CN107432067A - 图案形成装置以及使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的课题在于，提供一种能够进行生产率高且尺寸精度高的图案形成的图案形成装置。另外，提供一种使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法。本发明的图案形成装置包括紫外线发光部、对自所述紫外线发光部发出的紫外线进行反射引导的箱体以及在该箱体的下部被紫外线照射的玻璃掩模，其特征在于，在所述玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过所述玻璃掩模与所述箱体的间隙与所述玻璃掩模平行且向所述玻璃掩模的中央方向吹送空气。
Description
技术领域
本发明涉及图案形成装置以及使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法。更详细而言，涉及能够进行生产率高且尺寸精度高的图案形成的图案形成装置，以及使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法。
背景技术
现如今，作为超薄的发光材料，有机发光面板受到关注。例如，利用了有机材料的电致发光(Electro Lumincence:EL)的有机发光元件(以下也称为“有机EL元件”)，是能以数伏～数十伏左右的低电压进行发光的薄膜型的完全固体面板，具有能以低电力获得高亮度、并在辨认性、响应速度、使用寿命和消耗电力方面优异、且能超薄、轻型地构成的这样许多优异的特征。因此，将有机EL元件用作面板的各种显示器、这些显示器的背光灯、广告牌、备用灯等的显示板、照明光源等的平面发光体近年来受到关注。
这种有机EL面板具有在2片电极间配置有由有机材料构成的发光层的结构，在发光层产生的发出光穿透电极而输出到外部。因此，2片电极中的至少一方构成为透明电极，自透明电极侧输出发出光。
为了将有机EL面板用于显示器用途，作为制造进行了图案形成的有机EL元件的方法，公开了一种对层叠在玻璃基板上的有机EL元件的有机功能层照射紫外线，使该照射部分劣化，从而形成具有非发光范围的发光图案的有机EL面板的制造方法(例如参照专利文献1。)。另外，经由成像的掩模改变向有机EL元件照射的照射光量，也能制造具有发光图案的有机EL面板。
随着这种具有发光图案的有机EL面板的需求日益高涨，面板的大显示面化、面板制造的高生产率等的希望也日益高涨。但是，在这种情况下，需要增大照射光量，由光源的发热产生的问题变得明显起来。详细而言，进行紫外线照射时自光源产生的热使有机EL元件上的掩模达到高温而膨胀，从而尺寸出现偏差，或者掩模挠曲而在掩模与有机EL元件之间产生间隙，使曝光后的图像变得模糊，很难以准确的大小高精度地制造面板。在极端的情况下，玻璃掩模有时也因热膨胀而损坏。
为了消除这种由热导致的不良现象，考虑吹送空气进行冷却。例如在专利文献2中，公开了一种当在光蚀刻工序内将掩模图案曝光于感光性的基板上时，使进行了温度控制的空气流自吹出口朝向投影曝光系统的特定方向移动，从而防止温度上升的技术。但是，在这样自一方向吹送空气的情况下，容易发生不均，而且对于温度上升大的有机EL面板的制造，不能充分地确保玻璃掩模的尺寸稳定性，期盼一种更高效的冷却方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-28335号公报
专利文献2：日本特开平10-289874号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明是鉴于上述问题和状况而做成的，要解决的问题在于，提供一种能够进行生产率高且尺寸精度高的图案形成的图案形成装置。另外，还提供一种使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法。
用于解决问题的方案
本发明人为了解决上述问题，研究了上述问题的原因等，结果发现通过在玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，能够解决上述问题，进而提出了本发明，上述一对空气流产生部配置为经过上述玻璃掩模与安装在光源下方的箱体的间隙而与上述玻璃掩模平行且向上述玻璃掩模的中央方向吹送空气。
即，采用以下的方案解决本发明的上述问题。
1.一种图案形成装置，包括紫外线发光部、对自上述紫外线发光部发出的紫外线进行反射引导的箱体以及在该箱体的下部被紫外线照射的玻璃掩模，其特征在于，在上述玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过上述玻璃掩模与上述箱体的间隙而与上述玻璃掩模平行且向上述玻璃掩模的中央方向吹送空气。
2.根据第1项所述的图案形成装置，其特征在于，上述空气流产生部具有狭缝状的吹送部。
3.根据第1项所述的图案形成装置，其特征在于，上述空气流产生部具有喷嘴状的吹送部。
4.根据第1项至第3项中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，被吹送的上述空气是被调整过温度的空气。
5.根据第1项至第4项中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，在上述玻璃掩模的下部具有冷机。
6.一种有机电发光元件的图案形成方法，其特征在于，使用第1项至第5项中任一项所述的图案形成装置对有机电发光元件进行图案形成。
发明的效果
采用本发明的上述方案，能够提供一种可进行生产率高且尺寸精度高的图案形成的图案形成装置。另外，能够提供一种使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法。
关于本发明的有效的形成机理或作用机理，并不明确，见如下推测。在玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过上述玻璃掩模与上述进行反射引导的箱体(以下也称为反射器或简称为箱体)的间隙，与上述玻璃掩模平行且向上述玻璃掩模的中央方向吹送空气，从而在中央部使相对吹送的空气合流。合流后的空气将玻璃面均匀地冷却，并且上升到反射器上部而到达紫外线发光部，进一步沿反射器的侧面下降而发生对流。可以认为：这是因为这样促进反射器内部的空气循环(对流)而将反射器内部的发热的空气冷却，并且也能高效地冷却反射器。
附图说明
图1是本发明的图案形成装置的一例的透视图。
图2是本发明的图案形成装置的另一例的剖视图。
图3是具有狭缝状的吹送部的空气流产生部的一例的侧视图。
图4是冷机的概念图的一例。
图5是有机EL元件的一例的剖视图。
具体实施方式
本发明的图案形成装置包括紫外线发光部、对自上述紫外线发光部发出的紫外线进行反射引导的箱体以及在该箱体的下部被紫外线照射的玻璃掩模，其特征在于，在上述玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过上述玻璃掩模与上述箱体的间隙而与上述玻璃掩模平行且向上述玻璃掩模的中央方向吹送空气。此特征是技术方案1至技术方案6的技术方案共有的技术特征。
作为本发明的实施方式，从获得本发明的效果的观点出发，优选的是，空气流产生部具有狭缝状的吹送部。另外，亦从获得本发明的效果的观点出发，优选的是，上述空气流产生部具有喷嘴状的吹送部。
此外，在本发明中，优选的是，被吹送的空气是被调整过温度的空气。由此，能够进一步提高冷却效率。
作为本发明的实施方式，从获得本发明的效果的观点出发，优选的是，在玻璃掩模的下部具有冷机。
此外，优选使用本发明的图案形成装置对有机电发光元件进行图案形成的有机电发光元件的图案形成方法。
以下，对本发明及其构成要素以及用于实施本发明的实施方式和形态进行详细的说明。另外，在本发明中，以将在“～”前后记载的数值作为下限值以及上限值包含在内的含义，使用“～”。
图案形成装置的概要
本发明的图案形成装置包括紫外线发光部、对自上述紫外线发光部发出的紫外线进行反射引导的箱体以及在该箱体的下部被紫外线照射的玻璃掩模，其特征在于，在上述玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过上述玻璃掩模与上述箱体的间隙而与上述玻璃掩模平行且向上述玻璃掩模的中央方向吹送空气。
图1是本发明的图案形成装置的一例的透视图。自紫外线发光部1发出的紫外线经过对紫外线进行反射引导的箱体2，照射到位于箱体2的下部的玻璃掩模3。被照射了紫外线的玻璃掩模3达到高温，发生热膨胀，并且箱体以及箱体内部的温度上升，很难进行尺寸精度高的图案形成。在本发明中，作为此问题的对策，特征在于，在玻璃掩模上表面的相对的位置具有一对空气流产生部5，这一对空气流产生部5配置为经过玻璃掩模3与上述箱体2的间隙与玻璃掩模3平行且向上述玻璃掩模3的中央方向吹送空气。
通过采用这样的配置，向中央方向与玻璃掩模3平行地吹送的空气流4将玻璃面均匀地冷却，并且在中央部合流，合流后的空气流上升到箱体2的上部，到达紫外线发光部，进一步沿箱体2的侧面下降而发生对流。可以认为：这样促进箱体2内部的空气循环(对流)，将箱体2内部的发热的空气冷却，并且也能高效地冷却箱体2。被吹送的空气吸收热并在箱体2的内部循环，自具有空气流产生部5的面的相邻的侧面排出。
空气流产生部
图2是本发明的图案形成装置的另一例的剖视图。空气流产生部5在玻璃掩模3的上表面的相对的位置配置为经过玻璃掩模3与箱体2的间隙7而与玻璃掩模3平行且向玻璃掩模3的中央方向吹送空气。
如图2所示，空气流产生部5配置在玻璃掩模3的上表面上，与玻璃掩模3平行地吹送空气，从而被吹送的空气流4均匀地在玻璃掩模3上前进并在玻璃掩模3的中央部合流。平行吹送是指以与玻璃掩模3的平面成±2度以内的角度进行吹送。在以与玻璃掩模平面成大于2度的角度朝上进行了吹送的情况下，玻璃掩模的冷却不充分。另外，在以与玻璃掩模平面成大于2度的角度朝下进行了吹送的情况下，吹送到玻璃掩模上的空气产生紊乱，对玻璃掩模的冷却不均匀，或者在中央部合流后的空气在箱体2的内部产生紊流，不发生上述的对流，冷却不高效，所以不理想。
吹送到玻璃掩模上的空气在玻璃掩模3的中央部合流。通过使空气在中央合流，能够均匀地冷却玻璃掩模3以及箱体2。因此，空气流产生部5在玻璃掩模3的上表面的相对的位置平行配置。另外，优选的是，空气流产生部5也与箱体的被吹送空气的一侧的侧面平行。
箱体2与空气流产生部5的距离8只要能将空气高效地吹送到箱体即可，没有特别制约，但优选在10mm～200mm的范围内。更优选在50mm～100mm的范围内。另外，优选的是，空气流产生部的长度与被吹送空气的一侧的箱体的宽度相同，或者比该宽度大。
自空气流产生部5吹送的空气经过玻璃掩模3与箱体2的间隙7被吹送到箱体2内。该间隙7具有空气向箱体内部进出的进出口的功能，也影响着所吹送的空气在箱体2内高效地循环。优选该间隙7在2mm～20mm的范围内。优选在3mm～10mm的范围内。当间隙在20mm以内时，高效地进行箱体2内的空气的循环，当间隙在2mm以上时，能够充分地获得冷却用的风量。
另外，优选的是，一对空气流产生部5配置在相对于玻璃掩模3的中央部以及箱体2对称的位置。优选的是，在利用自空气流产生部吹送的空气进行的冷却的基础上，在玻璃掩模的下部具有冷机9，该冷机9具有水冷管10。
吹送部
为了进行上述那样的箱体2内部的空气循环，高效地冷却玻璃掩模、箱体，优选的是，空气流产生部具有狭缝状或喷嘴状的吹送部。更优选的是，空气流产生部具有狭缝状的吹送部。
图3是具有狭缝状的吹送部的空气流产生部的一例的侧视图。具有狭缝状的吹送部S的空气流产生部能够吹送层状的空气流4。例如自间隙为50μm～100μm左右的较薄的狭缝高速喷出的空气能够大量地卷入周边的空气，吹送层状的空气。通过吹送这种层状的空气，能够高效地冷却玻璃掩模和箱体。
代替狭缝状的吹送部，也可以使用具有喷嘴状的吹送部的空气流产生部，在该情况下，喷嘴的数量较多较好，优选的是，喷嘴的数量以每5mm～20mm的间隔具有1个。能够适当地调整喷嘴直径的大小。
具有用在吹送部中的狭缝状的吹送部或喷嘴状的吹送部的空气流产生部，能够使用市面上出售的产品。例如可以使用サンワエンタープライズ社(日本公司名)生产的层状空气流产生装置750型、スプレーイングシステムジャパン社(日本公司名)生产的气刀空气喷嘴等。
优选的是，自一对吹送部吹送的风量相同。作为风量，可以为1000L/min～40000L/min。优选的是，空气流产生部与空气压缩机相连接。能够依据紫外线的照射光量，适当地调节期望的风量和风速。空气压缩机可以使用公知的压缩机。
另外，优选的是，被吹送的空气是被调整过温度的空气。根据需要，例如使用温度被调整为5度～15度左右的空气，从而能够提高冷却效率。
进行反射引导的箱体
进行反射引导的箱体(反射器)具有如下功能，即，防止自紫外线发光部照射的紫外线的光量的下降，且使紫外线以均匀的光量照射到玻璃掩模上的功能。为此，优选的是，箱体的内表面由反射材料覆盖。从对热具有耐性，并且也具有耐久性的方面出发，反射材料能够使用金属材料。例如从箱体也为轻型的方面出发，可以优选使用铝。
箱体只要在上部安装有紫外线发光部，并在下端具有与玻璃掩模的间隙即可，箱体的高度、底面积没有特别限制，能够依据照射紫外线的有机EL面板的大小来进行设定。优选的是，底面比要制作的图案大。
在本发明中，对有机EL面板大且照射光量大的情况下的紫外线照射时的冷却特别有效，所以例如能够有效地制造0.1m2～7m2的大小的有机EL面板。另外，采用本发明，由于能够进行尺寸精度高的图案形成，所以能够利用一次的紫外线照射来制作具有相同图案的多个有机EL面板，从而也能提高生产率。
从紫外线的光量、照射光量的不均等出发，能够适当地调整箱体的高度。例如可以设定为0.5m～5m左右。
紫外线发光部
在紫外线发光部安装有发出紫外线的光源。作为光源，只要是发出期望的紫外线光量的光源即可，没有特别限制。例如能够使用从超高压汞弧灯、高压汞弧灯、低压汞弧灯、碳弧、金属卤化物灯、氙弧灯、碳弧灯、准分子灯和UV光激光器等发出的100nm～400nm的范围，优选为200nm～400nm的范围的波长区域的紫外线。
能以20J/cm2～3600J/cm2的光量进行照射，但这也取决于有机EL面板的尺寸。另外，优选的是，紫外线照射时间在5秒～300秒的范围内。
玻璃掩模
玻璃掩模具有将照射到有机EL元件上的光量改变的作用。能够使用可改变紫外线的穿透光量的公知的掩模材料，制作在玻璃基板上具有底片(日文：ネガ)状的图案的玻璃掩模。经由该玻璃掩模将紫外线照射于有机EL元件，从而能够制作具有发光图案的有机EL面板。例如，通过使用在明胶膜中分散有银微粒的黑白照片的底片图像，能够制作照片图像。
作为玻璃基板，原料没有特别限定，例如可以使用光学用、基板用的公知的玻璃原料。详细而言，可以使用铝硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、钠铝硅酸盐玻璃、铝硼硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、石英玻璃、链状硅酸盐玻璃、晶化玻璃等玻璃陶瓷、磷酸系玻璃或镧系玻璃等。
其中，优选热膨胀率低的玻璃原料。可以优选使用钠钙玻璃、石英玻璃。玻璃掩模厚度没有特别限制，可以使用3mm～10mm的玻璃掩模。
另外，这里所说的“图案”是指利用有机EL面板显示的图案(图的花纹、花样)、文字和图像等。“图案形成”是指具有上述的图案显示功能。
另外，“发光图案”是指具有如下功能的产生源，即，当有机EL面板发光时，为了基于规定的图案(图的花纹、花样)、文字和图像等，根据发光面的位置改变发光强度(亮度)地发出光，使预先形成(赋予)在该有机EL元件上的规定的图案(图的花纹、花样)、文字和图像等显示出来的功能。
冷机
优选的是，在利用自空气流产生部吹送的空气进行的冷却的基础上，在玻璃掩模的下部具有冷机。这里，“冷机”是指使热介质循环而将对象部保持为恒定的温度的装置。可以使用该冷机，特别是在玻璃掩模的温度达到100℃以上的高温的那样的情况下优选使用该冷机。另外，例如在玻璃掩模的温度上升至150℃的情况下，能够采用将紫外线的照射中断而使玻璃掩模下降至室温等的使用方法。优选的是，冷机与被照射紫外线的有机EL元件的下表面接触设置。
作为冷机，可以使用公知的冷机，但水冷冷机简便且高效，所以是优选的。
图4是冷机的概念图的一例。图4是冷机9使2个系统的循环水流动的情况下的例子。利用水冷管(导入)10a导入冷水，自水冷管(排出)10b排出冷水，排出的冷水被再次冷却，循环而能够将被照射紫外线的有机EL元件冷却。
优选冷机的材质为导热系数高的材质。例如能够使用铝等。
有机电发光元件
本发明的有机EL元件在至少一对的电极间具有一个或多个有机功能层。本发明中的有机功能层是指含有有机化合物的层。例如可以是空穴注入层、空穴传输层、发光层(包括蓝色发光层、绿色发光层和红色发光层)电子传输层、电子注入层。
本发明的有机EL元件可以采用各种结构，在图5中表示一例。另外，图5为了进行说明，长宽比并不准确。
如图5所示，本发明的有机EL元件100设置在基板113上，自基板113侧依次层叠第一电极(透明电极)11、有机功能层13以及第二电极(对置电极)15a，构成该有机EL元件100，上述有机功能层13使用有机材料等构成。在第一电极11(由基底层11a和电极层11b构成)的端部设置有引出电极116。第一电极11与外部电源(省略图示)借助引出电极116电连接。有机EL元件100构成为至少自基板113侧引出所产生的光(发出光h)。
另外，有机EL元件100的层构造没有限定，可以是通常的层构造。这里，第一电极1作为正极(即，阳极)发挥功能，第二电极15a作为负极(即，阴极)发挥功能。在该情况下，例如例示了有机功能层13是从作为正极的第一电极11侧依次层叠有空穴注入层13a/空穴传输层13b/发光层13c/电子传输层13d/电子注入层13e的结构，其中，至少必须具有使用有机材料构成的发光层13c。空穴注入层13a以及空穴传输层13b也可以设置为空穴传输注入层。电子传输层13d以及电子注入层13e也可以设置为电子传输注入层。
另外，除了上述这些层以外，也可以根据需要在有机功能层13的所需部位层叠空穴阻止层、电子阻止层等。此外，发光层13c也可以具有产生各波长区域的发出光的各色发光层，将这些各色发光层隔着非发光性的中间层层叠起来。中间层可以作为空穴阻止层、电子阻止层发挥功能。此外，作为负极的第二电极15a也可以是根据需要的层叠构造。在这样的结构中，只有利用第一电极11和第二电极15a夹持有机功能层13的部分成为有机EL元件100的发光区域。
另外，在以上那样的层结构中，为了谋求第一电极11的低电阻化，也可以与第一电极11的电极层11b接触地设置有辅助电极115。
以上那样的结构的有机EL元件100为了防止使用有机材料等构成的有机功能层13的劣化，在基板113上被后述的密封件117密封。该密封件117借助粘接剂119固定在基板113侧。但需要注意的是，第一电极11(引出电极116)以及第二电极15a的端子部分，在基板113上以利用有机功能层13彼此保持了绝缘性的状态以自密封件117露出的状态设置。
另外，用在构成有机EL元件的各层中的材料可以使用公知的材料。
实施例
以下，举出实施例详细说明本发明，但本发明并不限定于此。另外，在实施例中采用了“部”或“％”的表达方式，只要没有特别说明，则表示“质量部”或“质量％”。
有机EL元件的制作
有机EL元件101的制作
当在厚度为75μm的PET(Cosmoshine A4300东洋纺生产)的透明树脂基板上，在真空蒸镀装置内以25nm的厚度进行了以下述结构式表示的含氮化合物N-1的成膜后，使用掩模以10nm的厚度进行了银的成膜来作为阳极。
此外，在各蒸镀用坩埚内以用于制作各元件的最佳的量填充了CuPc(铜酞菁)作为空穴注入材料，并填充了α-NPD作为空穴传输材料，并填充了CBP作为绿色发光层的主体化合物，并填充了Ir(ppy)3作为绿色发光层的掺杂剂，并填充了Alq3作为电子传输材料，并填充了LiF作为电子注入材料。蒸镀用坩埚采用的是利用钼制或钨制电阻加热用材料制成的坩埚。
N-1、CuPc、α-NPD、CBP、Ir(ppy)3、BAlq、Alq3的各结构式分别如下所示。
化学式1
接着，在减压至4×10-4Pa的真空度后，对填充了CuPc的上述蒸镀用坩埚进行通电并加热，以0.1nm/秒的蒸镀速度向树脂基板的ITO电极侧进行CuPc的蒸镀，设置了层厚为15nm的空穴注入层。
接着，对填充了α-NPD的上述蒸镀用坩埚进行通电并加热，以0.1nm/秒的蒸镀速度在空穴注入层上进行α-NPD的蒸镀，设置了厚度为25nm的空穴传输层。
接着，对填充了5质量％的Ir(ppy)3和CBP的上述蒸镀用坩埚进行通电并加热，以0.1nm/秒的总蒸镀速度在空穴传输层上一并进行Ir(ppy)3和CBP的蒸镀，设置了层厚为10nm的绿色发光层。
接着，对填充了BAlq的上述蒸镀用坩埚进行通电并加热，以0.1nm/秒的蒸镀速度在绿色发光层上进行BAlq的蒸镀，设置了层厚为15nm的空穴阻止层。
接着，对填充了Alq3的上述蒸镀用坩埚进行通电并加热，以0.1nm/秒的蒸镀速度在空穴阻止层上进行Alq3的蒸镀，设置了层厚为30nm的电子传输层。
此外，对填充了LiF的上述蒸镀用坩埚进行通电并加热，以0.1nm/秒的蒸镀速度在电子传输层上进行LiF的蒸镀，设置了层厚为1nm的电子注入层。以上述方式形成了有机功能层。
最后，在电子注入层上进行铝的蒸镀，设置了层厚为110nm的阴极。并且，利用厚度为300μm的环氧树脂覆盖上述蒸镀面侧而形成为密封件，当进一步用厚度为12μm的铝箔覆盖而形成为保护膜后，使上述蒸镀面侧固化。以上的操作全都不使元件与大气接触，在氮气氛下的手套箱(纯度为99.999％以上的高纯度氮气的气氛下)内进行。
以上述方式制作了有机EL元件101。在图案形成时，使用的是尺寸为70×100cm的大小的有机EL元件101。
进行了图案形成的有机EL面板101的制作
紫外线照射
使用图2所示的图案形成装置对有机EL元件101进行图案形成而制作了有机EL面板101。图案形成的条件如下所示。
玻璃掩模
使用的是通过照相法对许多检查用图案曝光等而得到的玻璃掩模，通过在涂敷于厚度为5mm、81.3cm×137.9cm大小的玻璃基板(钠钙玻璃)上的感光材料上，横、竖、倾斜45度地配置半节距为0.3mm的线和间隔(每0.3mm交替白色(透明)与黑色的长度为2mm的线状的图案)而得到上述检查用图案。
在玻璃掩模的中央部，使有机EL元件101与玻璃掩模紧密接触，并将发光面朝上放置。
在以下的条件下分别在室温温度25℃的环境下制作了有机EL面板。
箱体
使用了尺寸为W1155mm×D784.5mm×H2500mm，材质为铝制内壁的反射板(厚度为1.5mm)/空气层(厚度为5mm)/铝制外壁(厚度为7.5mm)的具有铝三明治构造的箱体。
反射导光箱体与玻璃掩模的间隙7：5.0mm
紫外线发光部
光源：高压汞弧灯
照射光量：4W/cm2
照射时间5分钟
空气流产生部
使用吹送部为狭缝状的层状空气流产生部，自两短边方向向玻璃掩模的中央方向以相同的风量进行了吹送。
吹送部的狭缝位置：玻璃上表面3mm
空气流产生部的吹送部的角度：与玻璃掩模平行(0度)
空气流产生部与箱体的间隙8为：72mm，在与箱体的短边相对的位置安装有一对空气流产生部。
吹送的空气的温度：25℃
压缩空气压力：0.3MPa
空气消耗量：1500L/min
进行了图案形成的有机EL面板102的制作
在制作有机EL面板101时，使用冷机从有机EL元件的下表面利用冷却水进行了冷却。除此之外，与有机EL面板101的制作同样地制作了有机EL面板102。
冷机：使用在厚度为60mm的铝中具有10mmφ的直径的水冷管的冷机，使温度为20℃的水以5m3/min的速度进行了循环。
进行了图案形成的有机EL面板103的制作
在制作有机EL面板102时停止自空气流产生部的送风。除此之外，与有机EL面板102的制作同样地制作了有机EL面板103。
有机EL面板的尺寸测量
进行了图案形成的有机EL面板104的制作
在制作有机EL面板101时停止了自空气流产生部的送风。除此之外，与有机EL面板101的制作同样地制作了有机EL面板104。也就是说，不使用冷却部件地制作了有机EL面板104。在该情况下，来自紫外线发光部的热使玻璃掩模损坏。
掩模的尺寸测量
测量了从紫外线照射5分钟后的玻璃掩模的长度中减掉紫外线照射前(25℃)的玻璃掩模的长度后得到的由热膨胀导致的长度变化。即，在照射紫外线的过程中，利用基恩士公司生产的激光位移计(LK-H150)测量掩模外形尺寸的位移，根据紫外线照射5分钟后的玻璃掩模的短边侧(自空气流产生部进行吹送的一侧)与长边侧(将吹送的空气排出的一侧)各自2边的平均值，测量了由热膨胀导致的长度的变化。结果如表1所示。
表1
根据表1可知，本发明的有机EL面板101不易受到热的影响。使用了冷机的本发明的有机EL面板102更难受到热的影响。并且可知，只利用冷机进行冷却而制成的比较用的有机EL面板103的冷却效果不充分，由热膨胀导致的长度变化较大。
对有机EL面板进行通电而着眼于半节距为0.3mm的线和间隔的检查用图案时，本发明的有机EL面板101、102虽然亮度稍差，但中心部和周边部的线状的图案均能看得见。相对于此，比较用的有机EL面板103的周边部的检查用图案被完全破坏，无法识别线状的图案。另外可知，不仅周边部的检查用图案不清楚，而且连中央部的检查用图案也观察到被破坏的部分，产生不均。推测是玻璃掩模因热发生挠曲，在玻璃掩模与有机EL元件的密合性非良好的状态下照射了紫外线。
另外，在制作有机EL面板101时，在代替狭缝状的空气流产生部，使用喷嘴状的空气流产生部(喷嘴直径为4.0mmφ，以1个/10mm的间隔设置在箱体的短边侧)以相同的空气量进行了吹送的情况下，能够获得接近于有机EL面板101的良好的结果，在制作有机EL面板101时，在使用了将吹送的空气的温度调节为10℃的空气的情况下，能够获得与使用了冷机的有机EL面板102同样的良好的结果。
工业实用性
本发明的图案形成装置能够进行生产率高且尺寸精度高的图案形成，能够应用在对有机电发光元件进行图案形成而用作面板的各种显示器等中。
附图标记说明
1、紫外线发光部；2、箱体(反射器)；3、玻璃掩模；4、空气流；5、空气流产生部；6、有机EL元件；7、玻璃掩模与箱体的间隙；8、箱体与空气流产生部的距离；9、冷机；10、水冷管；10a、水冷管(导入)；10b、水冷管(排出)；S、狭缝状的吹送部；11、第一电极；11a、基底层；11b、电极层；13、有机功能层；13a、空穴注入层；13b、空穴传输层；13c、发光层；13d、电子传输层；13e、电子注入层；15a、第二电极；100、有机EL元件；113、基板；113a、光引出面；115、辅助电极；116、引出电极；117、密封件；119、粘接剂；h、发出光。
Claims (6)
1.一种图案形成装置，包括紫外线发光部、对自所述紫外线发光部发出的紫外线进行反射引导的箱体以及在该箱体的下部被紫外线照射的玻璃掩模，其特征在于，
在所述玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过所述玻璃掩模与所述箱体的间隙与所述玻璃掩模平行且向所述玻璃掩模的中央方向吹送空气。
2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，
所述空气流产生部具有狭缝状的吹送部。
3.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，
所述空气流产生部具有喷嘴状的吹送部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于,
被吹送的所述空气是被调整过温度的空气。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，
在所述玻璃掩模的下部具有冷机。
6.一种有机电发光元件的图案形成方法，其特征在于，
使用权利要求1至5中任一项所述的图案形成装置对有机电发光元件进行图案形成。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20171201 |
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |