CN107179493A - 测试擦写一体机 - Google Patents

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CN107179493A
CN107179493A CN201710175702.7A CN201710175702A CN107179493A CN 107179493 A CN107179493 A CN 107179493A CN 201710175702 A CN201710175702 A CN 201710175702A CN 107179493 A CN107179493 A CN 107179493A
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刘波
虞君新
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WUXI YUANFANG SEMICONDUCTOR TESTING CO Ltd
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WUXI YUANFANG SEMICONDUCTOR TESTING CO Ltd
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2856—Internal circuit aspects, e.g. built-in test features; Test chips; Measuring material aspects, e.g. electro migration [EM]

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  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

本发明公开了一种测试擦写一体机。包括上料单元、测试单元、擦写单元和控制器；所述上料单元设置有第一机械手和第二机械手；所述测试单元设置有载片台；所述第一机械手用于取出晶圆，并将取出的晶圆放置在载片台上进行测试；所述第二机械手用于将载片台上的晶圆取出，并将取出的晶圆放置在擦写单元内进行擦写；所述控制器与上料单元、测试单元和擦写单元电连接；所述控制器用于接收测试单元、擦写单元信号后对第一机械手、第二机械手发出指令。本测试擦写一体机有效地将传统测试装置和擦写装置相结合，使测试过程更加简便，实现全流程自动化操作，降低人工操作风险，提高工作效率。

Description

测试擦写一体机
技术领域：
本发明属于芯片测试技术领域，特别涉及一种测试擦写一体机。
背景技术：
晶圆在测试时，需要人工将晶圆与探针台上的探针接触，测试仪通过排线连接探针进行测试，判断此芯片的好坏，测试结束后，还需要连接擦写器，将测试过的晶圆进行擦写。测试过程依靠人工作业，强度大、效率低，而且会有出错，不能实现自动化。
公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
发明内容：
本发明的目的在于提供一种测试擦写一体机，从而克服上述现有技术中的缺陷。
为实现上述目的，本发明提供了一种测试擦写一体机，包括上料单元、测试单元、擦写单元和控制器；所述上料单元设置有第一机械手和第二机械手；所述测试单元设置有载片台；所述第一机械手用于取出晶圆，并将取出的晶圆放置在载片台上进行测试；所述第二机械手用于将载片台上的晶圆取出，并将取出的晶圆放置在擦写单元内进行擦写；所述控制器与上料单元、测试单元和擦写单元电连接；所述控制器用于接收测试单元、擦写单元信号后对第一机械手、第二机械手发出指令。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
本测试擦写一体机通过控制器接收测试单元和擦写单元信号，进而对第一机械手和第二机械手发出相应指令，实现全流程自动化，降低人工操作的风险，提高工作效率；本测试擦写一体机有效地将传统测试装置和擦写装置相结合，使测试过程更加简便。
附图说明：
图1为本发明测试擦写一体机结构示意图；
附图标记为：1-上料单元、2-测试单元、3-擦写单元、4-控制器、5-第一机械手、6-第二机械手、7-载片台。
具体实施方式：
下面对本发明的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本发明的保护范围并不受具体实施方式的限制。
除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
如图1所示，测试擦写一体机，包括上料单元1、测试单元2、擦写单元3和控制器4；所述上料单元1设置有第一机械手5和第二机械手6；所述测试单元2设置有载片台7；所述第一机械手5用于取出晶圆，并将取出的晶圆放置在载片台7上进行测试；所述第二机械手6用于将载片台7上的晶圆取出，并将取出的晶圆放置在擦写单元3内进行擦写；所述控制器4与上料单元1、测试单元2和擦写单元3电连接；所述控制器4用于接收测试单元2、擦写单元3信号，对第一机械手5和第二机械手6发出操作指令。
工作时，第一机械手5取出一片晶圆放置在载片台7上进行测试，测试单元2将测试完成信号发送给控制器4，控制器4向第二机械手6发出指令，第二机械手6从载片台7上取出晶圆后放入擦写单元3内进行擦写，同时第一机械手5再从晶圆盒内取出另一片晶圆放置在载片台7上进行测试，擦写单元3将擦写完成信号发送给控制器4，控制器4向第二机械手6发出指令，第二机械手6将擦写后的晶圆放入对应的卡槽内，当再次测试结束后，第二机械手6会再次取出晶圆并将其放入擦写单元3内，周而复始，完成测试、擦写全过程。
前述对本发明的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本发明限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本发明的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本发明的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本发明的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。

Claims (1)

1.测试擦写一体机，其特征在于：包括上料单元、测试单元、擦写单元和控制器；所述上料单元设置有第一机械手和第二机械手；所述测试单元设置有载片台；所述第一机械手用于取出晶圆，并将取出的晶圆放置在载片台上进行测试；所述第二机械手用于将载片台上的晶圆取出，并将取出的晶圆放置在擦写单元内进行擦写；所述控制器与上料单元、测试单元和擦写单元电连接；所述控制器用于接收测试单元、擦写单元信号后对第一机械手、第二机械手发出指令。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102222603A (zh) * 2011-03-10 2011-10-19 上海宏力半导体制造有限公司 晶圆检测系统
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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