CN107765465B - 一种曝气装置 - Google Patents

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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

本发明公开一种曝气装置，其包括曝气盘面和出气单元，所述曝气盘面包括多个平行设置的曝气管，每个曝气管的管壁上设有多个出气孔，每个出气孔内设有所述出气单元，所述出气单元包括依次设置的底座、多孔透气管、集气盒和封帽，所述多孔透气管、集气盒和封帽固定在底座上。本发明通过在出气孔内设置出气单元，由原先的单孔出气改良成一个多孔出气单元，从结构上弥补了传统曝气方式的使用周期短，生产稳定性较差，维护成本高等缺点。

Description

一种曝气装置
技术领域
本发明涉及液晶面板制造领域，特别设计一种曝气装置。
背景技术
当前社会已步入信息化、数字化时代，TFT-LCD面板显示技术在日常生活中得到较大量的应用，尤其是数字移动终端的轻薄话要求日益提高，智能手机、平板电脑等新兴消费类电子产品向超薄型转化，其显示屏往往只有0.3mm-0.5mm厚度，目前高世代TFT设备产线很难处理0.3mm以下的基板玻璃，良率及成本受到很大的限制，而传统的阵列基板及彩膜基板一般在0.4mm-0.6mm左右，加上中间填充的液晶等材料，一般贴合后的厚度达到0.8mm-1.0mm左右，满足液晶面板显示器轻薄化需求最经济实惠的方法只能通过化学或物理方法进行玻璃减薄。
减薄是指减小玻璃基板两个相对的外表面的玻璃厚度尺寸，以符合设计规定所需要的液晶玻璃基板厚度。在化学或物理方法的玻璃减薄中，化学方式减薄以生产效率高、品质稳定等优点被业界广泛使用。其中，在进行化学方式减薄处理过程中，为提升刻蚀液与玻璃的反应速率和反应均一性，往往会在蚀刻槽的底部设置一些曝气管，曝气管上设置有若干个出气孔。然而，随着减薄处理的进行，刻蚀液与玻璃主要成分SiO2反应后产生的氟硅酸盐会沉积在曝气管上，从而造成出气孔的堵塞，气泡搅拌效果下降，玻璃原料刻蚀不均匀，甚至发生玻璃基板破碎。故传统曝气方式存在使用周期短，生产稳定性较差，维护成本高等缺点。
发明内容
本发明的目的在于提供一种弥补了传统曝气方式的使用周期短、生产稳定性较差、维护成本高等缺点的曝气装置。
本发明公开一种曝气装置，该曝气装置包括曝气盘面和出气单元，所述曝气盘面包括多个平行设置的曝气管，每个曝气管的管壁上设有多个出气孔，每个出气孔内设有出气单元，所述出气单元从下到上依次包括底座、多孔透气管、集气盒和封帽，所述多孔透气管、集气盒和封帽固定在底座上。
进一步，所述底座、多孔透气管、集气盒和封帽均由耐氢氟酸腐蚀材料制成。
进一步，所述底座包括第一连接部、与第一连接部连接的中间柱、承载中间柱的底盘、以及与底盘连接的第二连接部；所述中间柱上设有透气孔；所述第二连接部安装在曝气管的出气孔内，所述第一连接部依序穿过多孔透气管和集气盒后、与封帽固定连接。
进一步，所述底盘包括第一底盘和与第一底盘连接的第二底盘，第二底盘与第二连接部连接，第二底盘位于第一底盘和第二连接部之间。
进一步，第一连接部和第二连接部均为螺纹柱，第二连接部的直径大于第一连接部的直径和中间柱的直径，中间柱的直径大于第一连接部的直径。
进一步，所述多孔透气管由多孔材料制成，其包括位于其中心的第一通孔,所述第一连接部穿过所述第一通孔。
进一步，所述集气盒设有第二通孔，所述第一连接部穿过第二通孔。
进一步，集气盒包括盒底、以及连接在盒底上且相对设置的两个弧形板，所述第二通孔设置在盒底上；两个弧形板间隔一定距离且相对设置，两个弧形板围设形成一个弧形空间，所述多孔透气管位于弧形空间内；所述盒底的上表面和两个弧形板之间具有狭缝。
进一步，所述底座与多孔透气管之间、多孔透气管与集气盒之间以及集气盒与封帽之间均设有密封圈。
进一步，所述曝气盘面的两端均设有多个通气管，所述通气管与空气压缩机连通。
有益效果：本发明通过在出气孔内设置底座、多孔透气管、集气盒和封帽，由原先的单孔出气改良成一个多孔出气单元，从结构上弥补了传统曝气方式的使用周期短，生产稳定性较差，维护成本高等缺点。
附图说明
图1本发明曝气装置结构示意图；
图2为本发明曝气装置的出气单元结构示意图；
图3为本发明曝气装置出气单元的底座结构示意图；
图4为本发明曝气装置出气单元的底座的剖面图；
图5为本发明曝气装置的多孔透气管结构示意图；
图6为本发明曝气装置的多孔透气管剖面图；
图7为本发明曝气装置的集气盒结构示意图；
图8为本发明曝气装置的封帽结构示意图；
图9为本发明曝气装置的出气单元组装完成后结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
本发明提供一种曝气装置，该曝气装置用于在浸泡式蚀刻机对液晶显示器的玻璃基板进行蚀刻减薄时，为蚀刻液体提供气压。
图1为本发明曝气装置结构示意图，曝气装置包括曝气盘面100和出气单元200，所述曝气盘面100包括多个平行设置的曝气管101，所述曝气管101为中空管，每个曝气管101包括管壁和由管壁围成的空腔，每个曝气管101的管壁上设有多个出气孔103，出气孔内焊接有一连接部(图1中未示出)，连接部有内螺纹，用以固定出气单元，每个出气孔103内安装有一出气单元200，该出气单元200由出气孔103向上依次包括底座201、多孔透气管202、集气盒203和封帽204，其中所述底座201与多孔透气管202之间、多孔透气管202与集气盒203之间以及集气盒203与封帽204之间均设有密封圈205，进行密封处理防止漏气，所述密封圈为耐氢氟酸腐蚀性的材料，例如橡胶材质。
曝气盘面100的两端均设有多个通气管102，所述通气管102与空气压缩机连通，用于将气体导入曝气管中。
图2为本发明曝气装置的出气单元结构示意图，出气单元200包括底座201、多孔透气管202、集气盒203和封帽204，其中所述底座201与多孔透气管202之间、多孔透气管202与集气盒203之间以及集气盒203与封帽204之间均设有“O”型密封圈205。
图3为本发明曝气装置的底座结构示意图，图4为底座的剖面图，底座201包括第一连接部2011、与第一连接部2011连接的中间柱2012、承载中间柱2012的底盘、以及与底盘连接的第二连接部2016；所述中间柱2012上设有透气孔2013，且中间柱2012位于多孔透气管202内；所述第二连接部2016安装在曝气管101的出气孔103内，所述第一连接部2011依序穿过多孔透气管202和集气盒203后、与封帽204固定连接。所述底盘包括第一底盘2014和与第一底盘2014连接的第二底盘2015，第二底盘2015与第二连接部2016连接，第二底盘2015位于第一底盘2014和第二连接部2016之间。第一连接部2011和第二连接部2016均为螺纹柱，第二连接部2016的直径大于第一连接部2011的直径和中间柱2012的直径，中间柱2012的直径大于第一连接部2011的直径。
透气孔2013用于将曝气管101内的气体向多孔透气管202传导，底座201采用耐氢氟酸腐蚀材料。
图5为本发明曝气装置的多孔透气管结构示意图，图6为多孔透气管剖面图，多孔透气管202采用多孔材料制成蜂窝状，例如孔径为0.040um-0.060um(最好为0.05um)的多孔材料制成，多孔透气管202的长度为10mm-20mm(最好为15mm)，管壁的厚度大约为3mm，多孔透气管202包括位于其中心的第一通孔2021，第一通孔2021用于安装固定在底座201的第一连接部2011上，多孔透气管202采用耐氢氟酸腐蚀材料。多孔透气管202的作用是将经由曝气管101和底座201传导来的气体变为直径为50um的多个微小气泡。
图7为本发明曝气装置的集气盒结构示意图，集气盒203包括盒底2031、连接在盒底上且相对设置的两个弧形板2033、以及设置在盒底上的第二通孔2032。两个弧形板2033间隔一定距离且相对设置，两个弧形板2033围设形成一个弧形空间，所述第二通孔2032位于弧形空间内，多孔透气管202位于弧形空间内，多孔透气管202的第一通孔2021和第二通孔2032的中心线在同一直线上。
盒底2031的上表面呈四边形，盒底2031的上表面设有第一侧边、均与第一侧边连接的第二侧边20312和第四侧边20314、与第二侧边20312相对设置且连接第一侧边和第三侧边20313的第四侧边20314。
弧形板2033包括第一板20331、与第一板20331垂直连接第二板20332、以及设置第二板端部的弧形20333。
其中，其中一个弧形板2033的第一板20331与第一侧边垂直连接，另一个弧形板的第一板与第三侧边20313垂直连接。第一板的长度小于第一侧边或第三侧边的长度。
弧形板2033与盒底2031的上表面靠近第二侧边和第四侧边处具有狭缝。
所述狭缝为3mm，另外相对的两个侧面封闭，当然集气盒的开口的方向及尺寸大小可是具体情况变化，以满足不同减薄目标厚度基板的使用。集气盒203采用耐氢氟酸腐蚀材料。集气盒的作用是将多孔透气管发出的微小气泡进行收集放大(符合制程需求的气泡大小)，再通过狭缝以较大体积的气泡溢出。
图8为本发明曝气装置的封帽结构示意图，封帽204起封闭和密封作用，防止气体从上部溢出，封帽204需采用氢氟酸腐蚀材料。封帽204内部设有第三孔2041，第三孔2041为螺纹孔。
图9为出气单元组装完成后结构示意图。
组装时，底座201的第一连接部2011依序穿过多孔透气管202的第一通孔2021、集气盒203的第二通孔2032后、并由封帽204的第三孔2041与第一连接部2011的螺纹配合；底座201与多孔透气管202之间、多孔透气管202与集气盒203之间以及集气盒203与封帽204之间均设有密封圈205。
本发明通过在曝气管的出气孔内设置底座、多孔透气管、集气盒和封帽，由原先的单孔出气改良成一个多孔出气单元，从结构上弥补了传统曝气方式的使用周期短，生产稳定性较差，维护成本高等缺点。

Claims (9)

1.一种曝气装置，其包括曝气盘面和出气单元，所述曝气盘面包括多个平行设置的曝气管，每个曝气管的管壁上设有多个出气孔，每个出气孔内设有所述出气单元，其特征在于：所述出气单元包括依次设置的底座、多孔透气管、集气盒和封帽，所述多孔透气管、集气盒和封帽固定在底座上；所述底座包括第一连接部、与第一连接部连接的中间柱、承载中间柱的底盘、以及与底盘连接的第二连接部；所述中间柱上设有透气孔；所述第二连接部安装在曝气管的出气孔内，所述第一连接部依序穿过多孔透气管和集气盒后、与封帽固定连接。
2.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：所述底座、多孔透气管、集气盒和封帽均由耐氢氟酸腐蚀材料制成。
3.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：所述底盘包括第一底盘和与第一底盘连接的第二底盘，第二底盘与第二连接部连接，第二底盘位于第一底盘和第二连接部之间。
4.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：第一连接部和第二连接部均为螺纹柱，第二连接部的直径大于第一连接部的直径和中间柱的直径，中间柱的直径大于第一连接部的直径。
5.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：所述多孔透气管由多孔材料制成，其包括位于其中心的第一通孔,所述第一连接部穿过所述第一通孔。
6.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：所述集气盒设有第二通孔，所述第一连接部穿过第二通孔。
7.根据权利要求6所述的曝气装置，其特征在于：集气盒包括盒底、以及连接在盒底上且相对设置的两个弧形板，所述第二通孔设置在盒底上；两个弧形板间隔一定距离且相对设置，两个弧形板围设形成一个弧形空间，所述多孔透气管位于弧形空间内；所述盒底的上表面和两个弧形板之间具有狭缝。
8.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：所述底座与多孔透气管之间、多孔透气管与集气盒之间以及集气盒与封帽之间均设有密封圈。
9.根据权利要求1所述的曝气装置，其特征在于：所述曝气盘面的两端均设有多个通气管，所述通气管与空气压缩机连通。
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