CN107799384A - 质谱仪 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种质谱仪，包括：腔体结构，腔体结构限定出具有进样口的真空腔，真空腔内的第一离子阱和第二离子阱形成有相互连通的离子通道，该离子通道的进口端与进样口相对设置，第一离子阱的前端设有第一电极，第二离子阱的后端设有第二电极，在第一离子阱和第二离子阱之间设有第三电极；气压调节装置，气压调节装置设于腔体结构上用于调节真空腔内气压大小；抽真空装置，抽真空装置设于腔体结构上对真空腔进行抽真空；离子检测器，离子检测器设于真空腔内对离子通道内的离子进行质量分析。根据本发明实施例的质谱仪，通过在腔体结构上设置用于调节真空腔内气压的气压调节装置，使得真空腔内气压维持在一定范围内，提高离子的轴向传输效率。

Description

质谱仪

技术领域

本发明涉及质谱仪器分析技术领域，特别涉及一种质谱仪。

背景技术

质谱仪根据其质量分析器的不同，分为多种不同类型，同时每种质量分析器又有不同的特点；现在比较常用的质量分析器有四级杆质量分析器(Quadrupole Analysers)、三维离子阱质量分析器(3D Ion Trap Analysers)、线性离子阱质量分析器(Linear IonTrap Analysers)、静电场离子阱质量分析器(Orbitrap Analysers)、飞行时间质量分析器(TOF Analysers)、傅里叶变换离子回旋共振质量分析器(FTICR Analysers)等多种类型。

现在很多质谱仪会组合多种质量分析器，利用不同质量分析器的分析优势，可以进一步的提高组合型质谱仪器的分析性能，比较常见的多种质量分析器的组合型质谱仪有三重四级质谱仪，该质谱仪采用三级串联结构的四级杆质量分析器，每级质量分析器都有不同的功能，组合起来的质谱仪可以实现很多复杂的分析模式，为分析复杂的生物样品、带分析样品的定量等应用提供了很多高效的分析模式；另外一种比较常用的组合型质谱仪是四级杆质量分析器加飞行时间质量分析器质谱仪，该质谱仪可以通过四级杆质量分析器选择特定质荷比的离子，被选择的离子经过串级质谱分析后进入飞行时间质量分析器进行高分辨质谱分析，该过程是定性分析样品成分的一种常用的分析手段。

质谱仪采用非连续大气压进样接口(Discontinuous Atmospheric PressureInterface简称DAPI)，利用该接口将质谱仪真空腔与常压离子源相连接，分析样品的过程中，首先控制非连续进样口打开，将待分析样品离子和空气分子在短时间内引入质谱仪真空腔中，进样过程结束后控制该接口关闭；由于打开进样接口后有大量空气分子进入真空腔，真空腔内部气压会迅速升高，在质谱仪抽真空系统的作用下，真空腔的气压会逐渐降低，该过程为非连续进样质谱仪进样和气压变化情况；采用非连续进样方式的质谱仪可以降低对真空抽气系统抽速的要求，在不进行样品分析的时候，真空腔内保持较高真空度，没有外部气体进入，抽真空系统可以运行在较低功耗状态下，在进行样品分析的过程中，非连续进样接口打开较短时间，保证待分析样品离子的引入，关闭进样接口后在抽真空系统的作用下，真空腔内的气压逐渐下降。通过这种方式所设计的质谱仪，其所需要的抽真空系统的抽速很小，同时大部分时间运行在较低功耗状态下，所以该接口方式在小型化便携式质谱仪上有其突出的优势。

但是由于打开进样接口后有大量空气分子进入真空腔，真空腔内部气压会迅速升高，关闭进样口后，在质谱仪抽真空系统的作用下，真空腔的气压又会逐渐降低，腔体结构内部的气压不稳定导致离子的传输效率降低，影响实验效果。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。

为此，本发明提出一种质谱仪，该质谱仪通过控制离子阱内部局部气压或控制整个真空腔内部气压，提高了离子的轴向传输效率，在进行串级质谱分析的过程中，使离子阱内部气压相对稳定。

根据本发明实施例的质谱仪，包括：腔体结构，该腔体结构限定出具有进样口的真空腔，所述真空腔内设有串联的第一离子阱和第二离子阱，所述第一离子阱和所述第二离子阱形成有相互连通的离子通道，该离子通道的进口端与所述进样口相对设置，所述第一离子阱的前端设有第一电极，所述第二离子阱的后端设有第二电极，在所述第一离子阱和所述第二离子阱之间设有第三电极；气压调节装置，所述气压调节装置设于所述腔体结构上用于调节所述真空腔内气压大小；抽真空装置，所述抽真空装置设于腔体结构上对所述真空腔进行抽真空；离子检测器，所述离子检测器设于所述真空腔内对离子通道内的离子进行质量分析。

根据本发明实施例的质谱仪，通过在腔体结构上设置用于调节真空腔内气压的气压调节装置，使得真空腔内气压维持在一定范围内，提高离子的轴向传输效率。

另外，根据本发明实施例的质谱仪，还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置用于调节所述第二离子阱内的气压。

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置包括：第一管路，所述第一管路的一端伸入所述第二离子阱内；第二管路，所述第二管路与所述第一管路的另一端连接形成进气通路；脉冲控制阀，所述脉冲控制阀用于导通或断开所述进气通路。

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置通过脉冲进气方式调节所述第二离子阱内的气压。

根据本发明的一个实施例，所述第二管路的长度为50毫米的不锈钢管，该不锈钢管内径为0.01英寸。

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置通过连续进气方式调节所述第二离子阱内的气压。

根据本发明的一个实施例，所述第二管路的长度为250毫米的不锈钢管，管内径为0.005英寸。

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置包括：第三管路，所述第三管路的出口端伸入所述真空腔内；缓冲气路，所述缓冲气路与所述第三管路的进口端连通以形成进气通路；第一可控阀，所述第一可控阀设于第三管路与缓冲气路的连接处；第二可控阀，所述第二可控阀设于所述缓冲气路的进口端。

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置调节所述真空腔内的气压的步骤如下：关闭进样口，打开第一可控阀，第二可控阀处于关闭状态，持续时间T1，使得缓冲气路的气体进入真空腔内；打开进样口，将待分析样品离子引入第一离子阱内；关闭进样口，持续时间T2；打开第二可控阀，持续时间T3，离子轴向传输至第二离子阱内并对离子进行串级质谱分析；关闭第一可控阀，持续时间T4后，关闭第二可控阀；持续时间T5，进行质量分析，得到质谱图。

根据本发明的一个实施例，所述进样口设有非连续进样组件，该非连续进样组件包括：入口不锈钢金属管和出口不锈钢金属管，所述入口不锈钢金属管和所述出口不锈钢金属管通过绝缘橡胶管连接，所述绝缘橡胶管上设有夹管阀。

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置向所述第二离子阱内部填充的气体为空气、氮气、氦气和氩气的其中之一。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为气压与平均分子自由程之间的关系曲线；

图2是离子传输效率与气压之间的关系曲线；

图3是根据本发明一个实施例的质谱仪的结构示意图；

图4是对第二离子阱不进气、脉冲进气、连续进气三种情况下，真空腔内气压变化情况；

图5为不进气、脉冲进气、连续进气三种情况下，进样口关闭后，离子传输效率与时间的关系；

图6是根据本发明另一个实施例的质谱仪的结构示意图；

图7是根据本发明另一个实施例的质谱仪的工作流程图；

图8是根据本发明另一个实施例的质谱仪的气压与时间的关系图；

图9是根据本发明另一个实施例的质谱仪的气压与时间的关系图。

附图标记：

质谱仪100；

第一离子阱1；第二离子阱2；

非连续进样组件3；出口不锈钢金属管31；夹管阀32；入口不锈钢金属管33；绝缘橡胶管34；

第一电极4；第三电极5；第二电极6；

离子检测器7；腔体结构8；真空腔81；

气压调节装置20；

第一管路9；脉冲控制阀10；第二管路11；

抽真空装置12；第三管路13；缓冲气路14；第一可控阀15；第二可控阀17。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

质谱仪为检测和分析样品离子质荷比信息的一种仪器设备，相关技术中的质谱仪在对样品离子进行分析时，会出现离子传输效率低问题，从而影响实验效果。

为此，发明人对影响离子传输效率的因素作了深入研究，其中，图1为为串联双线性离子阱的质谱仪中气压与平均分子自由程之间的关系图，该质谱仪具有相互串联的第一离子阱和第二离子阱，待分析样品离子先被引入第一离子阱内，再轴向传输至第二离子阱内，参照图1所示，在气压在1×10^-3Torr时，所对应的平均分子自由程是54毫米；由于离子在第一离子阱中轴向出射时具有较大的动能，在第二离子阱中囚禁传输过来的离子时，需要在射频电场和直流电场的作用下，使得离子与空气中的中性分子发生碰撞，从而降低离子动能，使第二离子阱能将离子囚禁在第二离子阱中心的位置上，完成后续串级质谱分析等离子操作。当第二离子阱内气压低于1×10^-3Torr时，第二离子阱内的平均分子自由程将大于54毫米，也就是离子需要运动54毫米以上的距离才能发生一次碰撞，使离子的动能降低，而在这个过程中大部分离子还没有发生碰撞就已经离开第二离子阱的稳定区，从而无法对离子进行有效地质谱分析等工作。

此外，发明人对利血平离子的传输效率与真空腔内的气压关系进行了实验，实验过程大致如下，打开非连续进样组件，将待分析样品囚禁在第一离子阱中，接着通过轴向选择性传输将离子由第一离子阱传输到第二离子阱中，在不同气压点多次扫描第二离子阱内的离子强度信号值。从图2中可以得出，在真空腔内气压高于1×10^-2Torr时，离子的轴向传输效率较低，在真空腔内气压低于1×10^-3Torr时离子的传输效率也较低。针对上述问题，发明人设计出一种可以调节真空腔气压的质谱仪。

下面参照图3至图9描述根据本发明实施例的质谱仪100。如图3和图6所示，该质谱仪100大体可以包括：腔体结构8、气压调节装置20和抽真空装置12。

该腔体结构8限定出具有进样口的真空腔81，真空腔81内设有串联的第一离子阱1和第二离子阱2，第一离子阱1和第二离子阱2形成有相互连通的离子通道，该离子通道的进口端与进样口相对设置，第一离子阱1的前端设有第一电极4，第二离子阱2的后端设有第二电极6，在第一离子阱1和第二离子阱2之间设有第三电极5。气压调节装置20设于腔体结构8上用于调节真空腔81内气压大小。抽真空装置12设于腔体结构8上对真空腔81进行抽真空，离子检测器7设于真空腔81内对离子通道内的离子进行质量分析。其中，进样口为非连续进样接口，即待分析样品离子通过进样口间断性地传送至离子通道内。抽真空装置12具有相互串联连接的分子泵和隔膜泵，实现对真空腔81实时抽真空。

该质谱仪100采用串联双线性离子阱结构，质谱仪100的工作过程大致如下，通过进样口连接真空腔81与外部常压环境，控制进样口来引入待分析样品离子，进入真空腔81中的样品离子会囚禁在第一离子阱1中，通过轴向选择性传输依次将离子传输到第二离子阱2中做串级质谱分析。

样品离子从离子通道流出后，通过离子检测器7将不同质荷比离子信号放大，质谱仪100控制系统将该信号采集到计算机中，得到分析样品质谱图。其中，第一电极4、第二电极6和第三电极5可以为直流电极。

可以理解的是，质谱仪100进样阶段，由于进样口与外界大气压相通，真空腔81内的气压会上升，当进样口关闭，在抽真空装置12的作用下，真空腔81内的气压会逐渐降低，样品离子导入第一离子阱1之后，将会在第一离子阱1和第二离子阱2完成离子囚禁、离子冷却、离子轴向传输、串级质谱分析等一系列的离子操作。

在离子囚禁、离子冷却、离子轴向传输和串级质谱分析整个过程中，可以通过气压调节装置调节真空腔81内的气压使得真空腔81内的气压保持在稳定范围，例如，在真空腔81内气压低于预设值(例如1×10^-3Torr)时，对真空腔81进行加压，在真空腔81内气压高于预设值(例如1×10^-2Torr)时，对真空腔81进行减压，由此，保证真空腔81气压维持在一定的期间内，提高离子的传输效率。

由此，根据本发明实施例的质谱仪100，通过在腔体结构8上设置用于调节真空腔81内气压的气压调节装置20，使得真空腔81内气压维持在一定范围内，提高离子的轴向传输效率。

在本发明的一些实施例中，气压调节装置20用于调节第二离子阱2内的气压。具体地，气压调节装置20的一端可以伸入第三电极5与第二离子阱2的前端所形成的间隙，利用电极之间的空隙可以很好的保证气体进入第二离子阱2内部，使第二离子阱2内部靠近轴向离子传输的一端的气压升高，气压调节装置20控制少量进气，使真空腔81其他位置的气压保持相对稳定，利于后面的质谱分析操作，又可以提高离子传输效率.同时少量进气不会使抽真空装置12的负载大幅度增加，有利于节省抽真空装置12的整体功耗。参照图4，无论对第二离子阱2进行脉冲进气或连续进气模式，真空腔81内的气压变化幅度较小。

一些可选实施例中，如图3所示，气压调节装置20包括：第一管路9和第二管路11。第一管路9的一端伸入真空腔81内与第二离子阱2内部连通。第二管路11与第一管路9的另一端连接，第二管路11设有脉冲控制阀10。换言之，气压调节装置20的第一管路9与第二离子阱2连通，脉冲控制阀10可以控制是否进气以及进气的方式，气压调节装置20还可以包括气压阀，气压阀可以控制进气量从而达到调节第二离子阱2内部气压的目的。其中，脉冲控制阀10通过质谱仪100的控制系统的外触发信号进行控制，该信号可以与质谱仪100的时序控制信号同步。

图5为第二离子阱2不进气、脉冲进气和连续进气三种模式的离子强度与时间的关系图，从图5中可以看到，在进样口关闭550毫秒之后，若不向第二离子阱2进气，离子强度将迅速降低，即离子传输效率降低，只有少量的离子能囚禁在第二离子阱2中。向第二离子阱2脉冲进气或连续进气均可以提高离子信号强度。

具体地，向第二离子阱2脉冲进气的情况，第二管路11可以由内径为0.01英寸，长度为50毫米的不锈钢管构成。当进样口关闭550毫秒之后向第二离子阱2内间隔多次通入缓冲气体，离子传输结束后，关闭脉冲控制阀10停止进气，将第二离子阱2囚禁的离子做质谱分析，得到离子强度信号。

向第二离子阱2连续进气的情况，第二管路11可以由内径为0.005英寸，长度为250毫米的不锈钢管构成。需要说明的是，采用连续进气的控制模式，不需要额外的控制信号，在质谱仪100开始分析操作时一直小量通入缓冲气体，在分析程序结束时关闭进气，连续通入的气体会使第二离子阱2内局部气压较高，提高了离子的传输效率。

如图4所示，当采用脉冲进气或连续进气的方式时，可以提高第二离子阱2内的局部气压，保证离子有较高的传输效率。但是由于少量进气，并不会使得真空腔81内的气压升高明显，从而不会影响后续的质谱分析过程。

在本发明另一些实施例中，气压调节装置20直接调节真空腔81内的气压，如图6所示，该气压调节装置20包括：第三管路13、缓冲气路14、第一可控阀15和第二可控阀17，第三管路13的出口端伸入真空腔81内。缓冲气路14与第三管路13的进口端连通以形成进气通路。第一可控阀15设于第三管路13与缓冲气路14的连接处。第二可控阀17设于缓冲气路14的进口端。也就是说，通过第一控阀控制第三管路的通断，通过第二控阀控制缓冲气路14的通断，其中，缓冲气路14可以与气瓶或大气压直接相通。其中，进样口为非连续进样接口，即待分析样品离子通过进样口间断性地传送至离子通道内。

可以理解的是，进样口打开时，真空腔81内的气压将会迅速上升，进样口关闭时，真空腔81内的气压又会降低，为了保证良好的离子传输效率，可以通过气压调节装置20使得真空腔81气压维持在某一固定值，其中，在只对一种离子进行传输及质谱分析时，真空腔81内的气压可以具有一段稳定气压，如图8所示，该稳定气压段的气压值为4.9×10^-3Torr；需要多种离子进行传输及质谱分析时，真空腔81内的气压可以具有两段以上的稳定气压，如图9所示，两个稳定气压段的气压值大致相同。

稳定气压段的气压值可以通过改变缓冲气路14的内径和长度来进行调节，例如，在缓冲气路14长度一定的情况，可以通过增大缓冲气路14的内径以提高单位时间内的进气量，从而提高稳定气压段的气压值，或者通过减小缓冲气路14的内径以减小单位时间内的进气量，从而减小稳定气压段的气压值。此外，为了避免真空腔81内的气压上升太快，缓冲气路14的长度要尽量长，内径尽量小，从而可以使得气体缓缓地进入真空腔81内，避免真空腔81内的气压迅速上升。

该气压调节装置20调节真空腔81内的气压步骤大致如下：S100：关闭进样口，打开第一可控阀15，第二可控阀17处于关闭状态，持续时间T1，使得缓冲气路的气体进入真空腔81内；S200：打开进样口，将待分析样品离子引入第一离子阱1内；S300：关闭进样口，持续时间T2；S400：打开第二可控阀，持续时间T3，将第一离子阱1内的离子轴向传输至第二离子阱2内并对第二离子阱2的离子进行串级质谱分析；S500：关闭第一可控阀，持续时间T4后，关闭第二可控阀；S600：持续时间T5，进行质量分析，得到质谱图。需要说明的是，在步骤S100-S600整个过程中，抽真空装置12始终对腔体结构8进行抽真空，由此，可以使得气压调节装置20停止向真空腔81内进气时，真空腔81内的气压可以迅速降低，以满足质谱分析的需要。

具体地，在进样口开启之前，即向离子通道内导入离子之前，先将第一可控阀15打开，从而使得留存于缓冲气路14内的气体进入真空腔81内，以提高真空腔81内的气压，并持续时间T1；接着打开进样口，将待分析样品离子引入第一离子阱1内，由于真空腔81内的气压值较高，可以提高第一离子阱1内离子的囚禁效率；接着关闭进样口，将离子囚禁于第一离子阱内T2时间；然后打开第二可控阀17并持续时间T3，此时，气瓶或大气中的气体通过缓冲气路14和第三管路13缓慢进入真空腔81内，并使得真空腔81内的气压值稳定在某一固定值，从而提高离子从第一离子阱1向第二离子阱2轴向传送的效率，在该阶段内，可以对处于第二离子阱2内的离子进行串级质谱分析；然后关闭第一可控阀15，持续时间T4后，关闭第二可控阀17，在该阶段内，停止向真空腔81内充气，可以迅速降低真空腔81内的气压，并使得气瓶或大气中的气体再次留存于缓冲气路14中以供下次使用。

一些具体实施例中，如图3和图6所示，进样口设有非连续进样组件3，该非连续进样组件3包括：入口不锈钢金属管33和出口不锈钢金属管31，入口不锈钢金属管33和出口不锈钢金属管31通过绝缘橡胶管34连接，绝缘橡胶管34上设有夹管阀32。由于绝缘橡胶管34质软，夹管阀32可以控制绝缘橡胶管34的导通和闭合，也就是说，可以通过夹管阀32来控制进样口的连通或闭合，另外，也可通过夹管阀32控制绝缘橡胶管34的导通时间长短来精确控制进样口的进样量，从而节约样品。

另一些具体实施例中，气压调节装置20向第二离子阱2内部填充的气体可以为空气、氮气、氦气和氩气的其中之一。也就是说，与第二管路11相连的气体输送装置内可以存放空气、氮气、氦气和氩气等气体，当然，气体输送装置也可以存放上述两种或多种气体的混合气体，填充气体易得，且方便获取。

对于质谱仪100的其他构成以及操作属于本领域普通技术人员所理解并容易获得的，在此不再进行赘述。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (11)

1.一种质谱仪，其特征在于，包括：

腔体结构，该腔体结构限定出具有进样口的真空腔，所述真空腔内设有串联的第一离子阱和第二离子阱，所述第一离子阱和所述第二离子阱形成有相互连通的离子通道，该离子通道的进口端与所述进样口相对设置，所述第一离子阱的前端设有第一电极，所述第二离子阱的后端设有第二电极，在所述第一离子阱和所述第二离子阱之间设有第三电极；

气压调节装置，所述气压调节装置设于所述腔体结构上用于调节所述真空腔内气压大小；

抽真空装置，所述抽真空装置设于腔体结构上对所述真空腔进行抽真空；

离子检测器，所述离子检测器设于所述真空腔内对离子通道内的离子进行质量分析。

2.根据权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置用于调节所述第二离子阱内的气压。

3.根据权利要求2所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置包括：

第一管路，所述第一管路的一端伸入所述第二离子阱内；

第二管路，所述第二管路与所述第一管路的另一端连接形成进气通路；

脉冲控制阀，所述脉冲控制阀用于导通或断开所述进气通路。

4.根据权利要求3所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置通过脉冲进气方式调节所述第二离子阱内的气压。

5.根据权利要求4所述的质谱仪，其特征在于，所述第二管路的长度为50毫米的不锈钢管，该不锈钢管内径为0.01英寸。

6.根据权利要求3所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置通过连续进气方式调节所述第二离子阱内的气压。

7.根据权利要求6所述的质谱仪，其特征在于，所述第二管路的长度为250毫米的不锈钢管，管内径为0.005英寸。

8.根据权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置包括：

第三管路，所述第三管路的出口端伸入所述真空腔内；

缓冲气路，所述缓冲气路与所述第三管路的进口端连通以形成进气通路；

第一可控阀，所述第一可控阀设于第三管路与缓冲气路的连接处；

第二可控阀，所述第二可控阀设于所述缓冲气路的进口端。

9.根据权利要求8所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置调节所述真空腔内的气压的步骤如下：

关闭进样口，打开第一可控阀，第二可控阀处于关闭状态，持续时间T1，使得缓冲气路的气体进入真空腔内；

打开进样口，将待分析样品离子引入第一离子阱内；

关闭进样口，持续时间T2；

打开第二可控阀，持续时间T3，离子轴向传输至第二离子阱内；

并对传输到第二离子阱的离子进行串级质谱分析；

关闭第一可控阀，持续时间T4后，关闭第二可控阀；

持续时间T5，进行质量分析，得到质谱图。

10.根据权利要求1-9任意项中的所述的质谱仪，其特征在于，所述进样口设有非连续进样组件，该非连续进样组件包括：入口不锈钢金属管和出口不锈钢金属管，所述入口不锈钢金属管和所述出口不锈钢金属管通过绝缘橡胶管连接，所述绝缘橡胶管上设有夹管阀。

11.根据权利要求1-9中任意项中所述的质谱仪，其特征在于，所述气压调节装置向所述第二离子阱内部填充的气体为空气、氮气、氦气和氩气的其中之一。