CN107339214A - 线性压缩机及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种线性压缩机及其制造方法，本发明的实施例的线性压缩机包括：活塞，插入缸筒并进行往复运动；所述活塞包括：表面处理本体，由铝或铝合金构成；第一表面处理部，利用第一真空蒸镀方式设置于所述表面处理本体的外面；以及第二表面处理部，利用第二真空蒸镀方式设置于所述第一表面处理部的外面。

Description

线性压缩机及其制造方法

技术领域

本发明涉及线性压缩机及其制造方法。

背景技术

冷却系统是指制冷剂进行循环并产生冷气的系统，其反复执行制冷剂的压缩、冷凝、膨胀以及蒸发过程。为此，所述冷却系统中包括：压缩机、冷凝器、膨胀装置以及蒸发器。此外，所述冷却系统可安装在作为家用电器的冰箱或空调。

一般而言，压缩机(Compressor)是接收从电动电机或涡轮等动力发生装置传递的动力，将空气或制冷剂或除此之外的多种工作气体进行压缩，从而提高其压力的机械装置，压缩机在所述家用电器或整个工业领域中广泛地得到使用。

这样的压缩机大体上可区分为往复式压缩机(Reciprocating compressor)、旋转式压缩机(Rotary compressor)以及涡旋式压缩机(Scroll compressor)，在所述往复式压缩机中，在活塞(Piston)和缸筒(Cylinder)之间形成有供工作气体吸入或吐出的压缩空间，活塞在缸筒内部进行直线往复运动并压缩制冷剂，在所述旋转式压缩机中，在偏心旋转的滚子(Roller)和缸筒之间形成有供工作气体吸入或吐出的压缩空间，滚子沿着缸筒内壁进行偏心旋转并压缩制冷剂，在所述涡旋式压缩机中，在回旋涡旋盘(Orbiting scroll)和固定涡旋盘(Fixed scroll)之间形成有供工作气体吸入或吐出的压缩空间，所述回旋涡旋盘沿着固定涡旋盘进行旋转并压缩制冷剂。

最近，在所述往复式压缩机中，尤其是较多地开发有线性压缩机，其中，活塞直接连接于往复直线运动的驱动电机上，使在不发生因运动转换引起的机械损失而提高压缩效率，并且由简单的结构构成。

通常，在线性压缩机的密闭的壳体内部，活塞利用线性电机在缸筒内部进行往复直线运动，在此过程中吸入制冷剂并进行压缩后将其吐出。

所述线性电机被配置为，在内定子及外定子之间设置有永久磁铁，永久磁铁利用永久磁铁和内(或者，外)定子间的相互电磁力来进行直线往复运动。此外，随着所述永久磁铁以与活塞相连接的状态进行驱动，活塞在缸筒内部进行往复直线运动，吸入制冷剂并进行压缩后将其吐出。

关于现有技术的线性压缩机，本申请人实施了专利申请(以下，在先文献1)并被授予专利权。

在先文献1

1.韩国专利授权号：10-1307688号，授权日：2013年9月5日，发明名称：线性压缩机

所述在先文献1的线性压缩机包括容纳多个部件的壳体。如在先文献1的图2所示，所述壳体的上下方向的高度较高地形成。此外，在所述壳体的内部提供有能够向缸筒和活塞之间进行供油的供油组件。

另外，在线性压缩机提供于冰箱的情况下，所述线性压缩机可安装在设置于冰箱的后方下侧的机械室。

最近，如何增大冰箱的内部储存空间成为消费者主要关注的问题。为了增大所述冰箱的内部储存空间，需要减小所述机械室的容积，而为了减小所述机械室的容积，其主要问题在于减小所述线性压缩机的大小。

但是，由于在先文献1中披露的线性压缩机占据相对较大的体积，用于容纳所述线性压缩机的机械室的容积也需要较大地形成。因此，诸如在先文献1的结构的线性压缩机不适合于需要增大内部储存空间的冰箱。

为了减小所述线性压缩机的大小，需要减小压缩机的主要部件，而在此情况下，将导致压缩机的性能降低。

为了补偿所述压缩机的性能降低的问题，可以考虑增加压缩机的运转频率。但是，压缩机的运转频率越增加，压缩机的内部中循环的油引起的摩擦力将增大，从而降低压缩机的性能。

为了解决这样的问题，本申请人实施了专利申请(以下，在先文献2)并被予以公开。

在先文献2

1.韩国公开号(公开日)：10-2016-0000302号(2016年1月4日)

2.发明名称：线性压缩机及其制造方法

所述在先文献2的线性压缩机中披露了在缸筒和活塞之间的空间供给制冷剂气体来执行轴承功能的气体轴承技术。所述制冷剂气体通过所述缸筒的管嘴向所述活塞的外周面侧流动，从而对往复运动的活塞执行轴承作用。

此外，所述在先文献2的线性压缩机的制造方法包括：在活塞的外周面构成缓冲部的步骤；研磨加工所述缓冲部的表面的步骤；以及在所述研磨加工的表面形成活塞表面处理部的步骤。

根据这样的在先文献2的制造方法，利用相互不同的方法及装置来执行实现缓冲部的第一工艺和实现活塞表面处理部的第二工艺。此外，通常由不同的企业来执行所述第一工艺和第二工艺。

因此，在利用在先文献2的制造方法来制造线性压缩机的情况下，在制造活塞的外形后执行第一工艺，再进行包装并花费物流费用将其移送给用于第二工艺的企业，因此在实际作业上存在不便。此外，所述第一工艺需要相对较高的费用。其结果，存在有线性压缩机的制造费用变高的问题。

此外，根据在先文献2的制造方法，在执行所述第一工艺后，还需要对粗糙度相对较大的缓冲部的表面进行研磨加工的步骤，因此，相应地提高制造费用，在所述研磨加工中产生不良时，将无法实现所需的活塞的表面处理性能。

如果未能较好地实现所述活塞的表面处理性能，在线性压缩机的驱动中，特别是线性压缩机的初始启动时无法充分地发挥气体轴承性能的情况下，活塞和缸筒间将产生摩擦，从而导致活塞被磨损的情形发生。

发明内容

本发明为了解决这样的问题而提出，本发明的目的在于提供一种线性压缩机及其制造方法，在线性压缩机的工作中防止因活塞或缸筒的摩擦导致活塞被磨损的情形发生。特别是，本发明的目的在于提供一种线性压缩机，在线性压缩机的初始启动时，防止活塞被磨损的情形发生。

并且，本发明的目的在于提供一种线性压缩机及其制造方法，为了进行活塞的表面处理，在一个作业空间(腔体)内能够执行多个表面处理工艺。

并且，本发明的目的在于提供一种线性压缩机及其制造方法，提示出在活塞的外周面稳定地实现两个表面处理部，并且具有优异的结合力的表面处理方法。

并且，本发明的目的在于提供一种线性压缩机及其制造方法，提示出能够改进所述两个表面处理部的功能的最佳的厚度。

并且，本发明的目的在于提供一种线性压缩机及其制造方法，与表面处理工艺一同执行能够降低产品的不良率的工艺。

本发明的实施例的线性压缩机包括：活塞，插入缸筒并进行往复运动；所述活塞包括：表面处理本体，由铝或铝合金构成；第一表面处理部，利用第一真空蒸镀方式设置于所述表面处理本体的外面；以及第二表面处理部，利用第二真空蒸镀方式设置于所述第一表面处理部的外面。

所述第二表面处理部的硬度可大于所述第一表面处理部的硬度。

所述第一表面处理部可包含氮化铬(CrN，Chromium Nitride)材料，所述第二表面处理部可包含类金刚石碳(DLC，Diamond-Like Carbon)材料。

所述第一真空蒸镀方式可包括溅射(Sputtering)。

所述第二真空蒸镀方式可包括等离子体化学气相沉积(Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition，PECVD)。

所述第二表面处理部的厚度可大于所述第一表面处理部的厚度。

所述第一表面处理部的厚度可在约1.4～2.4μm的范围形成，所述第二表面处理部的厚度可在约2.1～3.7μm的范围形成。

本发明可还包括：吐出阀，选择性地开放所述缸筒的压缩空间；以及缸筒管嘴，形成于所述缸筒，将通过所述吐出阀排出的制冷剂向所述缸筒的内周面供给。

本发明可还包括：框架，结合于所述缸筒的外侧；以及气体孔，形成于所述框架，将通过所述吐出阀排出的制冷剂向所述缸筒管嘴供给。

本发明的另一方式的线性压缩机的制造方法包括：制造活塞的步骤；将所述活塞设置于夹具的步骤；利用第一等离子体发生装置在所述活塞的外面形成第一表面处理部的步骤；以及利用第二等离子体发生装置在所述第一表面处理部的外面形成第二表面处理部的步骤；形成所述第一表面处理部的步骤以及形成所述第二表面处理部的步骤在一个腔体内进行。

可利用所述第一等离子体发生装置执行溅射(Sputtering)工艺。

所述第一等离子体发生装置可包括铬(Cr)及氮气体(N2)，离子化的铬和离子化的氮相结合而涂覆于所述活塞的外面。

可利用所述第二等离子体发生装置执行等离子体化学气相沉积(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)。

所述第二等离子体发生装置可包括乙炔(acetylene，C2H2)气体，离子化的碳(C)涂覆于所述第一表面处理部的外面。

根据这样的本发明，通过减小包括内部部件的压缩机的大小，能够减小冰箱的机械室的大小，从而能够增大冰箱的内部储存空间。

并且，通过增加压缩机的运转频率，能够防止因内部部件变小引起的性能降低，通过在缸筒和活塞之间使用气体轴承，能够减小因油产生的摩擦力。

并且，通过在活塞的外周面形成表面处理部，能够防止活塞的往复运动期间在活塞的表面上产生磨损。

特别是，通过在活塞的外周面上构成两个表面处理部，能够增加活塞的耐磨性。详细而言，所述两个表面处理部包括利用氮化铬(CrN，Chromium Nitride)进行表面处理的第一表面处理部以及利用类金刚石碳(DLC，Diamond-Like Carbon)进行表面处理的第二表面处理部，能够增加活塞的耐磨性。

所述第一表面处理部设置于活塞的表面处理本体和所述第二表面处理部之间，能够执行提高所述表面处理本体和所述第二表面处理部之间的紧贴力并吸收应力的功能。

特别是，活塞由具有相对低的硬度的铝或铝合金构成，因此，能够利用所述第一表面处理部防止因具有高硬度的第二表面处理部的应力作用于所述活塞而发生活塞变形或磨损的现象。

特别是，所述活塞由铝或铝合金构成，因此其硬度相对较小地形成。此时，如果将应对相对高的第二表面处理部直接形成于所述活塞的外面，则因向所述活塞传递应力而出现所述活塞发生变形的问题。因此，通过设置有本实施例的第一表面处理部能够解决这样的问题。

此外，所述DLC具有硬度及自润滑性优异且具有低摩擦系数的特性，因此，活塞能够利用所述第二表面处理部防止在与缸筒的作用中产生磨损。

并且，能够在一个腔体内对活塞执行表面处理来构成第一、第二表面处理部，因此，简化表面处理工艺并且节省费用。

并且，与缸筒的内周面的表面硬度相比，活塞的表面处理部具有足够大的硬度，因此，能够防止在活塞的往复运动期间，活塞上产生磨损的情形。

并且，设置有能够对使用为气体轴承的制冷剂的进行过滤的过滤器装置，能够防止杂质或油分流入到缸筒管嘴。其结果，能够防止所述缸筒管嘴被堵塞的现象，在缸筒和活塞之间有效地实现气体轴承的作用，从而防止缸筒和活塞的磨损。

附图说明

图1是示出本发明的实施例的线性压缩机的结构的外观立体图。

图2是本发明的实施例的线性压缩机的壳体以及壳体盖的分解立体图。

图3是本发明的实施例的线性压缩机的内部部件的分解立体图。

图4是沿着图1的I-I’线剖开的剖视图。

图5是示出本发明的实施例的活塞插入到缸筒的内部的情形的剖视图。

图6是示出本发明的实施例的活塞和吸入阀的结构的分解立体图。

图7是沿着图6的II-II’线剖开的剖视图。

图8是放大图7的“A”部分的图。

图9是示出本发明的实施例的线性压缩机的制造方法的流程图。

图10是示出本发明的实施例的线性压缩机的制造装置的图。

图11是示出在本发明的实施例的活塞形成第一表面处理部的情形的图。

图12是示出在本发明的实施例的活塞形成第二表面处理部的情形的图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的具体的实施例进行说明。但是，本发明的技术思想并不限定于所披露的实施例，理解本发明的技术思想的本领域的技术人员可以在相同的技术思想的范围内容易地提示出其他实施例。

图1是示出本发明的实施例的线性压缩机的结构的外观立体图，图2是本发明的实施例的线性压缩机的壳体以及壳体盖的分解立体图。

参照图1及图2，本发明的实施例的线性压缩机10包括：壳体101；以及壳体盖102、103，结合于所述壳体101。在宽泛的含义上，所述第一壳体盖102和第二壳体盖103可被理解为所述壳体101的一结构。

在所述壳体101的下侧可结合有腿50。所述腿50可结合于供所述线性压缩机10安装的产品的底座上。作为一例，所述产品可包括冰箱，所述底座包括所述冰箱的机械室底座。作为另一例，所述产品可包括空调机的室外机，所述底座包括所述室外机的底座。

所述壳体101大致呈圆筒形状，可构成沿着横方向卧放的布置或者沿着轴方向卧放的布置。以图1为基准，所述壳体101可沿着横方向较长地延伸，沿着半径方向具有稍低的高度。即，由于所述线性压缩机10可具有较低的高度，在将所述线性压缩机10安装于冰箱的机械室底座时，能够减小所述机械室的高度。

在所述壳体101的外面可设置有终端108(terminal)。所述终端108被理解为将外部电源传送给线性压缩机的电机组件140(参照图3)的结构。所述终端108可与线圈141c(参照图3)的引线相连接。

在所述终端108的外侧设置有支架109(bracket)。所述支架109可包括围绕所述终端108的多个支架。所述支架109可执行保护所述终端108免受外部的冲击等的功能。

所述壳体101的两侧部呈开口。在所述呈开口的壳体101的两侧部可结合有所述壳体盖102、103。详细而言，所述壳体盖102、103包括：第一壳体盖102，结合于所述壳体101的呈开口的一侧部；以及第二壳体盖103，结合于所述壳体101的呈开口的另一侧部。利用所述壳体盖102、103，能够密闭所述壳体101的内部空间。

以图1为基准，所述第一壳体盖102可位于所述线性压缩机10的右侧部，所述第二壳体盖103位于所述线性压缩机10的左侧部。换言之，所述第一、第二壳体盖102、103可以相互面对的方式进行配置。

所述线性压缩机10还包括多个管104、105、106，其设置于所述壳体101或壳体盖102、103，能够吸入、吐出或注入制冷剂。

所述多个管104、105、106包括：吸入管104，使制冷剂吸入到所述线性压缩机10的内部；吐出管105，使压缩的制冷剂从所述线性压缩机10排出；以及工艺管106(processpipe)，用于向所述线性压缩机10补充制冷剂。

作为一例，所述吸入管104可结合于所述第一壳体盖102。制冷剂可通过所述吸入管104沿着轴方向吸入到所述线性压缩机10的内部。

所述吐出管105可结合于所述壳体101的外周面。通过所述吸入管104吸入的制冷剂可沿着轴方向流动并压缩。此外，所述压缩的制冷剂可通过所述吐出管105排出。所述吐出管105可配置在所述第一壳体盖102及所述第二壳体盖103中更靠近于所述第二壳体盖103的位置。

所述工艺管106可结合于所述壳体101的外周面上。作业者可通过所述工艺管106向所述线性压缩机10的内部注入制冷剂。

为了避免与所述吐出管105产生干涉，所述工艺管106可在与所述吐出管105不同的高度上结合于所述壳体101。所述高度被理解为是从所述腿50朝垂直方向(或者半径方向)的距离。通过使所述吐出管105和所述工艺管106在相互不同的高度上结合于所述壳体101的外周面上，能够提高作业者的作业便利性。

在与结合有所述工艺管106的地点对应的壳体101的内周面上，可以相邻的方式设置所述第二壳体盖103的至少一部分。换言之，所述第二壳体盖103的至少一部分可作用为对通过所述工艺管106注入的制冷剂的阻力。

因此，在制冷剂的流路观点上，通过所述工艺管106流入的制冷剂的流路的大小越进入所述壳体101的内部空间其变得越小。在此过程中，可使制冷剂的压力减小而实现制冷剂的气化，在此过程中，可使制冷剂中包含的油分分离。由此，随着分离油分的制冷剂流入活塞130的内部，能够改进制冷剂的压缩性能。所述油分可被理解为是冷却系统中存在的工作油。

在所述第一壳体盖102的内侧面上设置有盖支撑部102a。在所述盖支撑部102a可结合后述的第二支撑装置185。所述盖支撑部102a以及所述第二支撑装置185可被理解为是支撑线性压缩机10的本体的装置。其中，所述压缩机的本体表示设置于所述壳体101的内部的部件，作为一例，可包括进行前后往复运动的驱动部以及支撑所述驱动部的支撑部。所述驱动部可包括诸如活塞130、磁体框架138、永久磁铁146、支持件137(supporter)以及吸入消声器150等部件。此外，所述支撑部可包括诸如共振弹簧176a、176b、后盖170、定子盖149、第一支撑装置165以及第二支撑装置185等部件。

在所述第一壳体盖102的内侧面可设置有挡止件102b。所述挡止件102b被理解为是防止因搬运所述线性压缩机10的过程中产生的振动或冲击等而使所述压缩机的本体，尤其是电机组件140与所述壳体101相碰撞而破损的结构。所述挡止件102b与后述的后盖170相邻地设置，在所述线性压缩机10中发生晃动时，通过所述后盖170被所述挡止件102b干涉，能够防止冲击传递到所述电机组件140。

在所述壳体101的内周面上可设置有弹簧结合部101a。作为一例，所述弹簧结合部101a可配置在与所述第二壳体盖103相邻的位置。所述弹簧结合部101a可结合于后述的第一支撑装置165的第一支撑弹簧166。通过所述弹簧结合部101a与所述第一支撑装置165相结合，所述压缩机的本体能够稳定地支撑于所述壳体101的内侧。

图3是本发明的实施例的线性压缩机的内部部件的分解立体图，图4是示出本发明的实施例的线性压缩机的内部结构的剖视图。

参照图3及图4，本发明的实施例的线性压缩机10包括：缸筒120，设置于所述壳体101的内部；活塞130，在所述缸筒120的内部进行往复直线运动；以及电机组件140，作为线性电机，用于向所述活塞130赋予驱动力。在所述电机组件140进行驱动时，所述活塞130可朝轴方向进行往复运动。

所述线性压缩机10可还包括：吸入消声器150，结合于所述活塞130，用于减小从通过所述吸入管104吸入的制冷剂产生的噪音。通过所述吸入管104吸入的制冷剂经由所述吸入消声器150向所述活塞130的内部流动。作为一例，在制冷剂通过所述吸入消声器150的过程中，能够减小制冷剂的流动噪音。

所述吸入消声器150包括多个消声器151、152、153。所述多个消声器151、152、153包括相互结合的第一消声器151、第二消声器152以及第三消声器153。

所述第一消声器151位于所述活塞130的内部，所述第二消声器152结合于所述第一消声器151的后侧。此外，所述第三消声器153可在其内部容纳所述第二消声器152，并向所述第一消声器151的后方延伸。在制冷剂的流动方向观点上，通过所述吸入管104吸入的制冷剂可依次通过所述第三消声器153、第二消声器152以及第一消声器151。在此过程中，能够减小制冷剂的流动噪音。

所述吸入消声器150还包括消声器滤波器155。所述消声器滤波器155可位于所述第一消声器151与所述第二消声器152相结合的临界面上。作为一例，所述消声器滤波器155可具有圆形的形状，所述消声器滤波器155的外周部可支撑于所述第一、第二消声器151、152之间。

以下对方向进行定义。

“轴方向”可被理解为是所述活塞130进行往复运动的方向，即图4中的横方向。此外，在所述“轴方向”中，将从所述吸入管104朝向压缩空间P的方向，即制冷剂流动的方向定义为“前方”，将其相反方向定义为“后方”。在所述活塞130向前方移动时，所述压缩空间P可被压缩。

另一方面，“半径方向”可被理解为是所述与活塞130进行往复运动的方向垂直的方向，图4中可被理解为是纵方向。

所述活塞130包括：活塞本体131，大致呈圆筒形状；以及活塞凸缘132，从所述活塞本体131沿着半径方向延伸。所述活塞本体131可在所述缸筒120的内部进行往复运动，所述活塞凸缘132在所述缸筒120的外侧进行往复运动。

所述缸筒120被构成为容纳所述第一消声器151的至少一部分以及所述活塞本体131的至少一部分。

在所述缸筒120的内部形成有压缩空间P，在所述压缩空间P中，制冷剂被所述活塞130进行压缩。此外，在所述活塞本体131的前面部形成有使制冷剂流入所述压缩空间P的吸入孔133，在所述吸入孔133的前方设置有用于选择性地开放所述吸入孔133的吸入阀135。在所述吸入阀135的大致中心部形成有结合孔，规定的结合构件135a结合于所述结合孔。

在所述压缩空间P的前方设置有：吐出盖160，形成从所述压缩空间P排出的制冷剂的吐出空间160a；以及吐出阀组件161、163，结合于所述吐出盖160，用于选择性地排出所述压缩空间P中被压缩的制冷剂。所述吐出空间160a包括利用吐出盖160的内部壁进行划分的多个空间部。所述多个空间部沿着前后方向进行配置，并相互进行连通。

所述吐出阀组件161、163包括：吐出阀161，在所述压缩空间P的压力达到吐出压力以上时，所述吐出阀161开放，以使制冷剂流入所述吐出盖200的吐出空间；以及弹簧组装体163，设置于所述吐出阀161和吐出盖160之间，用于朝轴方向提供弹力。

所述弹簧组装体163包括：阀弹簧163a；以及弹簧支撑部163b，用于将所述阀弹簧163a支撑于所述吐出盖160。作为一例，所述阀弹簧163a可包括板簧(plate spring)。此外，所述弹簧支撑部163b可利用注塑工艺以一体的方式注塑成型于所述阀弹簧163a。

所述吐出阀161结合于所述阀弹簧163a，所述吐出阀161的后方部或后面以可支撑的方式设置于所述缸筒120的前面。在所述吐出阀161支撑于所述缸筒120的前面时，所述压缩空间P维持密闭的状态，在所述吐出阀161从所述缸筒120的前面隔开时，所述压缩空间P将开放，所述压缩空间P内部的压缩的制冷剂可被排出。

所述压缩空间P被理解为是所述吸入阀135和所述吐出阀161之间形成的空间。此外，所述吸入阀135可形成于所述压缩空间P的一侧，所述吐出阀161提供于所述压缩空间P的另一侧，即所述吸入阀135的相反侧。

在所述活塞130在所述缸筒120的内部进行往复直线运动的过程中，当所述压缩空间P的压力低于吐出压力且达到吸入压力以下时，所述吸入阀135开放以使制冷剂吸入所述压缩空间P。相反地，当所述压缩空间P的压力达到所述吸入压力以上时，在所述吸入阀135关闭的状态下，所述压缩空间P的制冷剂进行压缩。

另外，当所述压缩空间P的压力达到所述吐出压力以上时，所述阀弹簧163a通过向前方变形来开放所述吐出阀161，制冷剂从所述压缩空间P吐出并排出到吐出盖160的吐出空间。当所述制冷剂的排出结束时，所述阀弹簧163a向所述吐出阀161提供恢复力，从而使所述吐出阀161关闭。

所述线性压缩机10还包括：盖管162a，结合于所述吐出盖160，排出所述吐出盖160的吐出空间中流动的制冷剂。作为一例，所述盖管162a可由金属材质构成。

此外，所述线性压缩机10还包括：环状管162b(loop pipe)，结合于所述盖管162a，将所述盖管162a中流动的制冷剂传送给所述吐出管105。所述环状管162b的一侧部可结合于所述盖管162a，另一侧部结合于所述吐出管105。

所述环状管162b可由柔性材质构成，并且可以相对较长的方式形成。此外，所述环状管162b可从所述盖管162a沿着所述壳体101的内周面以带有弧度的方式延伸，并结合于所述吐出管105。作为一例，所述环状管162b可具有缠绕的形状。

所述线性压缩机10还包括框架110。所述框架110被理解为是用于固定所述缸筒120的结构。作为一例，所述缸筒120可压入(press fitting)所述框架110的内侧。所述缸筒120以及框架110可由铝或铝合金材质构成。

所述框架110以围绕所述缸筒120的方式进行配置。即，所述缸筒120可被设置为容纳于所述框架110的内侧。此外，所述吐出盖160可利用结合构件结合于所述框架110的前面。

所述电机组件140包括：外定子141，固定于所述框架110，以围绕所述缸筒120的方式进行配置；内定子148，以向所述外定子141的内侧隔开的方式进行配置；以及永久磁铁146，位于所述外定子141和内定子148之间的空间。

所述永久磁铁146可利用与所述外定子141及内定子148的相互电磁力进行直线往复运动。此外，所述永久磁铁146可由具有一个极的单个磁铁构成，也可由具有三个极的多个磁铁相结合而构成。

所述永久磁铁146可设置在磁体框架138上。所述磁体框架138大致呈圆筒形状，其可被配置为插入所述外定子141和内定子148之间的空间。

详细而言，以图4的剖视图为基准，所述磁体框架138可结合于所述活塞凸缘132，沿着外侧半径方向延伸并向前方弯折。所述永久磁铁146可设置在所述磁体框架138的前方部。在所述永久磁铁146进行往复运动时，所述活塞130可与所述永久磁铁146一同沿着轴方向进行往复运动。

所述外定子141包括线圈绕体141b、141c、141d以及定子铁芯141a。所述线圈绕体141b、141c、141d包括：绕线管141b(bobbin)；以及线圈141c，沿着所述绕线管的圆周方向缠绕。此外，所述线圈绕体141b、141c、141d还包括：端子部141d，引导与所述线圈141c相连接的电源线向所述外定子141的外部引出或露出。所述端子部141d可被配置为插入框架110的端子插入部。

所述定子铁芯141a包括由多个叠片(lamination)沿着圆周方向进行层积而构成的多个型芯块。所述多个型芯块可以围绕所述线圈绕体141b、141c的至少一部分的方式进行配置。

在所述外定子141的一侧设置有定子盖149。即，所述外定子141的一侧部可被所述框架110支撑，另一侧部被所述定子盖149支撑。

所述线性压缩机10还包括：盖结合构件149a，用于将所述定子盖149与所述框架110相结合。所述盖结合构件149a可贯通所述定子盖149并朝着所述框架110向前方延伸，结合于所述框架110的第一结合孔。

所述内定子148固定在所述框架110的外周上。此外，所述内定子148可由多个叠片在所述框架110的外侧沿着圆周方向进行层积而构成。

所述线性压缩机10还包括用于支撑所述活塞130的支持件137(supporter)。所述支持件137结合于所述活塞130的后侧，在其内侧可以贯通的方式配置所述消声器150。所述活塞凸缘132、磁体框架138以及所述支持件137可利用结合构件进行结合。

在所述支持件137可结合有平衡块179。所述平衡块179的重量可基于压缩机本体的运转频率范围来决定。

所述线性压缩机10还包括：后盖170，结合于所述定子盖149并向后方延伸，所述后盖170被第二支撑装置185支撑。

详细而言，所述后盖170包括三个支撑腿，所述三个支撑腿可结合于所述定子盖149的后面。在所述三个支撑腿和所述定子盖149的后面之间可夹设有间隔件181(spacer)。通过调节所述间隔件181的厚度，能够决定从所述定子盖149至所述后盖170的后端部为止的距离。此外，所述后盖170可被所述支持件137弹性支撑。

所述线性压缩机10还包括：流入引导部156，结合于所述后盖170，引导制冷剂流入所述消声器150。所述流入引导部156的至少一部分可插入所述吸入消声器150的内侧。

所述线性压缩机10还包括：多个共振弹簧176a、176b，其各固有频率得到调节，以使所述活塞130能够进行共振运动。

所述多个共振弹簧176a、176b包括：第一共振弹簧176a，支撑于所述支持件137和定子盖149之间；以及第二共振弹簧176b，支撑于所述支持件137和后盖170之间。在所述多个共振弹簧176a、176b的作用下，在所述线性压缩机10的内部进行往复运动的驱动部能够执行稳定的移动，并减小因所述驱动部移动而引起的振动或噪音。

所述支持件137包括：第一弹簧支撑部137a，结合于所述第一共振弹簧176a。

所述线性压缩机10包括：多个密封构件127、128、129a、129b，用于增大所述框架110与所述框架110周边的部件间的结合力。详细而言，所述多个密封构件127、128、129a、129b包括：第一密封构件127，设置于所述框架110与所述吐出盖160相结合的部分。所述第一密封构件127可配置在所述框架110的第二安装槽。

所述多个密封构件127、128、129a、129b还包括：第二密封构件128，设置于所述框架110与所述缸筒120相结合的部分。所述第二密封构件128可配置在所述框架110的第一安装槽。

所述多个密封构件127、128、129a、129b还包括：第三密封构件129a，设置于所述缸筒120和所述框架110之间。所述第三密封构件129a可配置在所述缸筒120的后方部上形成的缸筒槽。所述第三密封构件129a可执行防止框架的内周面和缸筒的外周面之间形成的气囊(gas pocket)的制冷剂向外部泄漏，并增大所述框架110和缸筒120的结合力的功能。

所述多个密封构件127、128、129a、129b还包括：第四密封构件129b，设置于所述框架110与所述内定子148相结合的部分。所述第四密封构件129b可配置在所述框架110的第三安装槽。所述第一至第四密封构件127、128、129a、129b可具有环形状。

所述线性压缩机10还包括：第一支撑装置165，结合于所述吐出盖160，支撑所述压缩机10的本体的一侧。所述第一支撑装置165以与所述第二壳体盖103相靠近的方式进行配置，能够以弹性方式支撑所述压缩机10的本体。详细而言，所述第一支撑装置165包括第一支撑弹簧166。所述第一支撑弹簧166可结合于所述弹簧结合部101a。

所述线性压缩机10还包括：第二支撑装置185，结合于所述后盖170，支撑所述压缩机10的本体的另一侧。所述第二支撑装置185可结合于所述第一壳体盖102，并以弹性方式支撑所述压缩机10的本体。详细而言，所述第二支撑装置185包括第二支撑弹簧186。所述第二支撑弹簧186可结合于所述盖支撑部102a。

图5是示出本发明的实施例的活塞插入到缸筒的内部的情形的剖视图。

参照图5，本发明的实施例的缸筒120包括：缸筒本体121，沿着轴方向延伸；以及缸筒凸缘122，设置在所述缸筒本体121的前方部外侧。所述缸筒本体121呈具有轴方向的中心轴的圆筒形状，并插入到所述框架本体111的内部。由此，所述缸筒本体121的外周面可与所述框架本体111的内周面相面对。

在所述缸筒本体121形成有气体流入部126，通过所述吐出阀161排出的制冷剂中的至少一部分制冷剂流入到所述气体流入部126。所述至少一部分制冷剂被理解为是作为活塞130和缸筒120之间的气体轴承使用的制冷剂。

作为所述气体轴承使用的制冷剂经由所述框架110上形成的气体孔114，并向所述框架110的内周面和所述缸筒120的外周面之间形成的气囊。此外，所述气囊的制冷剂可向所述气体流入部126流动。

详细而言，所述气体流入部126可被构成为从所述缸筒本体121的外周面朝半径方向内侧凹陷。此外，所述气体流入部126可被构成为以轴方向中心轴为基准，沿着所述缸筒本体121的外周面具有圆形的形状。

所述气体流入部126可设置有多个。作为一例，所述气体流入部126可设置有两个。所述两个气体流入部126中的第一气体流入部126a配置在所述缸筒本体121的前方部，即与吐出阀161靠近的位置，第二气体流入部126b配置在所述缸筒本体121的后方部，即与制冷剂的压缩机吸入侧靠近的位置。换言之，所述第一气体流入部126a可以所述缸筒本体121的前后方向中心部为基准位于前侧，所述第二气体流入部126b位于后侧。

在所述第一、第二气体流入部126a、126b可设置有缸筒过滤器构件126c。所述缸筒过滤器构件126c执行阻断规定大小以上的杂质流入到所述缸筒120的内部，并吸附制冷剂中包含的油分的功能。其中，所述规定大小可以是1μm。

所述缸筒过滤器构件126c包括所述气体流入部126上缠绕的线状物(thread)。详细而言，所述线状物(thread)可由聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate，PET)材质构成，并且具有规定的厚度或直径。

所述缸筒本体121包括：缸筒管嘴125(cylinder nozzle)，从所述气体流入部126沿着半径方向内侧延伸。所述缸筒管嘴125可以延伸至所述缸筒本体121的内周面。所述缸筒管嘴125包括：第一管嘴部125a，从所述第一气体流入部126a向所述缸筒本体121的内周面延伸；以及第二管嘴部125b，从所述第二气体流入部126b向所述缸筒本体121的内周面延伸。

在通过所述第一气体流入部126a的过程中被所述缸筒过滤器构件126c过滤的制冷剂将通过所述第一管嘴部125a流入到所述第一缸筒本体121的内周面和所述活塞本体131的外周面之间的空间。此外，在通过所述第二气体流入部126b的过程中被所述缸筒过滤器构件126c过滤的制冷剂将通过所述第二管嘴部125b流入到所述第一缸筒本体121的内周面和所述活塞本体131的外周面之间的空间。

通过所述第一、第二管嘴部125a、125b向所述活塞本体131的外周面侧流动的气态制冷剂向所述活塞130提供悬浮力，从而执行针对所述活塞130的气体轴承的功能。

所述缸筒凸缘122包括：第一凸缘，从所述缸筒本体121沿着半径方向外侧延伸；以及第二凸缘，从所述第一凸缘向前方延伸。此外，所述缸筒本体121以及所述缸筒凸缘122形成变形空间部122e，所述变形空间部122e使所述缸筒120在压入到所述框架110的过程中能够实现变形。

图6是示出本发明的实施例的活塞和吸入阀的结构的分解立体图，图7是沿着图6的II-II’线剖开的剖视图，图8是放大图7的“A”部分的图。

参照图6至图8，本发明的实施例的线性压缩机10包括：活塞130，在缸筒120的内部能够沿着轴方向即前后方向进行往复运动；以及吸入阀135，结合于所述活塞130的前侧。

所述线性压缩机10还包括：阀结合构件134，用于将所述吸入阀135结合于所述活塞130的结合孔133a。所述结合孔133a形成在所述活塞130的前端面的大致中心部。所述阀结合构件134可贯通所述吸入阀135的阀结合孔135a并结合于所述结合孔133a。

所述活塞130包括：活塞本体131，具有大致圆柱形状并沿着前后方向延伸；以及活塞凸缘132，从所述活塞本体131沿着半径方向外侧延伸。

所述活塞本体131的前方部包括：本体前端部131a，形成有所述结合孔133a。此外，在所述本体前端部131a形成有被所述吸入阀135选择性地遮蔽的吸入孔133。所述吸入孔133形成有多个，所述多个吸入孔133形成在所述结合孔133a的外侧。作为一例，所述多个吸入孔133可以围绕所述结合孔133a的方式进行配置。

所述活塞本体131的后方部可呈开口，以实现制冷剂的吸入。所述吸入消声器150中的至少一部分，即第一消声器151可通过所述呈开口的活塞本体的后方部插入到所述活塞本体131的内部。

在所述活塞本体131的外周面形成有第一活塞槽136a。所述第一活塞槽136a可以所述活塞本体131的半径方向中心线为基准位于前方。所述第一活塞槽136a可被理解为是引导通过所述缸筒管嘴125流入的制冷剂气体顺畅地进行流动，并为了防止压力损失而设置的结构。此外，所述第一活塞槽136a沿着所述活塞本体131的外周面周缘形成，作为一例可具有环形状。

在所述活塞本体131的外周面形成有第二活塞槽136b。所述第二活塞槽136b可以所述活塞本体131的半径方向中心线为基准位于后方。所述第二活塞槽136b可被理解为是“排出引导槽”，其引导为了所述活塞130悬浮而使用的制冷剂气体向所述缸筒120的外部排出。随着制冷剂气体通过所述第二活塞槽136b向所述缸筒120的外部排出，能够防止气体轴承中使用的制冷剂气体经由所述活塞本体131的前方再流入到所述压缩空间P的情形。

所述第二活塞槽136b从所述第一活塞槽136a相隔开，并沿着所述活塞本体131的外周面周缘形成。作为一例，所述第二活塞槽136b可具有环形状。此外，所述第二活塞槽136b可形成有多个。所述第二活塞槽136b的大小可以小于所述第一活塞槽136a的大小。

所述活塞凸缘132包括：凸缘本体132a，从所述活塞本体131的后方部沿着半径方向外侧延伸；以及活塞结合部132b，从所述凸缘本体132a沿着半径方向外侧更加延伸。

所述活塞结合部132b包括：活塞结合孔132c，规定的结合构件结合于所述活塞结合孔132c。所述结合构件可贯通所述活塞结合孔132c并结合于磁体框架138以及所述支持件137。此外，所述活塞结合部132b设置有多个，所述多个活塞结合部132b可以相互隔开的方式配置于所述凸缘本体132a的外周面。所述第二活塞槽136b可被理解为配置于所述第一活塞槽136a和所述活塞凸缘132之间。

所述活塞130可由铝或铝合金构成。此外，通过在所述活塞130执行表面处理，能够提高活塞130的耐磨性。作为一例，所述活塞130的表面处理可在所述活塞本体131及活塞凸缘132上执行。

详细而言，所述活塞130包括：表面处理本体130a；第一表面处理部130b，设置于所述表面处理本体130a的外面；以及第二表面处理部130c，设置于所述第一表面处理部130b的外面。

所述表面处理本体130a可被理解为是在执行表面处理之前，活塞本体131及活塞凸缘132的制造完成并且进行了清洗的状态的母体。即，所述表面处理本体130a可包括所述活塞本体131以及活塞凸缘132。作为一例，所述表面处理本体130a尤其是活塞本体131的厚度可在约2.5～3mm的范围内形成。

所述第一表面处理部130b可包含氮化铬(CrN，Chromium Nitride)材料。所述氮化铬材料可利用真空蒸镀(Vacuum Evaporation)方式形成于所述表面处理本体130a的外面。作为一例，所述第一表面处理部130b可利用真空蒸镀工艺中的物理蒸镀(Physical vapordeposition，PVD)工艺来形成。所述物理蒸镀工艺可包含溅射(Sputtering)工艺。

所述氮化铬材料设置于所述表面处理本体130a和所述第二表面处理部130c之间，执行用于提高所述表面处理本体130a和所述第二表面处理部130c之间的紧贴力并吸收应力的功能。

所述第一表面处理部130b的厚度H1可在约1.4～2.4μm的范围形成。作为一例，所述第一表面处理部130b的厚度可形成为约1.9μm。此外，所述第一表面处理部130b的表面强度可在约500Hv或其以上的范围形成。其中，“Hv”表示维氏硬度。

所述活塞130由具有相对低的硬度的铝或铝合金构成，因此，可利用所述第一表面处理部130b来防止因具有高硬度的第二表面处理部130b的应力作用于所述活塞130而发生活塞的变形或磨损的现象。

所述第二表面处理部130c可包含类金刚石碳(DLC，Diamond-Like Carbon)材料。所述DLC材料可利用真空蒸镀方式形成于所述表面处理本体130a的外面。作为一例，所述第二表面处理部130c可利用真空蒸镀工艺中的化学蒸镀(Chemical vapor deposition，CVD)工艺形成。所述化学蒸镀工艺可包含等离子体化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition，PECVD)工艺。

所述第二表面处理部130c以与所述缸筒120的内周面相面对的方式进行配置，具有高硬度、优异的自润滑性以及低摩擦系数的特性，因此能够增加活塞的耐磨性。由此，所述活塞130在所述缸筒120的摩擦作用中能够减少发生摩擦的情形。此外，所述第二表面处理部130c在化学上稳定且具有优异的表面粗糙度，因而有助于改进气体轴承的性能。

所述第二表面处理部130c的厚度H2可在约2.1～3.7μm的范围形成。作为一例，所述第二表面处理部130c的厚度可形成为约2.9μm。此外，所述第二表面处理部130c的表面硬度可在约1400Hv或其以上的范围形成。

所述第二表面处理部130c的厚度可以大于所述第一表面处理部130b的厚度。实质上，在表面处理部的功能性观点上，对所述活塞130的耐磨性作出贡献的表面处理部为所述第二表面处理部130c，所述第一表面处理部130b用于紧贴所述表面处理本体130a和所述第二表面处理部130c，吸收从所述第二表面处理部130c传递的应力以减小所述应力作用于所述表面处理本体130a。

因此，通过相对较大地形成所述第二表面处理部130c的厚度，所述第一表面处理部130b的厚度则形成为能够吸收所述应力的程度的厚度，能够增加所述活塞130的耐磨性的同时，减少作业工艺的时间及费用。

即，在增加所述第一表面处理部130b或第二表面处理部130c的厚度的情况下，虽然表面处理性能变得优异，但是将需要较多的时间及费用。此外，所述表面处理部的厚度对缸筒的内周面和活塞的外周面之间的轴承公差设计也构成影响，因此，将所述厚度增加到设定水平以上将受到限制。

在所述缸筒本体121的内周面缸筒表面处理部所述缸筒表面处理部可以与所述活塞130的第二表面处理部130c相面对的方式进行配置。由于所述缸筒120为固定的装置，所述活塞130为高速往复运动的装置，为了减小所述活塞130的磨损，所述活塞130的表面硬度可以大于所述缸筒120的表面硬度。

因此，所述第二表面处理部130c的表面硬度可以大于所述缸筒本体121的内周面上设置的缸筒表面处理部的表面硬度。所述缸筒本体121可由铝或铝合金构成。

作为一例，所述缸筒表面处理部由阳极氧化覆膜(Anodizing layer，阳极氧化覆膜)构成。此外，所述阳极氧化覆膜的表面硬度可根据所涂覆的材料(母材)的状态或成分而不同，其形成为约500～600Hv。

详细而言，用于形成所述阳极氧化覆膜的技术为铝涂层的一种，其被理解为是利用了当将铝作为阳极进行通电时，利用阳极中产生的氧来使铝面被氧化而产生氧化铝覆膜的特性的加工技术。所述阳极氧化覆膜具有优异的耐蚀性及耐绝缘性的特性。

图9是示出本发明的实施例的线性压缩机的制造方法的流程图，图10是示出本发明的实施例的线性压缩机的制造装置的图，图11是示出在本发明的实施例的活塞形成第一表面处理部的情形的图，图12是示出在本发明的实施例的活塞形成第二表面处理部的情形的图。

一同参照图9至图12对本发明的实施例的线性压缩机10的制造方法进行说明。

首先，当活塞130即活塞本体131及活塞凸缘132的制造完成时，执行用于表面处理的入库，可由作业者执行入库检查以确认活塞130中是否存在不良(步骤S11)。

在所述入库检查后，可执行所述活塞130的清洗工艺。作为一例，所述活塞130可进行超声波清洗。此外，在所述清洗工艺后实施外观检查(步骤S12)。

完成所述外观检查的活塞130可设置于腔体300(参照图10)内安装的夹具310(jig)(参照图10)。所述夹具310包括活塞支撑装置320，所述活塞130的活塞凸缘132可稳定地结合于所述活塞支撑装置320。作为一例，所述活塞本体310可被配置为从所述活塞支撑装置320或活塞凸缘132向下方延伸(步骤S13)。

执行所述活塞130的表面处理工艺。所述表面处理工艺可包括基于真空蒸镀的涂覆工艺。

详细而言，可执行所述活塞130的第一表面处理工艺。首先，去除所述腔体300内的残留气体并形成一定水平的真空状态。所述腔体300中作为运载气体(carrier gas)可包含氩气(Ar)以及自由电子(e-)。此外，所述腔体300中可还包含氮气(N2)。作为一例，所述氮气可被注入。

参照图10及图11，在所述腔体300可设置有第一等离子体发生装置350。可利用所述第一等离子体发生装置350执行所述第一活塞130的第一表面处理工艺。所述第一表面处理工艺可包含物理蒸镀(Physical vapor deposition，PVD)工艺。

详细而言，所述第一等离子体发生装置350包括：第一基板351，具有施加(-)电压的第一电压供给部352；以及靶向粒子354(target particle)，设置于所述第一基板351，构成所述活塞130上要表面处理的靶。所述靶向粒子354包含铬(Cr)。

此外，所述第一等离子体发生装置350包括：第二基板355，具有施加(+)电压的第二电压供给部356；以及表面处理本体130a，设置于所述第二基板355，用于执行表面处理工艺。即，通过所述第二基板355可向所述表面处理本体130a施加(+)电压。

当所述第一、第二基板351、355上分别施加(-)电压及(+)电压时，具有(-)性质的自由电子(e-)将向作为(+)极的第二基板355移动，并与氩气及氮气相碰撞。在此过程中，将产生等离子体。

利用所述碰撞，所述氩气及氮气将进行离子化而成为氩离子(Ar+)及氮离子(N+)。此外，所述氩离子(Ar+)及氮离子(N+)向施加有(-)电压的靶向粒子354侧移动。

所述氩离子(Ar+)及氮离子(N+)与所述靶向粒子354相碰撞，并从所述第一基板351分离所述靶向粒子354。所述分离的靶向粒子354与所述氮离子(N+)相结合，所述结合的粒子(CrN)可蒸镀于所述表面处理本体130a。这样的方式为“第一真空蒸镀方式”，将其称为溅射(sputtering)，利用所述溅射来在所述活塞130形成第一表面处理部130b(步骤S14)。

在形成所述第一表面处理部130b后，可在所述腔体300内执行用于形成第二表面处理部130c的工艺。在所述腔体300可设置有第二等离子体发生装置360。可利用所述第二等离子体发生装置360执行所述第一活塞130的第二表面处理工艺。所述第二表面处理工艺可包括化学蒸镀(Chemical vapor deposition，CVD)工艺。

在所述腔体300内作为工作气体注入乙炔(acetylene，C2H2)气体。此外，通过所述第二等离子体发生装置360的电极施加高电压。利用所述施加的电压，所述乙炔气体被离子化而变换为等离子体状态。

此外，向所述离子化的粒子施加高温的热量来诱导化学反应。在所述离子化的粒子的化学反应过程中，碳(C)蒸镀于所述第一表面处理部130b的表面，其余离子(H+)相互结合并以气体状态(H2)排出。这样的方式为“第二真空蒸镀方式”，将其称为等离子体化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)工艺，利用所述等离子体化学气相沉积，在所述第一表面处理部130b的外面形成第二表面处理部130c(步骤S15)。

利用如上所述的制造方法，可在所述活塞130的外面依次地蒸镀第一表面处理部130b及第二表面处理部130b。利用所述第一表面处理部130b的结构，能够改进所述活塞130的耐磨性。此外，利用所述第二表面处理部130c的结构，能够增大所述活塞130和第二表面处理部130c的结合力，并减小向所述活塞130传递的应力。

此外，由于所述第一、第二表面处理部130b、130c可在一个腔体300内依次地执行，能够简化活塞130的表面处理工艺并减少处理费用。

在执行所述第二表面处理工艺后，可进行表面处理完成的活塞130的物性检查，即，检查活塞130的硬度、粗糙度以及厚度等(步骤S16)。

本发明提示出另一实施例。

所述第一表面处理部130b可包括多个表面处理部。所述多个表面处理部可包括：如上实施例所述的由氮化铬(CrN)材料构成的一表面处理部以及由镍-磷(Ni-P)合金材料构成的另一表面处理部。

所述镍-磷合金材料可利用无电解(electroless)镍电镀(plating)方式形成于所述活塞本体131的外面，可具有镍(Ni)为90～92％、磷(P)为9～10％的化学组分比率。

所述镍-磷合金材料改进表面的耐蚀性及耐磨性，并具有润滑性优异的特性。所述镍-磷合金材料的表面硬度可形成为约600～700Hv。

作为一例，可在所述表面处理本体103a的外面设置有由所述氮化铬材料构成的一表面处理部，在所述一表面处理部的外面设置有由所述镍-磷合金材料构成的另一表面处理部。此外，可在所述另一表面处理部的外面设置有所述第二表面处理部130c。

作为另一例，可在所述表面处理本体103a的外面设置有由所述镍-磷合金材料构成的另一表面处理部，在所述另一表面处理部的外面设置有由所述氮化铬材料构成的一表面处理部。此外，可在所述一表面处理部的外面设置有所述第二表面处理部130c。

Claims (10)

1.一种线性压缩机，其中，

包括：

活塞，插入缸筒并进行往复运动；

所述活塞包括：

表面处理本体，由铝或铝合金构成，

第一表面处理部，利用第一真空蒸镀方式设置于所述表面处理本体的外面，以及

第二表面处理部，利用第二真空蒸镀方式设置于所述第一表面处理部的外面。

2.根据权利要求1所述的线性压缩机，其中，

所述第二表面处理部的硬度大于所述第一表面处理部的硬度。

3.根据权利要求2所述的线性压缩机，其中，

所述第一表面处理部包含氮化铬材料，

所述第二表面处理部包含类金刚石碳材料。

4.根据权利要求1所述的线性压缩机，其中，

所述第一真空蒸镀方式包括溅射，

所述第二真空蒸镀方式包括等离子体化学气相沉积。

5.根据权利要求1所述的线性压缩机，其中，

所述第二表面处理部的厚度大于所述第一表面处理部的厚度。

6.根据权利要求1所述的线性压缩机，其中，

还包括：

吐出阀，选择性地开放所述缸筒的压缩空间；

缸筒管嘴，形成于所述缸筒，将通过所述吐出阀排出的制冷剂向所述缸筒的内周面供给；

框架，结合于所述缸筒的外侧；以及

气体孔，形成于所述框架，将通过所述吐出阀排出的制冷剂向所述缸筒管嘴供给。

7.根据权利要求1所述的线性压缩机，其中，

所述缸筒的内周面包括由阳极氧化覆膜构成的缸筒表面处理部。

8.根据权利要求1所述的线性压缩机，其中，

所述第一表面处理部包括多个表面处理部，

所述多个表面处理部包括：

一表面处理部，利用蒸镀氮化铬材料来构成，以及

另一表面处理部，由镍-磷合金材料构成。

9.一种线性压缩机的制造方法，其中，

包括：

制造活塞的步骤，

将所述活塞设置于夹具的步骤，

利用第一等离子体发生装置在所述活塞的外面形成第一表面处理部的步骤，以及

利用第二等离子体发生装置在所述第一表面处理部的外面形成第二表面处理部的步骤；

形成所述第一表面处理部的步骤以及形成所述第二表面处理部的步骤在一个腔体内进行。

10.根据权利要求9所述的线性压缩机的制造方法，其中，

所述第一等离子体发生装置包括铬及氮气体，离子化的铬和离子化的氮相结合而涂覆于所述活塞的外面，

所述第二等离子体发生装置包括乙炔气体，离子化的碳涂覆于所述第一表面处理部的外面。