CN107900017A - 一种pecvd镀膜用衬底清洁工艺 - Google Patents

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徐峰
谢毅
陈刚
谭飞
徐光�
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Abstract

本发明公开了一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，包括以下步骤：S1、清洗准备：将衬底放入去离子水中浸泡1～2min；S2、油脂吸除：将步骤S1中浸泡后的衬底取出，重复进行3～5次加热处理；所述加热处理为：使用吸水纸将衬底完全包裹住，并对衬底进行加热，加热完成后取下吸水纸；S3、除脂后清洗：使用超纯水对步骤S2完成后的衬底进行喷淋；S4、热风烘干：将步骤S3中喷淋后的衬底使用温度为30℃～50℃的氮气进行热吹干。本发明全程取消了对衬底的超声清洗，避免了超声清洗仪器的使用，减少了清洗过程的麻烦，使得吸水纸可以更好的将油脂吸附去除，还避免了丙酮的使用，也就很好的减轻了对工人身体的伤害，十分有效。

Description

一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺
技术领域
本发明涉及PECVD镀膜工艺技术领域，具体为一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺。
背景技术
PECVD镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等诸多方面。而在玻璃等透明基片上用真空溅射方法大面积沉积的膜层，针孔和结合力是一个令人关注的问题，也是比较普遍存在的膜层质量问题，在工业生产中，镀膜用玻璃原片一般是由浮法生产的普通平板玻璃，在其生产、搬运、贮放的过程中，总可能会积聚大气中的尘埃、碳粒、油脂、微生物及某些杂质离子等污垢物，这些污垢会影响到镀膜玻璃的质量，严重时会导致次品。因此，要消除和减少针孔、提高膜层结合力，最关键的一步就是在镀膜前对玻璃基片进行高质量的化学清洗。
目前对镀膜玻璃的清洗大多使用在线喷淋清洗，使用的清洗剂大多都含有强酸强碱或低沸点溶剂如氟利昂、三氯乙烷、四氯化碳、异丙醇等。众所周知，强酸强碱的腐蚀性很强，会和玻璃中的主要成分硅酸钠发生反应，从而对其表面造成损伤，严重影响镀膜的质量；此外，传统的清洗方法其清洗流程一般为：有机溶剂清洗剂(超声波)—水基清洗剂(超声波)—市水漂洗—纯水漂洗—IPA(异丙醇)脱水—IPA慢拉干燥，清洗流程较长，且需要大型清洗设备和大量的清洗液，耗电耗时，对环境污染严重。
为了解决上述传统清洗方法的不足之处，公开号为CN01210135847的“一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法”，该清洗方法中未使用强酸强碱，可以保证玻璃的表面不受破坏，且该方法操作简单，流程较短，不需要大的清洗装置和大量的清洗液，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。
但是公开文件“一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法”还存在以下较为明显的缺陷：1、该方法中使用超声清洗的方法，还需要超声清洗仪器，十分复杂麻烦；2、该方法还采用丙酮来对油脂进行去除，但是丙酮有毒，长期接触丙酮对人的身体会造成伤害。
发明内容
本发明的目的在于提供一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，包括以下步骤：
S1、清洗准备：将衬底放入去离子水中浸泡1～2min；
S2、油脂吸除：将步骤S1中浸泡后的衬底取出，重复进行3～5次加热处理；
所述加热处理为：使用吸水纸将衬底完全包裹住，并对衬底进行加热，加热完成后取下吸水纸；
S3、除脂后清洗：使用超纯水对步骤S2完成后的衬底进行喷淋；
S4、热风烘干：将步骤S3中喷淋后的衬底使用温度为30℃～50℃的氮气进行热吹干。
优选的，加热处理的加热温度为50℃～80℃。
优选的，加热处理的每次加热时间为3～5min。
优选的，步骤S2中的吸水纸在使用前先用浓度为15％～20％的硫酸溶液浸泡，然后加热烘干。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明首先将衬底进行浸泡除尘，其次使用吸水纸将浸泡后潮湿的衬底包裹起来，并对其加热，油脂遇热就会融化加速流动，并且被吸水纸所吸收而除去，并且更换3～5次吸水纸对衬底进行油脂去除，然后使用超纯水对衬底进行喷淋冲洗，进一步去除表面污渍，最后采用加热的氮气气体对衬底上残留的超纯水进行吹风烘干，完成对衬底的清洗过程。
本发明全程取消了对衬底的超声清洗，避免了超声清洗仪器的使用，减少了清洗过程的麻烦，而且去除油脂时采用了更简单加热处理，通过对油脂的加热，使得吸水纸可以更好的将油脂吸附去除，还避免了丙酮的使用，也就很好的减轻了对工人身体的伤害，十分有效。
附图说明
图1为本发明工艺的系统流程框图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明提供一种技术方案：
一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，包括以下步骤：
S1、清洗准备：将衬底放入去离子水中浸泡1～2min；
S2、油脂吸除：将步骤S1中浸泡后的衬底取出，重复进行3～5次加热处理；
加热处理为：使用吸水纸将衬底完全包裹住，并对衬底进行加热，加热完成后取下吸水纸，加热处理的加热温度为50℃～80℃，加热处理的每次加热时间为3～5min；
S3、除脂后清洗：使用超纯水对步骤S2完成后的衬底进行喷淋；
S4、热风烘干：将步骤S3中喷淋后的衬底使用温度为30℃～50℃的氮气进行热吹干。
作为一个优选，步骤S2中的吸水纸在使用前先用浓度为15％～20％的硫酸溶液浸泡，然后加热烘干，烘干后的吸水纸内含有硫酸，在遇水后形成硫酸溶液，硫酸溶液在加热情况下可以与油脂发生反应，进一步加快吸水纸对油脂的吸附去除能力。
实施例一：
应用本发明提供的清洁工艺，对镀膜用衬底进行清洁，然后在该衬底上进行镀膜，具体步骤如下：
1.首先将镀膜用衬底放入去离子水槽中浸泡2min；
2.将浸泡完成后的衬底从去离子水中取出，随后对衬底进行5次相同加热温度和相同加热时间的处理，每次均使用吸水纸将衬底完全包裹住，并对衬底使用烘箱进行加热处理，每次加热处理完成后的吸水纸均需要取下更换新的吸水纸，加热处理的加热温度为80℃，加热处理的每次加热时间为5min；
3.将经过3次加热处理后的衬底取出，直接使用超纯水对此衬底进行喷淋冲洗，对衬底的每个面均喷淋30s；
4.最后通过风管加热器对氮气进行加热，当氮气气体加热到50℃时，使用此氮气气体对喷淋后的衬底进行吹风烘干，完成清洗。
在清洗干净后的衬底表面镀上一层厚度为3微米的铝膜。
实施例二：
应用本发明提供的清洁工艺，对镀膜用衬底进行清洁，然后在该衬底上进行镀膜，具体步骤如下：
1.首先将镀膜用衬底放入去离子水槽中浸泡1min；
2.将浸泡完成后的衬底从去离子水中取出，随后对衬底进行3次相同加热温度和相同加热时间的处理，每次均使用吸水纸将衬底完全包裹住，并对衬底使用烘箱进行加热处理，每次加热处理完成后的吸水纸均需要取下更换新的吸水纸，加热处理的加热温度为50℃，加热处理的每次加热时间为3min；
3.将经过3次加热处理后的衬底取出，直接使用超纯水对此衬底进行喷淋冲洗，对衬底的每个面均喷淋30s；
4.最后通过风管加热器对氮气进行加热，当氮气气体加热到30℃时，使用此氮气气体对喷淋后的衬底进行吹风烘干，完成清洗。
在清洗干净后的衬底表面镀上一层厚度为3微米的铝膜。
经上述实施例一和实施例二清洁工艺清洗后的衬底，其表面的污染物完全被清洗掉。
为了验证衬底是否被清洗的完全干净无污染，还可以采用衬底上镀膜后是否会发生脱膜现象来进行判断，污染物多，脱膜现象就会比较严重，所以引入对比例进行对比试验。
对比例：直接采用去离子水对衬底进行简单清洗，然后在清洗后的沉底表面镀上一层厚度为3微米的铝膜。
实施例与对比例镀膜情况见下表1所示：
表1
如上表内情况可知，经过本发明清洁工艺清洗后的衬底，清洗效果很好，衬底表面的污染物均会被清除掉，十分有效，值得推广。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1、清洗准备：将衬底放入去离子水中浸泡1～2min；
S2、油脂吸除：将步骤S1中浸泡后的衬底取出，重复进行3～5次加热处理；
所述加热处理为：使用吸水纸将衬底完全包裹住，并对衬底进行加热，加热完成后取下吸水纸；
S3、除脂后清洗：使用超纯水对步骤S2完成后的衬底进行喷淋；
S4、热风烘干：将步骤S3中喷淋后的衬底使用温度为30℃～50℃的氮气进行热吹干。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，其特征在于：加热处理的加热温度为50℃～80℃。
3.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，其特征在于：加热处理的每次加热时间为3～5min。
4.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜用衬底清洁工艺，其特征在于：步骤S2中的吸水纸在使用前先用浓度为15％～20％的硫酸溶液浸泡，然后加热烘干。
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