CN107218326A - 一种vcm弹片的制作方法 - Google Patents

一种vcm弹片的制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107218326A
CN107218326A CN201710611118.1A CN201710611118A CN107218326A CN 107218326 A CN107218326 A CN 107218326A CN 201710611118 A CN201710611118 A CN 201710611118A CN 107218326 A CN107218326 A CN 107218326A
Authority
CN
China
Prior art keywords
etching
substrate
shell fragments
preparation
sided
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710611118.1A
Other languages
English (en)
Inventor
周武
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunshan Fulaiji Electronic Technology Co Ltd
Original Assignee
Kunshan Fulaiji Electronic Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunshan Fulaiji Electronic Technology Co Ltd filed Critical Kunshan Fulaiji Electronic Technology Co Ltd
Priority to CN201710611118.1A priority Critical patent/CN107218326A/zh
Publication of CN107218326A publication Critical patent/CN107218326A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F16F1/18—Leaf springs
    • F16F1/185—Leaf springs characterised by shape or design of individual leaves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/361—Removing material for deburring or mechanical trimming

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

本发明提供了一种VCM弹片的制作方法，包括：在基板上同时曝光并通过激光蚀刻机进行双面蚀刻出预设形状得到所述VCM弹片，所述基板包括厚度为0.03mm‑0.08mm的铜镍锡合金BF158。本案采用双面蚀刻的方式使得弹丝的横截面高低平整，可以使弹片在装配和使用过程中不会由于受力不均造成马达的驱动不好，从而提升了聚焦对位时间和拍摄质量；确保摄像头不会出现轻微的抖动现象，提升了产品良率和生产效率。

Description

一种VCM弹片的制作方法
技术领域
本发明涉及自动对焦马达领域，特别是涉及一种VCM弹片的制作方法。
背景技术
由于近几年内中国电子产品产量的迅速增长，随之对马达的需求量及要求也越来越高，势必会带动VCM 弹片行业的迅猛发展。VCM弹片主要应用于手机摄像头自动对焦马达，自动对焦与光学变焦的原理不同，光学变焦是通过移动镜头内部镜片来改变焦点的位置，改变镜头焦距的长短，并改变镜头的视角大小，从而实现影像的放大与缩小；未来两年，随着数码产品的普及，具备自动对焦功能的手机将成为市场主流。因国内蚀刻通常为单面曝光单面蚀刻工艺，蚀刻成品驱动部分通常会出现梯形形状，弹丝的横截面高低不平整，从而影响马达的性能及拍照效果。因此，VCM弹片的制作方法将面临巨大挑战。
发明内容
本发明的目的在于提供一种快速高精度、节约生产成本的VCM弹片的制作方法。
一种VCM弹片的制作方法，包括：在基板上同时曝光并通过激光蚀刻机采用双面蚀刻工艺制作出预设形状得到所述VCM弹片，所述基板包括厚度为0.03mm-0.08mm的铜镍锡合金BF158；
其中，所述双面蚀刻工艺具体包括：
(1)在真空状态或惰性气氛的保护下，在所述基板的上表面和下表面进行曝光处理，具体的，在基板的上表面和下表面分别涂覆感光材料，在所述上表面和下表面的感光材料上贴附与预设形状完全对应相同的菲林，所述菲林上的图案为阵列分布的圆形，然后进行曝光处理，曝光后将菲林去掉，并清洗除去所述基板上表面和下表面的未固化感光材料；
(2)先将掩膜后的基板上表面或下表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，然后将基板翻转，将基板的下表面或上表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，完成对基板的双面蚀刻；所述双面蚀刻中的蚀刻液包含以下组分：HCL、CU2 +、乳化剂SG、余量为水；
(3)对双面蚀刻后的基板进行脱膜处理，除去掩膜层，并进行清洗、抗氧化处理、烘干。
优选的是，所述的VCM弹片的制作方法，其中，所述激光蚀刻机包括平行曝光机。
优选的是，所述的VCM弹片的制作方法，其中，所述平行曝光机的激光波长采用365nm，脉宽不大于15ps。
优选的是，所述的VCM弹片的制作方法，其中，所述步骤（1）中菲林上的圆形图案直径比需在所述基板上加工出的圆孔直径小 0.1～0.12mm。
优选的是，所述的VCM弹片的制作方法，其中，所述步骤（2）中，对所述基板的上表面和下表面进行蚀刻的蚀刻液喷淋压力分别为 0.3pai～1.4pai、0.9pai～1.1pai，蚀刻补偿压力0.1MPa-1.1MPa，蚀刻温度为44.5℃-45.5℃，蚀刻流量为140L/min-160L/min。
本发明的VCM弹片的制作方法，采用双面蚀刻的方式使得弹丝的横截面高低平整，可以使弹片在装配和使用过程中不会由于受力不均造成马达的驱动不好，从而提升了聚焦对位时间和拍摄质量；确保摄像头不会出现轻微的抖动现象，提升了产品良率和生产效率。
根据下文结合附图对本发明具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本发明的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
图1是根据本发明一个实施例的VCM弹片的制作方法所制作出的VCM弹片的示意图。
具体实施方式
参见图1的一种VCM弹片，弹片具有一个平板，平板的几何中心开设有一通孔1，通孔1使得穿过镜片的光线能通过弹片;平板具有一个围绕通孔1且远离通孔1的外框2和一个围绕通孔1且靠近通孔1的内框3及位于外框2与内框3之间的弹力部。外框2呈方形结构，其四个边角分别设有定位孔4，与内框3接触的部位设为波浪形，外框2沿平板中心线纵向一分为二呈对称分离状态。
针对图1中的高精度的VCM弹片，包括一方形弹片本体，弹片本体中心设有镜头通孔1，通孔1的周围四边通常会有不同大小的弹丝绕线组成弹力部，此弹线主要为马达的驱动部分，其主要原理为VCM弹片在磁场内会通上电流，高精度的弹片因为尺寸控制的比较好，通电后其电流差异很小，整个马达的特性性能会很好。为了制作出高精度的弹片，本案研发出一种采用双面同时曝光同时蚀刻的新工艺，提供了一种快速高精度的VCM弹片制作方法，提高了产品品质，降底了生产成本同时提高了生产效率。
实施例1：
一种VCM弹片的制作方法，包括：在基板上同时曝光并通过激光蚀刻机采用双面蚀刻工艺制作出预设形状得到所述VCM弹片，所述基板包括铜镍锡合金BF158；
其中，所述双面蚀刻工艺具体包括：
(1)在真空状态或惰性气氛的保护下，该条件下，基板在曝光、蚀刻过程中不容易被氧化，提升产品品质。在所述基板的上表面和下表面进行曝光处理，具体的，在基板的上表面和下表面分别涂覆感光材料，在所述上表面和下表面的感光材料上贴附与预设形状完全对应相同的菲林，所述菲林上的图案为阵列分布的圆形，然后进行曝光处理，曝光后将菲林去掉，并清洗除去所述基板上表面和下表面的未固化感光材料；
(2)先将掩膜后的基板上表面或下表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，然后将基板翻转，将基板的下表面或上表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，完成对基板的双面蚀刻；所述双面蚀刻中的蚀刻液包含以下组分：HCL、CU2 +、乳化剂SG，其中，HCL60～70％、CU2 +10～20％、乳化剂SG0.1～0.3％、余量为水，可以质量比可以采用1.2mol/L的HCL、110g/L的CU2 + 、含硬脂酸聚氧乙烯醚比重为1.25的乳化剂SG；
(3)对双面蚀刻后的基板进行脱膜处理，除去掩膜层，并进行清洗、抗氧化处理、烘干。
作为优选，BF158的厚度为0.03mm-0.08mm均可。
在实施例1中，采用双面的的光化学蚀刻技术生产VCM弹片，双面光化学蚀刻更能保证VCM弹片平整度；通过更改光化学蚀刻的蚀刻液化学成分、蚀刻设备的结构和蚀刻参数等，实现更高的加工精度。
在实施例1中，VCM弹片采用BF158,是高强度高镍含锡铜合金，含有Ni、Cu、Sn等贵金属的五元合金，是最优良的电接点材料，具有导电能力强，接触电阻稳定、耐腐蚀、高可靠性能，弹性能力强。
在实施例1中，采用双面光化学蚀刻技术生产VCM弹片，双面光化学蚀刻技术的核心同时进行双面蚀刻，避免二次蚀刻时产生对蚀刻好的一面造成变形等情况，还有对蚀刻液成分的配比、调整和控制，通过动态加入一些化学药品来调整蚀刻液中消耗掉的的CU2 +，控制蚀刻速度恒定不变，保证了蚀刻零件的更高尺寸精度。
在实施例1中，采用同时双面曝光、双面光化学蚀刻技术生产VCM弹片，在传统的曝光系统上增加滤光系统，使和感光材料发生反应的光为平行光；同时将原蚀刻机喷淋系统喷嘴的排列改为交叉排列，喷杆的角度从90度变为60度，并改为单管控制压力；增加了蚀刻液在设备中的循环回流系统。
实施例2：
在实施例1基础上，作为优选，激光蚀刻机采用平行曝光机。平行曝光机的激光波长采用365nm，脉宽不大于15ps。
实施例3：
在实施例1基础上，步骤（1）中菲林上的圆形图案直径比需在所述基板上加工出的圆孔直径小 0.1～0.12mm；步骤（2）中，对基板的上表面和下表面进行蚀刻的蚀刻液喷淋压力分别为 0.3pai～1.4pai、0.9pai～1.1pai，蚀刻补偿压力0.1MPa-1.1MPa，蚀刻温度为44.5℃-45.5℃，蚀刻流量为140L/min-160L/min。
至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本发明的多个示例性实施例，但是，在不脱离本发明精神和范围的情况下，仍可根据本发明公开的内容直接确定或推导出符合本发明原理的许多其他变型或修改。因此，本发明的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

Claims (5)

1.一种VCM弹片的制作方法，其特征在于，包括：在基板上同时曝光并通过激光蚀刻机采用双面蚀刻工艺制作出预设形状得到所述VCM弹片，所述基板包括厚度为0.03mm-0.08mm的铜镍锡合金BF158；
其中，所述双面蚀刻工艺具体包括：
(1)在真空状态或惰性气氛的保护下，在所述基板的上表面和下表面进行曝光处理，具体的，在基板的上表面和下表面分别涂覆感光材料，在所述上表面和下表面的感光材料上贴附与预设形状完全对应相同的菲林，所述菲林上的图案为阵列分布的圆形，然后进行曝光处理，曝光后将菲林去掉，并清洗除去所述基板上表面和下表面的未固化感光材料；
(2)先将掩膜后的基板上表面或下表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，然后将基板翻转，将基板的下表面或上表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，完成对基板的双面蚀刻；所述双面蚀刻中的蚀刻液包含以下组分：HCL、CU2 +、乳化剂SG、余量为水；
(3)对双面蚀刻后的基板进行脱膜处理，除去掩膜层，并进行清洗、抗氧化处理、烘干。
2.根据权利要求1所述的VCM弹片的制作方法，其特征在于，所述激光蚀刻机包括平行曝光机。
3.根据权利要求2所述的VCM弹片的制作方法，其特征在于，所述平行曝光机的激光波长采用365nm，脉宽不大于15ps。
4.根据权利要求3所述的VCM弹片的制作方法，其特征在于，所述步骤（1）中菲林上的圆形图案直径比需在所述基板上加工出的圆孔直径小 0.1～0.12mm。
5.根据权利要求4所述的VCM弹片的制作方法，其特征在于，所述步骤（2）中，对所述基板的上表面和下表面进行蚀刻的蚀刻液喷淋压力分别为 0.3pai～1.4pai、0.9pai～1.1pai，蚀刻补偿压力0.1MPa-1.1MPa，蚀刻温度为44.5℃-45.5℃，蚀刻流量为140L/min-160L/min。
CN201710611118.1A 2017-07-25 2017-07-25 一种vcm弹片的制作方法 Pending CN107218326A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710611118.1A CN107218326A (zh) 2017-07-25 2017-07-25 一种vcm弹片的制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710611118.1A CN107218326A (zh) 2017-07-25 2017-07-25 一种vcm弹片的制作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107218326A true CN107218326A (zh) 2017-09-29

Family

ID=59953425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710611118.1A Pending CN107218326A (zh) 2017-07-25 2017-07-25 一种vcm弹片的制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107218326A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111090222A (zh) * 2020-02-24 2020-05-01 昆山弗莱吉电子科技有限公司 Vcm弹片的高效制备方法
CN113652691A (zh) * 2021-08-20 2021-11-16 东莞市钜升金属科技有限公司 一种vcm马达弹片增强表面耐腐蚀性焊接性的镀锡工艺

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020109207A1 (en) * 2001-02-14 2002-08-15 Rich David Boyd Deep reactive ion etching process and microelectromechanical devices formed thereby
US20030127915A1 (en) * 2002-01-09 2003-07-10 Seagate Technology Llc Coil construction for voice coil motor
US20060087399A1 (en) * 2004-09-27 2006-04-27 Barge Timothy S Fine line thick film resistors by photolithography
CN202756505U (zh) * 2012-07-12 2013-02-27 天水华洋电子科技股份有限公司 一种vcm弹片
CN103352224A (zh) * 2013-07-01 2013-10-16 广东工业大学 一种用于金属制品的双面蚀刻方法
CN105568284A (zh) * 2014-10-16 2016-05-11 黄浩祥 无连接点的金属薄板蚀刻方法及利用该方法制成的金属单元组
CN106787587A (zh) * 2016-12-26 2017-05-31 信利光电股份有限公司 一种音圈马达弹片及其制作方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020109207A1 (en) * 2001-02-14 2002-08-15 Rich David Boyd Deep reactive ion etching process and microelectromechanical devices formed thereby
US20030127915A1 (en) * 2002-01-09 2003-07-10 Seagate Technology Llc Coil construction for voice coil motor
US20060087399A1 (en) * 2004-09-27 2006-04-27 Barge Timothy S Fine line thick film resistors by photolithography
CN202756505U (zh) * 2012-07-12 2013-02-27 天水华洋电子科技股份有限公司 一种vcm弹片
CN103352224A (zh) * 2013-07-01 2013-10-16 广东工业大学 一种用于金属制品的双面蚀刻方法
CN105568284A (zh) * 2014-10-16 2016-05-11 黄浩祥 无连接点的金属薄板蚀刻方法及利用该方法制成的金属单元组
CN106787587A (zh) * 2016-12-26 2017-05-31 信利光电股份有限公司 一种音圈马达弹片及其制作方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111090222A (zh) * 2020-02-24 2020-05-01 昆山弗莱吉电子科技有限公司 Vcm弹片的高效制备方法
CN113652691A (zh) * 2021-08-20 2021-11-16 东莞市钜升金属科技有限公司 一种vcm马达弹片增强表面耐腐蚀性焊接性的镀锡工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103002660B (zh) 一种线路板及其加工方法
CN102094221A (zh) 一种干膜湿制程工艺制作smt镍磷合金版的方法
CN107218326A (zh) 一种vcm弹片的制作方法
CN104105350A (zh) 选择性电镍金的方法及pcb板、装置
CN106707381B (zh) 一种微透镜阵列制作的工艺方法
TW201813724A (zh) 電子零件的製造方法及裝置以及電子零件
CN104441370A (zh) 带有仿蛾眼纳米结构的晶圆透镜阵列模具及其加工方法
CN104185410B (zh) 基于微金属网格的电磁屏蔽罩及其制备方法
KR20170019698A (ko) 글라스 절단 방법
CN111712056B (zh) 一种vcm弹片及其加工方法
CN109445146A (zh) 一种电控液晶平面衍射微镜及其制备方法
CN101561629A (zh) 一种用倒梯形剖面的光刻胶制作介质边缘缓坡的方法
JP2013001615A (ja) 携帯機器用カバーガラスの製造方法
CN105666848A (zh) 一种压印电极微栅薄膜的模具辊制作方法
CN102291943A (zh) 印制电路板制作方法
US20180239179A1 (en) Method for manufacturing spacers and method for manufacturing display substrate
CN103207515A (zh) 一种三维立体掩模板及其制备工艺
TW202120968A (zh) 遮光構件、透鏡單元、相機模組及電子機器
JP2017011217A (ja) 固体撮像装置及びカメラモジュール
CN111698836B (zh) 一种vcm弹片及其加工方法
WO2020048046A1 (zh) 一种空心柱立体结构的图形加工方法
CN114016030A (zh) 一种5g手机用超薄型vc铜片散热板的加工工艺
CN108878283B (zh) 一种位置及尺寸精确可控的刻蚀方法
JPS6146408B2 (zh)
CN107160108B (zh) 一种自动化设备标准托盘的加工方法及标准托盘

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170929

RJ01 Rejection of invention patent application after publication