CN107803737A - 用于双面抛光机的气囊式加压装置 - Google Patents

用于双面抛光机的气囊式加压装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107803737A
CN107803737A CN201711058565.5A CN201711058565A CN107803737A CN 107803737 A CN107803737 A CN 107803737A CN 201711058565 A CN201711058565 A CN 201711058565A CN 107803737 A CN107803737 A CN 107803737A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
twp
lifting lever
polishing machine
pressure device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201711058565.5A
Other languages
English (en)
Inventor
戴瑜兴
杨佳葳
杨宇
李红春
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HUNAN YUJING MACHINE INDUSTRIAL Co Ltd
Original Assignee
HUNAN YUJING MACHINE INDUSTRIAL Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HUNAN YUJING MACHINE INDUSTRIAL Co Ltd filed Critical HUNAN YUJING MACHINE INDUSTRIAL Co Ltd
Priority to CN201711058565.5A priority Critical patent/CN107803737A/zh
Publication of CN107803737A publication Critical patent/CN107803737A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
    • B24B29/02—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents designed for particular workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/14—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by liquid or gas pressure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

用于双面抛光机的气囊式加压装置，包括上下两组气囊、升降杠杆、主轴、称重传感器和上盘安装座，所述上下两组气囊设在上盘安装座上，所述称重传感器设在上下两组气囊之间，所述升降杠杆的中部与上盘安装座的支点相连接，可实现旋转运动，所述升降杠杆的后端与称重传感器相连接，所述升降杠杆的前端与主轴相连接。本发明具有能有效提升研磨抛光机的压力控制和提高研磨抛光效率的优点。

Description

用于双面抛光机的气囊式加压装置
技术领域
本发明涉及生产蓝宝石、硅片的双面抛光机，具体涉及一种用于双面抛光机的气囊式加压装置。
背景技术
目前传统的双面研磨抛光机，上盘加压方式均是由上盘自重和固定在横梁上的气缸的共同作用来实现的。例如：浙江工业大学，李伟等人提出的公开号为CN101049680A的发明专利申请；哈尔滨理工大学，徐雳等人提出公开号为CN105127879A的发明专利申请。
对于压力控制要求不大的研磨抛光机，抬升气缸可以实现对上盘的压力控制，但随着蓝宝石、硅片等一系列高硬度产品的出现，对研磨抛光控制压力要求越来越大，势必要使用大规格的抬升气缸，成本大大增加，压力控制精度也得不到保证。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种能有效提升研磨抛光机的压力控制和提高研磨抛光效率的用于双面抛光机的气囊式加压装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：用于双面抛光机的气囊式加压装置，包括上下两组气囊、升降杠杆、主轴、称重传感器和上盘安装座，所述上下两组气囊设在上盘安装座上，所述称重传感器设在上下两组气囊之间，所述升降杠杆的中部与上盘安装座的支点相连接，可实现旋转运动，所述升降杠杆的后端与称重传感器相连接，所述升降杠杆的前端与双面抛光机的主轴相连接。
进一步，还设有安装板，所述安装板设在上下两组气囊与称重传感器之间。
进一步，所述上下两组气囊的一端与上盘安装座固定连接，另一端与安装板的一端相连接，所述安装板的另一端与称重传感器固连。
进一步，所述升降杠杆的中部通过轴承(优选调心滚针轴承)与上盘安装座的支点相连接。
进一步，所述升降杠杆的后端通过轴承(优选调心球轴承)与称重传感器相连接。
进一步，所述升降杠杆的前端通过滚轮与主轴相连接。
进一步，所述滚轮设在升降杠杆的前端，所述主轴内设有凹槽，所述滚轮安装在主轴的凹槽内。
与现有技术相比，本发明具有能有效提升研磨抛光机的压力控制和提高研磨抛光效率的优点。
附图说明
图1为本发明实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
实施例
参照图1，本实施例包括上下两组气囊1、升降杠杆2、主轴3、称重传感器4、调心球轴承5、调心滚针轴承6、滚轮7、安装板8和上盘安装座9；所述上下两组气囊1设在上盘安装座9上，所述称重传感器4设在上下两组气囊1之间，所述安装板8设在上下两组气囊1与称重传感器4之间，所述升降杠杆2的中部通过调心滚针轴承6与上盘安装座9的支点相连接，可实现旋转运动，所述升降杠杆2的后端通过调心球轴承5与称重传感器4相连接，所述升降杠杆2的前端通过滚轮7与主轴3相连接。
本实施例中，所述上下两组气囊1的一端与上盘安装座9固定连接，另一端与安装板8的一端相连接，所述安装板8的另一端与称重传感器4固连。
本实施例中，所述滚轮7设在升降杠杆2的前端，所述主轴3内设有凹槽，所述滚轮7安装在主轴3的凹槽内。
工作过程中，当上下两组气囊1动作时，带动升降杠杆2运动，进而通过滚轮7带动主轴3在连接筒中上下运动，主轴3与双面抛光机的上盘固连，从而实现上盘的抬升或加压动作。

Claims (10)

1.用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：包括上下两组气囊、升降杠杆、主轴、称重传感器和上盘安装座，所述上下两组气囊设在上盘安装座上，所述称重传感器设在上下两组气囊之间，所述升降杠杆的中部与上盘安装座的支点相连接，可实现旋转运动，所述升降杠杆的后端与称重传感器相连接，所述升降杠杆的前端与主轴相连接。
2.根据权利要求1所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：还设有安装板，所述安装板设在上下两组气囊与称重传感器之间。
3.根据权利要求2所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述上下两组气囊的一端与上盘安装座固定连接，另一端与安装板的一端相连接，所述安装板的另一端与称重传感器固连。
4.根据权利要求1或2或3所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述升降杠杆的中部通过轴承与上盘安装座的支点相连接。
5.根据权利要求4所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述升降杠杆的中部通过调心滚针轴承与上盘安装座的支点相连接。
6.根据权利要求1或2或3所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述升降杠杆的后端通过轴承与称重传感器相连接。
7.根据权利要求6所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述升降杠杆的后端通过调心球轴承与称重传感器相连接。
8.根据权利要求1或2或3所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述升降杠杆的前端通过滚轮与主轴相连接。
9.根据权利要求8所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述滚轮设在升降杠杆的前端，所述主轴内设有凹槽，所述滚轮安装在主轴的凹槽内。
10.根据权利要求1或2或3所述的用于双面抛光机的气囊式加压装置，其特征在于：所述升降杠杆的中部通过调心滚针轴承与上盘安装座的支点相连接，所述升降杠杆的中部通过调心滚针轴承与上盘安装座的支点相连接，所述升降杠杆的前端通过滚轮与主轴相连接。
CN201711058565.5A 2017-11-01 2017-11-01 用于双面抛光机的气囊式加压装置 Pending CN107803737A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711058565.5A CN107803737A (zh) 2017-11-01 2017-11-01 用于双面抛光机的气囊式加压装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711058565.5A CN107803737A (zh) 2017-11-01 2017-11-01 用于双面抛光机的气囊式加压装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107803737A true CN107803737A (zh) 2018-03-16

Family

ID=61591087

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711058565.5A Pending CN107803737A (zh) 2017-11-01 2017-11-01 用于双面抛光机的气囊式加压装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107803737A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112677019A (zh) * 2020-12-23 2021-04-20 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 压力检测装置及抛光设备

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101049678A (zh) * 2007-05-09 2007-10-10 浙江工业大学 精密双面抛光机
CN101758445A (zh) * 2009-12-17 2010-06-30 浙江工业大学 用于气囊抛光的脉动控制系统
CN103993443A (zh) * 2014-06-13 2014-08-20 潼南县炫吉中绸有限公司 上浆辊加压装置
CN106002606A (zh) * 2016-05-16 2016-10-12 苏州辰轩光电科技有限公司 蓝宝石衬底抛光贴蜡机
CN106002611A (zh) * 2016-07-14 2016-10-12 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 一种研磨机的杠杆式加压机构
CN205734210U (zh) * 2016-07-05 2016-11-30 福建台明铸管科技股份有限公司 一种提高球墨铸铁管混凝土内衬磨削质量的磨削设备
US20170036318A1 (en) * 2015-08-07 2017-02-09 Sii Semiconductor Corporation Polishing head, cmp apparatus having polishing head, and semiconductor integrated circuit manufacturing method using cmp apparatus
CN206357040U (zh) * 2016-12-29 2017-07-28 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 一种机器人气囊式抛光装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101049678A (zh) * 2007-05-09 2007-10-10 浙江工业大学 精密双面抛光机
CN101758445A (zh) * 2009-12-17 2010-06-30 浙江工业大学 用于气囊抛光的脉动控制系统
CN103993443A (zh) * 2014-06-13 2014-08-20 潼南县炫吉中绸有限公司 上浆辊加压装置
US20170036318A1 (en) * 2015-08-07 2017-02-09 Sii Semiconductor Corporation Polishing head, cmp apparatus having polishing head, and semiconductor integrated circuit manufacturing method using cmp apparatus
CN106002606A (zh) * 2016-05-16 2016-10-12 苏州辰轩光电科技有限公司 蓝宝石衬底抛光贴蜡机
CN205734210U (zh) * 2016-07-05 2016-11-30 福建台明铸管科技股份有限公司 一种提高球墨铸铁管混凝土内衬磨削质量的磨削设备
CN106002611A (zh) * 2016-07-14 2016-10-12 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 一种研磨机的杠杆式加压机构
CN206357040U (zh) * 2016-12-29 2017-07-28 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 一种机器人气囊式抛光装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张峰: "《天通公司双面精密抛光机控制系统的设计及实现》", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库信息科技辑》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112677019A (zh) * 2020-12-23 2021-04-20 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 压力检测装置及抛光设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MY170039A (en) Flexible vertical grinder
CN107803737A (zh) 用于双面抛光机的气囊式加压装置
CN201109060Y (zh) 陶瓷球软硬加工机床
CN107150278A (zh) 一种工业机械用打磨机
CN206598178U (zh) 一种具有固定功能的机械零件加工用抛光设备
CN202880762U (zh) 机械式焊接升降小车
CN202292311U (zh) 球墨铸铁管内壁打磨机
CN206752272U (zh) 一种磨平装置
CN208306095U (zh) 一种可移动自动烫唛机
CN207722885U (zh) 适于立式辊磨机的磨辊加压结构
CN205363499U (zh) 一种磨厚pcb板装置
CN201353724Y (zh) 一种安全阀研磨机的齿轮部件
CN207522314U (zh) 一种安装阀门研磨辅件的钻床
CN201536127U (zh) 同步式电池极片轧机液压平衡装置
CN203863527U (zh) 一种轴承内圆磨床直线修整器
CN107715998A (zh) 适于立式辊磨机的磨辊加压结构
CN204352222U (zh) 党参搓揉机
CN203091004U (zh) 一种新型立式辊磨机
CN202659298U (zh) 一种柴油机减压机构
CN202446716U (zh) 防滑瑜伽垫
CN107626416A (zh) 一种高效物料研磨机械
CN205166845U (zh) 一种压头装置
CN202265695U (zh) 圆头锁眼机新型曲柄连杆装置
CN203317186U (zh) 三角砂光机的机头调节装置
CN206503861U (zh) 一种高强度扭力弹簧

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180316