CN107564795A - 光电倍增管、测定装置、制造用夹具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够容易地安装热电冷却元件的、具有新的结构的光电倍增管。该光电倍增管具备：主体，其接收光并且将与光对应的光电子作为信号输出；以及支承体，其设置于主体且为板状。主体具有：筒状部件，其沿一个方向延伸并且一端开口；导热板，其关闭筒状部件的一端；密封件，其将导热板与筒状部件的接合部分气密地密封；以及阴极，其设置于筒状部件的内部，并接收从筒状部件的外部入射至筒状部件的内部的光而释放光电子。导热板与阴极热连接，主体设置为贯通支承体并且使导热板在支承体的第一主面侧露出。支承体将固化树脂作为形成材料，并与筒状部件、导热板以及密封件接触并且以覆盖被密封件密封的接合部分的方式设置。

Description

光电倍增管、测定装置、制造用夹具

技术领域

本发明涉及光电倍增管、测定装置、制造用夹具。

背景技术

以往，发光分光分析装置的检测部使用光电倍增管。在发光分光分析装置中，光电倍增管用阴极接收从分析试样发出的光，通过光电效应将与接收的光相关的量的电子(光电子)从阴极释放出来。释放出的光电子在多级倍增极被依次放大后，被阳极收集。能够从阳极将收集的光电子作为信号电流取出。由于从分析试样发出的光的量与分析试样的量相关，因此发光分光分析装置能够基于信号电流的强度对分析试样的量进行检测。

已知在这样的光电倍增管中，若由于使用所引起的发热或环境温度而使接收光的阴极升至高温，则容易在得到的信号电流中产生噪声。因此，已知有光电倍增管采用了冷却阴极的结构，其目的之一为提高分析灵敏度(例如，参照专利文献1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平9－68464号公报

专利文献2：日本专利特开平9－79905号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1、2所记载的光电倍增管中，冷却阴极的结构为，使用与阴极热接合的热电冷却元件的结构。热电冷却元件设置于光电倍增管的一端。但是，由于难以在不阻碍导热的前提下将热电冷却元件安装于光电倍增管的一端，因此需进一步改进。

本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于，提供一种能够容易地安装热电冷却元件的、具有新的结构的光电倍增管。另外，其目的还在于，提供一种具备这种光电倍增管的测定装置、以及一种能够容易地制造这种光电倍增管的制造用夹具。

为了解决上述课题，本发明的第1方案为，一种光电倍增管，其特征在于，具备：主体，其接收光并且将与所述光对应的光电子作为信号输出；以及支承体，其设置于所述主体且为板状。所述主体具有：筒状部件，其沿一个方向延伸并且一端开口；导热板，其关闭所述筒状部件的所述一端；密封件，其将所述导热板与所述筒状部件的接合部分气密地密封；以及阴极，其设置于所述筒状部件的内部，并接收从所述筒状部件的外部入射至所述筒状部件的内部的光而释放光电子。所述导热板与所述阴极热连接。所述主体设置为贯通所述支承体并且使所述导热板在所述支承体的第一主面侧露出。所述支承体将固化树脂作为形成材料，并与所述筒状部件、所述导热板以及所述密封件接触，并且以覆盖被所述密封件密封的所述接合部分的方式设置。

本发明的第2方案为一种光电倍增管，其特征在于，所述支承体在所述第一主面具有凹部。所述导热板在所述凹部的底面露出。所述凹部在俯视所述第一主面的视场中包含所述导热板的全部。

本发明的第3方案为一种光电倍增管，其特征在于，所述支承体具有：第一部件，其将第一固化树脂作为形成材料，并与所述筒状部件、所述导热板以及所述密封件接触并且以覆盖被所述密封件密封的所述接合部分的方式设置；以及第二部件，其将第二固化树脂作为形成材料，并与所述第一部件接触的方式设置。所述第一固化树脂的弹性模量低于所述第二固化树脂的弹性模量。

本发明的第4方案为一种光电倍增管，其特征在于，具有与所述导热板连接的温度传感器。

本发明的第5方案为，一种测定装置，其特征在于，具有：发光部，其被供给分析试样并使所述分析试样发光；光电倍增管，其为第1方案～第4方案中任意一项所述的光电倍增管，接收从所述分析试样发出的光；对置部件，其与所述光电倍增管所具有的所述支承体对置；以及热电冷却元件，其被夹持于所述支承体与所述对置部件之间，并与所述光电倍增管所具有的所述导热板热接触。

本发明的第6方案为一种测定装置，其特征在于，所述对置部件是散热片，该散热片具有：与所述支承体共同夹持所述热电冷却元件的基板；以及多个设置于所述基板的翅片。

本发明的第7方案为一种测定装置，其特征在于，具有：鼓风机，其设置于与所述对置部件对置的位置；以及控制部，其对所述热电冷却元件以及所述鼓风机的驱动进行控制。所述光电倍增管具有与所述导热板连接的温度传感器。所述温度传感器将检测出的信号发送至所述控制部。所述控制部基于所述信号对所述热电冷却元件以及所述鼓风机的任一方或者双方的工作进行控制。

本发明的第8方案为，一种制造光电倍增管用的制造用夹具，其特征在于，具有：容器，其上方开口；以及盖部件，其用于关闭所述容器的开口的部分。所述盖部件具有能够供所述光电倍增管的所述主体插通的开口部。所述容器与所述盖部件的、至少在利用所述盖部件关闭所述容器时面向由所述容器和所述盖部件围起的内部空间的表面，被难粘合材料覆盖。

根据本发明，能够提供一种能够容易地安装热电冷却元件的、具有新的结构的光电倍增管。另外，能够提供一种具备这种光电倍增管的测定装置、以及一种能够容易地制造这种光电倍增管的制造用夹具。

附图说明

图1为示出本实施方式的光电倍增管的立体图。

图2为从第一主面侧观察的光电倍增管的俯视图。

图3为示出支承体附近的、光电子增倍部的剖视图。

图4为示出具备上述光电倍增管的测定装置的概略示意图。

图5为制造上述光电倍增管时使用的制造用夹具的说明图。

图6为示出使用了制造用夹具的光电倍增管的制造工序的工序图。

图7为示出使用了制造用夹具的光电倍增管的制造工序的工序图。

图8为示出使用了制造用夹具的光电倍增管的制造工序的工序图。

符号说明

1…光电倍增管；

10…主体；

51…容器；

11…筒状部件；

12…导热板；

12a…表面；

13…密封件；

14a…阴极；

20…支承体；

20a…第一主面；

20b…第二主面；

21…凹部；

21a、51a…底面；

22…槽；

23…固定孔；

25…槽；

29…温度传感器；

50…制造用夹具；

51b…背面；

52…盖部件；

100…测定装置；

110…发光部；

120…热电冷却元件；

130…对置部件；

130a、512b…贯通孔；

131…基板；

132…翅片；

201…第一部件；

202…第二部件；

511a、512a…顶面；

511…凸部；

512…高度控制部；

513…凸条部；

521…开口部；

L…光

具体实施方式

以下，参照图1～图8，对本发明的实施方式的光电倍增管、测定装置、制造用夹具进行说明。以下的全部附图中，为了便于看清附图，适当调整了各构成要素的尺寸、比率等，各构成要素的尺寸、比率等不尽相同。

＜光电倍增管＞

图1为示出本实施方式的光电倍增管1的立体图。该图为局部剖视图，示出了一部分结构的剖面。

如图1所示，本实施方式的光电倍增管1具有主体10和支承体20。主体10接收光并且将与光对应的光电子作为信号输出。支承体20设置于主体10的一端。光电倍增管1是供光从主体10的侧方入射的“侧窗式”的光电倍增管。

(主体)

主体10具有筒状部件11、导热板12、密封件13、光电子增倍部14、罩18以及连接端子19。

筒状部件11是沿一个方向延伸并且一端开口的部件。筒状部件11的至少一部分具有透光性。例如，筒状部件11是将玻璃作为形成材料的圆筒状的部件(玻璃管)。主体10中，筒状部件11的内部空间为真空。

在筒状部件11的一端接合有对筒状部件11的端部进行关闭的导热板12。导热板12是将金属材料作为形成材料的圆板状的部件。导热板12与收纳于筒状部件11的阴极(后述)热连接。导热板12的表面12a为平坦面。

筒状部件11与导热板12的接合部分由密封件13气密地密封。密封件13设置为与筒状部件11及导热板12的双方接触的同时，绕筒状部件11的侧面一周。作为密封件13的形成材料，例如可采用硅酮树脂、环氧树脂。

光电子增倍部14收纳于筒状部件11。光电子增倍部14具有阴极14a、多个倍增极14b以及未图示的阳极。图中示出了被称为圆笼(Circular Cage)式的光电子增倍部。

阴极14a接收从具有透光性的筒状部件11的外部入射至筒状部件11的内部的光，并释放光电子。释放出的光电子入射至倍增极14b。

多个倍增极14b中，图示的半圆筒状的部件与未图示的板状的部件沿筒状部件11的内周的周向交替排列。从阴极14a释放出的光电子入射至最初的倍增极14b，从光电子入射的倍增极14b释放出多个二次电子。释放出的二次电子入射至接下来配置的倍增极14b，进而每入射一个电子便会释放出多个二次电子。在多个倍增极14b中，反复进行上述电子入射至倍增极14b以及释放二次电子的过程，由此光电子得以放大。

被放大了的二次电子(光电子)朝未图示的阳极聚束。接收了大量电子的阳极将光电子收集起来并作为电信号输出。

另外，主体10中，在筒状部件11的与设置有导热板12的端部相反的一侧设置有筒状的罩18。

多个连接端子19从设置有罩18的一侧的端部突出。连接端子19与外部设备连接。从阳极输出的电信号经由连接端子19输出至外部设备。

一般情况下，光电倍增管中，与输入的光对应地释放光电子的阴极容易升至高温。若阴极温度升至高温，则容易在输出的电信号中混入噪声，从而容易降低S/N比。因此，光电倍增管中，通常会对阴极进行冷却。

在上述主体10中，阴极14a与导热板12热连接。因此，即使阴极14a升至高温，也能够通过对导热板12进行冷却从而有效地使阴极14a冷却。

另一方面，若对导热板12进行冷却，则可能在导热板12的附近产生结露。主体10中，筒状部件11与导热板12连接成为一体，形成了收纳阴极14a的空间，但若导热板12的附近产生结露，则水分可能会从筒状部件11与导热板12的连接部分侵入内部空间。主体10中，利用密封件13对筒状部件11与导热板12的连接部分进行了密封，但由于内部空间为真空，因此若在导热板12的附近产生结露，则水分容易浸入内部空间，这会提高主体10发生破损的概率。

另外，在为了冷却主体10的导热板12而以与导热板12的表面接触的方式稳定地设置热电冷却元件时，会出现上述专利文献1、2所示出的现有结构中存在的问题，即：热电冷却元件的俯视面积比导热板的俯视面积小。这种情况下，由于热电冷却元件的接触面积小于导热板的面积，因此容易出现导热板的冷却不够充分的问题。

这样，在使用具有上述结构的主体10时，会存在冷却导热板12方面的各种课题。

针对于此，在本发明申请的光电倍增管1中，通过在主体10的导热板12侧的端部设置支承体20，解决了上述课题。

(支承体)

图2为从第一主面20a侧观察的光电倍增管1的俯视图。另外，图3为示出了支承体20附近的、光电倍增管1的剖视图。以下参照图1～图3，对支承体20进行说明。

支承体20是设置于主体10的导热板12侧的端部的板状部件。图中所示的支承体20在俯视图中呈大致正方形。主体10设置为：贯通支承体20并且使导热板12在支承体20的第一主面20a侧露出。

另外，支承体20与筒状部件11、导热板12以及密封件13接触，且以覆盖被密封件13密封的筒状部件11与导热板12的接合部分的方式设置。由此，进一步利用支承体20对被密封件13密封的接合部分进行密封，增强了主体10的气密性，能够抑制主体10的破损。

如图所示，支承体20在第一主面20a具有在俯视图中呈大致正方形的凹部21。导热板12在凹部21的底面21a露出。另外，导热板12仅在底面21a露出。即，图2中，导热板12配置于由凹部21的轮廓线围起的区域，导热板12的全部被包含在凹部21里。

另外，支承体20在第一主面20a具有将凹部21与支承体20的侧面20c连接起来的槽25。如图2所示，本实施方式的光电倍增管1中，在支承体20设置有两个槽25。

支承体20将固化树脂作为形成材料。详细而言，支承体20由将第一固化树脂作为形成材料的第一部件201、及将第二固化树脂作为形成材料的第二部件202合为一体而形成。

第一部件201与筒状部件11、导热板12以及密封件13接触，并且以覆盖被密封件13密封的筒状部件11与导热板12的接合部分的方式设置。

第二部件202被设置为与第一部件201相接触。

此时，优选第一固化树脂的弹性模量低于第二固化树脂的弹性模量。通过采用这样的结构，与第一固化树脂的弹性模量高于第二固化树脂的弹性模量的情况相比，即使导热板12被加热而发生热膨胀，第一部件201也会容易变形而吸收位移。这样，不易在导热板12与支承体20的界面产生间隙。另外，通过第一部件201的变形而不易将导热板12的位移传递至第二部件202，从而能够抑制第二部件202或主体10的破损。

另外，也提高了被密封件13密封的筒状部件11与导热板12的接合部分的密封性，能够抑制水分从该接合部分浸入主体10的内部。

作为第一固化树脂，可以采用例如硅酮树脂、硅酮树脂与环氧树脂的混合物、聚氨酯树脂等。

作为第二固化树脂，可以采用例如环氧树脂(类粘合剂)、丙烯酸树脂(类粘合剂)、酚醛树脂(类粘合剂)。

另外，在不损害本发明的效果的范围内，也可以在各树脂中混合纤维状填料、板状填料等填充材料。

选择第一固化树脂时，应考虑导热板12的形成材料的热膨胀率。即，根据导热板12的形成材料的热膨胀率、以及预估的导热板12在使用时的温度，能够预测导热板12的热膨胀量。第一部件201应做到，即使导热板12热膨胀至预估的尺寸，也可通过变形而充分吸收位移。第一固化树脂应选择具有可实现上述第一部件201的效果的弹性模量的固化树脂。

作为第一固化树脂及第二固化树脂，优选采用透光性较低的树脂。另外，在第一固化树脂或第二固化树脂具有透光性的情况下，也可以根据需要添加降低透光性的添加剂。或者也可以在支承体20的表面实施遮光性的涂装。

另外，在支承体20中，在与第一主面20a相反的一侧的第二主面20b，设置有在俯视图中以闭环状包围主体10的周围的槽22。

另外，支承体20具有固定孔23，该固定孔23以与主体10的延伸方向同方向地贯通支承体20。图中，固定孔23在俯视图中设置于支承体20的各边的中央。也可以在固定孔23的内部形成有内螺纹。

(其他的结构)

光电倍增管1也可以具有与导热板12连接的温度传感器29。如图3所示，温度传感器29与导热板12的侧面12b接触，埋设于支承体20的内部。光电倍增管1通过具备温度传感器29，从而能够测量导热板12的温度，并将该温度作为控制信息使用。

图4为示出具备上述光电倍增管1的测定装置100的概略示意图。如图所示，测定装置100具有：发光部110、光电倍增管1、热电冷却元件120以及对置部件130。图4中，为了便于看清附图，省略了一部分光电倍增管1的结构。

另外，测定装置100具有鼓风机140、筐体150、控制部160以及显示部170。测定装置100能够用于例如对包含在大气中的微量化学物质分析试样进行检测，并对包含在大气中的化学物质的量进行测定。

发光部110被供给分析试样并使分析试样发光。发光部110连接有供给管111。从供给管111供给包含分析试样的气体(例如大气)和臭氧。在发光部110的内部，分析试样与臭氧发生反应，所产生的微量的光L被朝光电倍增管1释放。

光电倍增管1使用上述部件。在光电倍增管1中，接收从发光部110释放出的光L，作为电信号向控制部160输出。

在光电倍增管1所具有的支承体20的凹部21，嵌合有热电冷却元件(珀耳帖元件<Peltier device>)120。详细而言，配置方式为：热电冷却元件120的吸热面120a与在凹部21露出的导热板12的表面12a接触。由此，能够有效地冷却光电倍增管1的导热板12。此外，将与热电冷却元件120连接的布线收纳于支承体20的槽25的内部，适当地从凹部21向凹部21的外部引导。

在光电倍增管1的支承体20的第一主面20a侧，设置有对置部件130。对置部件130至少与热电冷却元件120的发热面120b热接触，对热电冷却元件120进行支承。

对置部件130具有供固定件(螺栓)139插通的贯通孔130a。贯通孔130a设置于与支承体20的固定孔23对应的位置。也可以在贯通孔130a的内部形成有内螺纹。

固定件139插通于贯通孔130a，并且插通于支承体20的固定孔23，并将支承体20与对置部件130螺合。例如，如图4所示，在从对置部件130侧插入固定件139而螺合的情况下，应采用如下结构：在支承体20的固定孔23的内部形成有内螺纹，作为外螺纹的固定件139与固定孔23的内部的内螺纹咬合而螺合。另外，在从支承体20的第二主面20b侧插入固定件139而螺合的情况下，应采用如下结构：在对置部件130的贯通孔130a的内部形成有内螺纹，作为外螺纹的固定件139与贯通孔130a的内部的内螺纹咬合而螺合。由此，能够将热电冷却元件120夹持于支承体20与对置部件130之间，易于固定。

此外，在利用固定件139将支承体20与对置部件130螺合时，可能还会出现因紧固力导致支承体20发生变形的情形。此时，为了加强支承体20，也可以在支承体20的第二主面20b设置金属制板材等的加强板。

另外，也可以不在固定孔23、贯通孔130a的内部设置内螺纹，而是另外准备螺母，使用该螺母和固定件139螺合支承体20与对置部件130。

优选对置部件130为散热片，该散热片具有：与支承体20共同夹持热电冷却元件120的基板131、以及多个设置于基板131的翅片132。由此，能够对热电冷却元件120的发热面120b进行冷却，从而能够提高热电冷却元件120对光电倍增管1的导热板12的冷却效果。

鼓风机140设置于与对置部件130对置的位置。鼓风机140对由散热片构成的对置部件130送出风W，对对置部件130进行气冷。

筐体150具有遮光性，嵌合于支承体20的槽22。由于筐体150与槽22嵌合，从而使光难以从筐体150与支承体20的连接面进入测定装置100的内部。由此，容易减少光电倍增管1所检测的背景的光量，从而能够提高测定精度。

控制部160连接有例如光电倍增管1、温度传感器29、热电冷却元件120、鼓风机140。控制部160基于从各构成部分发送来的信号、或从未图示的外部输入单元输入的指示对各构成部分进行控制。

例如，控制部160基于从温度传感器29发送的信号，在导热板12升至高温时，对热电冷却元件120或鼓风机140的工作进行控制以使其更容易进行冷却。与此相反，控制部160在导热板12处于低温时，对热电冷却元件120或鼓风机140的工作进行控制以抑制冷却。由此，能够根据导热板12的温度，进行适当的温度管理。

另外，控制部160基于光电倍增管1供给的电信号，计算得出分析试样的量，并输出至显示部170。

(制造用夹具)

图5为制造上述光电倍增管1时使用的制造用夹具50的说明图。图5(a)为制造用夹具50的概略立体图，图5(b)为图5(a)的线段Vb－Vb的箭头方向的剖视图。制造用夹具50是光电倍增管1的支承体20的铸模，呈与支承体20互补的形状。

如图5(a)、图5(b)所示，制造用夹具50具有：上方开口的容器51、以及用以关闭容器51的开口的部分的盖部件52。盖部件52设置有能够供光电倍增管1的主体10插通的开口部521。

容器51与盖部件52中，至少在利用盖部件52将容器51关闭时，面向被容器51与盖部件52围起的内部空间的表面被被称为“难粘合材料”的材料覆盖。由于便于制造，优选容器51与盖部件52将难粘合材料作为形成材料。

此处，“难粘合材料”是指表面能较低的材料或表面活性较低的材料。

作为可用作本实施方式的容器51、盖部件52的形成材料的难粘合材料，可采用PTFE(聚四氟乙烯)、PFA(四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物)、PVDF(聚偏氟乙烯)等氟树脂、POM(聚甲醛)、PA(聚酰胺)、PC(聚碳酸酯)、PEEK(聚醚醚酮)、PPS(聚苯硫醚)、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)以及硅酮树脂。

在容器51中，在用盖部件52关闭容器51时面向由容器51和盖部件52围起的内部空间的底面51a上，具有凸部511。凸部511呈大致长方体状或者棱台状。另外，在从凸部511至容器51的侧壁之间，设置有两端与凸部511以及容器51的侧壁接触的凸条部513。

凸部511设置于用盖部件52关闭容器51时与开口部521平面地重叠的位置。凸部511的形状与支承体20的凹部21的形状对应。另外，凸条部513的形状与支承体20的槽25的形状对应。

凸部511在俯视图中呈与热电冷却元件120相似的形状。另外，凸部511的俯视面积大于等于热电冷却元件120的俯视面积。凸部511的顶面511a为平坦面。

容器51在底面51a具有多个高度控制部512。高度控制部512设置于用盖部件52关闭容器51时不与开口部521平面地重叠的位置。高度控制部512用顶面512a对盖部件52进行支承，并规定支承体20的厚度。高度控制部512的高度H与支承体20的厚度对应。

高度控制部512是设置于底面51a的各边的中央的柱状构造物。在用盖部件52关闭了容器51时，高度控制部512抵接于盖部件52的面向容器51的第一面52a，对内部空间的高度进行控制。

更优选高度控制部512为圆柱状。高度控制部512与图1所示的支承体20的固定孔23对应。

高度控制部512也可以是实心的，但如图5所示，优选具有从容器51的底部的背面51b贯通至高度控制部512的顶面512a的贯通孔512b。优选在贯通孔512b的内部形成有内螺纹。

在盖部件52的第一面52a设置有闭环状的凸条部52b。凸条部52b设置于用盖部件52关闭了容器51时不影响高度控制部512的位置。凸条部52b与支承体20的槽22对应。

图6～图8为示出使用了制造用夹具50的光电倍增管1的制造工序的工序图。图6～图8中，各图(a)与图5(a)对应，各图(b)与图5(b)对应。

首先，如图6(a)、图6(b)所示，从开口部521插入使用上述第一固化树脂预先在密封件13的周围形成了第一部件201的主体10。详细而言，以使导热板12的表面12a与凸部511的顶面511a接触的方式将主体10放置于凸部511。

接下来，如图7(a)、图7(b)所示，使第二固化树脂从开口部521流入制造用夹具50的内部空间，使之固化从而形成第二部件202。此时，为了不使放置的主体10位置发生偏移，也可以利用其他夹具将主体10与制造用夹具50的相对位置固定住。

接下来，如图8(a)、图8(b)所示，将螺栓59从容器51的背面51b插入贯通孔512b，用螺栓59将盖部件52推上去。由此，能够容易地取下盖部件52。进而，从容器51取出支承体20。

在取出的支承体20的与凸部511对应的位置，形成有凹部21。另外，在与高度控制部512对应的位置，形成有作为贯通孔的固定孔23。另外，在与凸条部513对应的位置，形成有槽25。

由于固定孔23的内部转印了高度控制部512的外侧面的形状而呈平滑的圆筒形的曲面，因此也可以根据需要形成内螺纹。

根据以上内容，能够实现本发明的目的，即制造光电倍增管1。

由于以四氟乙烯等难粘合材料作为制造用夹具50的表面的形成材料，所以即使在制造用夹具50的内部使第二固化树脂固化，第二固化树脂也不会牢固地固定于制造用夹具50，从而能够容易地取下。

此外，为了便于从容器51取出支承体20，也可使容器51的侧壁的至少一部分能够取下。

具有以上结构的光电倍增管1，即为能够容易地安装热电冷却元件120的、新结构的光电倍增管。

另外，根据具有以上结构的测定装置100，由于具备上述光电倍增管1，因此使得基于热电冷却元件120的阴极的冷却变得比较容易，从而能够进行噪声较少的高精度的测定。

另外，根据具有以上结构的制造用夹具50，能够容易地制造上述光电倍增管1。

此外，本实施方式中，支承体20具有凹部21，但不局限于此。即使没有凹部21，也能够利用支承体20与对置部件130夹持热电冷却元件120，从而能够容易地固定热电冷却元件120。

另外，本实施方式中，支承体20由将第一固化树脂作为形成材料的第一部件201和将第二固化树脂作为形成材料的第二部件202构成，但不局限于此。也可仅由一种树脂材料形成支承体20。

另外，本实施方式中，在支承体20设置有槽22，并使筐体150与槽22嵌合，但也可以不形成槽22。

另外，本实施方式中，在支承体20设置有槽25，但也可以不形成槽25。

另外，本实施方式中，如图6(a)、图6(b)所示，对在制造光电倍增管1时，在用盖部件52关闭了制造用夹具50的容器51的状态下从开口部521插入主体10的情况进行了说明，但不局限于此。也可以不使用盖部件52而使主体10在容器51的凸部511的顶面511a立起，在将第二固化树脂填充于容器51的内部后盖上盖部件52。在以上述顺序进行制造时，便于将第二固化树脂填充至容器51的内部的各个角落。

以上，参照附图，对本发明优选的实施方式的例子进行了说明，当然，本发明并不限定于上述例子。上述例子中所示出的各构成部件的各种形状、组合等仅为一例，可在不脱离本发明主旨的范围内基于设计要求等进行各种变更。

Claims (8)

1.一种光电倍增管，其特征在于，具备：

主体，其接收光并且将与所述光对应的光电子作为信号输出，以及

支承体，其设置于所述主体且为板状；

所述主体具有：筒状部件，其沿一个方向延伸并且一端开口，

导热板，其关闭所述筒状部件的所述一端，

密封件，其将所述导热板与所述筒状部件的接合部分气密地密封，以及

阴极，其设置于所述筒状部件的内部，并接收从所述筒状部件的外部入射至所述筒状部件的内部的光而释放光电子，

所述导热板与所述阴极热连接，

所述主体设置为贯通所述支承体并且使所述导热板在所述支承体的第一主面侧露出，

所述支承体将固化树脂作为形成材料，并与所述筒状部件、所述导热板以及所述密封件接触，并且以覆盖被所述密封件密封的所述接合部分的方式设置。

2.根据权利要求1所述的光电倍增管，其特征在于，

所述支承体在所述第一主面具有凹部，

所述导热板在所述凹部的底面露出，

所述凹部在俯视所述第一主面的视场中包含所述导热板的全部。

3.根据权利要求1或2所述的光电倍增管，其特征在于，

所述支承体具有：第一部件，其将第一固化树脂作为形成材料，并与所述筒状部件、所述导热板以及所述密封件接触，并且以覆盖被所述密封件密封的所述接合部分的方式设置，以及

第二部件，其将第二固化树脂作为形成材料，并与所述第一部件接触着设置；

所述第一固化树脂的弹性模量低于所述第二固化树脂的弹性模量。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的光电倍增管，其特征在于，

具有与所述导热板连接的温度传感器。

5.一种测定装置，其特征在于，具有：

发光部，其被供给分析试样并使所述分析试样发光，

光电倍增管，其为权利要求1～4中任意一项所述的光电倍增管，接收从所述分析试样发出的光，

对置部件，其与所述光电倍增管所具有的所述支承体对置，以及

热电冷却元件，其被夹持于所述支承体与所述对置部件之间，并与所述光电倍增管所具有的所述导热板热接触。

6.根据权利要求5所述的测定装置，其特征在于，

所述对置部件是散热片，该散热片具有：

与所述支承体共同夹持所述热电冷却元件的基板，以及

多个设置于所述基板的翅片。

7.根据权利要求5或6所述的测定装置，其特征在于，具有：

鼓风机，其设置于与所述对置部件对置的位置，以及

控制部，其对所述热电冷却元件以及所述鼓风机的驱动进行控制；

所述光电倍增管具有与所述导热板连接的温度传感器，

所述温度传感器将检测出的信号发送至所述控制部，

所述控制部基于所述信号对所述热电冷却元件以及所述鼓风机的任一方或者双方的工作进行控制。

8.一种制造用夹具，其用于制造权利要求1～4中任意一项所述的光电倍增管，其特征在于，具有：

容器，其上方开口，以及

盖部件，其用于关闭所述容器的开口的部分；

所述盖部件具有能够供所述光电倍增管的所述主体插通的开口部，

所述容器与所述盖部件的、至少在利用所述盖部件关闭所述容器时面向由所述容器和所述盖部件围起的内部空间的表面，被难粘合材料覆盖。