CN107648976A - 一种低温分离制取超高纯气体的方法及低温分离系统 - Google Patents
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Abstract
一种低温分离制取超高纯气体的方法及低温分离系统，所述的方法包括：将目标产品原料气通入第Ⅰ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔顶排出的气体经过塔顶冷凝器，冷凝的液体一部分作为回流液从塔顶回到所述第Ⅰ脱重塔，一部分作为采出的物料通入第Ⅱ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔釜排出重组分杂质；所述第Ⅱ脱重塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述第Ⅱ脱重塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质；从所述第Ⅱ脱重塔中部采出物料通入脱轻塔，从所述脱轻塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述脱轻塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质，从所述脱轻塔中部采出液体产品；本发明具有设备简单，设备效率高，可制取的产品范围宽，对原料气的纯度要求低等特点。
Description
技术领域
本发明涉及一种低温分离制取超高纯气体的方法和低温分离系统，属于低温分离技术领域。
背景技术
高纯气体已广泛应用于多个工业领域，电子工业用高纯气体的纯度普遍要求达到6.0N（即99.9999%），高纯气体在半导体芯片制造过程中起到关键性的作用，气体纯度越高，产品质量越好，超大规模集成电路和特大规模集成电路则要求气体纯度高于6.0N。
目前已知制备6.0N纯度以上高纯气体的方法有：吸附法、反应法、精馏法或所述几种方法的结合。吸附法由于吸附剂有一定使用寿命，需定期更换，不能进行连续的工业化生产，反应法存在纯度低、需进一步精制等问题，而精馏法制取方法有优势，可以大规模制备高纯气体，且得到的产品质量好，纯度较高。
专利CN200910228635.6公开了一种热泵压缩精馏法生产高纯三氯氢硅的装置和方法。该方法将原料液经过脱轻塔脱除轻杂质后，再进入脱重塔脱除重杂质，从而获得高纯的产品。脱轻塔和脱重塔独立地应用热泵压缩精馏工艺，该方法可去除原料液中的轻、重组分杂质，得到高纯气体。然而该技术中的脱轻塔和脱重塔需要两台压缩机做塔釜热源，压缩机压力高达20-60bar，大规模制气时设备消耗较大，同时塔的操作压力高，分离效率低，脱轻塔和脱重塔要高达20~30米才能满足6N高纯气体的分离要求，只可制取沸点较高的气体产品，如氯化氢、三氯氢硅等，不能制取6N高纯度的低沸点物质，且产品为气态不易运输，要想得到液体产品还需消耗制冷设备及能量。
专利CN102661654 A公布了一种精馏法制备高纯气体的方法和系统，该方法将原料气经脱轻塔和脱重塔脱除杂质，得到的提纯气体经过压缩作为脱轻塔再沸器和脱重塔再沸器的热源，自身被冷凝后一部分作为脱轻塔的冷源和脱重塔的回流液，一部分作为产品采出。该方法可获得高纯的液体产品，但是产品产出量较小，且要求原料气纯度高于90%，若纯度达不到要求需首先进行预处理，如冷凝、化学反应、初精馏等，操作复杂。
综上所述，现有制备高纯气体的方法都存在弊端，有的塔器分离效率低，产品受限，有的对原料气纯度要求比较高。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种对原料气纯度要求低、产品纯度高、设备效率高且操作灵活，将原料气进行脱除轻组分杂质和重组分杂质后，可得到纯度高于7N的超高纯气体，产品以液体形式采出的低温分离制取超高纯气体的方法和低温分离系统。
本发明的目的是通过如下技术方案实现的：一种低温分离制取超高纯气体的方法，所述的方法包括：将目标产品原料气通入第Ⅰ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔顶排出的气体经过塔顶冷凝器，冷凝的液体一部分作为回流液从塔顶回到所述第Ⅰ脱重塔，一部分作为采出的物料通入第Ⅱ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔釜排出重组分杂质；所述第Ⅱ脱重塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述第Ⅱ脱重塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质；从所述第Ⅱ脱重塔中部采出物料通入脱轻塔，从所述脱轻塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述脱轻塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质，从所述脱轻塔中部采出液体产品。
作为优选：所述的原料气先经换热器后分为两部分，一部分作为目标产品原料气通入第Ⅰ脱重塔精馏，另一部分作为第Ⅰ脱重塔塔釜蒸发器的热源，其自身被冷凝为液体后又作为脱轻塔冷凝器的冷源；
由所述第Ⅰ脱重塔底部、所述第Ⅱ脱重塔底部、所述脱轻塔底部排出的重组分杂质，通过绕管式换热器将产品过冷，液体产品送入液体贮槽；所述的第Ⅰ脱重塔压力0.3~0.5Mpa，所述第Ⅱ脱重塔压力0.2~0.3Mpa，所述脱轻塔压力0.1~0.2 Mpa。
作为优选：所述的第Ⅰ脱重塔压力为0.3 Mpa；所述第Ⅱ脱重塔压力为0.2 Mpa；所述脱轻塔压力为0.1 Mpa；
所述目标产品原料气的纯度只需高于20%，所述超高纯气体为电子工业用超高纯气体包括电子工业用氧、氮、氢、氦、四氟化碳。
一种用于所述低温分离制取超高纯气体的方法的低温分离系统，所述的低温分离系统包括：一个用于脱除原料气中重组分杂质的第Ⅰ脱重塔，一个用于脱除原料气中轻组分杂质和重组分杂质的第Ⅱ脱重塔，一个用于脱除原料气中所有轻组分杂质和重组分杂质的脱轻塔，所述的第Ⅰ脱重塔中设置有用于原料气一部分与第Ⅰ脱重塔塔釜物料换热的塔釜再沸器，在第Ⅰ脱重塔与第Ⅱ脱重塔之间设置有用于所述第Ⅰ脱重塔顶部排出气与第Ⅱ脱重塔塔釜物料进行换热的第一冷凝蒸发器，在第Ⅱ脱重塔与脱轻塔之间设置有用于第Ⅱ脱重塔顶部排出气与脱轻塔塔釜物料进行换热的第二冷凝蒸发器；所述的脱轻塔配置有一个用于将所述脱轻塔塔顶排出气体进行冷却冷凝的脱轻塔塔顶冷凝器。
作为优选：所述的低温分离系统还包括：用于储存液体产品的第一液体贮槽，一个储存液体、为脱轻塔冷凝器提供冷源的第二液体贮槽，一个用于将出第Ⅰ脱重塔塔釜再沸器的介质进行节流膨胀、作为脱轻塔冷凝器冷源的第一节流阀，一个用于冷却原料气的第一换热器，一个用于过冷液体产品的第二换热器以及用于将液体贮槽中的液体采出的产品管线。
本发明所述的“重组分杂质”和“轻组分杂质”具有本领域的公知含义。在目标气体原料中，挥发度大于目标气体的杂质为轻组分杂质，挥发度小于目标气体的杂质为重组分杂质。
本发明具有以下优点：
（1）对原料气的纯度要求低，原料气纯度只需高于20%便能满足6N高纯气体的分离要求；
（2）塔的操作压力低，分离效率高，较低的塔高便能满足6N高纯气体的分离要求；
（3）无需压缩机等动设备，投资成本低；
（4）可制取所有适合低温分离除杂纯化的气体，既可制取沸点较高的气体产品，如氯化氢、三氯氢硅等，又可制取沸点较低的气体产品，如氢气、氮气等，制取的产品范围较宽；
（5）产品纯度可达7N，超过电子工业用超高纯气体的要求；
（6）可得到液体产品，无需另外消耗制冷设备及能量，大规模制气时降低投资成本。
附图说明
图1为本发明所述低温分离制取超高纯气体的系统结构原理图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明，图1所示，本发明所述的一种低温分离制取超高纯气体的方法，所述的方法包括：将目标产品原料气2通入第Ⅰ脱重塔T101，所述第Ⅰ脱重塔T101塔顶排出的气体经过塔顶冷凝器E2，冷凝的液体一部分作为回流液从塔顶回到所述第Ⅰ脱重塔T101，一部分作为采出的物料6通入第Ⅱ脱重塔T102，所述第Ⅰ脱重塔T101塔釜排出重组分杂质8；所述第Ⅱ脱重塔T102塔顶排出的气体经过冷凝器E3，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述第Ⅱ脱重塔T102，未冷凝的轻组分杂质11排出，塔釜排出重组分杂质9；从所述第Ⅱ脱重塔T102中部采出物料7通入脱轻塔T103，从所述脱轻塔T103塔顶排出的气体经过冷凝器E4，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述脱轻塔T103，未冷凝的轻组分杂质12排出，塔釜排出重组分杂质10，从所述脱轻塔T103中部采出液体产品13。
图中所示，所述的原料气1先经换热器E5后分为两部分，一部分作为目标产品原料气2通入第Ⅰ脱重塔T101精馏，另一部分作为第Ⅰ脱重塔塔T101釜蒸发器的热源，其自身被冷凝为液体后又作为脱轻塔冷凝器E4的冷源；
由所述第Ⅰ脱重塔T101底部、所述第Ⅱ脱重塔T102底部、所述脱轻塔T103底部排出的重组分杂质，通过绕管式换热器E6将产品过冷，液体产品送入液体贮槽；所述的第Ⅰ脱重塔T101压力0.3~0.5Mpa，所述第Ⅱ脱重塔T102压力0.2~0.3Mpa，所述脱轻塔T103压力0.1~0.2Mpa。
本发明优选的是：所述的第Ⅰ脱重塔T101压力为0.3 Mpa；所述第Ⅱ脱重塔T102压力为0.2 Mpa；所述脱轻塔T103压力为0.1 Mpa；
所述目标产品原料气2的纯度只需高于20%，所述超高纯气体为电子工业用超高纯气体包括电子工业用氧、氮、氢、氦、四氟化碳。
一种用于所述低温分离制取超高纯气体的方法的低温分离系统，所述的低温分离系统包括：一个用于脱除原料气中重组分杂质的第Ⅰ脱重塔T101，一个用于脱除原料气中轻组分杂质和重组分杂质的第Ⅱ脱重塔T102，一个用于脱除原料气中所有轻组分杂质和重组分杂质的脱轻塔T103，所述的第Ⅰ脱重塔T101中设置有用于原料气1一部分与第Ⅰ脱重塔T101塔釜物料换热的塔釜再沸器E1，在第Ⅰ脱重塔T101与第Ⅱ脱重塔T102之间设置有用于所述第Ⅰ脱重塔T101顶部排出气与第Ⅱ脱重塔塔釜物料进行换热的第一冷凝蒸发器E2，在第Ⅱ脱重塔T102与脱轻塔T103之间设置有用于第Ⅱ脱重塔T102顶部排出气与脱轻塔T103塔釜物料进行换热的第二冷凝蒸发器E3；所述的脱轻塔T103配置有一个用于将所述脱轻塔T103塔顶排出气体进行冷却冷凝的脱轻塔塔顶冷凝器E4。
本发明所述的低温分离系统还包括：用于储存液体产品的第一液体贮槽，一个储存液体、为脱轻塔冷凝器提供冷源的第二液体贮槽，一个用于将出第Ⅰ脱重塔T101塔釜再沸器的介质进行节流膨胀、作为脱轻塔冷凝器冷源的第一节流阀，一个用于冷却原料气的第一换热器，一个用于过冷液体产品的第二换热器以及用于将液体贮槽中的液体采出的产品管线。
实施例：如图1所示，气体原料2通入第Ⅰ脱重塔T101进行精馏脱除部分重组分杂质，从塔顶排出的气体经过塔顶冷凝蒸发器E2冷凝，冷凝的液体一部分作为回流液从塔顶回到第Ⅰ脱重塔T101内，一部分作为采出的物料，即物料6通入第Ⅱ脱重塔T102，从第Ⅰ脱重塔T101塔釜排出重组分杂质物流8；将第Ⅰ脱重塔T101采出的物料6通入第Ⅱ脱重塔T102进行精馏，第Ⅱ脱重塔T102塔顶排出的气体经过冷凝蒸发器E3冷凝，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述第Ⅱ脱重塔T102，未冷凝的轻组分杂质，即物流11排出，塔釜排出重组分杂质物流9；从第Ⅱ脱重T102中部采出物料7通入脱轻塔T103进行精馏，从脱轻塔T103塔顶排出的气体经过冷凝器E4冷凝，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到脱轻塔T103，未冷凝的轻组分杂质，即物流12排出，塔釜排出重组分杂质物流10，从脱轻塔T103中部采出产品液氮，即物流13。物流3和物流14作为脱轻塔T103塔顶冷凝器E4的冷源，换热后为物流4。由第Ⅰ脱重塔T101塔釜排出的重组分杂质物流8、重塔ⅡT102塔釜排出的重组分杂质物流9和脱轻塔T103塔釜排出的重组分杂质物流10，通过绕管式换热器E6将产品，即物流13过冷，送入液体贮槽。
适合低温分离纯化的各种气体均可按照上述流程进行纯化。而采用的具体设备，需根据不同气体的实际情况确定。下面通过具体实施例对本发明进行非限制性的说明。
实施例1：超高纯氮的制备。
氮气中通常存在氧、氩、氖、氦、氢、一氧化碳等杂质，其中氖、氦、氢为轻组分杂质。传统的氮气纯化方法大都采用吸附法，由于产品的纯度取决于吸附剂的能力及活化程度，不但吸附剂选择困难，而且吸附纯化效果不佳，能耗高，很难达到电子工业用超高纯氮要求的6.0N级（99.9999%）以上的纯度。
应用本发明低温分离制取超高纯气体的方法和设备，能够同时脱除氮气中的轻组分和重组分杂质，且能够容易地得到6.0N级以上的超高纯氮气产品。
设备参数：
第Ⅰ脱重塔T101：直径φ0.35m，有效高度12m；
第Ⅱ脱重塔T102：直径φ0.4m，有效高度9.5m；
脱轻塔T103：直径φ0.4m，有效高度16m。
实施例2超高纯四氟化碳的制备
目前能够实现工业化规模生产四氟化碳的方法主要有四种，而氟碳合成生产四氟化碳的方法因其原料易得，工艺可控等优点，已成为工业上生产四氟化碳最普遍的方法。无定型碳与氟气直接合成四氟化碳，通过碱洗后四氟化碳中的杂质有氮、氧、一氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷等，其中氮、氧、一氧化碳为轻组分杂质。四氟化碳纯化常用的方法有吸附法、膜分离法、低温精馏法。
应用本发明低温分离纯化气体的方法和设备，可以容易地脱除四氟化碳中的轻组分和重组分杂质，得到6.0N级以上的电子工业用超高纯四氟化碳产品。
设备参数：
第Ⅰ脱重塔T101：直径φ0.3m，有效高度6.5m；
第Ⅱ脱重塔T102：直径φ0.35m，有效高度4.5m；
脱轻塔T103：直径φ0.35m，有效高度3m。
Claims (5)
1.一种低温分离制取超高纯气体的方法，其特征在于所述的方法包括：将目标产品原料气通入第Ⅰ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔顶排出的气体经过塔顶冷凝器，冷凝的液体一部分作为回流液从塔顶回到所述第Ⅰ脱重塔，一部分作为采出的物料通入第Ⅱ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔釜排出重组分杂质；所述第Ⅱ脱重塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述第Ⅱ脱重塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质；从所述第Ⅱ脱重塔中部采出物料通入脱轻塔，从所述脱轻塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述脱轻塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质，从所述脱轻塔中部采出液体产品。
2.根据权利要求1所述的低温分离制取超高纯气体的方法，其特征在于所述的原料气先经换热器后分为两部分，一部分作为目标产品原料气通入第Ⅰ脱重塔精馏，另一部分作为第Ⅰ脱重塔塔釜蒸发器的热源，其自身被冷凝为液体后又作为脱轻塔冷凝器的冷源；
由所述第Ⅰ脱重塔底部、所述第Ⅱ脱重塔底部、所述脱轻塔底部排出的重组分杂质，通过绕管式换热器将产品过冷，液体产品送入液体贮槽；所述的第Ⅰ脱重塔压力0.3~0.5Mpa，所述第Ⅱ脱重塔压力0.2~0.3Mpa，所述脱轻塔压力0.1~0.2 Mpa。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述的第Ⅰ脱重塔压力为0.3 Mpa；所述第Ⅱ脱重塔压力为0.2 Mpa；所述脱轻塔压力为0.1 Mpa；
所述目标产品原料气的纯度只需高于20%，所述超高纯气体为电子工业用超高纯气体包括电子工业用氧、氮、氢、氦、四氟化碳。
4.一种用于权利要求1或2或3所述低温分离制取超高纯气体的方法的低温分离系统，其特征在于所述的低温分离系统包括：一个用于脱除原料气中重组分杂质的第Ⅰ脱重塔，一个用于脱除原料气中轻组分杂质和重组分杂质的第Ⅱ脱重塔，一个用于脱除原料气中所有轻组分杂质和重组分杂质的脱轻塔，所述的第Ⅰ脱重塔中设置有用于原料气一部分与第Ⅰ脱重塔塔釜物料换热的塔釜再沸器，在第Ⅰ脱重塔与第Ⅱ脱重塔之间设置有用于所述第Ⅰ脱重塔顶部排出气与第Ⅱ脱重塔塔釜物料进行换热的第一冷凝蒸发器，在第Ⅱ脱重塔与脱轻塔之间设置有用于第Ⅱ脱重塔顶部排出气与脱轻塔塔釜物料进行换热的第二冷凝蒸发器；所述的脱轻塔配置有一个用于将所述脱轻塔塔顶排出气体进行冷却冷凝的脱轻塔塔顶冷凝器。
5.根据权利要求4所述的低温分离系统，其特征在于所述的低温分离系统还包括：用于储存液体产品的第一液体贮槽，一个储存液体、为脱轻塔冷凝器提供冷源的第二液体贮槽，一个用于将出第Ⅰ脱重塔塔釜再沸器的介质进行节流膨胀、作为脱轻塔冷凝器冷源的第一节流阀，一个用于冷却原料气的第一换热器，一个用于过冷液体产品的第二换热器以及用于将液体贮槽中的液体采出的产品管线。
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|---|---|
| CN (1) | CN107648976B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110078024A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-02 | 天津中科拓新科技有限公司 | 以有机氯硅烷醇解副产的氯化氢气体为原料制备电子级氯化氢的方法及装置 |
| CN111675220A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-09-18 | 江西江氨科技有限公司 | 碳酸酯生产尾气中含co2提取精制系统 |
| CN113750797A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-07 | 黑龙江豪运药业有限公司 | 低温真空精馏三氟化硼分离高丰度同位素硼11三氟化硼的装置和方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4560397A (en) * | 1984-08-16 | 1985-12-24 | Union Carbide Corporation | Process to produce ultrahigh purity oxygen |
| CN1094652A (zh) * | 1993-05-03 | 1994-11-09 | 孙克锟 | 空气分离方法及设备 |
| US5511380A (en) * | 1994-09-12 | 1996-04-30 | Liquid Air Engineering Corporation | High purity nitrogen production and installation |
| US5520724A (en) * | 1992-05-27 | 1996-05-28 | Linde Aktiengesellschaft | Process for the recovery of low molecular weight C2+ hydrocarbons from a cracking gas |
| CN101786630A (zh) * | 2010-01-29 | 2010-07-28 | 天津大学 | 三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法 |
| CN101979381A (zh) * | 2010-12-05 | 2011-02-23 | 天津市华瑞奕博化工科技有限公司 | 一种连续精馏精制粗喹啉的方法 |
| CN103896281A (zh) * | 2014-04-17 | 2014-07-02 | 天津市华瑞奕博化工科技有限公司 | 一种完全热耦合精馏提纯四氯化硅的方法 |
| CN106276920A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-01-04 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法 |
-
2017
- 2017-09-22 CN CN201710868392.7A patent/CN107648976B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4560397A (en) * | 1984-08-16 | 1985-12-24 | Union Carbide Corporation | Process to produce ultrahigh purity oxygen |
| US5520724A (en) * | 1992-05-27 | 1996-05-28 | Linde Aktiengesellschaft | Process for the recovery of low molecular weight C2+ hydrocarbons from a cracking gas |
| US5520724B1 (en) * | 1992-05-27 | 1998-05-05 | Linde Ag | Process for the recovery of low molecular weight c2+ hydrocarbons from a cracking gas |
| CN1094652A (zh) * | 1993-05-03 | 1994-11-09 | 孙克锟 | 空气分离方法及设备 |
| US5511380A (en) * | 1994-09-12 | 1996-04-30 | Liquid Air Engineering Corporation | High purity nitrogen production and installation |
| CN101786630A (zh) * | 2010-01-29 | 2010-07-28 | 天津大学 | 三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法 |
| CN101979381A (zh) * | 2010-12-05 | 2011-02-23 | 天津市华瑞奕博化工科技有限公司 | 一种连续精馏精制粗喹啉的方法 |
| CN103896281A (zh) * | 2014-04-17 | 2014-07-02 | 天津市华瑞奕博化工科技有限公司 | 一种完全热耦合精馏提纯四氯化硅的方法 |
| CN106276920A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-01-04 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110078024A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-02 | 天津中科拓新科技有限公司 | 以有机氯硅烷醇解副产的氯化氢气体为原料制备电子级氯化氢的方法及装置 |
| CN110078024B (zh) * | 2019-05-29 | 2024-05-07 | 天津中科拓新科技有限公司 | 以有机氯硅烷醇解副产的氯化氢气体为原料制备电子级氯化氢的方法及装置 |
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