CN107449939B - 采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法 - Google Patents

采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107449939B
CN107449939B CN201710657332.0A CN201710657332A CN107449939B CN 107449939 B CN107449939 B CN 107449939B CN 201710657332 A CN201710657332 A CN 201710657332A CN 107449939 B CN107449939 B CN 107449939B
Authority
CN
China
Prior art keywords
probe
force
sample
obtaining
voltage curve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710657332.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107449939A (zh
Inventor
谢晖
孙立宁
孟祥和
张号
宋健民
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201710657332.0A priority Critical patent/CN107449939B/zh
Publication of CN107449939A publication Critical patent/CN107449939A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107449939B publication Critical patent/CN107449939B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
    • G01Q60/38—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法，涉及微纳米尺度下材料的表面形貌、力学特性的测量技术，是为了解决传统基于力位移曲线的方法中探针的驱动频率范围受限、以及在液体环境下整体驱动探针会干扰探针悬臂的运动，影响测量精度的问题。样品台内置有线圈，探针针尖上设置有沿探针长度方向磁化或有在该方向的磁化分量的磁性颗粒。首先获得探针自由状态振动的PSD电压曲线Ufree，再获得探针间歇接触样品时针尖位置的PSD电压曲线Uinden，由Ufree和Uinden获得探针受力的电压曲线UForce，根据以上各曲线获得力‑位移曲线，进而结合相应的接触力学模型获得材料的力学特性。本发明探针驱动频率范围宽，测量精度高，适用于高分子复合材料或者生物细胞的研究。

Description

采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量 方法
技术领域
本发明涉及微纳米尺度下材料的表面形貌、力学特性的测量技术。
背景技术
纳米级形貌观测以及不同材料物理特性的表征是研究高分子复合材料或者生物细胞的重要手段。如何实现宽杨氏模量组分的样品在宽测量频域下纳米力学特性的表征，是在微纳米尺度下研究高分子材料或者活体生物细胞的关键。现有的基于原子力显微镜通过驱动探针挠曲运动来测量材料物理特性的方法中，按照探针是否处于共振状态分为两大类：一类是驱动探针在共振频率附近运动，其控制探针与样品表面的相对位置使用的反馈信号是探针的振幅、相位或频率，具有代表性的是“双模态法(Bimodal-mode)”，“谐波法(HarmonicX mode)”等；另一类是驱动探针偏离其共振频率运动，其控制探针与样品表面相对位置使用的反馈信号是探针相对于其自由状态(探针已经被驱动，只是还没有和样品接触)针尖位置的改变量(即针尖和样品间的作用力，峰值力调制)具有代表性的是“力阵列模式(Force-volume mode)”、“力脉冲模式(Pulse force mode)”和“最大压痕力轻敲(Peakforce Tapping)”三种方法。
由于后者获取力位移曲线十分方便，所需的仪器设备较少，因此在测量材料的物理特性中应用十分广泛。它们都是基于测量探针针尖在接触和脱离样品过程中针尖处的受力和相对固定端的位移曲线(Force-distance Curve)进而获得材料的纳米力学特性。
该类方法目前驱动探针采用的均为压电陶瓷，由于探针、探针支架和压电陶瓷都具有一定的质量，受其惯性力的影响，以足够的振幅(50-100nm)驱动其在较高的频率(几十千赫兹)做周期性的运动难以准确实现，这限制了其实施测量的频率范围以及扫描的速度；同时在液体下采用压电陶瓷整体驱动探针支架和探针托(毫米级尺度)会对液体造成很大的扰动，干扰测量过程中探针悬臂(微米级尺度)的运动，降低了探针针尖处检测位移信号的信噪比，影响测量精度。
发明内容
本发明的目的是为了解决传统基于力位移曲线的原子力显微镜驱动方法中，探针的驱动频率范围受限、以及在液体环境下整体驱动探针会干扰探针悬臂的运动，影响测量精度的问题，提供一种磁驱峰值力调制原子力显微镜及多参数同步测量方法。
本发明所述的磁驱峰值力调制原子力显微镜，其特征在于，探针配备有线圈，线圈位置可根据需要设定，例如可以设置在样品台内部，也可以设置在样品台外部，所述线圈中电流的频率低于探针的一阶共振频率，探针的微悬臂上联接有磁性物质，该磁性物质的磁化方向沿探针长度方向或者含有沿探针长度方向的分量。
采用上述原子力显微镜进行的多参数同步测量方法为：采用周期性变化的磁场驱动探针在低于其一阶共振频率以下振动，控制样品和探针相对位置的信号是样品受到的探针针尖作用的最大压痕力，而不是探针运动的振幅、频率、或相位。
本发明具有以下优点：1、突破了传统根据力-位移曲线表征材料物理特性AFM的探针驱动方式，采用周期性变化的磁场驱动探针在低于其一阶共振频率以下振动，控制的是最大压痕力——力调制，而不是控制振幅、频率或者相位。2、探针只需修饰上磁性物质即可，对探针的形状、材质、刚度等没有限制，可以针对不同的样品选用不同的探针。3、由于仅驱动探针悬臂运动，可实现高精度、宽频域的施力输出，同时提高了探针在液体环境中测量的信噪比。与传统的基于力位移曲线测量的AFM相比，本发明的方法在对材料的力学特性表征、生物细胞研究等领域具有更高可操作性，可实现更宽频域、更高信噪比的测量，具有很高的实用价值。
附图说明
图1为实施方式一所述的磁驱峰值力调制原子力显微镜的原理示意图；
图2为实施方式一所述的磁驱峰值力调制原子力显微镜的机械部分的结构示意图，其中，1：机架；2：四象限位置检测器二维调整微平台；3：四象限位置检测器；4：一维调整微平台I；5：反射激光凸透镜；6：激光反射镜；7：探针手；8：XYZ微米定位台；9：探针手支架；10：支撑座；11：台面；12：XY微米定位台；13：XYZ纳米定位台；14：样品台支架；15：磁驱动样品台；16：入射激光聚焦凸透镜；17：一维调整微平台II；18：半导体激光发生器；19：激光发生器角度调整机构；20：光学显微镜；
图3为实施方式一中探针手的结构示意图，其中，7-1：探针手基座；7-2：AFM探针的探针托；7-3：AFM探针的微悬臂；7-4：AFM探针微悬臂上联接的磁颗粒；
图4为实施方式一中样品台的结构示意图，(a)为样品台的外部结构示意图，(b)为样品台的内部结构示意图，其中，15-1：外壳；15-2：外壳上盖；15-3：压电陶瓷；15-4：铁芯；15-5：线圈；15-6：外壳底座；15-7：线圈端底；15-8：燕尾槽；15-9：样品台支撑座；
图5为实施方式四中的各曲线图，其中(a)为自由状态的位移-时间曲线，(b)为间歇接触时的位移-时间曲线，(c)为恢复的力-时间曲线，(d)为力-位移曲线；
图6为实施方式四中对聚苯乙烯(PS)/低密度聚乙烯(LDPE)混合样品的扫描结果图像，其中(A)为表面形貌图像；(B)为粘附力图像；(C)为最大压痕深度图像；(D)为利用DMT模型计算得到的杨氏模量图像；
图7为实施方式三中不同驱动频率下对聚二甲基硅氧烷PDMS样品的测量结果图像。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图1至图4说明本实施方式，本实施方式所述的磁驱峰值力调制原子力显微镜，其探针配备有线圈，所述线圈中电流的频率低于探针的一阶共振频率，探针的微悬臂上联接有磁性物质，该磁性物质的磁化方向沿探针长度方向(图1中探针手前端的箭头方向)或者含有沿探针长度方向的分量。
如图1至图3所示，本实施方式是在传统的原子力显微镜的基础上，对探针的驱动方式作出改进，通过给驱动线圈施加一定振幅、频率的周期性电流使其产生周期性变化的磁场，从而对位于其内的在末端固定有磁性物质的探针悬臂，施加垂直于悬臂长轴方向的周期性变化的磁扭矩，使探针在偏离其共振频率下做周期性的挠曲运动。再通过光杠杆系统检测针尖的位置，从而获得针尖和样品在接近、接触、分离过程中的力位移曲线，以此控制探针和样品之间的距离，并计算出测量点样品的杨氏模量、粘附力、最大压痕深度等参数。
具体实施方式二：本实施方式是采用实施方式一所述的磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法，该方法为：采用周期性变化的磁场驱动探针在低于其一阶共振频率以下振动，控制样品和探针相对位置的信号是样品受到的探针针尖作用的最大压痕力。
具体实施方式三：结合图5说明本实施方式，本实施方式是采用实施方式二所述方法的进一步限定，本实施方式中，所述方法的具体步骤为：
步骤一、获得探针接近样品时探针自由状态振动的PSD(四象限半导体光学位移测量器件)电压曲线Ufree，如图5(a)所示；
步骤二、开始测量，获得探针间歇接触样品时针尖位置的PSD电压曲线Uinden，如图5(b)所示；
步骤三、由电压曲线Ufree和电压曲线Uinden获得探针受力的电压曲线UForce；
其中，UForce＝Uinden-Ufree
步骤四、根据以上各曲线得到探针针尖在测量过程中的位移zinden和针尖与样品之间的作用力Fts，获得力-位移曲线，如图5(d)所示，并通过压电陶瓷调整样品的位置，控制探针针尖施加在样品上的最大压痕力即力调制，记录压电陶瓷的位置，最终形成样品表面形貌图；
相应的计算公式如下：
Figure GDA0002158394990000041
Figure GDA0002158394990000042
其中m表示探针悬臂等效到针尖处的质量，m＝k/ω0 2，ω0表示探针的共振频率；Q表示探针的品质因子；k表示探针等效到针尖处的刚度；γM表示扭转灵敏度，即激光测力系在探针受到扭矩时对针尖处位移检测的灵敏度；γF表示力灵敏度，即激光测力系在探针受到力时对针尖处位移检测的灵敏度；
步骤五、根据力-位移曲线，结合相应的力学模型，获得材料的力学特性，如最大压痕深度图像、粘附力图像以及等效杨氏模量图像；
以上各步骤中，探针的振动方式为：采用信号发生器产生频率低于探针一阶共振频率的正弦波，线圈驱动器根据该正弦波驱动样品台内部的线圈，使该线圈产生与该正弦波同频率的正弦交变磁场，探针微悬臂上的磁性物质在该正弦交变磁场的作用下驱动探针悬臂做与正弦交变磁场同频率的正弦运动。
具体实施方式四：结合图1、图2、图6和图7说明本实施方式，本实施方式中，所述的多参数同步测量方法具体包括以下步骤：
1、系统初始化，把准备好的样品固定到样品台上。
2、移动XY微动台，通过显微镜初定位样品，选择相应的表征区域，并定位该区域到显微镜的视场中心；
3、移动XYZ微动台，将微悬臂上联结有磁颗粒的探针置于第2步中所选择的感兴趣表征区域的上方，粗调探针与样品台的距离，用于位置伺服控制，调整探针的激光光斑于探针悬臂梁的前部中心；
4、通过激光测力系统检测探针的变形，分别标定探针受到扭矩和力各自针尖处位移检测的灵敏度。
5、标定完成后，启动探针的伺服控制，控制XYZ纳米定位台在Z轴快速接近探针，直到两者接触达到设定的探针挠曲变形电压值。
6、伺服成功后，停止伺服，将XYZ纳米定位台下降到一定高度(探针和样品脱离即可，小于磁驱动样品台Z向压电陶瓷的行程)。
7、信号发生器产生一定振幅、频率小于探针一阶共振频率的二分之一的正弦波，输出给线圈驱动器，从而驱动线圈产生一定振幅、同频率的正弦交变磁场，使位于磁场中联结有磁化方向沿探针长轴的磁性物质受到一定振幅、同频率的正弦交变的磁扭矩，使探针针尖以一定的振幅、同频率做正弦运动。
8、记录下此时自由状态下探针挠曲振动的运动曲线，与驱动电压的关系。然后启动探针伺服，控制磁驱动样品台内的Z轴压电陶瓷快速接近探针，控制探针与样品间歇接触在接触过程中压痕力最大值达到设定值。
9、设置扫描步距和扫描点数，然后启动图像扫描。
采用上述步骤以2kHz的驱动频率驱动探针对聚苯乙烯(PS)/低密度聚乙烯(LDPE)混合样品扫描的结果如图6所示，扫描范围为4.8μm×4.8μm。其中(A)为表面形貌图像，其中突起的部分是LDPE，其余的为PS；(B)为粘附力图像；(C)为最大压痕图像；(D)为利用DMT模型计算得到的杨氏模量图像。表1为测量的结果，其中包括粘附力、最大压痕深度、DMT模型计算出的杨氏模量。四幅图像的清晰度都非常高，说明该方法测量结果的信噪比很高，提高了测量精度。
表1聚苯乙烯/低密度聚乙烯混合样品测量结果数据列表
样品组分 粘附力(nN) 最大压痕深度(nm) 杨氏模量(MPa)
聚苯乙烯 11.9±0.39 3.45±0.34 1970±200
低密度聚乙烯 9.4±0.85 7.75±0.88 101.2±2.0
采用上述步骤分别以50Hz、5kHz、20kHz的驱动频率驱动探针测量聚二甲基硅氧烷(PDMS)样品，样品扫描的结果如图7所示，扫描范围为2.56μm×2.56μm。其中(A)(B)(C)为表面形貌图，(a)(b)(c)为对应的杨氏模量图。表2为测量结果，其中包括不同的测量频率，以及其对应的杨氏模量。由于PDMS具有粘弹性，随着测量频率的增加，其杨氏模量也是逐渐增加的。说明该方法可以在很宽的频率范围内驱动探针实施测量。
表1不同驱动频率下PDMS的测量结果数据列表
驱动频率 50Hz 5kHz 20kHz
杨氏模量 2.43±0.31MPa 2.89±0.38MPa 3.16±0.35MPa

Claims (1)

1.采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法，所述磁驱峰值力调制原子力显微镜的探针配备有线圈，所述线圈中电流的频率低于探针的一阶共振频率，探针的微悬臂上联接有磁性物质，该磁性物质的磁化方向沿探针长度方向或者含有沿探针长度方向的分量，其特征在于，采用周期性变化的磁场驱动探针在低于其一阶共振频率以下振动，控制样品和探针相对位置的信号是样品受到的探针针尖作用的最大压痕力；
其特征在于，所述方法的具体步骤为：
步骤一、获得探针接近样品时探针自由状态振动的PSD电压曲线Ufree；
步骤二、开始测量，获得探针间歇接触样品时针尖位置的PSD电压曲线Uinden；
步骤三、由电压曲线Ufree和电压曲线Uinden获得探针受力的电压曲线UForce；
步骤四、根据以上各曲线得到探针针尖在测量过程中的位移zinden和针尖与样品之间的作用力Fts，获得力-位移曲线，并控制探针针尖施加在样品上的最大压痕力，获得表面形貌图像；
步骤五、根据力-位移曲线，结合相应的力学模型，获得材料最大压痕深度图像、最大粘附力图像以及等效杨氏模量图像；
以上各步骤中，探针的振动方式为：采用信号发生器产生正弦波输入线圈驱动器，从而驱动样品台(15)内部的线圈，使该线圈产生与该正弦波同频率的正弦交变磁场，探针微悬臂上的磁性颗粒在该正弦交变磁场的作用下驱动探针悬臂做与正弦交变磁场同频率的正弦运动，所述频率低于探针的一阶共振频率。
CN201710657332.0A 2017-08-03 2017-08-03 采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法 Active CN107449939B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710657332.0A CN107449939B (zh) 2017-08-03 2017-08-03 采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710657332.0A CN107449939B (zh) 2017-08-03 2017-08-03 采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107449939A CN107449939A (zh) 2017-12-08
CN107449939B true CN107449939B (zh) 2020-04-24

Family

ID=60489842

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710657332.0A Active CN107449939B (zh) 2017-08-03 2017-08-03 采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107449939B (zh)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7124834B2 (ja) * 2017-12-26 2022-08-24 日本電産リード株式会社 基板検査装置
CN110687318A (zh) * 2018-07-06 2020-01-14 多氟多化工股份有限公司 一种隔膜表面铜枝晶的分析方法
CN114966119B (zh) * 2018-08-06 2023-10-24 布鲁克纳米公司 经由原子力显微镜进行纳米级动态力学分析(afm-ndma)
CN110095637A (zh) * 2019-05-08 2019-08-06 国家纳米科学中心 原子力显微镜及样品表面性质的测试方法
CN110127588B (zh) * 2019-05-22 2022-02-22 季华实验室 用于加工衬底材料的钝化层的探针
CN110186811B (zh) * 2019-07-01 2021-06-25 哈尔滨工业大学 一种沥青微观动态流变性测试方法
CN110763873B (zh) * 2019-11-18 2021-04-13 中国科学院沈阳自动化研究所 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法
CN111122913B (zh) * 2019-12-11 2021-01-15 浙江大学 一种基于生物膜力学探针系统的超准力钳实验方法
CN110907663B (zh) * 2019-12-18 2021-12-21 哈尔滨工业大学 基于t状悬臂梁探针的开尔文探针力显微镜测量方法
CN111398638B (zh) * 2020-03-30 2023-05-05 哈尔滨工业大学 开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法
CN112748153B (zh) * 2021-01-07 2023-01-10 中国人民大学 振幅调制静电力显微术测量电学特性的方法及装置
CN114947869B (zh) * 2021-02-25 2024-04-02 哈尔滨工业大学 具有集成式传感针尖的柔性神经电极辅助植入系统及方法
CN113391096B (zh) * 2021-06-10 2022-09-16 哈尔滨工业大学 原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法
CN114088981B (zh) * 2021-10-21 2023-05-23 华南理工大学 一种侧壁扫描探针及其加工方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101303903B (zh) * 2008-07-03 2010-06-02 北京航空航天大学 微小型原子力显微镜的驱动装置
US9286687B1 (en) * 2013-08-23 2016-03-15 University Of South Florida System and method for estimating the magnetization states of a nanomagnet array
CN103592468A (zh) * 2013-11-16 2014-02-19 中北大学 铁磁共振磁交换力显微镜测试系统
CN104865408A (zh) * 2015-04-28 2015-08-26 中山大学 一种调控原子力显微镜悬臂梁共振频率的方法和装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107449939A (zh) 2017-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107449939B (zh) 采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法
US8448501B2 (en) Multiple frequency atomic force microscopy
Eaton et al. Atomic force microscopy
Fleming et al. Bridging the gap between conventional and video-speed scanning probe microscopes
US7055378B2 (en) System for wide frequency dynamic nanomechanical analysis
JP5695902B2 (ja) 近接場ａｆｍ検出を用いたウェハスケールの非破壊的な表面下超音波顕微鏡法
US6945099B1 (en) Torsional resonance mode probe-based instrument and method
Yong et al. Design of an inertially counterbalanced Z-nanopositioner for high-speed atomic force microscopy
US20140041084A1 (en) Material Property Measurements Using Multiple Frequency Atomic Fore Microscopy
EP1482297A4 (en) RASTERSONDENMIKROSKOP AND METHOD FOR MEASURING THE SURFACE STRUCTURE OF PREPARATIONS
EP2250480B1 (en) Spm imaging apparatus, probe and method
Yong et al. Collocated z-axis control of a high-speed nanopositioner for video-rate atomic force microscopy
WO2012057723A1 (en) Thermal measurements using multiple frequency atomic force microscopy
US8869311B2 (en) Displacement detection mechanism and scanning probe microscope using the same
WO2007072706A1 (ja) 走査型プローブ顕微鏡
WO2008069250A1 (ja) 細胞物性測定装置
KR101112505B1 (ko) 초음파 원자현미경장치
CN103645347A (zh) 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法
US20040129063A1 (en) Method for performing nanoscale dynamics imaging by atomic force microscopy
JP2000346784A (ja) 粘弾性分布測定方法
Yong et al. A z-scanner design for high-speed scanning probe microscopy
Meng et al. Simultaneously measuring force and displacement: Calibration of magnetic torque actuated microcantilevers for nanomechanical mapping
JP3892184B2 (ja) 走査型プローブ顕微鏡
Dai et al. True 3D measurements of micro and nano structures
Cinar et al. New approach for nanoindentation using multiprobe AFM system

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant