CN107498183B - 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法 - Google Patents

一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107498183B
CN107498183B CN201710579434.5A CN201710579434A CN107498183B CN 107498183 B CN107498183 B CN 107498183B CN 201710579434 A CN201710579434 A CN 201710579434A CN 107498183 B CN107498183 B CN 107498183B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
film material
function
coordinate setting
large area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710579434.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107498183A (zh
Inventor
王文君
杨慧著
姜歌东
梅雪松
潘爱飞
翟兆阳
赵勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Chaotong Intelligent Manufacturing Technology Research Institute Co.,Ltd.
Original Assignee
Xian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Jiaotong University filed Critical Xian Jiaotong University
Priority to CN201710579434.5A priority Critical patent/CN107498183B/zh
Publication of CN107498183A publication Critical patent/CN107498183A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107498183B publication Critical patent/CN107498183B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0005—Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems, or methods for manufacturing the same
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems

Abstract

一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，先在玻璃基底上溅射功能薄膜材料；然后将玻璃基底固定在三坐标工作台上，三坐标工作台和加工光路系统配合；先调节飞秒激光器的输出激光波长，重频，脉宽，通过小孔光阑调节通光孔，衰减片调节激光功率，快门控制加工过程的进行，再通过聚焦柱面透镜使光束聚焦成线光斑；利用调节好的飞秒激光辐照功能薄膜材料，设定三坐标工作台水平X向运动速度，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构；本发明激光通过聚焦柱面镜聚焦为线光斑，减小了对功能薄膜材料的烧蚀损伤，同时提高加工效率。

Description

一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法
技术领域
本发明属于微纳制造技术领域，具体涉及一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法。
背景技术
表面微纳结构应用广泛，其高效可控制备技术在过去十年里受到了高度关注。在功能薄膜表面制造微纳结构，对光电元件发光率、太阳能电池光电转换效率、生化传感、减反射表面、场发射器件、亲疏水表面等多个领域都有巨大的应用潜力。如作为现代半导体工业及微电子工业基石的半导体材料，对于推动现代社会的进步与高新科技发展起着不可估量的作用。飞秒激光作为超快加工方法，辐照在薄膜材料表层可以制造出大面积的均匀周期性结构，从而改变薄膜性能，但用传统的圆透镜加工时，由于聚焦光斑小，能量高斯分布明显，导致能量过于集中，从而极易损坏薄膜中间部分，且效率较低、不利于大面积加工，从而限制了薄膜表面微纳结构的应用发展。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的是提供一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，在功能薄膜表面上制备均匀完整的周期结构，从而改变薄膜性能。
为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，包括以下步骤：
1)先在玻璃基底1上溅射一层功能薄膜材料2；
2)将溅射有功能薄膜材料2的玻璃基底1固定在三坐标工作台3上，三坐标工作台3和加工光路系统配合，加工光路系统包括飞秒激光器5，飞秒激光器5输出的激光经过反射镜6反射后，再依次经过小孔光阑7、衰减片8、快门9和聚焦柱面镜10后能够垂直照射在功能薄膜材料2上，飞秒激光器5、衰减片8、快门9和三坐标工作台3通过与计算机4相连接进行控制；
3)先调节飞秒激光器5的输出激光波长为800nm，重频1KHz，脉宽120fs，通过小孔光阑7调节通光孔，衰减片8调节激光功率，使激光功率在150-300mw，快门9控制加工过程的进行，再通过焦距为75mm的聚焦柱面透镜10使光束聚焦成线光斑；
4)利用调节好的飞秒激光辐照玻璃基底1上的功能薄膜材料2，设定三坐标工作台3水平X向运动速度为0.01-0.1mm/s，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动10mm，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构。
本发明的有益效果为：激光通过聚焦柱面镜10聚焦为线光斑，光斑长宽比较大，面积较大，能量密度降低，减小了对功能薄膜材料2的烧蚀损伤，易于控制生成均匀的周期性结构，且在相应的参数下可以通过单次扫描得到整齐的三角形表面结构，简化了特殊结构的表面加工工艺；其次线光斑长宽比较大，从而可以提高加工效率，适用于大面积的表面微结构加工，从而改变功能薄膜性能。
附图说明
图1为实施例中CIGS的功能薄膜材料2、玻璃基底1分布及加工相对位置示意图。
图2为实施例中的加工光路系统示意图。
图3为实施例1中沿水平X向激光照射材料后，CIGS的功能薄膜材料2在低倍下可观察到明显的表面改变。
图4为实施例1中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.01mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图5为实施例1中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.05mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图6为实施例1中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.1mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图7为实施例2中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.01mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图8为实施例2中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.05mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图9为实施例2中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.1mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图10为实施例3中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.01mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图11为实施例3中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.05mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
图12为实施例3中激光照射CIGS的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.1mm/s，材料表面形成的均匀大面积周期结构。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做详细描述。
实施例1，一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，包括以下步骤：
1)先在玻璃基底1上溅射一层1.2μm厚CIGS吸光的功能薄膜材料2；
2)将溅射有CIGS吸光的功能薄膜材料2的玻璃基底1固定在三坐标工作台3上，三坐标工作台3和加工光路系统配合，加工光路系统包括飞秒激光器5，飞秒激光器5输出的激光经过反射镜6反射后，再依次经过小孔光阑7、衰减片8、快门9和聚焦柱面镜10后能够垂直照射在CIGS吸光的功能薄膜材料2上，飞秒激光器5、衰减片8、快门9和三坐标工作台3通过与计算机4相连接进行控制；
3)先调节飞秒激光器5的输出激光波长为800nm，重频1KHz，脉宽120fs，通过小孔光阑7调节通光孔，衰减片8调节激光功率，使激光功率在150mw，快门9控制加工过程的进行，再通过焦距为75mm的聚焦柱面透镜10使光束聚焦成线光斑；
4)利用调节好的飞秒激光辐照玻璃基底1上的CIGS吸光的功能薄膜材料2，设定三坐标工作台3水平X向运动速度分别为0.01、0.05、0.1mm/s，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动10mm，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构。
如图3、图4、图5、图6所示，图3为本实施例中沿垂直方向激光照射材料后，CIGS吸光的功能薄膜材料2在低倍下可观察到明显的表面改变；图4为实施例中功率150mw，速度0.01mm/s激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，材料表面形成均匀的大面积波纹结构；图5为实施例中功率150mw，速度0.05mm/s激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，材料表面形成均匀的大面积三角形结构；图6为实施例中功率150mw，速度0.1mm/s激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，材料表面形成均匀的大面积周期性波纹结构。
实施例2，一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，包括以下步骤：
1)先在玻璃基底1上溅射一层1.2μm厚的CIGS吸光的功能薄膜材料2；
2)将溅射有CIGS吸光的功能薄膜材料2的玻璃基底1固定在三坐标工作台3上，三坐标工作台3和加工光路系统配合，加工光路系统包括飞秒激光器5，飞秒激光器5输出的激光经过反射镜6反射后，再依次经过小孔光阑7、衰减片8、快门9和聚焦柱面镜10后能够垂直照射在CIGS吸光的功能薄膜材料2上，飞秒激光器5、衰减片8、快门9和三坐标工作台3通过与计算机4相连接进行控制；
3)先调节飞秒激光器5的输出激光波长为800nm，重频1KHz，脉宽120fs，通过小孔光阑7调节通光孔，衰减片8调节激光功率，使激光功率在200mw，快门9控制加工过程的进行，再通过焦距为75mm的聚焦柱面透镜10使光束聚焦成线光斑；
4)利用调节好的飞秒激光辐照玻璃基底1上的CIGS吸光的功能薄膜材料2，设定三坐标工作台3水平X向运动速度分别为为0.01、0.05、0.1mm/s，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动10mm，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构。
如图7、图8、图9所示，图7为本实施例中功率200mw，激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为速度0.01mm/s，材料表面形成均匀的大面积波纹结构；图8为实施例中功率200mw，激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为速度0.05mm/s，材料表面形成均匀的大面积三角形结构；图9为实施例中功率200mw，激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为速度0.1mm/s，材料表面形成均匀的大面积周期性波纹结构。
实施例3，一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，包括以下步骤：
1)先在玻璃基底1上溅射一层1.2μm厚的CIGS吸光的功能薄膜材料2；
2)将溅射有CIGS吸光的功能薄膜材料2的玻璃基底1固定在三坐标工作台3上，三坐标工作台3和加工光路系统配合，加工光路系统包括飞秒激光器5，飞秒激光器5输出的激光经过反射镜6反射后，再依次经过小孔光阑7、衰减片8、快门9和聚焦柱面镜10后能够垂直照射在CIGS薄膜2上，飞秒激光器5、衰减片8、快门9和三坐标工作台3通过与计算机4相连接进行控制；
3)先调节飞秒激光器5的输出激光波长为800nm，重频1KHz，脉宽120fs，通过小孔光阑7调节通光孔，衰减片8调节激光功率，使激光功率在300mw，快门9控制加工过程的进行，再通过焦距为75mm的聚焦柱面透镜10使光束聚焦成线光斑；
4)利用调节好的飞秒激光辐照玻璃基底1上的CIGS吸光的功能薄膜材料2，设定三坐标工作台3水平X向运动速度分别为为0.01、0.05、0.1mm/s，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动10mm，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期周期结构。
如图10、图11、图12所示，图10为本实施例中功率300mw，激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.01mm/s，材料表面形成均匀的大面积波纹结构；图11为实施例中功率300mw，激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.05mm/s，材料表面形成均匀的大面积三角形结构；图12为实施例中功率300mw，激光照射CIGS吸光的功能薄膜材料2后，三坐标工作台3水平X向运动速度为0.1mm/s，材料表面形成均匀的大面积周期性波纹结构。

Claims (1)

1.一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)先在玻璃基底(1)上溅射一层功能薄膜材料(2)；
2)将溅射有功能薄膜材料(2)的玻璃基底(1)固定在三坐标工作台(3)上，三坐标工作台(3)和加工光路系统配合，加工光路系统包括飞秒激光器(5)，飞秒激光器(5)输出的激光经过反射镜(6)反射后，再依次经过小孔光阑(7)、衰减片(8)、快门(9)和聚焦柱面镜(10)后能够垂直照射在功能薄膜材料(2)上，飞秒激光器(5)、衰减片(8)、快门(9)和三坐标工作台(3)通过与计算机(4)相连接进行控制；
3)先调节飞秒激光器(5)的输出激光波长为800nm，重频1KHz，脉宽120fs，通过小孔光阑(7)调节通光孔，衰减片(8)调节激光功率，使激光功率在150-300mw，快门(9)控制加工过程的进行，再通过焦距为75mm的聚焦柱面透镜(10)使光束聚焦成线光斑；
4)利用调节好的飞秒激光辐照玻璃基底(1)上的功能薄膜材料(2)，设定三坐标工作台(3)水平X向运动速度为0.01-0.1mm/s，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动10mm，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构。
CN201710579434.5A 2017-07-17 2017-07-17 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法 Active CN107498183B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710579434.5A CN107498183B (zh) 2017-07-17 2017-07-17 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710579434.5A CN107498183B (zh) 2017-07-17 2017-07-17 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107498183A CN107498183A (zh) 2017-12-22
CN107498183B true CN107498183B (zh) 2019-11-08

Family

ID=60679810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710579434.5A Active CN107498183B (zh) 2017-07-17 2017-07-17 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107498183B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110361797A (zh) * 2018-03-28 2019-10-22 福州高意光学有限公司 一种改变激光光强分布膜片的制造方法
CN110333563B (zh) * 2018-03-28 2021-11-02 福州高意光学有限公司 一种光学光阑的制作方法
CN111375897B (zh) * 2018-12-29 2021-06-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于金属表面抛光的光学装置
CN109920603B (zh) * 2019-03-05 2021-04-20 中南大学 一种提高银纳米线透明导电膜导电性的装置及方法
CN110238531A (zh) * 2019-04-15 2019-09-17 清华大学 飞秒激光制作数字图像相关方法中微观散斑的方法及系统
CN111515524B (zh) * 2019-09-12 2022-02-22 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 激光加工系统及氧化石墨烯微结构化及还原处理的方法
CN110695515B (zh) * 2019-09-18 2020-10-27 清华大学 利用飞秒激光在蚕丝薄膜上加工纳米锥阵列的方法及系统
CN111673270A (zh) * 2020-06-11 2020-09-18 西安交通大学 利用先进激光系统加工改良油气(油水)分离防爆阀的方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101870036A (zh) * 2010-05-18 2010-10-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 飞秒激光快速加工装置
CN102581484A (zh) * 2012-03-02 2012-07-18 江苏大学 一种利用超短脉冲激光制备硅基表面陷光结构的方法
CN102896425A (zh) * 2012-09-26 2013-01-30 北京工业大学 超快激光快速制备金属表面大面积纳米织构的方法
CN102909477A (zh) * 2012-10-31 2013-02-06 北京工业大学 利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法及装置
CN105750729A (zh) * 2016-05-03 2016-07-13 长春理工大学 具有柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头的激光加工装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS642790A (en) * 1986-11-14 1989-01-06 Mitsubishi Electric Corp Laser beam machine
CN105855710B (zh) * 2016-05-11 2017-11-28 西安交通大学 一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101870036A (zh) * 2010-05-18 2010-10-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 飞秒激光快速加工装置
CN102581484A (zh) * 2012-03-02 2012-07-18 江苏大学 一种利用超短脉冲激光制备硅基表面陷光结构的方法
CN102896425A (zh) * 2012-09-26 2013-01-30 北京工业大学 超快激光快速制备金属表面大面积纳米织构的方法
CN102909477A (zh) * 2012-10-31 2013-02-06 北京工业大学 利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法及装置
CN105750729A (zh) * 2016-05-03 2016-07-13 长春理工大学 具有柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头的激光加工装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《飞秒激光在铝表面诱导形成表面周围性结构》;谢俊;《飞秒激光脉冲在金属材料上诱导形成表面周期性结构的实验研究》;20150731;第33-43页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN107498183A (zh) 2017-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107498183B (zh) 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法
CN104625415B (zh) 飞秒激光制备仿生超疏水微纳表面的方法及装置
CN104591549B (zh) 一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法
CN104993013B (zh) 一种大面积铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件的全激光刻划方法
CN102343484B (zh) 利用多重光束及各适当的雷射光学头的雷射制程
CN107695528B (zh) 一种利用飞秒激光调控制备大面积不同微纳米结构的方法
CN106571410A (zh) 一种柔性不锈钢衬底太阳能电池组件的全激光刻划方法
CN102528276A (zh) 一种提高tco膜光透射率的激光辅助表面处理方法
CN102925938A (zh) 一种对激光镀层进行处理的系统
CN204303766U (zh) 一种激光刻蚀与磁控溅射复合装置
CN109277692B (zh) 聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法
CN103993261A (zh) 一种光栅结构透明导电薄膜的制备方法
CN101842900A (zh) 薄膜太阳能电池系统和制造薄膜太阳能电池的方法及设备
CN102909477A (zh) 利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法及装置
CN108817702B (zh) 一种在绒面玻璃上的激光打孔方法及系统
Kim et al. Nanosecond pulse laser scribing using Bessel beam for single shot removal of transparent conductive oxide thin film
CN102569519B (zh) 去除带有背场结构mwt太阳能电池的背场的方法
CN102689092A (zh) 一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法及装置
CN101733560B (zh) 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法
JP2011189408A (ja) マーキング機能を有するレーザスクライビング装置及びこれを用いた太陽電池加工方法
Li et al. Improving edge quality and optical transmittance of Ag films on glass substrates by selective nanosecond pulsed laser ablation using various scanning methods
CN105855710B (zh) 一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法
CN102615433A (zh) 薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺
Morales et al. High volume transfer of high viscosity silver pastes using laser direct-write processing for screen printing of c-Si cells
CN102728955B (zh) 划线碲化镉太阳能电池薄膜层的方法与装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210428

Address after: No.085, 1st building, jiaodayi village, Beilin District, Xi'an City, Shaanxi Province, 710000

Patentee after: Mei Xuesong

Address before: Beilin District Xianning West Road 710049, Shaanxi city of Xi'an province No. 28

Patentee before: XI'AN JIAOTONG University

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210604

Address after: Room 1807, building 3, 311 Yanxin Road, Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000

Patentee after: Wuxi Chaotong Intelligent Manufacturing Technology Research Institute Co.,Ltd.

Address before: No.085, 1st building, jiaodayi village, Beilin District, Xi'an City, Shaanxi Province, 710000

Patentee before: Mei Xuesong

TR01 Transfer of patent right