施例中坩埚体俯视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
本发明实施例提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚体2和与所述坩埚体2配合设置的坩埚盖1，所述坩埚体2顶端沿周向向外延伸设有延伸部21，还包括多个螺栓3，每个所述螺栓3依次穿过所述坩埚盖1和所述坩埚体2的延伸部21，所述螺栓3底部螺接有垫块4，所述垫块4与所述延伸部21顶止配合，所述延伸部设有第一止旋面，所述垫块上设有与所述第一止旋面配合的第二止旋面。
本实施例中提供的蒸镀坩埚通过螺栓连接固定坩埚体和坩埚盖，并且螺栓下端通过连接垫块能够最大程度的压缩坩埚盖和坩埚体之间的缝隙，最大程度的实现坩埚盖和坩埚体之间的紧固，并且坩埚体和坩埚盖之间不会发生旋转实现了对坩埚装置的紧固，使用过程中不会发生材料泄漏的问题，节约了资源和费用。
进一步的，所述坩埚体与所述垫块之一上设有凹槽，另一上设有与所述凹槽定位配合的凸起。
本实施例中通过在坩埚体或者垫块上设置凹槽，对应的结构上设置凸起，通过凹槽和凸起进行定位配合，如图1和图2所示给出了两种实施方式，无论何种方式均可通过凹槽和凸起的配合实现对坩埚体和坩埚盖的紧固，垫块凸出的面在螺栓拧紧的同时向上用力抵住坩埚体，从而达到紧固的目的；此外，坩埚体和垫块之间通过凸起和凹槽进行配合，在蒸镀坩埚加热使用过程中垫块和坩埚体也不太容易出现偏移等情况，造成坩埚体和坩埚盖之间出现较大的缝隙的情况，若操作人员发现垫块出现偏移的情况，可以及时对垫块和螺栓进行更换，有效防止密封不好的情况发生。
进一步的，所述坩埚盖1上设有多个第一通孔11，所述延伸部设21有多个第二通孔23，所述第一通孔11与所述第二通孔23用于安装所述螺栓3。螺栓穿过坩埚盖和坩埚体结合垫块对其进行紧固，在坩埚盖和坩埚体的延伸部上分别开通孔便于螺栓的安装。
进一步的，所述延伸部21底面靠近所述坩埚体2处设有第一凹槽22，所述垫块4上设有凸起41，所述第一凹槽22与所述凸起41沿所述第一凹槽22宽度方向定位配合。
参见图1，图5和图6，图1提供的蒸镀坩埚中仅仅示出了一个螺栓和垫块相连接的结构，其他地方的结构与此处相同，通过螺栓连接固定坩埚体和坩埚盖，本实施例中的垫块上设置有凸起，坩埚体上对应的位置设有第一凹槽，通过该凸起和第一凹槽的配合实现对坩埚体和坩埚盖的紧固，垫块设有凸起的面和凸起旁边的面在螺栓拧紧的同时向上用力抵住坩埚体，从而达到紧固的目的。
进一步的，所述第二通孔设置在所述延伸部未设所述第一凹槽的位置。上述第二通孔的设置位置一方面能够使得垫块的凸起和第一凹槽相互配合实现固定，另一方面坩埚体上打孔的位置较厚，能够保证该结构具有较好的强度，提高该蒸镀坩埚的使用寿命。
进一步的，所述延伸部2底面设有凸起24，所述垫块4上设有与所述凸起24配合的第一凹槽42，所述第一凹槽42与所述凸起24沿所述第一凹槽42宽度方向定位配合。
参见图2，其中提供的另一实施例的蒸镀坩埚中仅仅示出了一个螺栓和垫块相连接的结构，其他地方的结构与此处相同，通过螺栓连接固定坩埚体和坩埚盖，本实施例中的延伸部底面设凸起，垫块上配合设有第一凹槽，通过该凸起和第一凹槽配合实现对坩埚体和坩埚盖的紧固，并且垫块与延伸部底面相接触的面对坩埚体同样提供向上的力抵住坩埚体，达到紧固的目的。除了上面提供的实施方式，还可以在坩埚体的侧面开设竖直方向的凹槽或者设置竖直方向的凸起，垫块与坩埚体接触的侧面设置与之对应的凸起或者凹槽，也可实现定位的作用，坩埚体延伸部下表面与垫块上表面配合实现蒸镀坩埚的紧固。
进一步的，所述第二通孔23设置在所述延伸部设2有所述凸起24的位置。上述第二通孔的设置位置一方面能够使得垫块的第一凹槽和凸起相互配合实现固定，另一方面坩埚体上打孔的位置较厚，能够保证该结构具有较好的强度，提高该蒸镀坩埚的使用寿命。
进一步的，所述凹槽深度等于所述凸起高度，所述垫块底面为平面。
在实际使用过程中需要通过垫块上表面与延伸部下表面相配合实现蒸镀坩埚的紧固，因此，将凹槽深度设置的与凸起高度相同能够保证垫块对整个坩埚的紧固作用；垫块与坩埚体相配合实现紧固的功能，坩埚体在使用过程中侧面的延伸部需要放置在其他物体上，将垫块底面设置为平面能够方便蒸镀坩埚的放置。
进一步的，所述第一通孔11与所述第二通孔23同轴设置。坩埚盖和坩埚体配合安装时，螺栓穿过第一通孔和第二通孔方便与垫块进行安装。
进一步的，所述第一通孔11和所述第二通孔23为光孔。蒸镀坩埚在使用过程中需要进行加热，相应的材料会出现受热膨胀的情况，本实施例中将第一通孔和第二通孔都设置为光孔，螺栓穿过该光孔与垫块结合实现紧固的作用，螺栓和第一通孔和第二通孔之间不会出现相对滑动等情况，便于对该蒸镀装置的紧固；另外，如果螺栓或者垫块出现损坏，直接对螺栓或者垫块进行更换，对蒸镀坩埚本身不会产生任何影响，相对而言蒸镀坩埚的造价和维修费用更高，采用上述的方式很大程度上节省了维修的费用，节约了资源。
进一步的，所述坩埚盖1上表面设有多个第二凹槽12，所述第二凹槽12用于放置螺栓头；
多个所述第二凹槽12沿所述坩埚盖1周向均匀分布。
参见图3和图4，在坩埚盖上表面周向还均匀设有多个第二凹槽，用来放置螺栓头，一方面方便各个螺栓的安装，另一方面整体更加美观。
本实施例还提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀坩埚。
本发明实施例提供的蒸镀坩埚和蒸镀装置通过螺栓和垫块对蒸镀坩埚的坩埚盖和坩埚体进行固定，一方面能够最大程度的压缩坩埚盖和坩埚体之间的缝隙，最大程度的实现坩埚盖和坩埚体之间的紧固，使用过程中不会出现材料泄漏的情况。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
Claims (11)
1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚体和与所述坩埚体配合设置的坩埚盖，所述坩埚体顶端沿周向向外延伸设有延伸部，其特征在于，还包括多个螺栓，每个所述螺栓依次穿过所述坩埚盖和所述坩埚体的延伸部，所述螺栓底部螺接有垫块，所述垫块与所述延伸部顶止配合，所述延伸部设有第一止旋面，所述垫块上设有与所述第一止旋面配合的第二止旋面。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚体与所述垫块之一上设有凹槽，另一上设有与所述凹槽定位配合的凸起。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚盖上设有多个第一通孔，所述延伸部设有多个第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔用于安装所述螺栓。
4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述延伸部底面靠近所述坩埚体处设有第一凹槽，所述垫块上设有凸起，所述第一凹槽与所述凸起沿所述第一凹槽宽度方向定位配合。
5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二通孔设置在所述延伸部未设所述第一凹槽的位置。
6.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述延伸部底面设有凸起，所述垫块上设有与所述凸起配合的第一凹槽，所述第一凹槽与所述凸起沿所述第一凹槽宽度方向定位配合。
7.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二通孔设置在所述延伸部设有所述凸起的位置。
8.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述凹槽深度等于所述凸起高度，所述垫块底面为平面。
9.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一通孔与所述第二通孔同轴设置，所述第一通孔和所述第二通孔为光孔。
10.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚盖上表面设有多个第二凹槽，所述第二凹槽用于放置螺栓头；
多个所述第二凹槽沿所述坩埚盖周向均匀分布。
11.一种蒸镀装置，包括如权利要求1-10任一所述的蒸镀坩埚。
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