CN107755540A - 冲压加工装置和聚焦环凸台的加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种冲压加工装置和聚焦环凸台的加工方法，聚焦环凸台的加工方法包括：提供待加工件，所述待加工件包括相对的第一端部和第二端部；使所述滑块位于所述滑块孔中；将所述待加工件放置于所述凸台孔中，并使所述第一端部位于所述凸缘孔中，使所述第二端部位于所述台体孔中；通过所述第二模具朝所述待加工件第二端部施加压力，使所述待加工件的第一端部形成凸缘，使所述待加工件第二端部形成台体，所述凸缘和所述台体形成凸台；形成所述凸台之后，使所述滑块移出所述滑块孔；使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动，取出所述凸台。利用冲压形成聚焦环凸台的工艺程序简单，并能够提高材料利用率。

Description

冲压加工装置和聚焦环凸台的加工方法

技术领域

本发明涉及半导体溅射靶材制造领域，尤其涉及一种冲压加工装置和聚焦环凸台的加工方法。

背景技术

溅射技术是镀膜的一种基本技术，是指以一定能量的离子束轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。

通常情况下，溅射镀膜过程中，金属离子从溅射靶材表面溅射出来，沿多个不同方向离开靶材表面，这样到达基板上的靶材很少。为了减少靶材的浪费，通常使用聚焦环对所述金属离子进行汇聚，以增加到达基板上的离子。聚焦环一般为环状金属线圈，所述金属线圈外部具有凸台。聚焦环通过所述凸台安装在溅射腔体内。凸台包括台体；与所述台体相连的凸缘；位于所述台体内的凹槽。一般通过机械加工方法对待加工件进行加工形成所述凸台。

然而，现有的聚焦环凸台的加工方法存在材料利用率低、加工工序复杂、加工效率低、成本高的缺点。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种冲压装置和聚焦环凸台的加工方法，能够提高聚焦环凸台的加工效率及材料利用率低。

为解决上述问题，本发明提供一种冲压加工装置，所述冲压加工装置用于对待加工件进行加工，第一模具，所述第一模具包括：滑块孔和凸台孔，所述凸台孔用于容纳所述待加工件，所述凸台孔包括：相连的凸缘孔和台体孔，所述凸缘孔与所述滑块孔连接，所述凸缘孔横截面尺寸大于所述台体孔横截面尺寸，且小于所述滑块孔横截面尺寸；第二模具，所述第二模具用于朝所述第一模具移动并对所述待加工件施加压力，所述第二模具横截面尺寸小于所述台体孔横截面尺寸；滑块，所述滑块用于支撑所述待加工件，且用于在所述滑块孔中移动。

可选的，所述第二模具包括：模具体和位于所述模具体上的凸出部，所述凸出部用于在所述待加工件中形成凹槽。

可选的，所述滑块孔、台体孔和所述凸缘孔为圆孔，且所述滑块孔、台体孔和所述凸缘孔的轴线重合，所述滑块为圆柱体。

可选的，所述台体孔的直径为18mm～22mm；所述凸缘孔的直径为25mm～31mm；所述滑块孔的直径为55mm～65mm。

可选的，还包括：冲头，所述冲头用于带动所述第二模具向所述待加工件移动。

可选的，所述第一模具、第二模具和所述滑块的材料为钢。

可选的，还包括：与所述滑块相连的连接件，所述连接件用于带动所述滑块在所述滑块孔中移动。

相应的，本发明还提供一种聚焦环凸台的加工方法，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相对的第一端部和第二端部；提供冲压加工装置；通过所述连接件使所述滑块位于所述滑块孔中；将所述待加工件放置于所述凸台孔中，使所述待加工件第一端部与所述滑块接触，并使所述第一端部位于所述凸缘孔中，使所述第二端部位于所述台体孔中；通过所述第二模具朝所述待加工件第二端部施加压力，使所述待加工件的第一端部形成凸缘，所述凸缘凸出于所述待加工件第二端部侧壁表面，使所述待加工件第二端部形成台体，所述凸缘和所述台体形成凸台；形成所述凸台之后，使所述滑块移出所述滑块孔；使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动，直至取出所述凸台。

可选的，所述第二模具包括：模具体和凸出于所述模具体表面的凸出部；朝所述待加工件第二端面施加压力的过程中，使所述凸出部对所述待加工件第二端部进行挤压，在所述第二端部中形成凹槽。

可选的，所述滑块孔、台体孔和所述凸缘孔为圆孔，所述滑块为圆柱体，所述凸缘和凸台为圆柱体。

可选的，所述台体的直径为18mm～22mm；所述凸缘的直径为25mm～31mm。

可选的，所述台体直径大于所述待加工件直径，且与待加工件直径之差在0.08mm～0.10mm的范围内。

可选的，所述冲压加工装置还包括：冲头，所述冲头用于带动所述第二模具移动；通过所述第二模具朝所述待加工件第二端部施加压力之前，还包括：将所述第二模具与所述冲头固定连接，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动的步骤包括：通过所述冲头使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

可选的，所述待加工件的材料为钽。

可选的，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动的过程中，所述第二模具移动的距离大于或等于所述台体孔的深度。

可选的，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动的过程中，所述第二模具移动的距离为25mm～50mm。

可选的，所述第二模具的长度大于或等于所述台体孔的深度。

可选的，所述滑块移出所述滑块孔之后，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

可选的，所述滑块移出所述滑块孔的同时，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

可选的，所述冲压加工装置还包括：与所述滑块相连的连接件；使所述滑块移出所述滑块孔的步骤包括通过所述连接杆带动所述滑块移动。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明技术方案的冲压加工装置中，所述第一模具具有台体孔，可以使所述台体孔的横截面尺寸与设计要求的台体横截面尺寸相同，则通过冲压加工装置形成的台体不需要再进行处理，能够简化工艺流程。因此，利用所述冲压形成聚焦环凸台的工艺程序简单，且能够提高材料利用率。此外，所述冲压装置包括第一模具和第二模具，所述第一模具和第二模具能够同时对待加工件的不同表面进行加工，从而能够简化工艺流程。

进一步，所述第二模具包括：模具体和位于所述模具体上的凸出部，所述凸出部能够在所述待加工件中形成凹槽，从而能够简化工艺流程。

本发明技术方案的聚焦环凸台的加工方法中，利用冲压加工装置加工凸台，可以使所述台体孔的横截面尺寸与设计要求的凸台的台体横截面尺寸相同，则通过冲压加工装置形成的台体不需要再进行处理，从而能够简化工艺流程。因此，利用所述冲压加工装置形成聚焦环凸台的工艺程序简单，能够提高聚焦环的生产效率，并能够提高材料利用率。通过冲压加工装置对待加工件进行加工的过程中，不需要对所述待加工件进行夹持，因此，能够避免因加工装置对待加工的夹持而产生的材料浪费。此外，所述加工方法中，能够通过第二凹模推动所述凸台，从而取出凸台。因此，形成凸台后，能够很容易地取出所形成的凸台，工艺简单，容易操作。此外，所述冲压装置包括第一模具和第二模具，在对所述待加工件施加压力的过程中，能够同时对待加工件的不同表面进行加工，从而能够简化工艺流程。

附图说明

图1至图4是一种聚焦环凸台的加工方法各步骤的结构示意图；

图5是本发明的冲压加工装置一实施例的结构示意图；

图6至图10是本发明的聚焦环凸台的加工方法一实施例各步骤的结构示意图。

具体实施方式

聚焦环凸台的车削加工方法存加工工序复杂、加工效率低的缺点。

现结合所述聚焦环凸台的车削加工方法，分析聚焦环凸台的加工过程中加工工序复杂、加工效率低的原因：

图1至图4是一种聚焦环凸台的车削加工方法各步骤的结构示意图。所述凸台包括：台体和连接所述台体且凸出所述台体表面的凸缘，所述凸台的凸缘和台体均为圆柱体。

请参考图1，提供待加工件10，所述待加工件10为圆柱体，待加工件10包括位于两端的第一部1和第二部2、以及位于第一部1和第二部2之间的第三部3。

请参考图2，通过夹持头14夹持待加工件10(如图1所示)的第一部1(如图1所示)，将待加工件10固定在车床上，所述第一部1为夹持端13。

继续参考图2，通过车削法对所述待加工件10的第二部2(如图1所示)进行加工，使所述第二部2(如图1所示)的直径减小，形成台体12。对第三部3(如图1所示)进行加工，使第三部3加工为相互连接的凸缘11和连接件15，所述连接件15与所述夹持端13相连接，所述凸缘11与台体12相连接。

请参考图3，去除所述夹持端13(如图2所示)和所述连接件15(如图2所示)。

请参考图4，通过铣削工艺对所述台体12进行加工，在所述台体12与凸缘11相对的一端中形成凹槽20。

由此可见，所述聚焦环凸台的加工方法主要是利用机械加工的车削方法，通过去除多余坯料制成聚焦环凸台。由于凸台具有凸缘11，要通过车削的方法形成所述凸缘11，则所需要的待加工件10的直径需大于或等于所述凸缘11的直径。因此，在加工凸台的台体12时，需要去除大量的待加工件10坯料，造成大量的材料浪费。

其次，利用机械加工的车削法加工凸台时，为了将待加工件10固定在车床上，需要用夹持头14夹住待加工件10的夹持端13。车削完成后，所述夹持端13被去除，从而浪费了部分待加工件10坯料。

因此，现有技术的聚焦环凸台的加工方法浪费了大量的待加工件10坯料，增加了成本。

此外，所述加工方法需要对所述待加工件进行多次机械加工形成所述凸台，工艺复杂，且对刀具的要求较高，增加了刀具成本。

为解决所述技术问题，本发明提供了一种聚焦环凸台的加工方法，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相对的第一端部和第二端部；提供冲压加工装置；通过所述连接件使所述滑块位于所述滑块孔中；将所述待加工件放置于所述凸台孔中，使所述待加工件第一端部与所述滑块接触，并使所述第一端部位于所述凸缘孔中，使所述第二端部位于所述台体孔中；通过所述第二模具朝所述待加工件第二端部施加压力，使所述待加工件的第一端部形成凸缘，所述凸缘凸出于所述待加工件第二端部侧壁表面，使所述待加工件第二端部形成台体，所述凸缘和所述台体形成凸台；形成所述凸台之后，使所述滑块移出所述滑块孔；使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动，直至取出所述凸台。

其中，利用冲压加工装置加工凸台，可以使所述台体孔的横截面尺寸与设计要求的凸台的台体横截面尺寸相同，则通过冲压加工装置形成的台体不需要再进行处理，从而能够简化工艺流程。因此，利用所述冲压加工装置形成聚焦环凸台的工艺程序简单，能够提高聚焦环的生产效率，并能够提高材料利用率。通过冲压加工装置对待加工件进行加工的过程中，不需要对所述待加工件进行夹持，因此，能够避免因加工装置对待加工的夹持而产生的材料浪费。此外，所述加工方法中，能够通过第二凹模推动所述凸台，从而取出凸台。因此，形成凸台后，能够很容易地取出所形成的凸台，工艺简单，容易操作。此外，所述冲压装置包括第一模具和第二模具，在对所述待加工件施加压力的过程中，能够同时对待加工件的不同表面进行加工，从而能够简化工艺流程。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图5是本发明的冲压加工装置的结构示意图，所述冲压加工装置用于对待加工件进行加工，将待加工件加工为成品凸台。

请参考图5，所述冲压加工装置包括：

第一模具210，所述第一模具210包括：滑块孔211和凸台孔，所述凸台孔用于容纳所述待加工件，所述凸台孔包括：相连的凸缘孔212和台体孔213，所述凸缘孔212与所述滑块孔211连接，所述凸缘孔212横截面尺寸大于所述台体孔213横截面尺寸，且小于所述滑块孔211横截面尺寸。

第二模具220，所述第二模具220用于朝所述第一模具210移动并对所述待加工件施加压力，所述第二模具220横截面尺寸小于所述台体孔213横截面尺寸。

滑块200，所述滑块200用于支撑待加工件，且所述滑块200用于在所述滑块孔211中移动。

本实施例中，所述滑块200为圆柱体。所述滑块孔211、凸缘孔212和台体孔213为圆孔。且所述滑块孔211、台体孔213和所述凸缘孔212的轴线重合。

本实施例中，所述滑块200、第一模具210和第二模具220需要具有一定的硬度又具有一定的韧性。如果所述滑块200、第一模具210和第二模具220的韧性过小容易出现开裂现象；如果所述滑块200、第一模具210和第二模具220的硬度过低，容易发生变形，出现镦粗现象。具体的，本实施例中，所述滑块200、第一模具210和第二模具220的材料为钢，具体的，所述滑块200、第一模具210和第二模具220的材料为模具钢。

本实施例中，所述滑块200的横截面尺寸与所述滑块孔211的横截面尺寸相同。具体的，所述滑块200的直径与所述滑块孔211的直径相同。所述滑块的直径为55mm～65mm。

在其他实施例中，所述滑块的直径还可以小于所述滑块孔的直径。

本实施例中，所述凸缘孔212用于容纳加工后形成的凸台的凸缘，因此，通过所述冲压加工装置加工形成的凸台的凸缘直径小于等于所述凸缘孔212的直径。

所述凸缘孔212的直径小于所述滑块孔211的直径，且大于所述台体孔213的直径。因此，在通过所述冲压加工装置加工凸台的过程中，形成的凸台可以通过所述滑块孔211取出。

如果所述凸缘孔212的直径过小，容易使对待加工件加工之后形成的凸台的凸缘直径过小，因此，所述凸缘孔212的直径不宜过小。本实施例中，所述凸缘孔212的直径大于设计要求的凸台的凸缘直径。具体的，所述凸缘孔212的直径为25mm～31mm。

所述凸缘孔212的深度大于或等于设计要求的凸台凸缘的长度。本实施例中，所述凸缘孔212的深度大于设计要求的凸台凸缘的长度。具体的，所述凸缘孔212的深度为1.8mm～2.2mm。

本实施例中，所述台体孔213的直径小于所述凸缘孔212的直径。

本实施例中，为了简化工艺流程，所述台体孔213的直径与设计要求的凸台的台体直径相同。与设计要求的凸台的台体直径相同的台体孔213形成的台体与设计要求的凸台台体直径相同，因此，经过所述冲压装置形成的台体不需要再经过机械加工，从而能够简化工艺流程。具体的，所述台体孔213的直径为18mm～22mm。

本实施例中，所述台体孔213和所述凸缘孔212的深度之和等于或大于所述待加工件的长度。具体的，所述台体孔213和所述凸缘孔212的深度之和大于所述待加工件的长度。所述台体孔213和所述凸缘孔212的深度之和为38mm～46mm。具体的，所述台体孔213的深度为36mm～44mm。

本实施例中，所述第二模具220包括：模具体222和位于所述模具体222上的凸出部221，所述凸出部221用于在所述待加工件中形成凹槽。

本实施例中，所述模具体222为圆柱体；所述凸出部221为圆环。

所述模具体222的横截面尺寸小于所述台体孔213的横截面尺寸。本实施例中，所述模具体222的直径小于所述台体孔213的直径。

本实施例中，所述模具体222的长度大于或等于所述台体孔213的深度。具体的，所述模具体222的长度为25mm～50mm。

所述凸出部221的尺寸与设计要求的凹槽的尺寸相同。具体的，所述凹槽的深度为8mm～9mm。

所述冲压加工装置还包括：与所述滑块200相连的连接件201，所述连接件201用于带动所述滑块200在所述滑块孔中移动，并对所述滑块200进行支撑。

本实施例中，所述冲压加工装置还包括冲头230。所述冲头230用于带动所述第二模具220移动，从而对所述待加工件施加压力。

综上，本实施例的冲压加工装置中，所述第一模具具有台体孔，可以使所述台体孔的横截面尺寸与设计要求的台体横截面尺寸相同，则通过冲压加工装置形成的台体不需要再进行处理，能够简化工艺流程。因此，利用所述冲压形成聚焦环凸台的工艺程序简单，且能够提高材料利用率。此外，所述冲压装置包括第一模具和第二模具，所述第一模具和第二模具能够同时对待加工件的不同表面进行加工，从而能够简化工艺流程。

进一步，所述第二模具包括：模具体和位于所述模具体上的凸出部，所述凸出部能够在所述待加工件中形成凹槽，从而能够简化工艺流程。

图6至图10是本发明聚焦环凸台的加工方法一实施例各步骤的结构示意图。

请参考图6，提供待加工件100，所述待加工件100包括相对的第一端部和第二端部。

所述待加工件100用于形成聚焦环凸台，所述凸台包括凸缘和台体。

本实施例中，所述待加工件100的材料为钽，钽具有较高的塑性，对冲压过程中，所施加的压力要求较低，且不容易产生裂缝。

本实施例中，设计要求的凸缘和台体均为圆柱体，因此，所述待加工件100为圆柱体。在其他实施例中，所述待加工件的形状可以根据凸台的设计要求选择其他形状。

需要说明的是，所述待加工件100在后续的冲压过程中，长度L0会减小。因此，为使所形成的凸台长度符合设计要求，所述待加工件100的长度L0略大于待形成的凸台长度。

此外，如果所述待加工件100的长度L0过大，容易产生大量的材料浪费；如果所述待加工件100的长度L0过小，容易使所形成的凸台长度过小而影响其性能。具体的，本实施例中，所述待加工件100的长度L0在25～31mm范围内。

还需要说明的是，如果所述待加工件100的直径D0过大，容易产生材料浪费，因此，所述待加工件100的直径小于待形成的凸缘直径；但是，如果所述待加工件100的直径D0过小，会给后续的冲压工艺带来困难。因此，本实施例中，所述待加工件100的直径D0在17～18mm的范围内。

请参考图7，提供冲压加工装置。

所述冲压加工装置与上一实施例中的冲压加工装置相同，在此不做赘述。

继续参考图7，使所述滑块200位于所述滑块孔中。

所述滑块200用于在对所述待加工件100施加压力的过程中，支撑所述待加工件100。

本实施例中，通过所述连接件202带动所述滑块200移动，使所述滑块200位于所述滑块孔中。

请参考图8，将所述待加工件100放置于所述凸台孔中，使所述待加工件100第一端部与所述滑块200接触，并使所述第一端部位于所述凸缘孔212中，使所述第二端部位于所述台体孔213中，。

本实施例中，为保证所述待加工件100比较容易放置于所述凸台孔中，所述台体孔213的直径略大于所述待加工件100的直径。具体的，所述台体孔213的直径与所述待加工件100的直径之差为0.08mm～0.10mm。

本实施例中，所述待加工件100的长度D0(如图6所示)小于所述凸缘孔212与台体孔213的深度之和。在其他实施例中，所述待加工件的长度还可以等于所述凸缘孔与台体孔的深度之和。

请参考图9，通过所述第二模具220朝所述待加工件100(如图8所示)第二端部施加压力，使所述待加工件100的第一端部形成凸缘120，所述凸缘120凸出于所述待加工件100第二端部侧壁表面，使所述待加工件100第二端部形成台体110，所述凸缘120和所述台体110形成凸台。

本实施例中，所述冲压加工装置还包括冲头230。

通过所述第二模具220朝所述待加工件100(如图8所示)第二端部施加压力之前，还包括：将所述第二模具220与所述冲头230固定连接。

通过所述第二模具220朝所述待加工件100第二端部施加压力的步骤包括：通过所述冲头230带动所述第二模具220朝所述待加工件100运动，从而对所述待加工件100第二端部施加压力。

本实施例中，所述待加工件100第一端位于所述凸缘孔212(如图7所示)中，所述凸缘孔212直径大于所述台体孔213的直径，且大于所述待加工件100的直径。因此，在朝所述待加工件100第二端部施加压力的过程中，所述待加工件100第一端部受挤压凸出所述待加工件100第二端部侧壁表面，形成凸缘120。

本实施例中，由于所形成的凸缘120的长度与直径不容易控制，使所形成的凸缘120的直径和长度大于设计要求的凸缘直径和长度。具体的，所述凸缘120的直径为25～31mm，所述凸缘120长度为1.8～2.2mm。

本实施例中，所述待加工件100第二端部直径小于所述台体孔213直径，所述台体孔213的直径与设计要求的台体直径相同。因此，在朝所述待加工件100第二端部施加压力之后，所述待加工件100第二端部受挤压，直径增加，形成台体110。所述台体110的直径等于设计要求的台体直径。因此，所述台体110不后续不需要再进行的加工。

本实施例中，所述台体110的长度等于设计要求的凸台的长度。

本实施例中，所述台体110的直径为18mm～22mm。所述台体110的长度为22mm～28mm。

需要说明的是，本实施例中，所述第二模具220包括模具体222和位于所述模具体222上的凸出部221。在朝所述待加工件100第二端部施加压力的过程中，所述待加工件100第二端面受凸出部221挤压，在所述待加工件100第二端部内形成凹槽。

请参考图10，形成所述凸台之后，使所述滑块200移出所述滑块孔211；使所述第二模具220推动所述凸台向所述滑块孔211移动，直至取出所述凸台。

需要说明的是，由于在朝向所述待加工件100(如图8所示)第二端部施加压力的过程中，所述待加工件100第二端部直径增加，形成台体110，则所形成的台体110与所述台体孔213侧壁之间的挤压力较大，因此，所形成的凸台不容易直接取出。本实施例中，通过使第二模具220推动所述凸台，实现落料。

本实施例中，通过所述连接件201带动所述滑块200移出所述滑块孔211。

本实施例中，所述滑块200移出所述滑块孔211之后，使所述第二模具220推动所述凸台向所述滑块孔211移动。在其他实施例中，还可以使滑块移出所述滑块孔的同时，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

如果所述第二模具220推动所述凸台移动的距离过小，不容易取出所述凸台；如果所述第二模具220推动所述凸台移动的距离过大，容易增加工艺难度。本实施例中，所述第二模具220推动所述凸台移动的距离大于或等于所述台体110的长度。具体的，所述第二模具220推动所述凸台移动的距离为25mm～50mm。

取出所述凸台之后，还包括：对所述凸缘120(如图10所示)进行机械加工，使所述凸缘120的直径和长度符合设计要求，形成成品凸缘。

本实施例中，通过车削工艺对所述凸缘120进行加工。

本实施例中，所述机械加工之后，所述成品凸缘的直径为23～27mm，所述成品凸缘的长度为1.2～1.4mm。

由于所述台体110不需要车削加工，因此不会产生材料浪费；所述凸缘120与成品凸缘的尺寸相差较小，经过车削去除的凸缘材料较少，因此，所述形成方法能够提高材料利用率。

综上，本实施例的聚焦环凸台的加工方法中，利用冲压加工装置加工凸台，可以使所述台体孔的横截面尺寸与设计要求的凸台的台体横截面尺寸相同，则通过冲压加工装置形成的台体不需要再进行处理，从而能够简化工艺流程。因此，利用所述冲压加工装置形成聚焦环凸台的工艺程序简单，能够提高聚焦环的生产效率，并能够提高材料利用率。通过冲压加工装置对待加工件进行加工的过程中，不需要对所述待加工件进行夹持，因此，能够避免因加工装置对待加工的夹持而产生的材料浪费。此外，所述加工方法中，能够通过第二凹模推动所述凸台，从而取出凸台。因此，形成凸台后，能够很容易地取出所形成的凸台，工艺简单，容易操作。此外，所述冲压装置包括第一模具和第二模具，在对所述待加工件施加压力的过程中，能够同时对待加工件的不同表面进行加工，从而能够简化工艺流程。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (20)

1.一种冲压加工装置，所述冲压加工装置用于对待加工件进行加工，其特征在于，包括：

第一模具，所述第一模具包括：滑块孔和凸台孔，所述凸台孔用于容纳所述待加工件，所述凸台孔包括：相连的凸缘孔和台体孔，所述凸缘孔与所述滑块孔连接，所述凸缘孔横截面尺寸大于所述台体孔横截面尺寸，且小于所述滑块孔横截面尺寸；

第二模具，所述第二模具用于朝所述第一模具移动并对所述待加工件施加压力，所述第二模具横截面尺寸小于所述台体孔横截面尺寸；

滑块，所述滑块用于支撑所述待加工件，且用于在所述滑块孔中移动。

2.如权利要求1所述的冲压加工装置，其特征在于，所述第二模具包括：模具体和位于所述模具体上的凸出部，所述凸出部用于在所述待加工件中形成凹槽。

3.如权利要求1所述的冲压加工装置，其特征在于，所述滑块孔、台体孔和所述凸缘孔为圆孔，且所述滑块孔、台体孔和所述凸缘孔的轴线重合，所述滑块为圆柱体。

4.如权利要求3所述的冲压加工装置，其特征在于，所述台体孔的直径为18mm～22mm；所述凸缘孔的直径为25mm～31mm；所述滑块孔的直径为55mm～65mm。

5.如权利要求1所述的冲压加工装置，其特征在于，还包括：冲头，所述冲头用于带动所述第二模具向所述待加工件移动。

6.如权利要求1所述的冲压加工装置，其特征在于，所述第一模具、第二模具和所述滑块的材料为钢。

7.如权利要求1所述的冲压加工装置，其特征在于，还包括：与所述滑块相连的连接件，所述连接件用于带动所述滑块在所述滑块孔中移动。

8.一种聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，包括：

提供待加工件，所述待加工件包括相对的第一端部和第二端部；

提供权利要求1所示的冲压加工装置；

通过所述连接件使所述滑块位于所述滑块孔中；

将所述待加工件放置于所述凸台孔中，使所述待加工件第一端部与所述滑块接触，并使所述第一端部位于所述凸缘孔中，使所述第二端部位于所述台体孔中；

通过所述第二模具朝所述待加工件第二端部施加压力，使所述待加工件的第一端部形成凸缘，所述凸缘凸出于所述待加工件第二端部侧壁表面，使所述待加工件第二端部形成台体，所述凸缘和所述台体形成凸台；

形成所述凸台之后，使所述滑块移出所述滑块孔；

使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动，直至取出所述凸台。

9.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述第二模具包括：模具体和凸出于所述模具体表面的凸出部；

朝所述待加工件第二端面施加压力的过程中，使所述凸出部对所述待加工件第二端部进行挤压，在所述第二端部中形成凹槽。

10.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述滑块孔、

台体孔和所述凸缘孔为圆孔，所述滑块为圆柱体，所述凸缘和凸台为圆柱体。

11.如权利要求10所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述台体的直径为18mm～22mm；所述凸缘的直径为25mm～31mm。

12.如权利要求10所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述台体直径大于所述待加工件直径，且与待加工件直径之差在0.08mm～0.10mm的范围内。

13.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述冲压加工装置还包括：冲头，所述冲头用于带动所述第二模具移动；

通过所述第二模具朝所述待加工件第二端部施加压力之前，还包括：将所述第二模具与所述冲头固定连接，

使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动的步骤包括：通过所述冲头使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

14.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述待加工件的材料为钽。

15.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动的过程中，所述第二模具移动的距离大于或等于所述台体孔的深度。

16.如权利要求15所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动的过程中，所述第二模具移动的距离为25mm～50mm。

17.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述第二模具的长度大于或等于所述台体孔的深度。

18.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述滑块移出所述滑块孔之后，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

19.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述滑块移出所述滑块孔的同时，使所述第二模具推动所述凸台向所述滑块孔移动。

20.如权利要求8所述的聚焦环凸台的加工方法，其特征在于，所述冲压加工装置还包括：与所述滑块相连的连接件；

使所述滑块移出所述滑块孔的步骤包括通过所述连接杆带动所述滑块移动。