CN107843073A - 一种集成电路圆片级专用pi无氧固化炉 - Google Patents

一种集成电路圆片级专用pi无氧固化炉 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，包括箱体，所述箱体一侧设有控制箱，所述控制箱前侧设有控制面板，所述箱体顶部设有蜂鸣器，所述箱体内部设有上膛体和下膛体，所述下膛体设置于上膛体底部，所述上膛体和下膛体前侧均设有活动门。本发明鼓风循环风机将吸收回来的热风通过抽气管抽出并经过出气管排至氮气进管与补充的新鲜氮气汇合，一部分气体携带烘干处理产生的废物从排气管排出，大部分气体进入风道内，通过加热元件，携带走加热元件的热量，进入上膛体和下膛体内对产品进行均匀加热，然后由鼓风循环风机重新吸回，如此往返循环加热，加热快速高效，冷却时通入高压氮气循环冷却。

Description

一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉
技术领域
本发明涉及集成电路圆片级专用PI无氧固化炉领域，特别涉及一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉。
背景技术
干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门，以往的干燥加热装置加热效果不是特别好，并且加热过程中不稳定可能会导致爆炸，发生炉内的可燃性气体与空气混合遇火发生爆炸，用氮气将炉内的可燃性气体置换排出，这是因为氮气的化学性质稳定，不能燃烧，也不支持燃烧，并且一般采用自然冷却，或是水冷和气冷，冷却效果不好并且结构复杂增加成本。
因此，发明一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉来解决上述问题很有必要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，包括箱体，所述箱体一侧设有控制箱，所述控制箱前侧设有控制面板，所述箱体顶部设有蜂鸣器，所述箱体内部设有上膛体和下膛体，所述下膛体设置于上膛体底部，所述上膛体和下膛体前侧均设有活动门，所述上膛体和下膛体内部均设有风速流量计和氧气含量检测仪，所述上膛体和下膛体两侧设有第一导风板，所述上膛体和下膛体后侧设有第二导风板，所述第一导风板、第二导风板与上膛体和下膛体之间设有风道，所述风道与上膛体和下膛体之间设有进气通道，所述风道内部设有加热元件，所述第二导风板后侧设有安装腔体，所述安装腔体内部设有鼓风循环风机，所述箱体后侧设有氮气进管和排气管，所述排气管设置于氮气进管一侧，所述氮气进管一侧设有两个进管，所述进管上设有气体过滤器，所述进管与风道连接，所述进管上设有气体流量调节阀，所述鼓风循环风机一侧设有抽气管以及另一侧设有出气管，所述出气管上设有支管，所述出气管与氮气进管连接，所述支管与排气管连接。
优选的，所述控制箱内部设有PLC控制器。
优选的，所述风速流量计型号设置为HY-LUGB，所述氧气含量检测仪型号设置为GAXT-X，所述风速流量计、氧气含量检测仪、蜂鸣器和气体流量调节阀均与PLC控制器电性连接。
优选的，所述活动门上设有电子锁，所述活动门内部设有密封条。
优选的，所述加热元件设置为不锈钢加热器，所述上膛体和下膛体由SUS304不锈钢制成，所述加热元件设置有多个且均匀间隔交错设置，所述加热元件设置为倾斜状。
优选的，所述鼓风循环风机数量为两个，两个出气管与两个进管连接。
优选的，所述出气管和进管内壁均设置为螺旋状。
本发明的技术效果和优点：鼓风循环风机将吸收回来的热风通过抽气管抽出并经过出气管排至氮气进管与补充的新鲜氮气汇合，一部分气体携带烘干处理产生的废物从排气管排出，大部分气体进入风道内，通过加热元件，携带走加热元件的热量，进入上膛体和下膛体内对产品进行均匀加热，然后由鼓风循环风机重新吸回，如此往返循环加热；另外风速流量计检测上膛体和下膛体内的气体流量，从而通过PLC控制器控制气体流量调节阀调节进气量，并且关闭底部进管上的气体流量调节阀，可以单独对上膛体进行加热；加热元件设置有多个且均匀间隔交错设置，加热元件设置为倾斜状，有利于增加进气的加热时间以及受热面积，加热高效快速，冷却时通入高压氮气循环冷却；出气管和进管内壁均设置为螺旋状，有利于回收的热气和刚进入的新鲜氮气混合均匀，使新进的氮气初步加热。
附图说明
图1为本发明的主视图。
图2为本发明的俯视图。
图3为本发明的侧视图。
图4为本发明的鼓风循环风机结构示意图。
图中：1箱体、2控制箱、3控制面板、4蜂鸣器、5上膛体、6下膛体、7活动门、8风速流量计、9氧气含量检测仪、10第一导风板、11第二导风板、12风道、13进气通道、14加热元件、15安装腔体、16鼓风循环风机、17氮气进管、18排气管、19气体流量调节阀、20抽气管、21出气管、22支管、23气体过滤器、24进管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了如图1-4所示的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，包括箱体1，所述箱体1一侧设有控制箱2，所述控制箱2前侧设有控制面板3，所述箱体1顶部设有蜂鸣器4，所述箱体1内部设有上膛体5和下膛体6，所述下膛体6设置于上膛体5底部，所述上膛体5和下膛体6前侧均设有活动门7，所述上膛体5和下膛体6内部均设有风速流量计8和氧气含量检测仪9，所述上膛体5和下膛体6两侧设有第一导风板10，所述上膛体5和下膛体6后侧设有第二导风板11，所述第一导风板10、第二导风板11与上膛体5和下膛体6之间设有风道12，所述风道12与上膛体5和下膛体6之间设有进气通道13，所述风道12内部设有加热元件14，所述第二导风板11后侧设有安装腔体15，所述安装腔体15内部设有鼓风循环风机16，所述箱体1后侧设有氮气进管17和排气管18，所述排气管18设置于氮气进管17一侧，所述氮气进管17一侧设有两个进管24，所述进管24上设有气体过滤器23，所述进管24与风道12连接，所述进管24上设有气体流量调节阀19，所述鼓风循环风机16一侧设有抽气管20以及另一侧设有出气管21，所述出气管21上设有支管22，所述出气管21与氮气进管17连接，所述支管22与排气管18连接。
所述控制箱2内部设有PLC控制器，所述风速流量计8型号设置为HY-LUGB，所述氧气含量检测仪9型号设置为GAXT-X，所述风速流量计8、氧气含量检测仪9、蜂鸣器4和气体流量调节阀19均与PLC控制器电性连接，智能控制整个装置运行，所述活动门7上设有电子锁，所述活动门7内部设有密封条，防止高温开门，所述加热元件14设置为不锈钢加热器，所述上膛体5和下膛体6由SUS304不锈钢制成，箱体1表面冷扎钢板烤漆处理，防腐蚀，耐用，所述加热元件14设置有多个且均匀间隔交错设置，所述加热元件14设置为倾斜状，有利于增加进气的加热时间以及受热面积，加热高效快速，所述鼓风循环风机16数量为两个，两个出气管21与两个进管24连接，有利于同时给上膛体5和下膛体6供气，所述出气管21和进管24内壁均设置为螺旋状，有利于回收的热气和刚进入的新鲜氮气混合均匀，使新进的氮气初步加热。
本实用工作原理：使用时，氮气经氮气进管17和进管24进入风道12内，通过加热元件14加热后经进气通道13进入上膛体5和下膛体6内给物体加热，鼓风循环风机16将吸收回来的热风通过抽气管20抽出并经过出气管21排至氮气进管17与补充的新鲜氮气汇合，一部分气体携带烘干处理产生的废物从排气管18排出，大部分气体进入风道12内，通过加热元件14，携带走加热元件14的热量，进入上膛体5和下膛体6内对产品进行均匀加热，然后由鼓风循环风机16重新吸回，如此往返循环，冷却时通入高压氮气同样的原理能够循环冷却，另外风速流量计8检测上膛体5和下膛体6内的气体流量，从而通过PLC控制器控制气体流量调节阀19调节进气量，并且关闭底部进管24上的气体流量调节阀19，可以单独对上膛体5进行加热。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）一侧设有控制箱（2），所述控制箱（2）前侧设有控制面板（3），所述箱体（1）顶部设有蜂鸣器（4），所述箱体（1）内部设有上膛体（5）和下膛体（6），所述下膛体（6）设置于上膛体（5）底部，所述上膛体（5）和下膛体（6）前侧均设有活动门（7），所述上膛体（5）和下膛体（6）内部均设有风速流量计（8）和氧气含量检测仪（9），所述上膛体（5）和下膛体（6）两侧设有第一导风板（10），所述上膛体（5）和下膛体（6）后侧设有第二导风板（11），所述第一导风板（10）、第二导风板（11）与上膛体（5）和下膛体（6）之间设有风道（12），所述风道（12）与上膛体（5）和下膛体（6）之间设有进气通道（13），所述风道（12）内部设有加热元件（14），所述第二导风板（11）后侧设有安装腔体（15），所述安装腔体（15）内部设有鼓风循环风机（16），所述箱体（1）后侧设有氮气进管（17）和排气管（18），所述排气管（18）设置于氮气进管（17）一侧，所述氮气进管（17）一侧设有两个进管（24），所述进管（24）上设有气体过滤器（23），所述进管（24）与风道（12）连接，所述进管（24）上设有气体流量调节阀（19），所述鼓风循环风机（16）一侧设有抽气管（20）以及另一侧设有出气管（21），所述出气管（21）上设有支管（22），所述出气管（21）与氮气进管（17）连接，所述支管（22）与排气管（18）连接。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，其特征在于：所述控制箱（2）内部设有PLC控制器。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，其特征在于：所述风速流量计（8）型号设置为HY-LUGB，所述氧气含量检测仪（9）型号设置为GAXT-X，所述风速流量计（8）、氧气含量检测仪（9）、蜂鸣器（4）和气体流量调节阀（19）均与PLC控制器电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，其特征在于：所述活动门（7）上设有电子锁，所述活动门（7）内部设有密封条。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，其特征在于：所述加热元件（14）设置为不锈钢加热器，所述上膛体（5）和下膛体（6）由SUS304不锈钢制成，所述加热元件（14）设置有多个且均匀间隔交错设置，所述加热元件（14）设置为倾斜状。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，其特征在于：所述鼓风循环风机（16）数量为两个，两个出气管（21）与两个进管（24）连接。
7.根据权利要求1所述的一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，其特征在于：所述出气管（21）和进管（24）内壁均设置为螺旋状。
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