CN107687937A - 一种准分子激光退火ela制程质量量测方法与系统 - Google Patents

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    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

本发明涉及ELA制程质量量测技术领域，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。将刻度尺置于ELA装置下方，使ELA装置输出的线激光落于刻度尺的刻度上，并保证刻度尺上的刻度与线激光垂直；采集激光照射于刻度尺所产生的光信号，并将所述光信号显示输出；观测电信号一段时间，根据电信号的异常与否判断输出激光是否稳定。本发明的准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统成本低廉，不仅能判断输出激光是否稳定，还能判断出导致输出激光不稳定的因素。

Description

一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统
技术领域
本发明涉及ELA制程质量量测技术领域，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。
背景技术
ELA(Excimer Laser Annel准分子激光退火)MURA为AMOLED制程中好发及影响大的缺陷，一旦发生常常伴随大量的在线制程异常品，ELA MURA一般皆在后段模块点灯测试时才能发现，从发生到发现历时超过10天，造成产品不良风险高。通常激光输出不稳定为导致ELA MURA的主要因素，为了使ELA制程中ELA MURA能被时发现，需要对输出激光进行检测。
常规的检测方法为人员判定或采用光学检测机检测。其中，采用人员判定没有统一的量化标准，对检测员的视力及经验都有较高的要求，且效率低下。采用光学检测机进行检测虽然效率相较于人力检测更高，但光学检测机成本高，且只能检测出输出的激光是否稳定，无法判断出导致输出激光不稳定的因素。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种成本低廉，不仅能判断输出激光是否稳定，还能判断出导致输出激光不稳定的因素的准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。
本发明的准分子激光退火ELA制程质量量测方法，包含以下步骤：
S1：提供一刻度尺，使ELA装置输出的线激光垂直照射于刻度尺的刻度上；
S2：采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并显示输出其信号图像；
S3：根据一段时间内输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定；
所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，所述ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产升的光信号不同。
作为进一步可选的技术方案，步骤S3中，判断输出激光是否稳定的过程如下：
若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的同一位置，则判断为激光光路异常；
若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的不同位置，则判断为激光输出不稳定或ELA装置的气体异常；
若信号幅值正常，则判断为激光输出稳定。
作为进一步可选的技术方案，所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
作为进一步可选的技术方案，所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。
作为进一步可选的技术方案，所述刻度尺上沿宽度方向设有多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排所述刻度的最小分度值不同。
本发明的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，包括：
刻度尺；
ELA装置：用于输出线激光并垂直照射于所述刻度尺的刻度上；以及
信号接收器：用于采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并输出信号图像，进而根据输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定。
作为进一步可选的技术方案，所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
作为进一步可选的技术方案，所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。
作为进一步可选的技术方案，所述刻度尺上沿宽度方向设有多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排所述刻度的最小分度值不同。
作为进一步可选的技术方案，所述信号接收器为CCD。
本发明的有益效果是：利用线激光打到金属和非金属上时产生不同光信号的原理，将基底为非金属材料，刻度线为金属材料的刻度尺置于线激光的下方，在通过CCD采集，可在显示屏上形成呈周期性分布的信号图像，通过对该信号进行观测，能够判断出输出激光是否稳定，并进一步判断出导致输出激光不稳定的具体因素，如：激光器异常、激光光路异常或激光气体异常。检测系统成本低廉，检测方法简便，且效率高。体积小，便于架设在设备内部，且可以监测大面积激光扫描制程。
附图说明
图1为一种准分子激光退火ELA制程质量量测系统连接示意图；
图2为图1中刻度尺示意图；
图3为异常电信号与正常电信号对比图；
图中：1—ELA装置，2—刻度尺，3—信号接收器。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
如图1所示，一种准分子激光退火ELA制程质量量测系统包括ELA装置1，刻度尺2和信号接收器3。如图2所示，该系统的刻度尺2的刻度沿长度方向均匀分布，且刻度尺2的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
于一实施例中，刻度尺2的最小分度值可以为0.3mm、1mm、2mm、5mm中的任意一种；
于一具体实施例中，刻度尺上沿宽度方向设有一排或多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排刻度的最小分度值不同，该最小分度值为0.3mm、1mm、2mm、5mm中的任意一种。图2所示实施例中，刻度尺2具有两排刻度线。
于一实施例中，信号接收器3为CCD，Charge-coupled Device，即CCD图像传感器，其可以采集光信号，并将光信号通过显示器将信号图像输出。于实际应用中，可以根据需要选取其它光信号接收器，并不以此为限。
对输出激光进行检测时，根据分辨率选取最小分度值合适的刻度尺，并将刻度尺固定在工作台上，使其与ELA装置输出的线激光对应，即使线激光与刻度线垂直，与刻度尺长度方向平行。此时，由于激光打到金属和非金属上时会产生不同光信号，通过CCD采集刻度尺与线激光交汇处的光信号并通过显示器输出信号图像，即在显示屏上显示一个呈周期性分布的波形图，通过在一定时间段内观测该波形图的异常与否即能判断输出激光的稳定性。
若波形图中信号的幅值异常(如图3下排波形圆圈处所示)，且在一段时间内该异常出现在信号图像的不同位置，则判断为激光输出不稳定，且为激光器异常或ELA装置气体异常；
若信号幅值异常，且该异常在一个时间段内出现在信号图像的同一位置(如图3下排波形圆圈处所示)，则判断为激光光路异常；
若信号幅值正常(如图3的上排波形)，则判断为激光输出稳定。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于包含步骤：
S1：提供一刻度尺，使ELA装置输出的线激光垂直照射于刻度尺的刻度上；
S2：采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并显示输出其信号图像；
S3：根据一段时间内输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定；
所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，所述ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产升的光信号不同。
2.如权利要求1所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于，步骤S3中，判断输出激光是否稳定的过程如下：
若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的同一位置，则判断为激光光路异常；
若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的不同位置，则判断为激光输出不稳定或ELA装置的气体异常；
若信号幅值正常，则判断为激光输出稳定。
3.如权利要求1所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
4.如权利要求3所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。
5.如权利要求3所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺上沿宽度方向设有多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排所述刻度的最小分度值不同。
6.一种准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于，包括：
刻度尺；
ELA装置：用于输出线激光并垂直照射于所述刻度尺的刻度上；以及
信号接收器：用于采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并输出信号图像，进而根据输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定。
7.如权利要求6所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
8.如权利要求7所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。
9.如权利要求7所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述刻度尺上沿宽度方向设有多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排所述刻度的最小分度值不同。
10.如权利要求6所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述信号接收器为CCD。
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